JPS5840237A - 位置決めテ−ブル - Google Patents

位置決めテ−ブル

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Publication number
JPS5840237A
JPS5840237A JP13637381A JP13637381A JPS5840237A JP S5840237 A JPS5840237 A JP S5840237A JP 13637381 A JP13637381 A JP 13637381A JP 13637381 A JP13637381 A JP 13637381A JP S5840237 A JPS5840237 A JP S5840237A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
supporting base
moving
linear motor
coil
permanent magnets
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP13637381A
Other languages
English (en)
Inventor
Noriyasu Kashima
規安 加島
Toshiro Tsuruta
鶴田　寿郎
Nobushi Suzuki
鈴木　悦四
Takao Watanabe
隆夫 渡辺
Mutsumi Suematsu
睦 末松
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp, Tokyo Shibaura Electric Co Ltd filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP13637381A priority Critical patent/JPS5840237A/ja
Publication of JPS5840237A publication Critical patent/JPS5840237A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
    • H02K41/035—DC motors; Unipolar motors
    • H02K41/0352—Unipolar motors
    • H02K41/0354—Lorentz force motors, e.g. voice coil motors
    • H02K41/0356—Lorentz force motors, e.g. voice coil motors moving along a straight path
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/58—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism a single sliding pair

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は物焦を直線上の任意の位置に移動して位置決
めするための位置決めテーブルに関する。
従来、位置決めテーブルは駆動源として回転形モータを
使用したものと、リニアモータを使用したものがある。
前者は回転形モータによって回転するねじ軸とこのねじ
軸に螺合するめねじ体を有する移動台とから構成され、
ねじ軸の回転運動を直纏這動に変換して移動し、位置決
めするようになっている。しかしながら、上述のような
ねじ送シ機構線構造が複雑であるとともに高い組立精度
が要求され、またねじ部の摩耗によって誤差が生じると
いう欠点がある。一方、後者のものは、第１図で示すよ
うに、永久磁石ａとコイルｂとからなるリニアモータＣ
をテーブル支持台ｄの一端部に固定し、このチーゾル支
持台ｄの他端部に上記コイルｂと連結する移動台・を設
け、この移動台・を一方向に移動し、位置決めするよう
になっている。しかしながら、上述のように移動台・の
外部にリニアモータ・が設けられるため装置が大形化す
るとともに、移動台・のストロークが長くなると振動し
やすく、また移動台・の移動方向に対する永久磁石ａと
コイルｂとの芯出しが困難で、組立に熟練度が要求され
るという事情がある。
この発明は上記事情に着目してなされ九もので、その目
的とするとζろは、リニアモータをテーブル支持台の内
部に組み込んで構成し、小形化を図るとともに、組立作
業の容易化ができる位置決めテーブルを提供しようとす
るものである。
以下、この発明を図面に示す一実施例にもとづいて説明
する。第２図ないし第４図中１はテーブル支持台で、こ
れは断面Ｕ字状に形成されている。そして、このテーブ
ル支持台１の内側面お↓び内底面には後述する移動台の
移動方向と直交する磁界を形成する複数個の永久磁石２
・・・が取付けられている。また、テープ々支持台１０
両端部には端板３，３が設けられ、これら端板Ｊｌ、Ｊ
間にはセンターヨーク４が取付けられている。さらに、
上記テーブル支持台１の上部には平盤状をなす移動台５
が設けられていて、これはローラなどの滑走部材６　、
６１！ｃ−介してテーブル支持台１に対して一方向に移
動自在に支承されている。また、移動台５の下面には上
記センター冒−り４と嵌置するコイル７が固定されてい
て、上記永久磁石２・・・およびセンターヨーク４に対
して微少な隙間を形成し、リニアモータ８を構成してい
る。
しかして、上記のように構成された位置決めテーブルは
、永久磁石１・・・によって永久磁石２・・・とセンタ
ーヨーク４との間の隙間に移動台５の移動方向（矢印方
向）と直交する磁界が形成されている。そこで、この磁
界を横切るように装着されたコイル１に駆動電流を流す
と、移動台５は磁力作用によって矢印方向へ移動し、任
意の位置に位置決めすることができる。
また、第５図紘この発明の他の実施例を示すもので、上
記一実施例に示すように構成された位置決めテーブルを
２台組合せＸＹテーブルを構成したものである。すなわ
ち、９はＸテーブルで、１０はＹテーブルであって、そ
れぞれ矢印方向へ移動するようになっている。Ｘテーブ
ル９にはこれと直角すなわちＹ方向に沿うレール１１が
設けられ、このレール１１にはスライダ１２がスライド
自在に設けられている。そして、このスライダ１２はｘ
ＹＹテーブル１３介して上記ＹテーブルＩＯＫ連結され
ており、ＸテーブルクおよびＹテーブル１０に内蔵され
九リニアモータ（図示しない。）によってＸＹＹテーブ
ル１０夏方向、Ｙ方向へ移動できるようになっている。
この発明は以上説明したように、テーブル支持台の内側
面に移動台の移動方向と直交する磁界を形成する永久磁
石を設けるとともに、移動台に上記磁界を横切るコイル
を設けてリニアモータを構成したから、テーブル支持台
の内部にＩＪ　ニアモータが一抹的に組み込まれ、小形
化を図ることができる。しかも、永久磁石とコイルとの
芯出しが容易となシ、組立作業の容易化を図ることがで
きるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
第１図は従来の位置決めテ゛−プルを示す縦断正面図、
第２図ないし第４図はこの発明の一実施例を示、すもの
で、第２図は平面図、第３図は第２図ｍ　−ｍ＊ｔｃ沿
う断面図、第４図は第２図ＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図、
第５図はこの発明の他の実施例を゛示す平面−である。 １・・・テーブル支持台、２・・・永久磁石、５・・・
移動台、１・・・コイル、８・・・リニアモータ。 出願人代理人　弁理士　鈴　江　武　彦第１図 第４図 ら 第５１１１

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. テーブル支持台と、このテーブル支持台に沿って一方向
    に移動可能な移動台とからなる位置決めテーブルにおい
    て、上記チーゾル支持台の内側面に設けられ上記移動台
    の移動方向と直交する磁界を形成する永久磁石と、上記
    移動台に設けられ上記磁界を横切るコイルとでリニアセ
    ータを構成したことを特徴とする位置決めテーブル。
JP13637381A 1981-08-31 1981-08-31 位置決めテ−ブル Pending JPS5840237A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13637381A JPS5840237A (ja) 1981-08-31 1981-08-31 位置決めテ−ブル

Applications Claiming Priority (1)

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JP13637381A JPS5840237A (ja) 1981-08-31 1981-08-31 位置決めテ−ブル

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5840237A true JPS5840237A (ja) 1983-03-09

Family

ID=15173640

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13637381A Pending JPS5840237A (ja) 1981-08-31 1981-08-31 位置決めテ−ブル

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JP (1) JPS5840237A (ja)

Cited By (5)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61109637A (ja) * 1984-10-31 1986-05-28 Hitachi Ltd テ−ブル装置
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JPS61120430U (ja) * 1985-01-16 1986-07-29
JPH0377281U (ja) * 1990-11-27 1991-08-02
WO1999042245A1 (de) * 1998-02-18 1999-08-26 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Linearantrieb

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JPS54128716A (en) * 1978-03-27 1979-10-05 Ibm Linear actuator

Patent Citations (2)

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