JPH03187951A - 半導体含有ガラス - Google Patents
半導体含有ガラスInfo
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
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Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、半導体微結晶を含有してなる半導体含有ガラ
スに関する。本発明の半導体含有ガラスは、光スィッチ
や光波長変換素子等、光情報分野において用いられる大
きな非線形光学効果を有するガラス材料として利用され
る。
スに関する。本発明の半導体含有ガラスは、光スィッチ
や光波長変換素子等、光情報分野において用いられる大
きな非線形光学効果を有するガラス材料として利用され
る。
[背景技術]
半導体微結晶を含有したガラスは、
■光双安定性を有する、
■ps(ピコ秒)オーダーの光緩和時間を有する、
■量子サイズ効果が存在する、
等の点から、光スィッチや光波長変換素子等に利用可能
な非線形光学材料として注目されている。
な非線形光学材料として注目されている。
このような半導体微結晶を含有したガラス(以下、半導
体含有ガラスという)としては、1%程度のCdSX
S e (1−X)微結晶を含んだ多成分ガラスが一般
的に知られており、フィルター・ガラスとして市販され
ている。この半導体含有7シラスは、マトリックスとな
るガラスの原料と半導体の原料とを加熱してノブラス融
液とした後、このガラス融液を急冷、再加熱処理するこ
とにより製造される。
体含有ガラスという)としては、1%程度のCdSX
S e (1−X)微結晶を含んだ多成分ガラスが一般
的に知られており、フィルター・ガラスとして市販され
ている。この半導体含有7シラスは、マトリックスとな
るガラスの原料と半導体の原料とを加熱してノブラス融
液とした後、このガラス融液を急冷、再加熱処理するこ
とにより製造される。
しかしながら、このような溶融法による従来の半導体含
有ガラスは、ガラス融液の調製時に半導体原料の揮発が
生じるために半導体微結晶の含有濃度が低い、急冷後の
再加熱処理で半導体微結晶が無秩序に成長するために半
導体微結晶の大きさが均一でない、薄膜化することが困
難である等の点から、非線形光学材料として有用である
とは言い難い。
有ガラスは、ガラス融液の調製時に半導体原料の揮発が
生じるために半導体微結晶の含有濃度が低い、急冷後の
再加熱処理で半導体微結晶が無秩序に成長するために半
導体微結晶の大きさが均一でない、薄膜化することが困
難である等の点から、非線形光学材料として有用である
とは言い難い。
このため、半導体微結晶の含有濃度の向上、半導体微結
晶の大きさの均一化あるいは薄膜化等を目的として、ゾ
ル−ゲル法、CVD法、スパッタリング法、同時蒸着法
、リソグラフィー法、多孔質ガラスの利用等の、新しい
非晶質材料作製技術を用いた半導体含有ガラスの作製が
種々試みられている。
晶の大きさの均一化あるいは薄膜化等を目的として、ゾ
ル−ゲル法、CVD法、スパッタリング法、同時蒸着法
、リソグラフィー法、多孔質ガラスの利用等の、新しい
非晶質材料作製技術を用いた半導体含有ガラスの作製が
種々試みられている。
また同時に、種々の非線形光学特性および光学特性を有
する半導体含有ガラスを得るために、種々の半導体を用
いて、半導体含有シリカガラスを得る試みがなされてい
る。
する半導体含有ガラスを得るために、種々の半導体を用
いて、半導体含有シリカガラスを得る試みがなされてい
る。
これにともない、前述のCd S * S e <1−
x+微結晶を含有した半導体含有ガラスの他に、半導体
としてCuS、’ CdS、CuC1、Au、Si。
x+微結晶を含有した半導体含有ガラスの他に、半導体
としてCuS、’ CdS、CuC1、Au、Si。
Mn2O3、I n/GaAs5GaAsS I nP
SCdSeSZnSeSCdTeSCdSxS e (
1−x−y) T e y等の微結晶または微粒子を含
有した半導体含有ガラスが試作されている。
SCdSeSZnSeSCdTeSCdSxS e (
1−x−y) T e y等の微結晶または微粒子を含
有した半導体含有ガラスが試作されている。
[発明の目的]
本発明の目的は、半導体含有ガラスの現況に鑑み、新た
な半導体物質を含有した半導体含有ガラスを提供するこ
とにある。
な半導体物質を含有した半導体含有ガラスを提供するこ
とにある。
[発明の構成]
本発明は、上記目的を達成するためになされたものであ
り、本発明の半導体含有ガラスは、pbSe、PbTe
、ZnTeXCuBrおよびCuIからなる群より選択
される少なくとも1種の半導体微結晶を含有することを
特徴とするものである。
り、本発明の半導体含有ガラスは、pbSe、PbTe
、ZnTeXCuBrおよびCuIからなる群より選択
される少なくとも1種の半導体微結晶を含有することを
特徴とするものである。
以下本発明の詳細な説明する。
本発明の半導体含有ガラスは、上述のように、PbS、
Pb5eSPbTeSZnTeSCuBrおよびCuI
からなる群より選択された少なくとも1種の半導体微結
晶を含有するものであり、このときのガラスマトリック
スは、シリカガラスであっても多成分ガラスであっても
よい。
Pb5eSPbTeSZnTeSCuBrおよびCuI
からなる群より選択された少なくとも1種の半導体微結
晶を含有するものであり、このときのガラスマトリック
スは、シリカガラスであっても多成分ガラスであっても
よい。
半導体微結晶の含有率は特に限定されるものではない。
また、半導体微結晶の粒子径も特に限定されるものでは
ないが、粒子径が1000人を超えると光が散乱され透
過率が低下し、また量子サイズ効果が著しく低下する等
の理由により光学材料としては不適となるので、100
0Å以下、特に100Å以下であることが好ましい。
ないが、粒子径が1000人を超えると光が散乱され透
過率が低下し、また量子サイズ効果が著しく低下する等
の理由により光学材料としては不適となるので、100
0Å以下、特に100Å以下であることが好ましい。
本発明の半導体含有ガラスは、半導体微結晶の含有濃度
、半導体微結晶の大きさの均一性あるいは得られるガラ
スの形状の自由度等の点や、含有させることのできる半
導体の種類の制限がゆるい点等から、ゾル−ゲル法によ
り製造することが好ましい。
、半導体微結晶の大きさの均一性あるいは得られるガラ
スの形状の自由度等の点や、含有させることのできる半
導体の種類の制限がゆるい点等から、ゾル−ゲル法によ
り製造することが好ましい。
ゾル−ゲル法により本発明の半導体含有ガラスを製造す
るにあたっては、 ■ 半導体の原料となる金属元素および非金属元素を含
むゾル溶液、半導体が溶解したゾル溶液および還元する
ことにより半導体となる化合物が溶解したゾル溶液のい
ずれかのゾル溶液を調製し、このゾル溶液をゲル化、乾
燥してドライゲルを得、このドライゲルをガラス化する
前に熱処理することにより、あるいはガラス化の際の熱
処理により、半導体微結晶を析出させる、 ■ 半導体の原料となる金属元素および非金属元素のう
ちの一方を含むゾル溶液を調製し、このゾル溶液をウェ
ットゲルとした後、このウェットゲルに、半導体を構成
する金属元素および非金属元素のうちの残りの一方を含
む溶液を含ませてからドライゲルとし、このドライゲル
をガラス化する前に熱処理することにより、あるいはガ
ラス化の際の熱処理により、半導体微結晶を析出させる
、 ■ 半導体の原料となる金属元素および非金属元素のう
ちの一方を含むゾル溶液を調製し、ゲル化、乾燥して得
たドライゲルに、半導体を構成する金属元素および非金
属元素のうちの残りの一方を含む溶液を含ませた後、こ
のドライゲルをガラス化する前に熱処理することにより
、あるいはガラス化の際の熱処理により、半導体微結晶
を析出させる、 ■ ガラスマトリックスの組成に応じたゾル溶液をゲル
化させてウェットゲルとし、このウェットゲルに、半導
体の原料となる金属元素および非金属元素を含む溶液、
半導体が溶解した溶液または還元することにより半導体
となる化合物が溶解した溶液のいずれかの溶液を含ませ
てからドライゲルとし、このドライゲルをガラス化する
前に熱処理することにより、あるいはガラス化の際の熱
処理により、半導体微結晶を析出させる、 ■ ガラスマトリックスの組成に応じたゾル溶液をゲル
化させてドライゲルとし、このドライゲルに、半導体の
原料となる金属元素および非金属元素を含む溶液、半導
体が溶解した溶液または還元することにより半導体とな
る化合物が溶解した溶液のいずれかの溶液を含ませた後
、このドライゲルをガラス化する前に熱処理することに
より、あるいはガラス化の際の熱処理により、半導体微
結晶を析出させる、 等の公知の方法をとることができる。
るにあたっては、 ■ 半導体の原料となる金属元素および非金属元素を含
むゾル溶液、半導体が溶解したゾル溶液および還元する
ことにより半導体となる化合物が溶解したゾル溶液のい
ずれかのゾル溶液を調製し、このゾル溶液をゲル化、乾
燥してドライゲルを得、このドライゲルをガラス化する
前に熱処理することにより、あるいはガラス化の際の熱
処理により、半導体微結晶を析出させる、 ■ 半導体の原料となる金属元素および非金属元素のう
ちの一方を含むゾル溶液を調製し、このゾル溶液をウェ
ットゲルとした後、このウェットゲルに、半導体を構成
する金属元素および非金属元素のうちの残りの一方を含
む溶液を含ませてからドライゲルとし、このドライゲル
をガラス化する前に熱処理することにより、あるいはガ
ラス化の際の熱処理により、半導体微結晶を析出させる
、 ■ 半導体の原料となる金属元素および非金属元素のう
ちの一方を含むゾル溶液を調製し、ゲル化、乾燥して得
たドライゲルに、半導体を構成する金属元素および非金
属元素のうちの残りの一方を含む溶液を含ませた後、こ
のドライゲルをガラス化する前に熱処理することにより
、あるいはガラス化の際の熱処理により、半導体微結晶
を析出させる、 ■ ガラスマトリックスの組成に応じたゾル溶液をゲル
化させてウェットゲルとし、このウェットゲルに、半導
体の原料となる金属元素および非金属元素を含む溶液、
半導体が溶解した溶液または還元することにより半導体
となる化合物が溶解した溶液のいずれかの溶液を含ませ
てからドライゲルとし、このドライゲルをガラス化する
前に熱処理することにより、あるいはガラス化の際の熱
処理により、半導体微結晶を析出させる、 ■ ガラスマトリックスの組成に応じたゾル溶液をゲル
化させてドライゲルとし、このドライゲルに、半導体の
原料となる金属元素および非金属元素を含む溶液、半導
体が溶解した溶液または還元することにより半導体とな
る化合物が溶解した溶液のいずれかの溶液を含ませた後
、このドライゲルをガラス化する前に熱処理することに
より、あるいはガラス化の際の熱処理により、半導体微
結晶を析出させる、 等の公知の方法をとることができる。
半導体の原料となる金属元素を含むゾル溶液の調製は、
PbSZnおよびCuの各元素について、金属単体、金
属酸化物、金属ハロゲン化物、無機酸塩(硝酸塩、燐酸
塩等)、有機酸塩(酢酸塩、蓚酸塩等)、金属有機化合
物(金属アルコキシド、アルキル金属化合物等)、金属
錯体(キレート化合物等)等を用いて、そのまま、ある
いは水溶液、有機溶媒溶液または無機溶媒溶液とし、こ
れと、ゾル−ゲル法によりシリカガラスあるいは多成分
ガラスを製造する際に用いられるゾル溶液とを混合する
ことにより行うことができる。
PbSZnおよびCuの各元素について、金属単体、金
属酸化物、金属ハロゲン化物、無機酸塩(硝酸塩、燐酸
塩等)、有機酸塩(酢酸塩、蓚酸塩等)、金属有機化合
物(金属アルコキシド、アルキル金属化合物等)、金属
錯体(キレート化合物等)等を用いて、そのまま、ある
いは水溶液、有機溶媒溶液または無機溶媒溶液とし、こ
れと、ゾル−ゲル法によりシリカガラスあるいは多成分
ガラスを製造する際に用いられるゾル溶液とを混合する
ことにより行うことができる。
また、半導体の原料となる非金属元素を含むゾル溶液の
調製は、Se、Te5BrおよびIの各元素について、
単体、金属と反応して半導体を形成する無機化合物(セ
レン酸、亜セレン酸、二酸化セレン、四塩化セレン、塩
化セレニル、テルル酸、亜テルル酸、二酸化テルル、四
塩化テルル、セレン酸アンモニウム、テルル酸アンモニ
ウム、臭化水素酸、ヨウ化水素酸、臭化アンモニウム、
ヨウ化アンモニウム等)、金属と反応して半導体を形成
する有機化合物(セレノ尿素、ピアセレノール、セレン
酸エステル、テルル酸エステル、セレンアルコキシド、
テルルアルコキシド等)等を用いて、そのまま、あるい
は水溶液、有機溶媒溶液または無機溶媒溶液とし、これ
と、ゾル−ゲル法によりシリカガラスあるいは多成分ガ
ラスを製造する際に用いられるゾル溶液とを混合するこ
とにより行うことができる。
調製は、Se、Te5BrおよびIの各元素について、
単体、金属と反応して半導体を形成する無機化合物(セ
レン酸、亜セレン酸、二酸化セレン、四塩化セレン、塩
化セレニル、テルル酸、亜テルル酸、二酸化テルル、四
塩化テルル、セレン酸アンモニウム、テルル酸アンモニ
ウム、臭化水素酸、ヨウ化水素酸、臭化アンモニウム、
ヨウ化アンモニウム等)、金属と反応して半導体を形成
する有機化合物(セレノ尿素、ピアセレノール、セレン
酸エステル、テルル酸エステル、セレンアルコキシド、
テルルアルコキシド等)等を用いて、そのまま、あるい
は水溶液、有機溶媒溶液または無機溶媒溶液とし、これ
と、ゾル−ゲル法によりシリカガラスあるいは多成分ガ
ラスを製造する際に用いられるゾル溶液とを混合するこ
とにより行うことができる。
半導体が溶解したゾル溶液の調製は、ゾル−ゲル法によ
りシリカガラスあるいは多成分ガラスを製造する際に用
いられるゾル溶液中に、CuBr。
りシリカガラスあるいは多成分ガラスを製造する際に用
いられるゾル溶液中に、CuBr。
CuBr2、CuIまたはCuI2と、アセトニトリル
、アセチルアセトン、メタノール等の有機溶媒とを別々
に添加しして撹拌するか、上記ゾル溶液とCuBr、C
uI等の上記有機溶媒溶液とを混合することにより行う
ことができる。
、アセチルアセトン、メタノール等の有機溶媒とを別々
に添加しして撹拌するか、上記ゾル溶液とCuBr、C
uI等の上記有機溶媒溶液とを混合することにより行う
ことができる。
還元することにより半導体となる化合物が溶解したゾル
溶液の調製は、テルル酸亜鉛、セレン酸鉛、テルル酸鉛
、臭素酸鋼、ヨウ素酸銅、酢酸亜鉛とテルル粉末の混合
物、硝酸鉛と二酸化セレンの混合物、酢酸鉛と四塩化テ
ルルの混合物、硝酸銅と臭化アンモニウムの混合物、酢
酸銅とヨウ素の混合物等の水溶液、有機溶媒溶液あるい
は無機溶媒溶液を調製し、この溶液と、ゾル−ゲル法に
よりシリカガラスあるいは多成分ガラスを製造する際に
用いられるゾル溶液とを混合することにより行うことが
できる。
溶液の調製は、テルル酸亜鉛、セレン酸鉛、テルル酸鉛
、臭素酸鋼、ヨウ素酸銅、酢酸亜鉛とテルル粉末の混合
物、硝酸鉛と二酸化セレンの混合物、酢酸鉛と四塩化テ
ルルの混合物、硝酸銅と臭化アンモニウムの混合物、酢
酸銅とヨウ素の混合物等の水溶液、有機溶媒溶液あるい
は無機溶媒溶液を調製し、この溶液と、ゾル−ゲル法に
よりシリカガラスあるいは多成分ガラスを製造する際に
用いられるゾル溶液とを混合することにより行うことが
できる。
半導体の原料となる金属元素および非金属元素のうちの
一方を含むウェットゲルまたはドライゲルに、半導体を
構成する金属元素および非金属元素のうちの残りの一方
を含む溶液を含ませるにあたっては、上記ウェットゲル
またはドライゲルに前述の金属元素を含む溶液または非
金属元素を含む溶液を添加する方法、上記ウェットゲル
またはドライゲルを前述の金属元素を含む溶液または非
金属元素を含む溶液に浸漬する方法等をとることができ
る。
一方を含むウェットゲルまたはドライゲルに、半導体を
構成する金属元素および非金属元素のうちの残りの一方
を含む溶液を含ませるにあたっては、上記ウェットゲル
またはドライゲルに前述の金属元素を含む溶液または非
金属元素を含む溶液を添加する方法、上記ウェットゲル
またはドライゲルを前述の金属元素を含む溶液または非
金属元素を含む溶液に浸漬する方法等をとることができ
る。
ガラスマトリックスの組成に応じたゾル溶液をゲル化さ
せて得たウェットゲルまたはドライゲルに、半導体の原
料となる金属元素および非金属元素を含む溶液、半導体
が溶解した溶液または還元することにより半導体となる
化合物が溶解した溶液のいずれかの溶液を含ませるにあ
たっては、つ0 エツトゲルまたはドライゲルに上記溶液のいずれかを添
加する方法、ウェットゲルまたはドライゲルを上記溶液
のいずれかに浸漬する方法等をとることができる。なお
、半導体の原料となる金属元素および非金属元素を含む
溶液は、前述した半導体の原料となる金属元素を含む溶
液または、前述した半導体の原料となる非金属元素を含
む溶液と同様の要領で得ることができる。
せて得たウェットゲルまたはドライゲルに、半導体の原
料となる金属元素および非金属元素を含む溶液、半導体
が溶解した溶液または還元することにより半導体となる
化合物が溶解した溶液のいずれかの溶液を含ませるにあ
たっては、つ0 エツトゲルまたはドライゲルに上記溶液のいずれかを添
加する方法、ウェットゲルまたはドライゲルを上記溶液
のいずれかに浸漬する方法等をとることができる。なお
、半導体の原料となる金属元素および非金属元素を含む
溶液は、前述した半導体の原料となる金属元素を含む溶
液または、前述した半導体の原料となる非金属元素を含
む溶液と同様の要領で得ることができる。
本発明の半導体含有ガラスをゾル−ゲル法により得る際
のゾル溶液の組成は、半導体の原料となる金属元素およ
び/または非金属元素、半導体、または還元することに
より半導体となる化合物(以下、半導体も含めて半導体
微結晶原料という)を含ませる場合を除けば、前述のよ
うに限定されるものではなく、半導体含有ガラスの用途
あるいは半導体含有ガラスに要求される反射率、屈折率
、熱膨張率、耐候性等の特性に応じて、最適の組成を選
択することができる。
のゾル溶液の組成は、半導体の原料となる金属元素およ
び/または非金属元素、半導体、または還元することに
より半導体となる化合物(以下、半導体も含めて半導体
微結晶原料という)を含ませる場合を除けば、前述のよ
うに限定されるものではなく、半導体含有ガラスの用途
あるいは半導体含有ガラスに要求される反射率、屈折率
、熱膨張率、耐候性等の特性に応じて、最適の組成を選
択することができる。
すなわち、SiO2、Al2O3、ZrO2、Tio2
、B203 、P205 、PbO,Bad。
、B203 、P205 、PbO,Bad。
1
SrO1Li20、Na、、o、に20等の通常のガラ
ス構成酸化物に対応する金属アルコキシド(本明細書に
おいては、Siアルコキシドも金属アルコキシドに含め
るものとする)および/またはその誘導体(例えば、メ
チルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルトリエト
キシシラン、トリフルオロプロピルトリメトキシシラン 料とし、他に、金属、金属酸化物、金属ハロゲン化物、
金属無機酸塩(硝酸塩、燐酸塩等)、金属有機酸塩(酢
酸塩、蓚酸塩等)、金属有機化合物(アルキル金属化合
物等)、金属錯体等を必要に応じて原料として用いて、
これらの原料を目的とする半導体含有ガラスのガラスマ
トリックスの組成に応じて配合することにより、ゾル溶
液を調製することができる。
ス構成酸化物に対応する金属アルコキシド(本明細書に
おいては、Siアルコキシドも金属アルコキシドに含め
るものとする)および/またはその誘導体(例えば、メ
チルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルトリエト
キシシラン、トリフルオロプロピルトリメトキシシラン 料とし、他に、金属、金属酸化物、金属ハロゲン化物、
金属無機酸塩(硝酸塩、燐酸塩等)、金属有機酸塩(酢
酸塩、蓚酸塩等)、金属有機化合物(アルキル金属化合
物等)、金属錯体等を必要に応じて原料として用いて、
これらの原料を目的とする半導体含有ガラスのガラスマ
トリックスの組成に応じて配合することにより、ゾル溶
液を調製することができる。
このゾル溶液に半導体微結晶原料を含ませる場合の添加
時期は、金属アルコキシドおよび/またはその誘導体の
加水分解前、中、後のいずれでもよい。
時期は、金属アルコキシドおよび/またはその誘導体の
加水分解前、中、後のいずれでもよい。
ゾル溶液のウェットゲル化およびウェットゲル2
のドライゲル化は、ウェットゲルに半導体微結晶原料を
含ませる場合を除けば、通常のゾル−ゲル法における処
理と同様であり、例えば以下のようにして行うことがで
きる。
含ませる場合を除けば、通常のゾル−ゲル法における処
理と同様であり、例えば以下のようにして行うことがで
きる。
まず、ゾル溶液を加水分解して、ウェットゲル化させる
。加水分解は、金属アルコキシドおよび/またはその誘
導体と水とを混合し、撹拌することにより行われる。ま
た、Siアルコキシドおよび/またはその誘導体と他の
金属アルコキシドおよび/またはその誘導体とを用いる
場合には、加水分解速度の遅いSiアルコキシドおよび
/またはその誘導体を先に加水分解した後、他の金属ア
ルコキシドおよび/またはその誘導体を加えて混合し、
さらに加水分解することもできる。
。加水分解は、金属アルコキシドおよび/またはその誘
導体と水とを混合し、撹拌することにより行われる。ま
た、Siアルコキシドおよび/またはその誘導体と他の
金属アルコキシドおよび/またはその誘導体とを用いる
場合には、加水分解速度の遅いSiアルコキシドおよび
/またはその誘導体を先に加水分解した後、他の金属ア
ルコキシドおよび/またはその誘導体を加えて混合し、
さらに加水分解することもできる。
金属アルコキシドおよびその誘導体以外の原料は、金属
アルコキシドおよび/またはその誘導体の加水分解前、
中、後のいかんにかかわらず加えることができるが、添
加の時期はその原料の性質によって選択される。また、
金属アルコキシドお3ヒびその誘導体以外の原料は特に
溶液として添加3 する必要はなく、ゲル化以前のゾル溶液において溶解し
、均質となれば、添加の方法は問わない。
アルコキシドおよび/またはその誘導体の加水分解前、
中、後のいかんにかかわらず加えることができるが、添
加の時期はその原料の性質によって選択される。また、
金属アルコキシドお3ヒびその誘導体以外の原料は特に
溶液として添加3 する必要はなく、ゲル化以前のゾル溶液において溶解し
、均質となれば、添加の方法は問わない。
加水分解に使用される水の量は、主原料とする金属アル
コキシドおよび/またはその誘導体の種類にもよるが、
金属アルコキシドおよび/またはその誘導体のモル量の
2倍程度でよく、これを」1回る水を使用することによ
って、加水分解時間を短縮することもできる。さらに、
加水分解時に触媒として塩酸、硝酸、酢酸等の酸、また
はNH40H、ピリジン、ピペラジン等の塩基を使用す
ることで反応時間を短縮することができる。触媒の量は
、金属アルコキシドおよび/またはその誘導体1のモル
量のIXIO−3〜1倍程度とすればよい。
コキシドおよび/またはその誘導体の種類にもよるが、
金属アルコキシドおよび/またはその誘導体のモル量の
2倍程度でよく、これを」1回る水を使用することによ
って、加水分解時間を短縮することもできる。さらに、
加水分解時に触媒として塩酸、硝酸、酢酸等の酸、また
はNH40H、ピリジン、ピペラジン等の塩基を使用す
ることで反応時間を短縮することができる。触媒の量は
、金属アルコキシドおよび/またはその誘導体1のモル
量のIXIO−3〜1倍程度とすればよい。
加水分解は室温でも進行するが、40〜200°C程度
に加熱することで反応時間をより短縮することができる
。ただし、80℃を上回る温度では溶媒、水、金属アル
コキシドおよび/またはその誘導体の急激な蒸発が生じ
るので好ましくなく、その場合には、冷却器を使用し加
熱還流を行うことで溶媒等の蒸発を防ぐことができる。
に加熱することで反応時間をより短縮することができる
。ただし、80℃を上回る温度では溶媒、水、金属アル
コキシドおよび/またはその誘導体の急激な蒸発が生じ
るので好ましくなく、その場合には、冷却器を使用し加
熱還流を行うことで溶媒等の蒸発を防ぐことができる。
4
このような加水分解処理を施すことにより、ウェットゲ
ルを得ることができる。
ルを得ることができる。
ウェットゲルに半導体微結晶原料を含ませる場合は、前
述のように、このウェットゲルに半導体微結晶原料を含
む溶液を添加するか、このウニ、:/トゲルを半導体微
結晶原料を含む溶液に浸漬する。
述のように、このウェットゲルに半導体微結晶原料を含
む溶液を添加するか、このウニ、:/トゲルを半導体微
結晶原料を含む溶液に浸漬する。
ウェットゲルをドライゲル化する際の乾燥時間は、ウェ
ットゲルの大きさ、形状、残留する水分量、乾燥温度等
にもよるか、通常、10時間〜4週間程度でよい。その
後、徐々に温度を」二げ150℃まで加熱すると、残留
水分のより少ないドライゲルが得られる。加熱速度を速
くすると、ゲルの急激な収縮が起こり破壊する恐れがあ
るため、通常は10°C/時間以下で行われる。
ットゲルの大きさ、形状、残留する水分量、乾燥温度等
にもよるか、通常、10時間〜4週間程度でよい。その
後、徐々に温度を」二げ150℃まで加熱すると、残留
水分のより少ないドライゲルが得られる。加熱速度を速
くすると、ゲルの急激な収縮が起こり破壊する恐れがあ
るため、通常は10°C/時間以下で行われる。
ドライゲルに半導体微結晶原料を含ませる場合は、前述
のように、このドライゲルに半導体微結晶原料を含む溶
液を添加するか、このウニ・ソトゲルを半導体微結晶原
料を含む溶液に浸漬する。
のように、このドライゲルに半導体微結晶原料を含む溶
液を添加するか、このウニ・ソトゲルを半導体微結晶原
料を含む溶液に浸漬する。
本発明の半導体含有ガラスをゾル−ゲル法により製造す
る場合は、上述のようにして得られたド5 ライゲルをガラス化する前に熱処理することにより、あ
るいはガラス化の際の熱処理により、半導体微結晶を析
出させる。
る場合は、上述のようにして得られたド5 ライゲルをガラス化する前に熱処理することにより、あ
るいはガラス化の際の熱処理により、半導体微結晶を析
出させる。
ドライゲルをガラス化する前に熱処理して半導体微結晶
を析出させる場合は、大気中、酸化雰囲気中、不活性ガ
ス雰囲気中、あるいは還元雰囲気中で室温〜400°C
に加熱することが好ましい。
を析出させる場合は、大気中、酸化雰囲気中、不活性ガ
ス雰囲気中、あるいは還元雰囲気中で室温〜400°C
に加熱することが好ましい。
この後、大気中、酸化雰囲気中、不活性ガス雰囲気中、
あるいは還元雰囲気中雰囲気中で400〜1300°C
に加熱することにより、半導体微結晶か析出したドライ
ゲルがガラス化されて、本発明の半導体含有カラスを得
ることができる。ガラス化を400°C未満で行った場
合には、ゲル固化体が充分にガラス化されず、水分や有
機物が残存するため好ましくない。また、ガラス化を1
300°Cを超える温度で行った場合には、ガラスマト
リックスの結晶化や、半導体微結晶の粗大化、半導体微
結晶の酸化、揮発、分解等が起きるため好ましくない。
あるいは還元雰囲気中雰囲気中で400〜1300°C
に加熱することにより、半導体微結晶か析出したドライ
ゲルがガラス化されて、本発明の半導体含有カラスを得
ることができる。ガラス化を400°C未満で行った場
合には、ゲル固化体が充分にガラス化されず、水分や有
機物が残存するため好ましくない。また、ガラス化を1
300°Cを超える温度で行った場合には、ガラスマト
リックスの結晶化や、半導体微結晶の粗大化、半導体微
結晶の酸化、揮発、分解等が起きるため好ましくない。
ドライゲルをガラス化する際の熱処理により半6
導体微結晶を析出させる場合は、大気中、酸化雰囲気中
、不活性ガス雰囲気中、あるいは還元雰囲気中で400
〜1300℃に加熱することが好ましい。この熱処理に
より、半導体微結晶のJJi出およびドライゲルのガラ
ス化が起こり、本発明の半導体含有ガラスを得ることが
できる。
、不活性ガス雰囲気中、あるいは還元雰囲気中で400
〜1300℃に加熱することが好ましい。この熱処理に
より、半導体微結晶のJJi出およびドライゲルのガラ
ス化が起こり、本発明の半導体含有ガラスを得ることが
できる。
なお半導体微結晶の大きさは、半導体微結晶を析出させ
た後にガラス化する場合には、半導体微結晶を析出させ
る際の雰囲気、処理温度および処理時間、ならびにガラ
ス化の際の雰囲気、処理温度および処理時間に依存する
。また、ガラス化の際に半導体微結晶を析出させる場合
には、ガラス化の際の雰囲気、処理温度および処理時間
に依存する。したがって、これらの処理条件を適宜選択
することにより、任意の大きさの半導体微結晶を含有し
た半導体含有ガラスを得ることができる。
た後にガラス化する場合には、半導体微結晶を析出させ
る際の雰囲気、処理温度および処理時間、ならびにガラ
ス化の際の雰囲気、処理温度および処理時間に依存する
。また、ガラス化の際に半導体微結晶を析出させる場合
には、ガラス化の際の雰囲気、処理温度および処理時間
に依存する。したがって、これらの処理条件を適宜選択
することにより、任意の大きさの半導体微結晶を含有し
た半導体含有ガラスを得ることができる。
ゾル−ゲル法により本発明の半導体含有ガラスを製造す
る場合、得られる半導体含有ガラスの形状は、ゾル溶液
をゲル化させる際の容器の形状に大きく依存するため、
ゾル溶液をゲル化させる際7 の容器の形状を適宜選択することにより、所望形状の半
導体含有ガラスを得ることができる。また、ゾル溶液を
基板上に塗布した後にゲル化およびガラス化させること
により、薄膜形状の半導体含有ガラスを得ることができ
、ゾル溶液の基板上への塗布、ゲル化およびガラス化を
所望回数繰り返すことにより、厚膜形状の半導体含有ガ
ラスを得ることができる。
る場合、得られる半導体含有ガラスの形状は、ゾル溶液
をゲル化させる際の容器の形状に大きく依存するため、
ゾル溶液をゲル化させる際7 の容器の形状を適宜選択することにより、所望形状の半
導体含有ガラスを得ることができる。また、ゾル溶液を
基板上に塗布した後にゲル化およびガラス化させること
により、薄膜形状の半導体含有ガラスを得ることができ
、ゾル溶液の基板上への塗布、ゲル化およびガラス化を
所望回数繰り返すことにより、厚膜形状の半導体含有ガ
ラスを得ることができる。
[実施例]
以下、本発明の実施例について説明する。
実施例1
テトラエトキシシラン[S i (OC2Hs )
4 ]354.3gを、0.15モル/1塩酸(H(1
)水溶液30.0gとエタノール(C2H50H)76
.6gとの混合溶液に攪拌しながら徐々に滴下した。全
てのSi (OC2H5)4を加えた後、さらに1時間
攪拌して、S i (OC2H5) 4の部分加水分解
溶液460.8gを得た。この部分加水分解溶液に、酢
酸鉛三水塩[Pb (CH3C00)2・3H20]
2.786gをメタノール8 (CH30H)60gに溶解した溶液を加え、1時間攪
拌した。また、セレン(Se)0.552gを13モル
/11硝酸(HN O3)水溶液75゜0gに溶解した
溶液をH2090,OgとC2H6OH76,6gとで
希釈し、0−フェニレンジアミン[C6H4(NH2)
2 ] 7. 56gを加えて調製したピアセレノー
ル溶液を、上記ゾル液へ加えて1時間攪拌した。
4 ]354.3gを、0.15モル/1塩酸(H(1
)水溶液30.0gとエタノール(C2H50H)76
.6gとの混合溶液に攪拌しながら徐々に滴下した。全
てのSi (OC2H5)4を加えた後、さらに1時間
攪拌して、S i (OC2H5) 4の部分加水分解
溶液460.8gを得た。この部分加水分解溶液に、酢
酸鉛三水塩[Pb (CH3C00)2・3H20]
2.786gをメタノール8 (CH30H)60gに溶解した溶液を加え、1時間攪
拌した。また、セレン(Se)0.552gを13モル
/11硝酸(HN O3)水溶液75゜0gに溶解した
溶液をH2090,OgとC2H6OH76,6gとで
希釈し、0−フェニレンジアミン[C6H4(NH2)
2 ] 7. 56gを加えて調製したピアセレノー
ル溶液を、上記ゾル液へ加えて1時間攪拌した。
得られたゾル溶液をポリメチルペンテンやポリプロピレ
ン製の容器に移して放置し、ゲル化、乾燥させて、pb
元素およびSe元素を含むドライゲルを得た。
ン製の容器に移して放置し、ゲル化、乾燥させて、pb
元素およびSe元素を含むドライゲルを得た。
このドライゲルを電気管状炉に入れ、大気中400℃で
5時間加熱して残留有機物の酸化除去を行った後、雰囲
気を3%のH2と97%のN2とからなる混合ガスに置
換し、このH2/N2混合ガスを毎分50m1の割合で
流しながら、500℃で2時間加熱することにより、P
b5e微結晶の析出およびガラス化を図って、2重量%
のセレン化鉛(PbSe)を含有した5i02ガラスか
ら9 なる半導体含有ガラスを製造した。
5時間加熱して残留有機物の酸化除去を行った後、雰囲
気を3%のH2と97%のN2とからなる混合ガスに置
換し、このH2/N2混合ガスを毎分50m1の割合で
流しながら、500℃で2時間加熱することにより、P
b5e微結晶の析出およびガラス化を図って、2重量%
のセレン化鉛(PbSe)を含有した5i02ガラスか
ら9 なる半導体含有ガラスを製造した。
この半導体含有ガラスにおいては、X線回折測定によっ
てPb5e結晶のみが認められ、他の結晶物の存在はな
かった。また、この半導体含有ガラスの光吸収スペクト
ルの吸収端から求めたエネルギーギャップ値は0.99
eVであり、この値は大きなPb5e単結晶のエネルギ
ーギャップ値(0,25e V)に比べて0.74eV
も高いものであった。
てPb5e結晶のみが認められ、他の結晶物の存在はな
かった。また、この半導体含有ガラスの光吸収スペクト
ルの吸収端から求めたエネルギーギャップ値は0.99
eVであり、この値は大きなPb5e単結晶のエネルギ
ーギャップ値(0,25e V)に比べて0.74eV
も高いものであった。
半導体含有ガラスが大きな非線形性を持つためには、量
子サイズ効果の発現が大きく影響し、この量子サイズ効
果により、小さな粒子径の半導体はど大きなエネルギー
ギャップを持つようになる。
子サイズ効果の発現が大きく影響し、この量子サイズ効
果により、小さな粒子径の半導体はど大きなエネルギー
ギャップを持つようになる。
したがって、Pb5e単結晶のエネルギーギャップ値に
比べて0.74eVも高いエネルギーギャップ値を有し
ている本実施例の半導体含有ガラスにおいては、量子サ
イズ効果が顕著に現れていることがわかる。
比べて0.74eVも高いエネルギーギャップ値を有し
ている本実施例の半導体含有ガラスにおいては、量子サ
イズ効果が顕著に現れていることがわかる。
実施例2
Seに代えてテルル(Te)を用い、C6H40
(NH2)2を用いなかった以外は実施例1と同様にし
て、5重量%のテルル化鉛(PbTe)を含有した5i
02ガラスからなる半導体含有ガラスを製造した。
て、5重量%のテルル化鉛(PbTe)を含有した5i
02ガラスからなる半導体含有ガラスを製造した。
この半導体含有ガラスにおいては、X線回折測定によっ
てPbTe結晶のみが認められ、他の結晶物の存在はな
かった。さらに、実施例1と同様にしてPbTe結晶の
エネルギーギャップ値を求めたところ、1.23eVで
あった。このエネルギーギャップ値は、大きなPbTe
単結晶のエネルギーギャップ値(0,33e V)に比
べて0゜90eVも高く、量子サイズ効果が顕著に現れ
ていることがわかる。
てPbTe結晶のみが認められ、他の結晶物の存在はな
かった。さらに、実施例1と同様にしてPbTe結晶の
エネルギーギャップ値を求めたところ、1.23eVで
あった。このエネルギーギャップ値は、大きなPbTe
単結晶のエネルギーギャップ値(0,33e V)に比
べて0゜90eVも高く、量子サイズ効果が顕著に現れ
ていることがわかる。
実施例3
Pb (CH3Coo)2 ・3H20に代えて酢酸亜
鉛三水塩[Zn (CH3COO)2 ・2H20]を
用いた以外は実施例2と同様にして、5重量%のテルル
化亜鉛(ZnTe)を含有した5i02ガラスからなる
半導体含有ガラスを製造した。
鉛三水塩[Zn (CH3COO)2 ・2H20]を
用いた以外は実施例2と同様にして、5重量%のテルル
化亜鉛(ZnTe)を含有した5i02ガラスからなる
半導体含有ガラスを製造した。
この半導体含有ガラスにおいては、X線回折測1
定によってZnTe結晶のみが認められ、他の結晶物の
存在はなかった。さらに、実施例2と同様にしてZnT
e結晶のエネルギーギャップ値を求めたところ、2.5
5eVであった。このエネルギーギャップ値は、大きな
ZnTe単結晶のエネルギーギャップ値(2,26eV
)に比べて0゜29evも高く、量子サイズ効果が顕著
に現れていることがわかる。
存在はなかった。さらに、実施例2と同様にしてZnT
e結晶のエネルギーギャップ値を求めたところ、2.5
5eVであった。このエネルギーギャップ値は、大きな
ZnTe単結晶のエネルギーギャップ値(2,26eV
)に比べて0゜29evも高く、量子サイズ効果が顕著
に現れていることがわかる。
実施例4
実施例1と同様にしてSi(OC2H5)4の部分加水
分解溶液460.8gを得、この部分加水分解溶液に、
Zn(CH3C00)2・2H202,332gをCH
30H60gに溶解した溶液を加えて、1時間撹拌した
。その後、四塩化テルル(TeC14)2.792gを
C2H3oH100gに溶解した溶液を、3.5モル/
A HNO3水溶液171.2gとC2H60H76
,6gとで希釈することにより調製した溶液を入れて1
時間撹拌した。
分解溶液460.8gを得、この部分加水分解溶液に、
Zn(CH3C00)2・2H202,332gをCH
30H60gに溶解した溶液を加えて、1時間撹拌した
。その後、四塩化テルル(TeC14)2.792gを
C2H3oH100gに溶解した溶液を、3.5モル/
A HNO3水溶液171.2gとC2H60H76
,6gとで希釈することにより調製した溶液を入れて1
時間撹拌した。
得られたゾル溶液を実施例3と同様にしてゲル2
化、乾燥させてドライゲルを得、さらに実施例3と同様
に熱処理して、2重量%のZnTeを含有した5i02
ガラスからなる半導体含有ガラスを製造した。
に熱処理して、2重量%のZnTeを含有した5i02
ガラスからなる半導体含有ガラスを製造した。
この半導体含有ガラスにおいては、X線回折測定によっ
てZnTe結晶のみが認められ、他の結晶物の存在はな
かった。さらに、実施例3と同様にしてZnTe結晶の
エネルギーギャップ値を求めたところ、2.87eVで
あり、量子サイズ効果が顕著に現れていることがわかる
。
てZnTe結晶のみが認められ、他の結晶物の存在はな
かった。さらに、実施例3と同様にしてZnTe結晶の
エネルギーギャップ値を求めたところ、2.87eVで
あり、量子サイズ効果が顕著に現れていることがわかる
。
実施例5
実施例1と同様にして5i(OC2H6)、の部分加水
分解溶液460.8gを得、この部分加水分解溶液に、
臭化第一銅(CuBr)2.02gをアセトニトリル(
CH3CN)150.0gと共に加え、2時間攪拌を続
けた。
分解溶液460.8gを得、この部分加水分解溶液に、
臭化第一銅(CuBr)2.02gをアセトニトリル(
CH3CN)150.0gと共に加え、2時間攪拌を続
けた。
得られたゾル溶液を実施例1と同様にしてゲル化、乾燥
することにより、CuBrを含むドライゲルを得た。
することにより、CuBrを含むドライゲルを得た。
このドライゲルを大気中900°Cで5時間加熱3
処理することにより、CuBr微結晶の析出およびガラ
ス化を図って、2重量%のCuBrを含有したSin、
、ガラスからなる半導体含有ガラスを製造した。
ス化を図って、2重量%のCuBrを含有したSin、
、ガラスからなる半導体含有ガラスを製造した。
この半導体含有ガラスにおいては、X線回折測定によっ
てCuBr結晶のみが認められ、他の結晶物の存在はな
かった。
てCuBr結晶のみが認められ、他の結晶物の存在はな
かった。
実施例6
CuBrに代えてヨウ化第−銅(CuI)を用いた以外
は実施例5と同様にして、2重量%のCuIを含有した
5i02ガラスからなる半導体含有ガラスを製造した。
は実施例5と同様にして、2重量%のCuIを含有した
5i02ガラスからなる半導体含有ガラスを製造した。
この半導体含有ガラスにおいては、X線回折測定によっ
てCuI結晶のみが認められ、他の結晶物の存在はなか
った。
てCuI結晶のみが認められ、他の結晶物の存在はなか
った。
[発明の効果]
以上説明したように、本発明の半導体含有ガラスは、半
導体として新たな半導体を含有したガラスであり、かつ
本発明の半導体含有ガラスにおいては、大きな量子サイ
ズ効果が発現している。
導体として新たな半導体を含有したガラスであり、かつ
本発明の半導体含有ガラスにおいては、大きな量子サイ
ズ効果が発現している。
4
したがって本発明によれは、非線形光学材料として有用
な、新たな半導体含有ガラスが提供される。
な、新たな半導体含有ガラスが提供される。
Claims (1)
- (1)PbSe、PbTe、ZnTe、CuBrおよび
CuIからなる群より選択される少なくとも1種の半導
体微結晶を含有することを特徴とする半導体含有ガラス
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1326266A JP2813393B2 (ja) | 1989-12-15 | 1989-12-15 | 半導体含有ガラスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1326266A JP2813393B2 (ja) | 1989-12-15 | 1989-12-15 | 半導体含有ガラスの製造方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10163073A Division JPH11246237A (ja) | 1998-06-11 | 1998-06-11 | 半導体含有ガラス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03187951A true JPH03187951A (ja) | 1991-08-15 |
| JP2813393B2 JP2813393B2 (ja) | 1998-10-22 |
Family
ID=18185849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1326266A Expired - Lifetime JP2813393B2 (ja) | 1989-12-15 | 1989-12-15 | 半導体含有ガラスの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2813393B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03187952A (ja) * | 1989-12-18 | 1991-08-15 | Hoya Corp | 半導体微結晶含有多成分ガラス |
| KR101663924B1 (ko) * | 2015-06-08 | 2016-10-14 | 이은봉 | 고주파 유도 가열 보일러 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6479038A (en) * | 1987-09-18 | 1989-03-24 | Nippon Telegraph & Telephone | Nonlinear optical glass body and its production |
| JPH02271933A (ja) * | 1989-04-11 | 1990-11-06 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 非線形光学材料の製造方法 |
| JPH02307832A (ja) * | 1989-05-19 | 1990-12-21 | Res Dev Corp Of Japan | 半導体ドープガラス薄膜の製造方法 |
| JPH03141134A (ja) * | 1989-10-26 | 1991-06-17 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体微粒子を分散させた石英ガラスの製造方法 |
| JPH03174337A (ja) * | 1989-03-30 | 1991-07-29 | Asahi Glass Co Ltd | CuCl,CuBr超微粒子析出ガラス及びその製造法 |
-
1989
- 1989-12-15 JP JP1326266A patent/JP2813393B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6479038A (en) * | 1987-09-18 | 1989-03-24 | Nippon Telegraph & Telephone | Nonlinear optical glass body and its production |
| JPH03174337A (ja) * | 1989-03-30 | 1991-07-29 | Asahi Glass Co Ltd | CuCl,CuBr超微粒子析出ガラス及びその製造法 |
| JPH02271933A (ja) * | 1989-04-11 | 1990-11-06 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 非線形光学材料の製造方法 |
| JPH02307832A (ja) * | 1989-05-19 | 1990-12-21 | Res Dev Corp Of Japan | 半導体ドープガラス薄膜の製造方法 |
| JPH03141134A (ja) * | 1989-10-26 | 1991-06-17 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体微粒子を分散させた石英ガラスの製造方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03187952A (ja) * | 1989-12-18 | 1991-08-15 | Hoya Corp | 半導体微結晶含有多成分ガラス |
| KR101663924B1 (ko) * | 2015-06-08 | 2016-10-14 | 이은봉 | 고주파 유도 가열 보일러 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2813393B2 (ja) | 1998-10-22 |
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