JPH03181040A - 光磁気記録媒体 - Google Patents

光磁気記録媒体

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JPH03181040A
JPH03181040A JP32631490A JP32631490A JPH03181040A JP H03181040 A JPH03181040 A JP H03181040A JP 32631490 A JP32631490 A JP 32631490A JP 32631490 A JP32631490 A JP 32631490A JP H03181040 A JPH03181040 A JP H03181040A
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magneto
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magnetic thin
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元 町田
Motoharu Tanaka
元治 田中
Atsuyuki Watada
篤行 和多田
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は小さなレーザパワーで記録できかつ再生C/N
の大きい光磁気録媒体に関する。
従来、光磁気メモリー材料の磁性膜としてアモルファス
磁性合金膜Gd−Co、 Gd−Fe、 Tb−Fe、
 Gd−Tb−Fe、 D7−TI+−Feなどが用い
られていたが、基板上にこれらの磁性合金膜を単味で設
けたものは磁気光学特性、カーまたはファラデー回転角
が不十分で再生時のS/Nが低かった。キュリー温度を
上げると例えばGd−Tb−Feのようにカー回転角が
向上するものがあるが、いまだカー回転角は不十分であ
り、またキュリー温度が高いと記録時のレーザーパワー
が大きいという欠点がある。
本発明は上記問題に鑑みてなされたものであって、磁性
薄層の膜厚と記録に必要なレーザ出力の間に密接々関係
があることを見出すとともに、磁性薄層の一面に反射層
を設けることによりファラデー効果を利用した再生がよ
り効率的にむされうろことを見出し、本発明の完成に至
った。
本発明の目的は記録時のメモリー媒体面でのレーザパワ
ーが小さい光磁気記録媒体を提供することである。また
、本発明の別の目的は再生時のS/Nすなわちファラデ
ー回転角の大きい光磁気記録媒体を提供することである
本発明の光磁気記録媒体は、基板上に遷移金属−希土類
金属合金の垂直磁化膜から12る磁性薄層を設け、さら
にその上に反射層を設けてなり、該磁性薄層の膜厚が1
50A−25OAであることを特徴とするものである。
本発明における磁性薄層としては前述の如き2元系ない
し3元系の希土類金属−遷移金属の非晶質合金薄膜(垂
直磁化膜)を用いることができるが。
より好ましい合金材料としては垂直磁気異方性を有する
以下の如き4元系合金をあげることができる。
(Tbo−5DYo−a)o−z2(Feo−scoo
、z)o−yg   −(a)、(ybo・9B10・
+)o・17(Feo・78CO0・22)0・83 
 °゛°(b〉・(Gdo−sDYo−b’)o−rm
(Feo−*Coo、1)o−nz   =(c)。
(Gdo−@sB!o−t6)o・1s(Feo、as
Coo、+z)o、yc゛(d)。
(Gdo・7Tbo−3)o−z4(Feo・5sCo
o、os)o、ya  −(e)。
光磁気記録媒体の重要な課題は記録時には小さなエネル
ギーを要し、一方再生時には大きなS/Nが得られねば
ならない。記録時のエネルギーは磁性膜のキュリー温度
、膜厚、媒体の熱伝導率が大きな要因である。第1図は
膜厚と記録に必要なエネルギー(レーザ出力)との関係
を示すグラフである。この図から明らかなように、膜厚
20OA(0,02μ耐付近を臨界点としてこれより膜
厚が大きくなると膜厚とレーザ出力は直線的に増大し、
これより薄くなってもレーザ出力は増大してしまう。膜
厚が200人より薄くなるとレーザ光が透過してしまい
熱が蓄積されないためである。したがって、本発明では
磁性薄層への適正な蓄熱の観点から磁性薄層の厚さをこ
の臨界点の近傍、すなわち+5OA −25OAとする
。また、この膜厚では再生はファラデー効果を用いて行
うようになるので、再生光入射側から効率的に再生を行
うために本発明では反射層を設置する。
以下1図面について本発明の光磁気記録媒体の構成を説
明する。
第2図は本発明の光磁気記録媒体の層構成例を示す模式
図であって、基板I上に磁性薄層2、高屈折率層3、反
射層4および酸化防止層5を順次設けたものである。磁
性薄層2は単層であっても積層であっても良い。
基板としては、ガラス、プラスチックなどを用いること
ができる。
高屈折率層は例えばFe2O3,i’io2、CeO2
,5b2o3.103.5iO1B i 203、Cd
Oなどの屈折率が2.0以上の物をスパッリング法によ
って付着させる。
酸化防止層としてはMgO1A11203.5102、
TiO2゜およびThe2の酸化物が用いられ、膜厚は
100OA以上である。
磁性薄層は150A−25OAの膜厚で付着しており。
再生時のレーザー光が透過可能な物である。
反射層としては金属薄膜Cu、 AI、 Ct、Afi
、Rh、^UおよびNiなどが用いられる。反射層に金
属薄膜を用いる場合はその上に酸化防止層が必要である
次に、本発明の光磁気記録媒体の製造例を具体的に説明
する。
厚さ1lIIlのガラス基板上に最初に磁性層をアルゴ
ンガス圧3×lO″″2To r r、放電々力300
1.膜作製速度20A/setの条件で作製する。スパ
ッタリングは4つのターゲットを用いて基板回転で行い
例えばGd Tb Fe Co磁性層のターゲット上の
配置はFeターゲット上にGd、 Tb、 Coのチッ
プが磁性層に対応する面積比で配置される。1つのター
ゲットは高屈折率層例えばSiOであり、もう1つのタ
ーゲットは反射層例えばCoであり、さらにもう1つの
ターゲットは酸化防止層例えばSiO□がそれぞれ配置
される。各々の積層膜は同一真空中でターゲット上のシ
ャッターが開閉されて順次膜が積層され光磁気記録媒体
が作製されるものである。
上述したようにして作製された本発明の光磁気記録媒体
の構成例を以下の表1に記載する。磁性薄層の欄におい
て、(a)、(b)、(c)、(d)および(e)はそ
れぞれ先に例示した合金組成に対応する。表1に示した
本発明の光磁気記録媒体について、レーザ(波長800
開および媒体面での強度1mW)を用いて測定したファ
ラデー回転角θ、と記録周波数2Mbit八における記
録レーザパワーを以下の表2に示す。
表   1 光磁気記録媒体の構成〔第2図〕 No、I No、2 No、3 No、4 No、5 率埋覆屋 通屋近生星 区艶星 酸但装生星(i)膜厚
150A TiO2膜厚3000A Ag5000A 
Ti0z3000A(k) IF  170ASiOn
  500AAu  n   TaN300OA(c)
 n  200ASiOn 2000ACa  n  
Ce023000A(d)  IF  250AC@O
z  n  1000AAQ  n   CrN300
OA(e) #  200ASiOn 2500ACo
  n  sio2soooA表 2 試料P&L J上Ω−記録レーザパワー1      
0.68        2.52      0.6
0        2.83      0.74  
      2.84      0.72     
   2.55      0.88        
3.5表−2から本発明による光磁気記録媒体は十分な
大きさのファラデー回転角を示し、記録時のレーザパワ
ーも小さくできることがわかる。
なお1本発明による光磁気記録媒体は光変調方式と磁界
変調方式のいずれにも適用でき、また重ね書きタイプの
記録方式にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
第1図は磁性薄層の膜厚と記録エネルギーとの関係を示
すグラフであり、第2図は光磁気記録媒体の層構成例を
示す模式図である。 !・・基板、2・・・磁性薄層、3・・・高屈折率層、
4・・・反射層、5・・・酸化防止層。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)基板上に遷移金属−希土類金属合金の垂直磁化膜
    からなる磁性薄層を設け、さらにその上に反射層を設け
    てなり、該磁性薄層の膜厚が150Å−250Åである
    ことを特徴とする光磁気記録媒体。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS5961011A (ja) * 1982-09-30 1984-04-07 Ricoh Co Ltd 光磁気記録媒体

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS5961011A (ja) * 1982-09-30 1984-04-07 Ricoh Co Ltd 光磁気記録媒体

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