JPH03187010A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ハードディスク用等に適用される薄膜磁気ヘ
ッドに関する。

〔発明の概要〕

本発明は、薄膜磁気ヘッドにおいて、コイル導体を囲む
磁気回路を下部磁気コアと、夫々下部磁性コアに磁気的
に結合され下部磁気コアの面と平行する面に磁気ギャッ
プを有する１対の上部磁気コアとより構成し、１対の上
部磁気コアのギャップ形成部を他部のコア厚みより薄く
形成することよって、ヘッド効率の向上を図り、薄膜磁
気ヘッドの狭トラツク化を可能にしたものである。

〔従来の技術〕

一般に、ハードディスク用薄膜磁気ヘッドは、第６図Ａ
に示すように基１）上に磁性薄膜よりなる下部磁気コア
（２）を形成し、その上に絶縁膜（３）を介してコイル
導体（４）及び磁性薄膜より成る上部磁気コア（５）を
積層形成し、両磁気コア（２）及び（５）の先端部で磁
気ギャップｇを形成し、両磁気コア（２）及び（５）の
後端部を互に磁気的に結合して構成される（特開昭６３
−２９３１２号公報参照）。このような薄膜磁気ヘッド
（６）が第５図に示すように浮上スライダー（７）の後
部側面に磁気ギャップｇが磁気ディスク（８）の面に対
向するように付着される。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述の薄膜磁気ヘッド（６）において、磁気ディスり（
８）に記録された情報を再生するとき、薄膜磁気ヘッド
（６）を通る再生磁束（９）は第６図に示すように流れ
る。ギャップデプスｄが深い場合には、磁束（９）がコ
イル導体（４）に鎖交せず、磁気ギャップｇ近傍におい
て多くの磁束（９）がショートしてしまう。

この現象を防ぎ、ヘッド効率を上げるためにはギャップ
デプスクｄを小さくしなければならない。

近年、磁気記録の分野においては、高密度化に伴い磁気
ヘッドの狭トラック化、記録波長の短波長化が進んでい
る。上記薄膜磁気ヘッド（６）において、狭トラック化
、短波長化を実現するためにはギャップデプスｄを５μ
ｍ以下、例えば１μｍ程度にする必要がある。しかし、
ヘッド先端を研磨してギャップデプスｄを制御している
ために、このような短かいギャップデプスの薄膜磁気ヘ
ッドは製造困難であり歩留りが悪い。

本発明は、上述の点に鑑み、狭トランク化、記録波長の
短波長化を可能にした薄膜磁気ヘッドを提供するもので
ある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明に係る薄膜磁気ヘッドは、コイル導体（１４）を
囲む磁気回路を磁性薄膜からなる下部磁気コア（１２）
と、夫々下部磁気コア（１２）に磁気的に結合され下部
磁気コア（１２）の面と平行する面にギャップｇを有す
る１対の磁性薄膜からなる上部磁気コア（１５Ａ）及び
（１５Ｂ）とより構威し、１対の上部磁気コア（１５＾
）及び（１５Ｂ）のギャップ形成部（１７）をそのコア
厚みｄｏが他部のコア厚みｄ、より薄（（ｄｏｗｄｙ）
なるように形成して構成する。

〔作用〕

上述の本発明に係る薄膜磁気ヘッド（１１）においては
、１対の上部磁気コア（１５＾）及び（１５Ｂ）のギャ
ップ形成部（１７）のコア厚みｄｏがギャップデプスに
なる。即ちギャップ形成部（１７）の磁性薄膜の膜厚で
ギャップデプスが決まるので、ギャップデプス制御が容
易且つ確実となる。従って５μｍ以下例えば１μｍ程度
のギャップデプスも容易に得られる。また、ギャップ形
成部（１７）以外のコア厚みｄ、は厚いので、磁気コア
の磁気抵抗は小さい。

従って、ヘッド効率が向上し、上記浅いギャップデプス
をもつ狭トラツク薄膜磁気ヘッドの製造が可能となる。

さらに、コイル導体（１４）の磁気ギャップｇ直下での
巻装も可能となり、且つコイル導体（１４）としては両
上部磁気コア（１５Ａ）　（１５Ｂ）と下部磁気コア（
１２）との２つの磁気結合部（１９Ａ）及び（１９Ｂ）
のまわりを巻装可能となる。これにより、単位磁路長当
りのコイル巻き数を増すことができる。また磁気回路外
側をまわるコイル長が短かくなり従来型ヘッドに比べて
コイル抵抗の低域が図れる。

〔実施例〕

以下、第１図乃至第４図を参照して本発明に係る薄膜磁
気ヘッドの実施例を説明する。

本例の薄膜磁気ヘッド（１１）は、第１図及び第２図に
示すようにスライダー基板（７Ａ）の磁気ディスク面に
対向する面上に、軟磁性薄膜よりなる下部磁気コア（１
２）を被着形成し、この上に絶縁膜（１３）を介してコ
イル導体（１４）　（（１４Ａ）　（１４Ｂ）　）を形
成し、さらに絶縁膜（１３）を介して下部磁気コア（１
２）の面と平行する面に磁気ギャップｇを形成して、夫
々下部磁気コア（１２）と磁気的に結合する１対の上部
磁気コア（１５Ａ）及び（１５Ｂ）を積層形成して成る
。

即ち磁気回路〈１６）は下部磁気コア（１２）と１対の
上部磁気コア（１５Ａ）及び（１５Ｂ）とによりＩＩ威
される。

１対の上部磁気コア（１５Ａ）及び（１５Ｂ）は夫々平
面的にみてそのトラック幅Ｗを規定するギャップ形成部
（１７）とその後方の之より幅広の部分（１８）を有す
る形状をなすと共に、断面でみた場合にはギャップ形成
部（１７）のコア厚み（即ちギャップデプスに相当）ｄ
ｏが両上部磁気コア（１５Ａ）　（１５Ｂ）の他部のコ
ア厚みｄｌに比して薄くなるように形成する。本例では
ギャップ形成部（１７）のコア厚みｄｏを５μｍ以下と
し、他部のコア厚みｄ＋を５μｍより厚くする。

また、トラック幅Ｗは、１０μｍ以下、就中５μ−以下
とすることができる。なお、コア厚みｄｏのギャップ形
成部（１７）の長さＬが短かすぎると（即ちコア厚みｄ
ｌの部分が互に近づきすぎると）磁束の漏れが増し、ま
た長すぎると磁気コアの磁気抵抗が大きくなり、ヘッド
効率が低下する。従って、長さｌはコア厚みｄｏとトラ
ック幅Ｗとの兼合いで最適値に設定される。コイル導体
（１４Ａ）及び（１４Ｂ）は雨上部磁気コア（１５Ａ）
及び（１５Ｂ）に対応してその下部磁気コア（１２）と
の結合部（１９＾）及び（１９Ｂ）を夫々巻回するよう
に分割巻装される。

第４図に本薄膜磁気ヘッド（１１）をスライダー（７）
に付着した構成を示す。

次に、第３図を用いて上述の薄膜磁気ヘッド（１１〉の
製法の一例を説明する。第３図Ａに示すように基板（７
Ａ）上に軟磁性薄膜よりなる下部磁気コア（１２）、コ
イル導体（１４）　（（１４Ａ）　（１４Ｂ）　）及び
１対の第１層軟磁性薄膜（２１Ａ）　（２１Ｂ）を絶縁
ｌａｇ（１３）を介して積層形成する。第１層軟磁性薄
膜（２１Ａ）　（２１Ｂ）は、その後端部が下部磁気コ
ア（１２）と磁気的に結合すると共に、基板面と平行す
る面における両軟磁性膜（２１Ａ）及び（２１Ｂ）間の
ギャップ距離が大きくなるように（即ち長さｌとなるよ
うに）形成する。

次に、第３図Ｂに示すように第１層軟磁性膜（２１Ａ）
及び（２１Ｂ）上に２〜３μｎ＋厚の第２層軟磁性膜（
２２）を形成し、パターニングして一側の第１層軟磁性
膜（２１Ｂ）上のみ残し、その側面にギャップスペーサ
材（２３）を付着する。次に、同様に２〜３μｍ厚の第
３Ｎ軟磁性膜　（２４）を形成しく第３図Ｃ）、ギャッ
プスペーサ材（２３）を挟んで他側の第１層軟磁性膜（
２１Ａ）上のみに残るようにバターニングし、研磨等に
より平坦化して第１層軟磁性薄膜！　（２１Ａ）　、　
（２１Ｂ）及び磁気ギャップｇを形成する第２層１第３
層の軟磁性膜（２２）　、　（２４）よりなる上部磁気
コア（１５Ａ）及び（１５Ｂ）を形成して目的の薄膜磁
気ヘッド（１１）を作成する。

上述の薄膜磁気ヘッド（１１）によれば、下部磁気コア
（１２）の面と平行する面に磁気ギャップｇを有する構
成であるので、上部磁気コア（１５Ａ）　（１５Ｂ）の
ギャップ形成部（１７）のコア厚みｄｏがギャップデプ
スとなる。このギャップデプスｄ０は第３図の製法で示
すように第２層、第３層の軟磁性膜（２２）（２３）の
膜厚を制御することで決まるため、ギャップデプス制御
が容易となり、５μｍ以下例えば１μ川用度のギャップ
デプスも容易に得られる。

一方、ギャップ形成部（１７）のコア厚みｄｏに対して
他部のコア厚みｄ、を厚くしているので、磁気コアの磁
気抵抗は下がり、上記ギャップデプスが小さくできるこ
とに相まってヘッド効率（再生効率、記録効率）が向上
し、浅いギャップデプスをもつ狭トラツク薄膜磁気ヘッ
ドを歩留り良く製造することが可能となる。

また、コイル導体（１４）は磁気ギャップｇ直下にも形
成可能となり、且つ２つの磁気結合部（１９Ａ）及び（
１９Ｂ）の回りを分割して巻装することが可能となる。

これにより、単位磁路長当りのコイル巻き数を増やすこ
とができる。また、同じ巻き数の従来型ヘッドと比べれ
ば、磁気回路の外側をまわる部分のコイル長が短かくで
きるのでコイル抵抗が下がりコイルのＤＣノイズが低減
する。したがって、コイル出力の向上が図れる。

〔発明の効果〕

本発明の薄膜磁気ヘッドによれば、下部磁気コアの面と
平行する面に対の上部磁気コアで磁気ギャップを形成し
、そのギャップ形成部のコア厚みｄｏを他部のコア厚み
ｄｌより薄＜シて形成することにより、ギャップデプス
制御を容易にし、５μｍ以下例えば１μｍ程度のギャッ
プデプスを形成することができると共に、他部のコア厚
みｄｌによって磁気コア全体の磁気抵抗をも低減するこ
とができる。従って、ＩＯμｍ以下の狭トラツク薄膜磁
気ヘッドとしたときのヘッド効率を向上することができ
る。特に本構成をとることによって従来困難とされてい
た浅いギャップデプスをもつ磁気ギャップの形成が容易
となり、狭いトラック薄膜磁気ヘッドを歩留り良く製造
することができる。

さらに、単位磁路長当りのコイル巻き数を増すことがで
きると共に、同じコイル巻数とした場合に従来型ヘッド
に比べてコイル抵抗を減らすことができる。

本発明はハードディスク用の薄膜磁気ヘッドに通用して
好適ならしめるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は本発明に係る薄膜磁気ヘッドの平面
図及びその断面図、第３図は本発明に係る薄膜磁気ヘッ
ドの製法例を示す工程図、第４図は本発明薄膜磁気ヘッ
ドを浮上スライダーに付着した状態の構成図、第５図は
従来の薄膜磁気ヘッドを浮上スライダーに付着した状態
の構成図、第６図Ａ及びＢは従来の薄膜磁気ヘッドの構
成図である。 （７Ａ）はスライダー基板、（１１）は本発明の薄膜磁
気ヘッド、（１２）は下部磁気コア、（１３）は絶縁膜
、（１４）　（（１４Ａ）　（１４Ｂ）　）はコイル導
体、（１５＾）　（１５Ｂ）は上部磁気コア、（濁は磁
気ギャップ、　（ｄｏ）はギャップ形成部のコア厚み、
　（ｄｌ）は他部のコア厚みである。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 コイル導体を囲む磁気回路が、下部磁気コアと、夫々前
   記下部磁気コアに磁気的に結合され前記下部磁気コアの
   面と平行する面に磁気ギャップを有する１対の上部磁気
   コアとより構成され、 上記１対の上部磁気コアのギャップ形成部が他部のコア
   厚みより薄く形成されて成る薄膜磁気ヘッド。