JPH03185608A - 磁気ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

磁気ヘッドおよびその製造方法

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JPH03185608A
JPH03185608A JP32452289A JP32452289A JPH03185608A JP H03185608 A JPH03185608 A JP H03185608A JP 32452289 A JP32452289 A JP 32452289A JP 32452289 A JP32452289 A JP 32452289A JP H03185608 A JPH03185608 A JP H03185608A
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magnetic
magnetic core
wear
pair
sliding surface
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JP32452289A
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Yoichi Masubuchi
洋一 増渕
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Mitsubishi Electric Corp
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Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野1 本発明は、ビデオテープレコーダ(VTR) 、デジタ
ルオーディオチーブレコーダ(DAT)等の磁気記録再
生装置に用いられる磁気ヘッド及びその製造方法に関す
るものである。
〔従来の技術1 第18図は従来の磁気ヘッド(21)の−例を示す斜視
図であり、Mn−Znフェライト等の強磁性酸化物の一
対の磁気コア(200)を非磁性材より構成される磁気
ギャップ(11)を介してガラス(6)により接合して
一体化している。テープ摺動面(2b)と磁気ギャップ
(11)近傍にはトラック幅を規制するための第1の溝
(3)が形成されており、この中には、ガラス(6)が
充填されている。また、磁気ヘッド(21)の中央部に
は、テープ摺動面(2b)とほぼ直交する向きに、貫通
した第3の溝(7)があり、この空間にコイルを巻く。
テープ′摺動面(2b)と反対側には、第2の溝(5)
が形成されており、この中にガラスを充填して固化する
ことにより、磁気ヘッド(21)の接合をより強固にし
ている。以上説明した磁気ヘッド(21)は、磁気コア
(100)全体が強磁性酸化物のみで構成されており、
メタルテープ等の保磁力(Hc)が1500工ルステツ
ド程度ある媒体に適用した場合に、磁気ギャップ(11
)付近で飽和が発生して、十分な記録ができない等の問
題があった。
この問題を解決するために第19図に示す如く、例えば
特開昭58−70418号に示される磁気ヘッド(10
1)が考案された。この磁気ヘッドは磁気ギャップ(1
1)の近傍の磁気コアを金属磁性材(32)で構成し、
テープ摺動面(2b)と反対側の磁気コアを強磁性酸化
物(31)で構成した複合化構造としている。この構成
により、磁路の断面積が最小となる磁気ギャップ(11
)付近を飽和磁束密度(Bs)の高い金属磁性材(32
)が占めているので、メタルテープ等の保磁力(l(c
)の高い媒体を十分に磁化することができる。また、テ
ープ摺動面(2b)の反対側の磁気コアを透磁率の高い
磁性酸化物(31)で構成しているので再生効率を高め
ることができる。トラック幅を規制するために、磁気ギ
ャップ(11)の近傍の磁気コアの金属磁性材(32)
をトラック幅に相当する厚みとし、その両側を非磁性材
(33)ではさむことにより、磁気コアの厚みを得てい
る。
次に作用について説明する。第20図及び第21図は、
第19図に示した従来の磁気ヘッド(101)を回転ド
ラム(14〉に取付けて、記録・再生を行うために磁気
テープ(15)をテープ摺動面(2b)に接触させた状
態を示した概略の平面図であり、第20図は初期の状態
、第21図は長時間走行後のヘッド摩耗が進行した状態
を示している。テープ摺動面(2b)は、磁気テープ(
15)と磁気ギャップ(11)を密接摺動させるために
、回転ドラム(14)よりある程度の突出量(h)でも
って突き出して取り付けられているまた、磁気テープ(
15)と磁気ギャップ(11)が滑らかに接触し、接触
抵抗負荷を軽減するためにテープ摺動面(2b)は一定
の曲率半径Rをもつ曲面形状を有している。第20図の
初期状態においては、ヘッドの回転ドラム(14)から
の突出量(h)が大きく、テープ摺動面(2b)がR形
状をしていることから、磁気テープ(15)とテープ摺
動面(2b)との接触面積が小さいので、磁気テープ(
15)の接触圧力が大きく、摩耗し易い条件になってい
る。従って、この状態では適度に摩耗があり、テープ摺
動面(2b)は、常に新たな表面を磁気テープ(15)
に接触させていることになり、セルフクリーニング作用
が行われている。
上記の状態から摩耗が進行して、第21図の状態に到る
と、突出量(h)が小さくなり、かつテープ摺動面(2
b)と磁気テープ(15)の接触面積も大きくなるので
、磁気テープ(15)の接触圧力が小さくなり、摩耗し
にくい条件となる。
この時点においても、磁気テープ(15)と接触してい
るテープ摺動面(2b)を構成している金属磁性材(3
2)は初期状態と全く同一の素材であるから、摩耗量は
減少する。この様な状態に到ると摩耗のバランスがくず
れてセルフクリーニング作用は弱まり、テープ摺動面(
2b)に、非磁性の変質層が生成しやすくなる。特にこ
の傾向は、相対湿度が30%以下の低湿度環境において
顕著となる。非磁性の変質層がテープ摺動面(2b)に
生成されるとその部分がスペーシング損失を増大させ、
ヘッドからの出力電圧(P)を例えば第7図の曲線(1
7a)から曲線(17b)へと高周波(F)側程低下さ
せる様な特性の劣化を招く。ヘッドの摩耗量の時間経過
(T)に対する変化(D)は第6図の曲線(16a)の
様になる。
ヘッドの摩耗量を測定する指標としては通常、最も計測
し易いギャップ深さ(Gd)の減少量を観測すれば良い
。第6図の縦軸はギャップ深さの減少量であり、曲線(
16a)の様に曲線の傾き即ち摩耗速度は初期状態では
大きいが、時間(T)と共に急激に小さくなり、長時間
経過後は、摩耗速度の減少傾向も落ち着いてゆく。曲線
(16a)の様な摩耗過程をたどるのは、上記の説明で
述べた様に、テープ摺動面(2b)の曲面形状と、ヘッ
ド突出ffi (h)の変化による磁気テープ(15)
の接触圧力の変化に起因している。この様な作用は、第
18図に示した強磁性酸化物のみで磁気コア(100)
を構成した磁気ヘッド(21)でも同様である。
〔発明が解決しようとする課題] 従来の磁気ヘッドは、以上のように構成されているので
、長時間走行後、磁気ヘッドのテープ摺動面の摩耗が進
行して、ヘッド突出量が減少すると磁気テープと摺動面
の接触圧力が低くなり、定時間内の摩耗量が減少、即ち
摩耗速度が小さくなり、そのためにセルフクリーニング
効果が弱まり、テープ摺動面に非磁性の変質層が生成す
る。
この変質層は、磁気ヘッドの記録・再生系に対してスペ
ーシング損失を増大させ、再生出力電圧を低下させると
いう問題点があった。この現象は、低湿度環境において
顕著である。
本発明は、上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、磁気ヘッドを長時間使用した後に摩耗により
ヘッド突出量が減少した状態において、磁気ヘッドのテ
ープ摺動面に変質層が生成するのを防ぎ、磁気ヘッドの
再生出力電圧の低下を防ぐと共に、初期状態においては
、従来よりも磁気ヘッドの摩耗量を減らすことにより、
長時間使用後の総摩耗量を従来の磁気ヘッドと同等とし
て、長寿命の磁気ヘッドを得ることを目的とする〔課題
を解決するための手段1 本発明に係る磁気ヘッドは、磁気テープが摺動する部分
のコアを磁気ギャップの深さ方向に積層化した構成とし
、テープ摺動面に近い層程、耐摩耗性を有する組成の金
属磁性薄膜とし、下層側になる程、摩耗し易い組成の金
属磁性薄膜を真空薄ffa U状技術により重ねて多層
膜を形成するようにしたものである。
し作用〕 本発明における磁気ヘッドは、使用中にテープ摺動面が
摩耗してヘッド突出量が減少してゆく過程で、磁気ギャ
ップ深さ方向に組成の重なる強磁性金属薄膜を多層化し
た構成の内、初期には、耐摩耗性に優れた組成の部分と
磁気テープが接触するので、摩耗を抑制する方向に作用
し、時間経過と共に徐々に摩耗し易い組成がテープ摺動
面に露出することになり、摩耗し易い条件が生ずる様に
なる。従って、磁気ヘッドの摩耗速度は、時間経過に対
して、はぼ一定となる。
〔実施例1 以下この発明の一実施例を図について説明する。第1図
は本発明による磁気ヘッドの一例の斜視図である。この
磁気ヘッド(12)は磁気ギャップ(11)とは反対の
強磁性酸化物のコア(以下後部コアと称す)(1)の上
面(1a)に強磁性金属薄膜の積層体からなる前部コア
(2)をスパッタリング等の真空薄膜形成技術を用いて
形成したものである。そして磁気コア半体(9)と(1
0)とを磁気ギャップ(11)を構成する非磁性材を介
してガラス(6)により接合したものである。磁気ギャ
ップ(11)の形成面近傍、即ち、テープ摺動面(2b
)における磁気ギャップ(ll)の両側部にトラック幅
を規制する第1の溝(トラック幅規制溝)(3)が形成
されており、これにより、磁気ギャップ(11)に磁束
を集中させている。テープ摺動面(2b)は、磁気ギャ
ップ(II)を頂点としたR形状になっている。後部コ
ア(1)の材質は、例えばMn−Znフェライト、Ni
−Znフェライト等の強磁性酸化物である。前部コア(
2)の主成分は、Fe−Ga−5i系合金、Fe−AI
 −Si系合金(センダストと称されている)等の結晶
質磁性合金、あるいは、Co −Nb −Zr系合金等
の非晶質合金であり、積層膜構造となっているが、積層
膜の各層は、同一組成ではなく、異なった組成により構
成されている点が、本発明の特徴となっている。即ち、
テープ摺動面(2b〉に近い層程、耐摩耗特性に優れた
組成になっており、摺動面(2b)から遠ざかる程、摩
耗し易い組成により成っている。摩耗特性を各層間で変
化させる方法としては、−例として、添加元素の量を変
化させることにより実現できる。その例を以下に示す。
第3図は、Fe−Ga−5i系合金の摩耗特性を表わし
ている(縦軸は摩耗量Wを、横軸は走行時間Tを示す)
。Fe−Ga−3i系合金は強磁性材料の中でも磁気特
性に優れ、特に飽和磁束密度は10K Gauss以上
あり、メタル媒体等の保磁力の高い媒体を磁化する磁気
ヘッドの材料に適している。
第3図において、直線(18a)はFe−Ga−3iの
みの組成によるコアの摩耗特性を表わしており、直線(
18b)はFe−Ga−3iにRuを4%添加した組成
によるコアの摩耗特性を表わしている。第3図のデータ
はコア材の組成以外が異なる以外は全て同一の条件で行
われた実験によるものであり、Ruを添加することによ
り摩耗量を低減できる、即ち、耐摩耗性を改善できるこ
とがわかる。本発明における磁気ヘッドでは、例えばF
e−Ga−5i系合金の上記の性質を次の様に適用する
。即ち、テープ摺動面(2b)に近い層程、Ruの添加
量を増やし、例えば、最上層をRu4%添加、最下層な
Ru無添加とする様な組成にすれば良い。積層する脹ら
にRu等の添加元素の量を変えることは、真空薄膜形成
技術によれば、比較的容易である。
次に作用について説明する。第4図及び第5図は本発明
に係る磁気ヘッド(12)を回転ドラム(14)に取付
け、記録・再生を行うために、磁気テープ(15)をテ
ープ摺動面(2b)に接触させた状態を示した概略の平
面図であり、第4図は初期の状態、第5図は長時間走行
後のヘッド摩耗が進行した状態を示している。第4図の
初期の状態では、ヘッドの回転ドラム(14)からの突
出ffi (h)が大きく、それに加えて、テープ摺動
面(2b)がR形状をしていることから磁気テープ(1
5)との接触面積が小さいので、磁気テープ(15)と
テープ摺動面(2b)の接触圧力は大きくなっている。
従って、摩耗し易い条件になっている。しかしこの時点
で、テープ摺動面(2L)け雪山!プいヱ冷mkを仝ぼ
檀哄m傍曙仕l前部コア)(2)は、摩耗しにくい組成
で構成されているので、摩耗量の時間カーブの傾き、即
ち、摩耗速度は、従来よりも抑制される様に作用するこ
の状態から摩耗が進行して、第5図の状態に到ると、突
出量(h)が小さくなり、かつテープ摺動面(2b)と
磁気テープ(15)の接触面積が大きくなるので、接触
圧力が小さく、摩耗しにくい条件となる。しかし、この
時点でテープ摺動面(2b)に露出している強磁性金属
薄膜の積層体(前部コア)(2)は、摩耗し易い組成で
構成されているので摩耗速度が、従来よりも大きくなる
作用が生ずる。この時点では、第1図の磁気ヘッドは、
第2図の斜視図の様に変化している。以上の摩耗量(D
)の時間(T)変化を表わしたのが、第6図の曲線(1
6b)である、従来の時間経過を表わす曲線(16a)
と比べると、長時間走行後の総摩耗量はほぼ同等である
にもかかわらず、摩耗速度をほぼ一定に保っている。従
って、長時間使用した時点においても、ヘッド摩耗によ
X h ++  −ソh’ fJhffl ++  ’
:Ln ttElν開ド、でふス貢)^テープ摺動面(
2b)に非磁性の変質層が発生することはない。よって
、第7図の曲線(17b)に見られる様な非磁性の変質
層のスペーシング損失による周波数(F)に対する出力
(P)の劣化は発生せず、常に安定したヘッドの出力電
圧を得ることができる。この効果は、特に、相対湿度が
30%以下の低湿度環境において顕著である。
また、本発明によるもう一つの作用として以下のことが
ある。即ち、ヘッド先端部のテープ摺動方向の曲率半径
(R)は第4図と第5図に示した様にヘッドの摩耗によ
り、徐々に大きくなる傾向がある。この曲率半径(R)
が過大となると磁気テープ(15)と磁気ギャップ(1
1)との間に空隙ができて接触が不安定となり、そのた
めに、ヘッドの出力電圧を劣化させることになる。従来
のヘッドではテープ摺動面(2b)が同一の組成で構成
されていたので、特に、この曲率半径(R)は、ヘッド
の摩耗に伴って大きくなっていた。
本発明では、テープ摺動面(2b)に露出している強磁
性金属薄膜の積層体(前部コア)(2)は磁気ギャップ
(11)からテープ摺動方向に沿って離れるに従って、
摩耗し易い組成の層をなしているので、摩耗が進行して
も外側程、摩耗量が大きくなり、曲率半径(R)の変化
は従来よりも少なくなる。従って、この作用によっても
、ヘッドの出力電圧を常に一定に維持することができる
。
次に第1図に示した磁気ヘッドの製造工程を第8図〜第
15図に基づき説明する。まず、第8図に示す様に、M
n−Znフェライト、Ni−Znフェライト等の強磁性
酸化物からなる素材を切断して、−対の直方体の後部コ
ア(1〉を形成する0次に第9図に示す様に、後部コア
(1)の上面(1a)にスパッタリング等の真空薄膜形
成手法を用いて、強磁性金属薄膜の積層体(前部コア)
(2)を形成する。この強磁性金属薄膜の積層体(2)
(前部コア)は下層程、摩耗し易い組成とし、上層に行
くに従って、耐摩耗特性の良い組成となる様に積層する
。−例としてはFe−Ga−5i系合金において、最初
の第−層即ち、最下層をFe−Ga−5iのみの組成と
し、上記組成に層を重ねるのに従ってRuを添加し、最
終の層(即ち最上層)でRuを4%程度添加した組成と
する。前部コア(2)を厚み方向に見ると積層構造とな
っているがこれは、摩耗特性の異なる組成の材料を順次
スパッタリングにより重ねていったものであり、磁気回
路的には、積層膜間に非磁性層は存在せず、連続な一つ
のバルク材の特性を有している。
また上記の説明では、後部コア(1)に直接、スパッタ
リング等で前部コア(2)を形成したが、前もって前部
コア(2)を形成しておいて、後部コア(1)と前部コ
ア(2)をガラス等による溶着または、接着により接合
してもよい。
次に、第10図に示す様に、前部コア(2)の側面の外
側縁に、前部コア(2)の長手方向に沿って適当間隔ご
とに第1の溝(3)を複数個形成する。この第1の溝(
3)の長手方向は、前部コア(2)の長平方向とは、直
交する方向とし、溝(3)の底面は、前部コア(2)の
外側縁に向かうに従って深くなるように傾斜している。
この第1の溝(3)と溝(3)との間の台部(4)は、
その幅が所定の深さまでほぼ一定となっており、後にト
ラック部を構成するものである。
また、後部コア(1)の側面にこのコア(1)の長手方
向に沿ってガラス留めとなるV字形の第2の溝(5)を
研削加工により形成する。尚、第2の溝は、■字形以外
に丸溝、角溝等であってもよい。
次に第11図に示す様に、後部コア(1)と前部コア(
2)の溝を形成した面を上にしてガラス棒又はガラス板
等を置き、加熱して後に、冷却すると、第1の溝(3)
、第2の溝(5)内にカラス(6)が充填される。その
後、後部コア(1)と前部コア(2)上の余剰なガラス
を研削等で除去し、後部コア(1)と前部コア(2)の
表面を露出させる。この段階で形成されたブロックは、
磁気コア半体(9)となる。次に、第12図に示す様に
、磁気コア半体(9)の側面に磁気コア半体(9)に沿
う第3の溝(7)を研削加工し、各第1の溝(3)を分
断する。上記第3の溝(7)は、後でコイルを巻くため
の巻線窓となるものであり、この加工を完了した段階で
ブロックは、磁気コア半体(10)となる。
次に、第13図に示す様に磁気コア半体(9)の突合せ
面(9a)と磁気コア半体(1o)の突合せ面(10a
)をラッピング、ポリッシング等の加工により鏡面とし
、その後突合せ面(9a)と(10a)にギャップスペ
ーサとなる非磁性材(8)を蒸着、スパッタリング等の
手段により膜付けする。上記非磁性材の膜厚の和は、磁
気ギャップ(lりの幅にほぼ等しくする、 次に第14図に示す様に、磁気コア半体(9)と(10
)と突合せる。このとき、それぞれの磁気コア半体(9
)と(10)の台部(4)が互いに重なる位置に合せる
。その後、磁気コア半体(9)と(lO)を突合せた状
態で固定し、ガラス(6)が溶融するまで加熱し、冷却
する。この工程により磁気コア半体(9)と(10)は
接合される。次に合体された磁気コア半体(9)と(1
0)の前部コア(2)の上面(2a)を非磁性材(8)
が充填された付近が頂点となる様な円筒面を形成する様
に研削加工が施される。この工程で形成された面がテー
プ摺動面(2b)となり、突合せ面(9a)、(10a
)に直角な断面で見た場合にR形状を形成することにな
る。これは、磁気テープ(15)と磁気ギャップ(11
)を密着摺動させる為に形成されている。その後、合体
された磁気コア半体(9)と(10)は、コア切断線(
13)に沿って、切断されて、第1図に示した様な個別
の磁気ヘッド(12)となる。
なお上記実施例では、磁気ギャップ(11)に対して、
はぼ左右対称になる様に磁気コアを構成としているが、
第16図に示すように、巻線溝(第3の溝)(7)を加
工していない側のコアを切断してコア幅を短くして、第
17図に示した様に二つの磁気ヘッドを隣接して回転ド
ラム(14)に取りつける形態をとったいわゆるコンビ
ネーションタイプの磁気ヘッドの構成としてもよい。
また、上記実施例では、第2の溝(後部コア溝)(5)
を設けて、磁気コアを接合しているが、第1の溝(トラ
ック幅規制溝)(3)に充填したガラス(6)のみで磁
気コアを接合し、第2の溝を省略してもよい。
〔発明の効果〕
以上のように、本発明によれば、磁気ヘッドの磁気テー
プが摺動する部分のコアを磁気ギャップ深さ方向に積層
化した構成とし、テープ摺動面に近い層程、耐摩耗性を
有する組成の金属磁性薄膜とし、下層側になる程、摩耗
し易い組成となる様に構成したので、長時間使用した後
の摩耗が進行した状態であっても初期と同等の摩耗量が
得られるので、磁気ヘッド表面に変質層が生成しなくて
、ヘッドの再生電圧の低下のない信頼性の高いものが得
られる効果があると共に、摩耗によるテープ摺動面の曲
率の変化が少ないために、常に良好な磁気テープと磁気
ギャップとの接触が得られる効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例による磁気ヘッドの斜視図、
第2図は第1図の磁気ヘッドの使用後のJfiを禾オ斜
樽図、第3図は強磁性金属材料の摩耗特性を示すグラフ
、第4図は本発明による磁気ヘッドを回転ドラムに取付
けた状態を示す概略の平面図、第5図は第4図のものの
使用後の状態を示す図、第6図は磁気ヘッドの摩耗特性
を示すグラフ、第7図は磁気ヘッドの再生電圧の周波特
性を示すグラフ、第8図乃至第15図は本発明の一実施
例による磁気ヘッドの製造工程を示す説明図、第16図
は本発明の他の実施例による磁気ヘッドの斜視図、第1
7図は第16図に示した磁気ヘッドを回転ドラムに取付
けた状態を示す概略の平面図、第18図は従来の磁気ヘ
ッドの一例を示す斜視図、第19図は従来の磁気ヘッド
の他の例を示す図、第20図は第19図に示した磁気ヘ
ッドを回転ドラムに取付けた状態を示す概略の平面図、
第21図は第20図のものの使用後の状態を示す図であ
る。 図において(1)は強磁性酸化物(後部コア)(2)は
強磁性金属薄膜の積層体、(3〉は第1の溝(トラック
幅規制溝)、(4)は台部、(6)を士ガラス、(7)
は′f、3の溝(巻線溝)、(8)は非磁性体、(9)
、(10)は磁気コア半体、(11)は磁気ギャップ、
(2b)はテープ摺動面、(1a)は強磁性酸化物の上
面である。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)強磁性酸化物のブロックの上面に強磁性金属薄膜
    の積層体を各強磁性金属薄膜層ごとに、上層に至る程、
    耐摩耗性を有する組成となるように組成を変えて形成し
    、上記強磁性酸化物のブロックと上記強磁性金属薄膜の
    積層体を一体としてなる一対の磁気コア半体の対向面側
    の適所の一方または両側を切除して巻線窓を形成し、上
    記一対の磁気コア半体の両対向側面の上記巻線窓よりも
    前方部分の上記強磁性金属薄膜付近に凹部を形成して、
    一対の磁気コア半体の前面にトラック幅に対応する幅の
    台部を形成し、磁気ギャップとして作用する非磁性材を
    介して、上記凹部にガラスを充填して、上記一対の磁気
    コア半体を接合合体し、上記強磁性金属薄膜の積層体の
    上記磁気ギャップを有する面を曲面形状に形成し、上記
    曲面を磁気テープ摺動面とするように構成したことを特
    徴とする磁気ヘッド。
  2. (2)強磁性酸化物のブロック上面に上層に至る程耐摩
    耗性を有する組成となるように各強磁性金属薄膜の組成
    を層ごとに変えて強磁性金属薄膜の積層体を真空薄膜形
    成技術により形成して磁気コア半体を形成する第1の工
    程、上記磁気コア半体の上記強磁性金属薄膜の積層体に
    面する適当側面にトラック幅規制溝を複数形成し、トラ
    ック幅の台部を形成する第2の工程、上記トラック幅規
    制溝にガラスを充填する第3の行程、一方もしくは一対
    の磁気コア半体の適当側面に上記トラック幅規制溝を分
    断するように巻線窓用溝を形成する第4の工程、一対の
    上記磁気コア半体の上記トラック幅規制溝と上記巻線窓
    用溝を有する側面を研摩して鏡面となしギャップ対向面
    を得る第5の工程、少なくとも一方のギャップ対向面に
    非磁性材を付着させる第6の工程、一対の上記磁気コア
    半体を上記非磁性材を介して当接させて、ガラスを溶融
    の後固化して接合する第7の工程、接合された一対の上
    記磁気コア半体の上記強磁性金属薄膜の積層体の露出し
    た面を研摩して曲面形状に加工する第8の行程、上記第
    8の工程で得られた接合された一対の上記磁気コア半体
    を切断して個々のヘッドとする第9の工程を有すること
    を特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
JP32452289A 1989-12-13 1989-12-13 磁気ヘッドおよびその製造方法 Pending JPH03185608A (ja)

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