JPH0320452U - - Google Patents
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- JPH0320452U JPH0320452U JP7924289U JP7924289U JPH0320452U JP H0320452 U JPH0320452 U JP H0320452U JP 7924289 U JP7924289 U JP 7924289U JP 7924289 U JP7924289 U JP 7924289U JP H0320452 U JPH0320452 U JP H0320452U
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- layer
- insulating film
- metal film
- fuse element
- layer metal
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- 238000009966 trimming Methods 0.000 claims description 7
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
Landscapes
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す半導体装置の
フユーズ素子を含むトリミング抵抗部の平面図、
第２図は第１図のＢ−Ｂ部分の断面図、第３図は
溶断電流と金属膜配線との関係を示す図、第４図
は従来の半導体装置のフユーズ素子を含むトリミ
ング抵抗部の平面図、第５図は第４図のＡ−Ａ部
分の断面図、第６図は同じくそのトリミング回路
を示す図である。 １０……半導体基板、１１……トリミング抵抗
、１２……フユーズ素子、１３……一層目金属膜
配線、１４……溶断部、１５……二層目金属膜配
線、１６……層間絶縁膜、１７……有機絶縁膜層
、１８……無機絶縁膜層。
フユーズ素子を含むトリミング抵抗部の平面図、
第２図は第１図のＢ−Ｂ部分の断面図、第３図は
溶断電流と金属膜配線との関係を示す図、第４図
は従来の半導体装置のフユーズ素子を含むトリミ
ング抵抗部の平面図、第５図は第４図のＡ−Ａ部
分の断面図、第６図は同じくそのトリミング回路
を示す図である。 １０……半導体基板、１１……トリミング抵抗
、１２……フユーズ素子、１３……一層目金属膜
配線、１４……溶断部、１５……二層目金属膜配
線、１６……層間絶縁膜、１７……有機絶縁膜層
、１８……無機絶縁膜層。
Claims (1)
- 半導体基板中に組みこまれたトリミング抵抗と
、トリミング時に溶断されるフユーズ素子とを備
えた半導体装置において、前記トリミング抵抗と
フユーズ素子とが一層目金属膜配線で結線され、
前記フユーズ素子の溶断部が二層目金属膜配線で
形成され、該二層目金属膜配線と一層目金属膜配
線との間には、これらの層間絶縁を図るための層
間絶縁膜が形成され、該層間絶縁膜は、上層の有
機絶縁膜層と、下層の無機絶縁膜層とからなる二
層構造とされたことを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7924289U JPH0723967Y2 (ja) | 1989-07-04 | 1989-07-04 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7924289U JPH0723967Y2 (ja) | 1989-07-04 | 1989-07-04 | 半導体装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0320452U true JPH0320452U (ja) | 1991-02-28 |
| JPH0723967Y2 JPH0723967Y2 (ja) | 1995-05-31 |
Family
ID=31623226
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7924289U Expired - Lifetime JPH0723967Y2 (ja) | 1989-07-04 | 1989-07-04 | 半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0723967Y2 (ja) |
-
1989
- 1989-07-04 JP JP7924289U patent/JPH0723967Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0723967Y2 (ja) | 1995-05-31 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |