JPH032048B2 - - Google Patents

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JPH032048B2
JPH032048B2 JP60119084A JP11908485A JPH032048B2 JP H032048 B2 JPH032048 B2 JP H032048B2 JP 60119084 A JP60119084 A JP 60119084A JP 11908485 A JP11908485 A JP 11908485A JP H032048 B2 JPH032048 B2 JP H032048B2
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JP
Japan
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resin
mold
runner
cross
sectional area
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JP60119084A
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Osamu Nakagawa
Koji Yanagya
Ikuo Sasaki
Toshinobu Banjo
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Mitsubishi Electric Corp
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Mitsubishi Electric Corp
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/17Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C45/26Moulds
    • B29C45/27Sprue channels ; Runner channels or runner nozzles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/17Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C45/26Moulds
    • B29C45/27Sprue channels ; Runner channels or runner nozzles
    • B29C45/2701Details not specific to hot or cold runner channels
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C45/00Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
    • B29C45/02Transfer moulding, i.e. transferring the required volume of moulding material by a plunger from a "shot" cavity into a mould cavity

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体非気密封止の中心技術である
熱硬化性樹脂によりトランスフアーモールド方式
において使用される半導体樹脂封止用金型の構造
に関するものである。 〔従来の技術〕 従来、トランスフアーモールド方式において使
用される半導体樹脂封止用金型は、中央にトラン
スフアーポツトから射出シリンダーにより封止用
樹脂が導出される起点となるカル部と、該カル部
より製品となる部位であるキヤビテイ部に至る経
路に相当するランナー部及びゲート部と、製品と
なるキヤビテイ部とにより基本的に構成されてい
る。 第5図は下型にカル部、ランナー部、ゲート部
が存在する半導体樹脂封止用金型を示し、図にお
いて、1はカル部、2はランナー部、3はゲート
部、4はキヤビテイ部である。 第6図は第5図のA−A線にそつた断面図、第
7図は同じくB−B線にそつた断面図、第8図は
同じくC−C線にそつた断面図を示す。 次に熱硬化性樹脂カル部1よりキヤビテイ部4
に導入される動作について説明する。 トランスフアーポツトに投入された樹脂は、
150〜190℃の温度に加熱された金型に50〜100
Kg/cm2の射出圧力、5〜10mm/secの射出速度で
注入される。注入された樹脂は金型よりの熱を受
容しながら、溶融・反応硬化を行なう。従来の半
導体樹脂封止用金型では樹脂が金型温度に相当す
る温度に達して均一に溶融するためのポイントは
ゲート部2を経過した後にある。 第9図にある温度x℃における樹脂の粘度−時
間特性の代表例を示す。図において、領域1は温
度x℃における完全溶融状態となる迄の樹脂溶融
領域、領域2は樹脂の硬化反応が始まり硬化が進
行する樹脂硬化領域を示す。 〔発明が解決しようとする問題点〕 従来の半導体樹脂封止用金型は以上のように構
成されているので、樹脂が流動過程において金型
温度に達して、該温度における均一溶融状態とな
るのが1つのポイント、即ちゲート部のみであ
り、樹脂の均一溶融状態において達成される製品
の成形の状態の安定化、特に成形物内部に存在す
るボイド(内部ボイド)の低減に限界があり、成
形条件や樹脂特性の検討によつても内部ボイドを
なくする、あるいは一定のレベルを再現すること
において多くの問題点をはらんでいた。 本発明は上記の様な問題点を解消するためにな
されたものであり、製品の成形状態を安定化する
こと、特に成形物中の内部ボイドを低減すること
が可能となる半導体樹脂封止用金型を提供するこ
とを目的とする。 〔問題点を解決するための手段〕 本発明に係る半導体樹脂封止用金型は、ランナ
ー部途中に樹脂流動面積が40%以上小さくなる絞
りブロツク部を、該ランナー部が存在する金型と
相対する金型に、例えば下型にランナー部がある
場合は上型に設けたものである。 〔作用〕 本発明においては、ランナー部が存在する金型
と相対する金型に設けた絞りブロツク部は、樹脂
流動面積を40%以上低減することから、ランナー
部とゲート部との2つのポイントにて樹脂が金型
温度に達して、樹脂の均一溶融状態が達成され、
製品の成形状態は安定化し特に成形物の内部ボイ
ドが低減される。 〔実施例〕 以下発明の一実施例について詳細に説明する。 第1図は本発明の一実施例による半導体樹脂封
止用金型の平面図を示し、図中、第5図と同一符
号は同一部分を示す。図において5はランナー部
2の樹脂流動断面積が40%以上小さくなるように
した突出部位であり、これは上型に追加した下型
ランナー形状に沿つた突出部(絞りブロツク部)
により形成される。 第2図に上記絞りブロツク部5の拡大平面図、
第3図に第1図のA−A線断面図、第4図に第1
図のC−C線断面図を示す。 次に作用効果について説明する。 本金型においては、樹脂がトランスフアーポツ
トから金型内に注入されると、この樹脂は金型か
らの熱を受容しながら、カル部1、ランナー部2
及びゲート部3を流れ、その際、ランナー部2の
絞りブロツク部5で流動断面積が減少しているこ
とから、そこで均一溶融状態となり、又ゲート部
3で再度均一溶融状態となり、こうして樹脂は2
回にわたつて均一溶融化を受けてキヤビテイ部4
に至り、そこで反応硬化して製品となり、その結
果製品の成形状態が安定化し、特に製品の内部ボ
イドが大幅に低減される。 次に表1に第2図〜第4図における寸法a〜j
の各値を変動させた場合における20ケの製品に発
生した50μm以上の内部ボイド数を示す。表1に
おいて、樹脂流動減少面積は各寸法値と第4図の
絞りブロツク部5の断面積とから計算したもので
あり、絞りブロツク部5のない場合を0、完全に
ランナー部2をせきとめた場合を100として示す。
〔発明の効果〕
以上のように、本発明によれば、ランナー部に
絞りブロツク部を設け、ランナー部途中で樹脂流
動面積を40%以上減少するようにしたので、成形
物の成形状態を安定化すると同時に、特に成形物
中の内部ボイドを顕著に低減できる効果が得られ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例による半導体樹脂封
止用金型の平面図、第2図は上記金型における絞
りブロツク部の拡大平面図、第3図は第1図のA
−A線にそつた絞りブロツク部の断面拡大図、第
4図は第1図のC−C線にそつた絞りブロツク部
の断面拡大図、第5図は従来の半導体樹脂封止用
金型の平面図、第6図は第5図のA−A線に沿つ
た断面図、第7図は第5図のB−B線に沿つた断
面図、第8図は第5図のC−C線に沿つた断面
図、第9図はある温度x℃における樹脂の粘度−
時間特性の代表例を示す図である。 1……カル部、2……ランナー部、3……ゲー
ト部、4……キヤビテイ部、5……絞りブロツク
部。なお図中同一符号は同一又は相当部分を示
す。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 熱硬化性樹脂を使用してトランスフアーモー
    ルド法により半導体装置を樹脂封止する金型にお
    いて、 樹脂を受けるポツト部と、 上記ポツト部に接続され上記ポツト部からの樹
    脂の流れを受けるランナー部と、 上記ランナー部の中間に位置し上記ランナー部
    における流れの方向に沿つてテーパー状に形成さ
    れており上記ランナー部の断面積を減少するよう
    に設けられた絞りブロツク部と、 上記ランナー部に接続され上記ランナー部の断
    面積より少ない断面積を有しこれにより上記樹脂
    を完全に溶融して上記樹脂の粘性を減少するよう
    に設けられたゲート部と、 上記ゲート部に接続して設けられており、上記
    樹脂を製品の形に形成するように設けられたキヤ
    ビテイ部とを備え、 上記絞りブロツク部により上記樹脂を完全に溶
    融し上記製品における内部ボイドの数を減少する
    ことを特徴とする半導体樹脂封止用金型。 2 上記絞りブロツク部は上記ランナー部の断面
    積を30〜70%減少し、 かつ上記ゲート部は上記ランナー部の断面積に
    対し15〜20%少ない断面積を持つものであること
    を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の半導体
    樹脂封止用金型。 3 上記金型は上金型と下金型とからなり、 上記下金型は少なくとも上記ポツト部の一部を
    含むものであることを特徴とする特許請求の範囲
    第1項記載または第2項記載の半導体樹脂封止用
    金型。
JP60119084A 1985-05-31 1985-05-31 半導体樹脂封止用金型 Granted JPS61274910A (ja)

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KR1019860003276A KR900001926B1 (ko) 1985-05-31 1986-04-28 반도체장치 플라스틱성형용 금형
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US07/296,647 US4908178A (en) 1985-05-31 1989-01-11 Method of molding a semiconductor device

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JPH032048B2 true JPH032048B2 (ja) 1991-01-14

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DE (1) DE3617764A1 (ja)
NL (1) NL8601370A (ja)

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