JPH03187951A - 半導体含有ガラス - Google Patents

半導体含有ガラス

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JPH03187951A
JPH03187951A JP32626689A JP32626689A JPH03187951A JP H03187951 A JPH03187951 A JP H03187951A JP 32626689 A JP32626689 A JP 32626689A JP 32626689 A JP32626689 A JP 32626689A JP H03187951 A JPH03187951 A JP H03187951A
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Masayuki Nogami
正行 野上
Shinichi Ogawa
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、半導体微結晶を含有してなる半導体含有ガラ
スに関する。本発明の半導体含有ガラスは、光スィッチ
や光波長変換素子等、光情報分野において用いられる大
きな非線形光学効果を有するガラス材料として利用され
る。
[背景技術] 半導体微結晶を含有したガラスは、 ■光双安定性を有する、 ■ps(ピコ秒)オーダーの光緩和時間を有する、 ■量子サイズ効果が存在する、 等の点から、光スィッチや光波長変換素子等に利用可能
な非線形光学材料として注目されている。
このような半導体微結晶を含有したガラス(以下、半導
体含有ガラスという)としては、1%程度のCdSX 
S e (1−X)微結晶を含んだ多成分ガラスが一般
的に知られており、フィルター・ガラスとして市販され
ている。この半導体含有7シラスは、マトリックスとな
るガラスの原料と半導体の原料とを加熱してノブラス融
液とした後、このガラス融液を急冷、再加熱処理するこ
とにより製造される。
しかしながら、このような溶融法による従来の半導体含
有ガラスは、ガラス融液の調製時に半導体原料の揮発が
生じるために半導体微結晶の含有濃度が低い、急冷後の
再加熱処理で半導体微結晶が無秩序に成長するために半
導体微結晶の大きさが均一でない、薄膜化することが困
難である等の点から、非線形光学材料として有用である
とは言い難い。
このため、半導体微結晶の含有濃度の向上、半導体微結
晶の大きさの均一化あるいは薄膜化等を目的として、ゾ
ル−ゲル法、CVD法、スパッタリング法、同時蒸着法
、リソグラフィー法、多孔質ガラスの利用等の、新しい
非晶質材料作製技術を用いた半導体含有ガラスの作製が
種々試みられている。
また同時に、種々の非線形光学特性および光学特性を有
する半導体含有ガラスを得るために、種々の半導体を用
いて、半導体含有シリカガラスを得る試みがなされてい
る。
これにともない、前述のCd S * S e <1−
x+微結晶を含有した半導体含有ガラスの他に、半導体
としてCuS、’ CdS、CuC1、Au、Si。
Mn2O3、I n/GaAs5GaAsS I nP
SCdSeSZnSeSCdTeSCdSxS e (
1−x−y) T e y等の微結晶または微粒子を含
有した半導体含有ガラスが試作されている。
[発明の目的] 本発明の目的は、半導体含有ガラスの現況に鑑み、新た
な半導体物質を含有した半導体含有ガラスを提供するこ
とにある。
[発明の構成] 本発明は、上記目的を達成するためになされたものであ
り、本発明の半導体含有ガラスは、pbSe、PbTe
、ZnTeXCuBrおよびCuIからなる群より選択
される少なくとも1種の半導体微結晶を含有することを
特徴とするものである。
以下本発明の詳細な説明する。
本発明の半導体含有ガラスは、上述のように、PbS、
Pb5eSPbTeSZnTeSCuBrおよびCuI
からなる群より選択された少なくとも1種の半導体微結
晶を含有するものであり、このときのガラスマトリック
スは、シリカガラスであっても多成分ガラスであっても
よい。
半導体微結晶の含有率は特に限定されるものではない。
また、半導体微結晶の粒子径も特に限定されるものでは
ないが、粒子径が1000人を超えると光が散乱され透
過率が低下し、また量子サイズ効果が著しく低下する等
の理由により光学材料としては不適となるので、100
0Å以下、特に100Å以下であることが好ましい。
本発明の半導体含有ガラスは、半導体微結晶の含有濃度
、半導体微結晶の大きさの均一性あるいは得られるガラ
スの形状の自由度等の点や、含有させることのできる半
導体の種類の制限がゆるい点等から、ゾル−ゲル法によ
り製造することが好ましい。
ゾル−ゲル法により本発明の半導体含有ガラスを製造す
るにあたっては、 ■ 半導体の原料となる金属元素および非金属元素を含
むゾル溶液、半導体が溶解したゾル溶液および還元する
ことにより半導体となる化合物が溶解したゾル溶液のい
ずれかのゾル溶液を調製し、このゾル溶液をゲル化、乾
燥してドライゲルを得、このドライゲルをガラス化する
前に熱処理することにより、あるいはガラス化の際の熱
処理により、半導体微結晶を析出させる、 ■ 半導体の原料となる金属元素および非金属元素のう
ちの一方を含むゾル溶液を調製し、このゾル溶液をウェ
ットゲルとした後、このウェットゲルに、半導体を構成
する金属元素および非金属元素のうちの残りの一方を含
む溶液を含ませてからドライゲルとし、このドライゲル
をガラス化する前に熱処理することにより、あるいはガ
ラス化の際の熱処理により、半導体微結晶を析出させる
、 ■ 半導体の原料となる金属元素および非金属元素のう
ちの一方を含むゾル溶液を調製し、ゲル化、乾燥して得
たドライゲルに、半導体を構成する金属元素および非金
属元素のうちの残りの一方を含む溶液を含ませた後、こ
のドライゲルをガラス化する前に熱処理することにより
、あるいはガラス化の際の熱処理により、半導体微結晶
を析出させる、 ■ ガラスマトリックスの組成に応じたゾル溶液をゲル
化させてウェットゲルとし、このウェットゲルに、半導
体の原料となる金属元素および非金属元素を含む溶液、
半導体が溶解した溶液または還元することにより半導体
となる化合物が溶解した溶液のいずれかの溶液を含ませ
てからドライゲルとし、このドライゲルをガラス化する
前に熱処理することにより、あるいはガラス化の際の熱
処理により、半導体微結晶を析出させる、 ■ ガラスマトリックスの組成に応じたゾル溶液をゲル
化させてドライゲルとし、このドライゲルに、半導体の
原料となる金属元素および非金属元素を含む溶液、半導
体が溶解した溶液または還元することにより半導体とな
る化合物が溶解した溶液のいずれかの溶液を含ませた後
、このドライゲルをガラス化する前に熱処理することに
より、あるいはガラス化の際の熱処理により、半導体微
結晶を析出させる、 等の公知の方法をとることができる。
半導体の原料となる金属元素を含むゾル溶液の調製は、
PbSZnおよびCuの各元素について、金属単体、金
属酸化物、金属ハロゲン化物、無機酸塩(硝酸塩、燐酸
塩等)、有機酸塩(酢酸塩、蓚酸塩等)、金属有機化合
物(金属アルコキシド、アルキル金属化合物等)、金属
錯体(キレート化合物等)等を用いて、そのまま、ある
いは水溶液、有機溶媒溶液または無機溶媒溶液とし、こ
れと、ゾル−ゲル法によりシリカガラスあるいは多成分
ガラスを製造する際に用いられるゾル溶液とを混合する
ことにより行うことができる。
また、半導体の原料となる非金属元素を含むゾル溶液の
調製は、Se、Te5BrおよびIの各元素について、
単体、金属と反応して半導体を形成する無機化合物(セ
レン酸、亜セレン酸、二酸化セレン、四塩化セレン、塩
化セレニル、テルル酸、亜テルル酸、二酸化テルル、四
塩化テルル、セレン酸アンモニウム、テルル酸アンモニ
ウム、臭化水素酸、ヨウ化水素酸、臭化アンモニウム、
ヨウ化アンモニウム等)、金属と反応して半導体を形成
する有機化合物(セレノ尿素、ピアセレノール、セレン
酸エステル、テルル酸エステル、セレンアルコキシド、
テルルアルコキシド等)等を用いて、そのまま、あるい
は水溶液、有機溶媒溶液または無機溶媒溶液とし、これ
と、ゾル−ゲル法によりシリカガラスあるいは多成分ガ
ラスを製造する際に用いられるゾル溶液とを混合するこ
とにより行うことができる。
半導体が溶解したゾル溶液の調製は、ゾル−ゲル法によ
りシリカガラスあるいは多成分ガラスを製造する際に用
いられるゾル溶液中に、CuBr。
CuBr2、CuIまたはCuI2と、アセトニトリル
、アセチルアセトン、メタノール等の有機溶媒とを別々
に添加しして撹拌するか、上記ゾル溶液とCuBr、C
uI等の上記有機溶媒溶液とを混合することにより行う
ことができる。
還元することにより半導体となる化合物が溶解したゾル
溶液の調製は、テルル酸亜鉛、セレン酸鉛、テルル酸鉛
、臭素酸鋼、ヨウ素酸銅、酢酸亜鉛とテルル粉末の混合
物、硝酸鉛と二酸化セレンの混合物、酢酸鉛と四塩化テ
ルルの混合物、硝酸銅と臭化アンモニウムの混合物、酢
酸銅とヨウ素の混合物等の水溶液、有機溶媒溶液あるい
は無機溶媒溶液を調製し、この溶液と、ゾル−ゲル法に
よりシリカガラスあるいは多成分ガラスを製造する際に
用いられるゾル溶液とを混合することにより行うことが
できる。
半導体の原料となる金属元素および非金属元素のうちの
一方を含むウェットゲルまたはドライゲルに、半導体を
構成する金属元素および非金属元素のうちの残りの一方
を含む溶液を含ませるにあたっては、上記ウェットゲル
またはドライゲルに前述の金属元素を含む溶液または非
金属元素を含む溶液を添加する方法、上記ウェットゲル
またはドライゲルを前述の金属元素を含む溶液または非
金属元素を含む溶液に浸漬する方法等をとることができ
る。
ガラスマトリックスの組成に応じたゾル溶液をゲル化さ
せて得たウェットゲルまたはドライゲルに、半導体の原
料となる金属元素および非金属元素を含む溶液、半導体
が溶解した溶液または還元することにより半導体となる
化合物が溶解した溶液のいずれかの溶液を含ませるにあ
たっては、つ0 エツトゲルまたはドライゲルに上記溶液のいずれかを添
加する方法、ウェットゲルまたはドライゲルを上記溶液
のいずれかに浸漬する方法等をとることができる。なお
、半導体の原料となる金属元素および非金属元素を含む
溶液は、前述した半導体の原料となる金属元素を含む溶
液または、前述した半導体の原料となる非金属元素を含
む溶液と同様の要領で得ることができる。
本発明の半導体含有ガラスをゾル−ゲル法により得る際
のゾル溶液の組成は、半導体の原料となる金属元素およ
び/または非金属元素、半導体、または還元することに
より半導体となる化合物(以下、半導体も含めて半導体
微結晶原料という)を含ませる場合を除けば、前述のよ
うに限定されるものではなく、半導体含有ガラスの用途
あるいは半導体含有ガラスに要求される反射率、屈折率
、熱膨張率、耐候性等の特性に応じて、最適の組成を選
択することができる。
すなわち、SiO2、Al2O3、ZrO2、Tio2
 、B203 、P205 、PbO,Bad。
1 SrO1Li20、Na、、o、に20等の通常のガラ
ス構成酸化物に対応する金属アルコキシド(本明細書に
おいては、Siアルコキシドも金属アルコキシドに含め
るものとする)および/またはその誘導体(例えば、メ
チルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルトリエト
キシシラン、トリフルオロプロピルトリメトキシシラン 料とし、他に、金属、金属酸化物、金属ハロゲン化物、
金属無機酸塩(硝酸塩、燐酸塩等)、金属有機酸塩(酢
酸塩、蓚酸塩等)、金属有機化合物(アルキル金属化合
物等)、金属錯体等を必要に応じて原料として用いて、
これらの原料を目的とする半導体含有ガラスのガラスマ
トリックスの組成に応じて配合することにより、ゾル溶
液を調製することができる。
このゾル溶液に半導体微結晶原料を含ませる場合の添加
時期は、金属アルコキシドおよび/またはその誘導体の
加水分解前、中、後のいずれでもよい。
ゾル溶液のウェットゲル化およびウェットゲル2 のドライゲル化は、ウェットゲルに半導体微結晶原料を
含ませる場合を除けば、通常のゾル−ゲル法における処
理と同様であり、例えば以下のようにして行うことがで
きる。
まず、ゾル溶液を加水分解して、ウェットゲル化させる
。加水分解は、金属アルコキシドおよび/またはその誘
導体と水とを混合し、撹拌することにより行われる。ま
た、Siアルコキシドおよび/またはその誘導体と他の
金属アルコキシドおよび/またはその誘導体とを用いる
場合には、加水分解速度の遅いSiアルコキシドおよび
/またはその誘導体を先に加水分解した後、他の金属ア
ルコキシドおよび/またはその誘導体を加えて混合し、
さらに加水分解することもできる。
金属アルコキシドおよびその誘導体以外の原料は、金属
アルコキシドおよび/またはその誘導体の加水分解前、
中、後のいかんにかかわらず加えることができるが、添
加の時期はその原料の性質によって選択される。また、
金属アルコキシドお3ヒびその誘導体以外の原料は特に
溶液として添加3 する必要はなく、ゲル化以前のゾル溶液において溶解し
、均質となれば、添加の方法は問わない。
加水分解に使用される水の量は、主原料とする金属アル
コキシドおよび/またはその誘導体の種類にもよるが、
金属アルコキシドおよび/またはその誘導体のモル量の
2倍程度でよく、これを」1回る水を使用することによ
って、加水分解時間を短縮することもできる。さらに、
加水分解時に触媒として塩酸、硝酸、酢酸等の酸、また
はNH40H、ピリジン、ピペラジン等の塩基を使用す
ることで反応時間を短縮することができる。触媒の量は
、金属アルコキシドおよび/またはその誘導体1のモル
量のIXIO−3〜1倍程度とすればよい。
加水分解は室温でも進行するが、40〜200°C程度
に加熱することで反応時間をより短縮することができる
。ただし、80℃を上回る温度では溶媒、水、金属アル
コキシドおよび/またはその誘導体の急激な蒸発が生じ
るので好ましくなく、その場合には、冷却器を使用し加
熱還流を行うことで溶媒等の蒸発を防ぐことができる。
4 このような加水分解処理を施すことにより、ウェットゲ
ルを得ることができる。
ウェットゲルに半導体微結晶原料を含ませる場合は、前
述のように、このウェットゲルに半導体微結晶原料を含
む溶液を添加するか、このウニ、:/トゲルを半導体微
結晶原料を含む溶液に浸漬する。
ウェットゲルをドライゲル化する際の乾燥時間は、ウェ
ットゲルの大きさ、形状、残留する水分量、乾燥温度等
にもよるか、通常、10時間〜4週間程度でよい。その
後、徐々に温度を」二げ150℃まで加熱すると、残留
水分のより少ないドライゲルが得られる。加熱速度を速
くすると、ゲルの急激な収縮が起こり破壊する恐れがあ
るため、通常は10°C/時間以下で行われる。
ドライゲルに半導体微結晶原料を含ませる場合は、前述
のように、このドライゲルに半導体微結晶原料を含む溶
液を添加するか、このウニ・ソトゲルを半導体微結晶原
料を含む溶液に浸漬する。
本発明の半導体含有ガラスをゾル−ゲル法により製造す
る場合は、上述のようにして得られたド5 ライゲルをガラス化する前に熱処理することにより、あ
るいはガラス化の際の熱処理により、半導体微結晶を析
出させる。
ドライゲルをガラス化する前に熱処理して半導体微結晶
を析出させる場合は、大気中、酸化雰囲気中、不活性ガ
ス雰囲気中、あるいは還元雰囲気中で室温〜400°C
に加熱することが好ましい。
この後、大気中、酸化雰囲気中、不活性ガス雰囲気中、
あるいは還元雰囲気中雰囲気中で400〜1300°C
に加熱することにより、半導体微結晶か析出したドライ
ゲルがガラス化されて、本発明の半導体含有カラスを得
ることができる。ガラス化を400°C未満で行った場
合には、ゲル固化体が充分にガラス化されず、水分や有
機物が残存するため好ましくない。また、ガラス化を1
300°Cを超える温度で行った場合には、ガラスマト
リックスの結晶化や、半導体微結晶の粗大化、半導体微
結晶の酸化、揮発、分解等が起きるため好ましくない。
ドライゲルをガラス化する際の熱処理により半6 導体微結晶を析出させる場合は、大気中、酸化雰囲気中
、不活性ガス雰囲気中、あるいは還元雰囲気中で400
〜1300℃に加熱することが好ましい。この熱処理に
より、半導体微結晶のJJi出およびドライゲルのガラ
ス化が起こり、本発明の半導体含有ガラスを得ることが
できる。
なお半導体微結晶の大きさは、半導体微結晶を析出させ
た後にガラス化する場合には、半導体微結晶を析出させ
る際の雰囲気、処理温度および処理時間、ならびにガラ
ス化の際の雰囲気、処理温度および処理時間に依存する
。また、ガラス化の際に半導体微結晶を析出させる場合
には、ガラス化の際の雰囲気、処理温度および処理時間
に依存する。したがって、これらの処理条件を適宜選択
することにより、任意の大きさの半導体微結晶を含有し
た半導体含有ガラスを得ることができる。
ゾル−ゲル法により本発明の半導体含有ガラスを製造す
る場合、得られる半導体含有ガラスの形状は、ゾル溶液
をゲル化させる際の容器の形状に大きく依存するため、
ゾル溶液をゲル化させる際7 の容器の形状を適宜選択することにより、所望形状の半
導体含有ガラスを得ることができる。また、ゾル溶液を
基板上に塗布した後にゲル化およびガラス化させること
により、薄膜形状の半導体含有ガラスを得ることができ
、ゾル溶液の基板上への塗布、ゲル化およびガラス化を
所望回数繰り返すことにより、厚膜形状の半導体含有ガ
ラスを得ることができる。
[実施例] 以下、本発明の実施例について説明する。
実施例1 テトラエトキシシラン[S i  (OC2Hs ) 
4 ]354.3gを、0.15モル/1塩酸(H(1
)水溶液30.0gとエタノール(C2H50H)76
.6gとの混合溶液に攪拌しながら徐々に滴下した。全
てのSi (OC2H5)4を加えた後、さらに1時間
攪拌して、S i (OC2H5) 4の部分加水分解
溶液460.8gを得た。この部分加水分解溶液に、酢
酸鉛三水塩[Pb (CH3C00)2・3H20] 
2.786gをメタノール8 (CH30H)60gに溶解した溶液を加え、1時間攪
拌した。また、セレン(Se)0.552gを13モル
/11硝酸(HN O3)水溶液75゜0gに溶解した
溶液をH2090,OgとC2H6OH76,6gとで
希釈し、0−フェニレンジアミン[C6H4(NH2)
 2 ] 7. 56gを加えて調製したピアセレノー
ル溶液を、上記ゾル液へ加えて1時間攪拌した。
得られたゾル溶液をポリメチルペンテンやポリプロピレ
ン製の容器に移して放置し、ゲル化、乾燥させて、pb
元素およびSe元素を含むドライゲルを得た。
このドライゲルを電気管状炉に入れ、大気中400℃で
5時間加熱して残留有機物の酸化除去を行った後、雰囲
気を3%のH2と97%のN2とからなる混合ガスに置
換し、このH2/N2混合ガスを毎分50m1の割合で
流しながら、500℃で2時間加熱することにより、P
b5e微結晶の析出およびガラス化を図って、2重量%
のセレン化鉛(PbSe)を含有した5i02ガラスか
ら9 なる半導体含有ガラスを製造した。
この半導体含有ガラスにおいては、X線回折測定によっ
てPb5e結晶のみが認められ、他の結晶物の存在はな
かった。また、この半導体含有ガラスの光吸収スペクト
ルの吸収端から求めたエネルギーギャップ値は0.99
eVであり、この値は大きなPb5e単結晶のエネルギ
ーギャップ値(0,25e V)に比べて0.74eV
も高いものであった。
半導体含有ガラスが大きな非線形性を持つためには、量
子サイズ効果の発現が大きく影響し、この量子サイズ効
果により、小さな粒子径の半導体はど大きなエネルギー
ギャップを持つようになる。
したがって、Pb5e単結晶のエネルギーギャップ値に
比べて0.74eVも高いエネルギーギャップ値を有し
ている本実施例の半導体含有ガラスにおいては、量子サ
イズ効果が顕著に現れていることがわかる。
実施例2 Seに代えてテルル(Te)を用い、C6H40 (NH2)2を用いなかった以外は実施例1と同様にし
て、5重量%のテルル化鉛(PbTe)を含有した5i
02ガラスからなる半導体含有ガラスを製造した。
この半導体含有ガラスにおいては、X線回折測定によっ
てPbTe結晶のみが認められ、他の結晶物の存在はな
かった。さらに、実施例1と同様にしてPbTe結晶の
エネルギーギャップ値を求めたところ、1.23eVで
あった。このエネルギーギャップ値は、大きなPbTe
単結晶のエネルギーギャップ値(0,33e V)に比
べて0゜90eVも高く、量子サイズ効果が顕著に現れ
ていることがわかる。
実施例3 Pb (CH3Coo)2 ・3H20に代えて酢酸亜
鉛三水塩[Zn (CH3COO)2 ・2H20]を
用いた以外は実施例2と同様にして、5重量%のテルル
化亜鉛(ZnTe)を含有した5i02ガラスからなる
半導体含有ガラスを製造した。
この半導体含有ガラスにおいては、X線回折測1 定によってZnTe結晶のみが認められ、他の結晶物の
存在はなかった。さらに、実施例2と同様にしてZnT
e結晶のエネルギーギャップ値を求めたところ、2.5
5eVであった。このエネルギーギャップ値は、大きな
ZnTe単結晶のエネルギーギャップ値(2,26eV
)に比べて0゜29evも高く、量子サイズ効果が顕著
に現れていることがわかる。
実施例4 実施例1と同様にしてSi(OC2H5)4の部分加水
分解溶液460.8gを得、この部分加水分解溶液に、
Zn(CH3C00)2・2H202,332gをCH
30H60gに溶解した溶液を加えて、1時間撹拌した
。その後、四塩化テルル(TeC14)2.792gを
C2H3oH100gに溶解した溶液を、3.5モル/
A  HNO3水溶液171.2gとC2H60H76
,6gとで希釈することにより調製した溶液を入れて1
時間撹拌した。
得られたゾル溶液を実施例3と同様にしてゲル2 化、乾燥させてドライゲルを得、さらに実施例3と同様
に熱処理して、2重量%のZnTeを含有した5i02
ガラスからなる半導体含有ガラスを製造した。
この半導体含有ガラスにおいては、X線回折測定によっ
てZnTe結晶のみが認められ、他の結晶物の存在はな
かった。さらに、実施例3と同様にしてZnTe結晶の
エネルギーギャップ値を求めたところ、2.87eVで
あり、量子サイズ効果が顕著に現れていることがわかる
実施例5 実施例1と同様にして5i(OC2H6)、の部分加水
分解溶液460.8gを得、この部分加水分解溶液に、
臭化第一銅(CuBr)2.02gをアセトニトリル(
CH3CN)150.0gと共に加え、2時間攪拌を続
けた。
得られたゾル溶液を実施例1と同様にしてゲル化、乾燥
することにより、CuBrを含むドライゲルを得た。
このドライゲルを大気中900°Cで5時間加熱3 処理することにより、CuBr微結晶の析出およびガラ
ス化を図って、2重量%のCuBrを含有したSin、
、ガラスからなる半導体含有ガラスを製造した。
この半導体含有ガラスにおいては、X線回折測定によっ
てCuBr結晶のみが認められ、他の結晶物の存在はな
かった。
実施例6 CuBrに代えてヨウ化第−銅(CuI)を用いた以外
は実施例5と同様にして、2重量%のCuIを含有した
5i02ガラスからなる半導体含有ガラスを製造した。
この半導体含有ガラスにおいては、X線回折測定によっ
てCuI結晶のみが認められ、他の結晶物の存在はなか
った。
[発明の効果] 以上説明したように、本発明の半導体含有ガラスは、半
導体として新たな半導体を含有したガラスであり、かつ
本発明の半導体含有ガラスにおいては、大きな量子サイ
ズ効果が発現している。
4 したがって本発明によれは、非線形光学材料として有用
な、新たな半導体含有ガラスが提供される。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)PbSe、PbTe、ZnTe、CuBrおよび
    CuIからなる群より選択される少なくとも1種の半導
    体微結晶を含有することを特徴とする半導体含有ガラス
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