JPH0317221B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0317221B2 JPH0317221B2 JP59171076A JP17107684A JPH0317221B2 JP H0317221 B2 JPH0317221 B2 JP H0317221B2 JP 59171076 A JP59171076 A JP 59171076A JP 17107684 A JP17107684 A JP 17107684A JP H0317221 B2 JPH0317221 B2 JP H0317221B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit board
- semiconductor element
- heat sink
- view
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W70/00—Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
- H10W70/60—Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W40/00—Arrangements for thermal protection or thermal control
- H10W40/10—Arrangements for heating
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W70/00—Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
- H10W70/60—Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers
- H10W70/67—Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers characterised by their insulating layers or insulating parts
- H10W70/68—Shapes or dispositions thereof
- H10W70/682—Shapes or dispositions thereof comprising holes having chips therein
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W70/00—Package substrates; Interposers; Redistribution layers [RDL]
- H10W70/60—Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers
- H10W70/67—Insulating or insulated package substrates; Interposers; Redistribution layers characterised by their insulating layers or insulating parts
- H10W70/68—Shapes or dispositions thereof
- H10W70/685—Shapes or dispositions thereof comprising multiple insulating layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/075—Connecting or disconnecting of bond wires
- H10W72/07551—Connecting or disconnecting of bond wires characterised by changes in properties of the bond wires during the connecting
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/50—Bond wires
- H10W72/541—Dispositions of bond wires
- H10W72/5445—Dispositions of bond wires being orthogonal to a side surface of the chip, e.g. parallel arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W90/00—Package configurations
- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/731—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of die-attach connectors
- H10W90/737—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of die-attach connectors between a chip and a laterally-adjacent lead frame, conducting package substrate or heat sink
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
イ 産業上の利用分野
本発明は、例えば、GaAs FETなどのような、
高周波用半導体素子を、放熱体をもつ回路基板に
実装する方法に関する。
高周波用半導体素子を、放熱体をもつ回路基板に
実装する方法に関する。
ロ 従来の技術
従来、高周波用混成集積回路において、回路基
板に半導体素子を実装する場合は、第3図aの平
面図および同図bの断面図に示すように、アルミ
ナ、石英、サフアイヤなどの絶縁体の上に導電膜
回路2が形成された回路基板21を、銅、コバ
ー、鉄などの放熱体4の上に接着し、かつ、スル
ーホール13を通して基板面の接地導電膜12と
放熱体4とを接続し、回路基板21上に直接半導
体素子5を固着していた。また、他の例として
は、第4図aの平面図、同図bの断面図に示すよ
うに、中間に半導体素子を固着するための突起台
8を有する放熱体14の上面に、突起台8を間に
はさんんで両側に、上面に導電膜結合回路2が形
成された2枚の回路基板31,31を接着し、突
起台8の上に半導体素子5を接着固定する方法と
があつた。
板に半導体素子を実装する場合は、第3図aの平
面図および同図bの断面図に示すように、アルミ
ナ、石英、サフアイヤなどの絶縁体の上に導電膜
回路2が形成された回路基板21を、銅、コバ
ー、鉄などの放熱体4の上に接着し、かつ、スル
ーホール13を通して基板面の接地導電膜12と
放熱体4とを接続し、回路基板21上に直接半導
体素子5を固着していた。また、他の例として
は、第4図aの平面図、同図bの断面図に示すよ
うに、中間に半導体素子を固着するための突起台
8を有する放熱体14の上面に、突起台8を間に
はさんんで両側に、上面に導電膜結合回路2が形
成された2枚の回路基板31,31を接着し、突
起台8の上に半導体素子5を接着固定する方法と
があつた。
しかし、前者の回路基板に直接半導体素子を接
着する方法では、半導体素子表面の電極から、回
路基板上の結合回路部までの距離や接地面までの
距離が長くなるため、高周波動作における半導体
素子本来の特性を引出すことが困難であつた。ま
た、後者の、回路基板を2枚に分離し、その間の
放熱体上に半導体素子を接着する方法は、放熱体
に接着する部品点数が増加し、それによる工数増
加も加わり、歩留り低下および価格上昇をもたら
すということになる。
着する方法では、半導体素子表面の電極から、回
路基板上の結合回路部までの距離や接地面までの
距離が長くなるため、高周波動作における半導体
素子本来の特性を引出すことが困難であつた。ま
た、後者の、回路基板を2枚に分離し、その間の
放熱体上に半導体素子を接着する方法は、放熱体
に接着する部品点数が増加し、それによる工数増
加も加わり、歩留り低下および価格上昇をもたら
すということになる。
ハ 発明が解決しようとする問題点
上述のように、従来の実装方法では、性能をよ
くしようとすれば、高価格になるという点に問題
があり、これに対し、本発明では高性能低価格の
実装方法を得ることが課題となる。
くしようとすれば、高価格になるという点に問題
があり、これに対し、本発明では高性能低価格の
実装方法を得ることが課題となる。
ニ 問題点を解決するための技術手段
上記問題点に対し、本発明では、スルーホール
のあけられた回路基板を放熱体上に固着し、前記
スルーホール底部に露出する前記放熱体面に直接
または介在物を介して半導体素子を接着固定す
る。
のあけられた回路基板を放熱体上に固着し、前記
スルーホール底部に露出する前記放熱体面に直接
または介在物を介して半導体素子を接着固定す
る。
ホ 実施例
つぎに本発明を実施例により説明する。第1図
aは本発明の一実施例を説明するための平面図、
同図bは同図aのA−A断面図である。第1図
a,bにおいて、導電膜の結合回路2が形成され
た回路基板1にはスルーホール3があけられてお
り、回路基板1は放熱体4に接着されている。し
かして、回路基板1のスルーホール3の底部に露
出する放熱体面には、半導体素子5を接着し、半
導体素子5の高さと、回路基板1の厚さはほぼ同
じ寸法であるので、半導体素子5の電極と回路基
板上の結合回路2とはほぼ水平に短い導線6によ
り接続される。
aは本発明の一実施例を説明するための平面図、
同図bは同図aのA−A断面図である。第1図
a,bにおいて、導電膜の結合回路2が形成され
た回路基板1にはスルーホール3があけられてお
り、回路基板1は放熱体4に接着されている。し
かして、回路基板1のスルーホール3の底部に露
出する放熱体面には、半導体素子5を接着し、半
導体素子5の高さと、回路基板1の厚さはほぼ同
じ寸法であるので、半導体素子5の電極と回路基
板上の結合回路2とはほぼ水平に短い導線6によ
り接続される。
第2図a,bは本発明の他の実施例方法を説明
するための平面図と断面図である。本例において
は、放熱体4上に接着されている回路基板11
は、第1図の例に比べ厚さが厚いことが違うだけ
で他は同じである。そして、半導体素子5をスル
ーホール3の底部の放熱体面に直接接着すれば、
半導体素子の上面が回路基板面より低くなり、接
続導線の長さが長くなるので、放熱体4のスルー
ホール3底部の露出面と半導体素子5との間に金
属介在片7をはさんで、素子5の上面と回路基板
の表面とをほぼ同じ高さにしている。
するための平面図と断面図である。本例において
は、放熱体4上に接着されている回路基板11
は、第1図の例に比べ厚さが厚いことが違うだけ
で他は同じである。そして、半導体素子5をスル
ーホール3の底部の放熱体面に直接接着すれば、
半導体素子の上面が回路基板面より低くなり、接
続導線の長さが長くなるので、放熱体4のスルー
ホール3底部の露出面と半導体素子5との間に金
属介在片7をはさんで、素子5の上面と回路基板
の表面とをほぼ同じ高さにしている。
ヘ 発明の効果
本発明によれば、回路基板を分割する必要はな
く、一枚のままで済むので、組立工数の低減およ
び価格の低廉化を達成することができる。また、
半導体素子の上面電極より最短距離で回路基板の
導電膜および放電体へ接続することができるた
め、半導体素子本来の性能を残りなく引き出せ
る。
く、一枚のままで済むので、組立工数の低減およ
び価格の低廉化を達成することができる。また、
半導体素子の上面電極より最短距離で回路基板の
導電膜および放電体へ接続することができるた
め、半導体素子本来の性能を残りなく引き出せ
る。
第1図aは本発明の一実施例を説明するための
平面図、同図bは同図aのA−A断面図、第2図
aは本発明の他実施例を説明するための平面図、
同図bは同図aのA−A断面図、第3図a,bは
従来の放熱体をもつ高周波用混成集積回路の一例
の平面図と断面図、第4図a,bは従来の他の例
の放熱体をもつ高周波用混成集積回路の平面図と
断面図である。 1,11,21,31……回路基板、2……結
合回路、3,13……スルーホール、4,14…
…放熱体、5……半導体素子、6……接続導線、
7……金属介在片、8……放熱体突起部、12…
…接地導電膜。
平面図、同図bは同図aのA−A断面図、第2図
aは本発明の他実施例を説明するための平面図、
同図bは同図aのA−A断面図、第3図a,bは
従来の放熱体をもつ高周波用混成集積回路の一例
の平面図と断面図、第4図a,bは従来の他の例
の放熱体をもつ高周波用混成集積回路の平面図と
断面図である。 1,11,21,31……回路基板、2……結
合回路、3,13……スルーホール、4,14…
…放熱体、5……半導体素子、6……接続導線、
7……金属介在片、8……放熱体突起部、12…
…接地導電膜。
Claims (1)
- 1 表面に導体膜回路が形成された回路基板を放
熱体上に固着し、さらに、前記回路基板にあけら
れているスルーホール底部に露出する前記放熱体
面に直接または介在物をはさんで半導体素子を、
その上面が前記回路基板の表面とほぼ同じ高さに
なるように接着することを特徴とする半導体素子
の実装方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59171076A JPS6149444A (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | 半導体素子の実装方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59171076A JPS6149444A (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | 半導体素子の実装方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6149444A JPS6149444A (ja) | 1986-03-11 |
| JPH0317221B2 true JPH0317221B2 (ja) | 1991-03-07 |
Family
ID=15916567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59171076A Granted JPS6149444A (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | 半導体素子の実装方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6149444A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0463758A1 (en) * | 1990-06-22 | 1992-01-02 | Digital Equipment Corporation | Hollow chip package and method of manufacture |
-
1984
- 1984-08-17 JP JP59171076A patent/JPS6149444A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6149444A (ja) | 1986-03-11 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4143508A (en) | Electronic circuit block | |
| JPH04229643A (ja) | 高周波パワ−半導体デバイスおよびその製造方法 | |
| JP3099382B2 (ja) | 小型発振器 | |
| US4297722A (en) | Ceramic package for semiconductor devices having metalized lead patterns formed like a floating island | |
| JPS6149444A (ja) | 半導体素子の実装方法 | |
| JPH0311923Y2 (ja) | ||
| JPS6271301A (ja) | マイクロ波集積回路装置 | |
| JPS62134957A (ja) | 半導体装置 | |
| JPH04296103A (ja) | 高周波半導体混成集積回路装置 | |
| JPH01143502A (ja) | マイクロ波集積回路 | |
| JPS63200602A (ja) | マイクロ波集積回路の回路基板 | |
| JPS62108577A (ja) | 混成集積回路 | |
| JPS5844636Y2 (ja) | 混成集積回路装置 | |
| JP2766361B2 (ja) | 半導体装置 | |
| JPS5840339B2 (ja) | 高周波トランジスタ | |
| JPH0714949A (ja) | 半導体モジュール | |
| JP3316556B2 (ja) | 圧電共振子 | |
| JP3328455B2 (ja) | 多重モード水晶振動子 | |
| JPH06177500A (ja) | フレキシブル配線板 | |
| JPS5929377Y2 (ja) | 高周波高出力トランジスタ装置 | |
| JPS6236314Y2 (ja) | ||
| JP2533277Y2 (ja) | チップキャパシタの接地構造 | |
| JPS607488Y2 (ja) | 半導体装置 | |
| KR950003074Y1 (ko) | 트랜지스터(tr)의 알루미늄 와이어 본드패드(bond pad) 구조 | |
| JP2529778Y2 (ja) | マイクロ波集積回路 |