JPH03189908A - 磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
磁気ヘッド及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH03189908A JPH03189908A JP1330757A JP33075789A JPH03189908A JP H03189908 A JPH03189908 A JP H03189908A JP 1330757 A JP1330757 A JP 1330757A JP 33075789 A JP33075789 A JP 33075789A JP H03189908 A JPH03189908 A JP H03189908A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core
- magnetic film
- metal magnetic
- alloy
- sputtering
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、磁気記録媒体にデータを書き込んだり、磁気
記録媒体からデータを読みだしたりする磁気記録再生装
置に用いられる磁気ヘッド及びその製造方法に関するも
のである。
記録媒体からデータを読みだしたりする磁気記録再生装
置に用いられる磁気ヘッド及びその製造方法に関するも
のである。
従来の技術
第３図は従来の磁気ヘッドを示す斜視図である。第３図
において１は、フェライト等の酸化物磁性材料によって
構成されたＩ型のコア、２はコア１の上に形成された金
属磁性膜で、金属磁性膜２はＦｅ−Ａｌ−３ｔ合金をス
パッタリングする事によって形成されている。又金属磁
性膜２の膜厚は２００００Ａ程で形成される。３はフェ
ライト等の酸化物磁性材料によって構成されたコ字型の
コアで、コア３は金属磁性膜２に磁気ギャップとなる非
磁性物４を介して当接している。５はコア１とコア３に
わたって塗布された接合ガラス、６は巻線孔である。
において１は、フェライト等の酸化物磁性材料によって
構成されたＩ型のコア、２はコア１の上に形成された金
属磁性膜で、金属磁性膜２はＦｅ−Ａｌ−３ｔ合金をス
パッタリングする事によって形成されている。又金属磁
性膜２の膜厚は２００００Ａ程で形成される。３はフェ
ライト等の酸化物磁性材料によって構成されたコ字型の
コアで、コア３は金属磁性膜２に磁気ギャップとなる非
磁性物４を介して当接している。５はコア１とコア３に
わたって塗布された接合ガラス、６は巻線孔である。
以上の様に構成された磁気ヘッドの製造方法を説明する
。まずコア１の上に金属磁性膜２をＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合
金をスパッタリングする事によって形成する。次にコア
３の媒体対向面に二酸化けい素等をスパッタリングする
事により非磁性物４を形成する。次にコア３を金属磁性
膜２に非磁性物４を介して突き合わせる。次に巻線孔６
に棒状の接合ガラス５を配置し、６００℃の温度で接合
ガラス５を軟化させる。軟化した接合ガラス５はコア１
及びコア３にわたって付着し、コア１及びコア３を接合
させていた。
。まずコア１の上に金属磁性膜２をＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合
金をスパッタリングする事によって形成する。次にコア
３の媒体対向面に二酸化けい素等をスパッタリングする
事により非磁性物４を形成する。次にコア３を金属磁性
膜２に非磁性物４を介して突き合わせる。次に巻線孔６
に棒状の接合ガラス５を配置し、６００℃の温度で接合
ガラス５を軟化させる。軟化した接合ガラス５はコア１
及びコア３にわたって付着し、コア１及びコア３を接合
させていた。
発明が解決しようきする課題
しかしながら、前記従来の構成では接合ガラス５を軟化
させるために熱処理をすると、金属磁性膜２の中のＡＩ
がコア１を構成しているフェライトの中の酸素に引かれ
てフェライト内へ拡散する。するとＡＩがフェライトの
中の酸素と反応し、非磁性物が形成され、その結果、コ
ア１の金属磁性膜２近傍部分の磁気特性が劣化する。こ
れらの劣化した部分が疑似ギャップとして働き、再生出
力に疑似出力が出るという問題点を有していた。
させるために熱処理をすると、金属磁性膜２の中のＡＩ
がコア１を構成しているフェライトの中の酸素に引かれ
てフェライト内へ拡散する。するとＡＩがフェライトの
中の酸素と反応し、非磁性物が形成され、その結果、コ
ア１の金属磁性膜２近傍部分の磁気特性が劣化する。こ
れらの劣化した部分が疑似ギャップとして働き、再生出
力に疑似出力が出るという問題点を有していた。
本発明は前記従来の問題点を解決しようとするもので、
Ａ１がコアの方に拡散してコアの金属磁性膜近傍部分が
劣化するのを防止できる磁気ヘッド及びその製造方法を
提供する事を目的としている。
Ａ１がコアの方に拡散してコアの金属磁性膜近傍部分が
劣化するのを防止できる磁気ヘッド及びその製造方法を
提供する事を目的としている。
課題を解決するための手段
この目的を達成するために、コアの上に形成される金属
磁性膜の内で、コア近傍部分に酸素を含ませた。
磁性膜の内で、コア近傍部分に酸素を含ませた。
作 用
この構成により、金属磁性膜の中のＡＩが、金属磁性膜
の中の酸素に引き寄せられる。
の中の酸素に引き寄せられる。
実施例
第１図は本発明の一実施例における磁気ヘッドを示す図
である。第１図において１はコア、３はコア、４は非磁
性物、５は接合ガラス、６は巻線孔で、これらは従来の
構成と同じである。７はコア１の上に膜厚２００００Ａ
で形成された金属磁 ３ 性膜で、金属磁性膜７はＦｅ−ＡＬ−Ｓｉ合金をスパッ
タリングする事によって形成される。この時、金属磁性
膜７のコア１近傍部分すなわちコア１との界面から３０
００Ａまでの部分は酸素を含有している。
である。第１図において１はコア、３はコア、４は非磁
性物、５は接合ガラス、６は巻線孔で、これらは従来の
構成と同じである。７はコア１の上に膜厚２００００Ａ
で形成された金属磁 ３ 性膜で、金属磁性膜７はＦｅ−ＡＬ−Ｓｉ合金をスパッ
タリングする事によって形成される。この時、金属磁性
膜７のコア１近傍部分すなわちコア１との界面から３０
００Ａまでの部分は酸素を含有している。
以上の様に構成された磁気ヘッドの製造方法を説明する
。
。
まずコアｌの上に、Ａｒが９７流量％で、酸素が３流量
％の雰囲気中でＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金をスパッタリング
して金属磁性膜７の初期膜を膜圧３０００Ａで形成する
。その後に初期膜の上にＡｒのみの雰囲気中でＦｅ−Ａ
ｌ−Ｓｉ合金をスパッタリングする事によって膜厚が２
００００Ａになるまで積層し、金属磁性膜７を形成する
。次にコア３の媒体対向面に二酸化けい素等をスパッタ
リングする事により非磁性物４を形成する。次にコア３
を金属磁性膜２に非磁性物４を介して突き合わせる。次
に巻線孔６に棒状の接合ガラス５を配置し、６００℃の
温度で接合ガラス５を軟化させる。軟化した接合ガラス
５はコア１及びコア − ３にわたって付着し、コアｌ及びコア３を接合する。
％の雰囲気中でＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金をスパッタリング
して金属磁性膜７の初期膜を膜圧３０００Ａで形成する
。その後に初期膜の上にＡｒのみの雰囲気中でＦｅ−Ａ
ｌ−Ｓｉ合金をスパッタリングする事によって膜厚が２
００００Ａになるまで積層し、金属磁性膜７を形成する
。次にコア３の媒体対向面に二酸化けい素等をスパッタ
リングする事により非磁性物４を形成する。次にコア３
を金属磁性膜２に非磁性物４を介して突き合わせる。次
に巻線孔６に棒状の接合ガラス５を配置し、６００℃の
温度で接合ガラス５を軟化させる。軟化した接合ガラス
５はコア１及びコア − ３にわたって付着し、コアｌ及びコア３を接合する。
第２図はスパッタリング時の雰囲気中の酸素の濃度と、
その雰囲気の中でＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金をスパッタリン
グしてフェライト基板の上に形成した金属磁性膜の保磁
力を示すグラフである。横軸は雰囲気中の酸素の濃度で
、縦軸は金属磁性膜の保磁力である。第２図かられかる
ように酸素濃度が２流量％から４流量％の間では金属磁
性膜の保磁力が１．０程であり、他に比べて低い事がわ
かる。従って優れた磁気特性を得る事ができる事がわか
る。
その雰囲気の中でＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金をスパッタリン
グしてフェライト基板の上に形成した金属磁性膜の保磁
力を示すグラフである。横軸は雰囲気中の酸素の濃度で
、縦軸は金属磁性膜の保磁力である。第２図かられかる
ように酸素濃度が２流量％から４流量％の間では金属磁
性膜の保磁力が１．０程であり、他に比べて低い事がわ
かる。従って優れた磁気特性を得る事ができる事がわか
る。
以上の様に金属磁性膜７のコア１近傍部分に酸素を含ま
せる事によって、金属磁性膜７の中の酸素がＡ１を引つ
ける様になるので、ＡＩが金属磁性膜７のコア１近傍部
分に集まって（る事はなくしかも金属磁性膜７の中のＡ
Ｉがコア１の方に拡散しにくくなる。従ってコア１の金
属磁性膜近傍部分にＡＩと酸素が結合して形成される非
磁性物が形成されないので、疑似ギャップが発生する事
はな（、再生出力の中に疑似出力がでなくなる。
せる事によって、金属磁性膜７の中の酸素がＡ１を引つ
ける様になるので、ＡＩが金属磁性膜７のコア１近傍部
分に集まって（る事はなくしかも金属磁性膜７の中のＡ
Ｉがコア１の方に拡散しにくくなる。従ってコア１の金
属磁性膜近傍部分にＡＩと酸素が結合して形成される非
磁性物が形成されないので、疑似ギャップが発生する事
はな（、再生出力の中に疑似出力がでなくなる。
またＡｒが９８〜９６流量％、酸素が２〜４流量％の雰
囲気中でＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金をスパッタリングする事
によって金属磁性膜を形成すると、保磁力が小さくなり
、磁気特性が向上する。
囲気中でＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金をスパッタリングする事
によって金属磁性膜を形成すると、保磁力が小さくなり
、磁気特性が向上する。
発明の効果
本発明はコアの上に形成される金属磁性膜の内で、コア
近傍部分に酸素を含ませた事により、金属磁性膜の中の
ＡＩが、金属磁性膜の中の酸素に引き寄せられるので、
Ａ１がコアの中に拡散しにく（なり、コアと金属磁性膜
の界面付近の磁気特性の劣化を防止でき、疑似ギャップ
の発生を防止でき、再生出力に疑似出力が発生しない。
近傍部分に酸素を含ませた事により、金属磁性膜の中の
ＡＩが、金属磁性膜の中の酸素に引き寄せられるので、
Ａ１がコアの中に拡散しにく（なり、コアと金属磁性膜
の界面付近の磁気特性の劣化を防止でき、疑似ギャップ
の発生を防止でき、再生出力に疑似出力が発生しない。
第１図は本発明の一実施例における磁気ヘッドを示す斜
視図、第２図はスパッタリング時の雰囲気中の酸素の濃
度き、その雰囲気の中でＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金をスパッ
タリングしてフェライト基板の上に形成した金属磁性膜
の保磁力を示すグラフ、第３図は従来の磁気ヘッドを示
す斜視図である。
視図、第２図はスパッタリング時の雰囲気中の酸素の濃
度き、その雰囲気の中でＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金をスパッ
タリングしてフェライト基板の上に形成した金属磁性膜
の保磁力を示すグラフ、第３図は従来の磁気ヘッドを示
す斜視図である。
Claims (3)
- （１）酸化物磁性材料によって構成されたコアと、前記
コアの上にＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金によって形成されると
ともに、前記コア近傍には酸素を含有する金属磁性膜と
、前記金属磁性膜に磁気ギャップとなる非磁性物を介し
て突き合わせた他のコアとを備えた事を特徴とする磁気
ヘッド。 - （２）酸化物磁性材料によって構成されたコアの上に、
酸素と不活性ガスの混合雰囲気中でＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合
金をスパッタリングする事によって第１の金属磁性膜を
形成し、前記第１の金属磁性膜の上に不活性ガスの雰囲
気中でＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金をスパッタリングする事に
よって第２の金属磁性膜を形成し、前記第２の金属磁性
膜に他のコアを磁気ギャップとなる非磁性物を介して突
き合わせる事を特徴とする磁気ヘッドの製造方法。 - （３）混合雰囲気を酸素が２〜４流量％、不活性ガスが
９８〜９６流量％にした事を特徴とする請求項第２項記
載の磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1330757A JPH03189908A (ja) | 1989-12-19 | 1989-12-19 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1330757A JPH03189908A (ja) | 1989-12-19 | 1989-12-19 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03189908A true JPH03189908A (ja) | 1991-08-19 |
Family
ID=18236209
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1330757A Pending JPH03189908A (ja) | 1989-12-19 | 1989-12-19 | 磁気ヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03189908A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19980015470A (ko) * | 1996-08-21 | 1998-05-25 | 김광호 | 하드디스크 드라이버에 사용되는 자기헤드의 제조공정 |
-
1989
- 1989-12-19 JP JP1330757A patent/JPH03189908A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR19980015470A (ko) * | 1996-08-21 | 1998-05-25 | 김광호 | 하드디스크 드라이버에 사용되는 자기헤드의 제조공정 |
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