JPH062273Y2 - 板状体の収納カセット - Google Patents
板状体の収納カセットInfo
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- JPH062273Y2 JPH062273Y2 JP15620688U JP15620688U JPH062273Y2 JP H062273 Y2 JPH062273 Y2 JP H062273Y2 JP 15620688 U JP15620688 U JP 15620688U JP 15620688 U JP15620688 U JP 15620688U JP H062273 Y2 JPH062273 Y2 JP H062273Y2
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- Japan
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- plate
- shaped body
- positioning
- substrate
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Description
【考案の詳細な説明】 Ａ．考案の目的 １産業上の利用分野 本考案は、角形の板状体を積み重ねて収納するためのカ
セットに関し、特に、プラズマＣＶＤ装置における成膜
用基板等のようなデリケートな板状体を傷付けることな
く収納するのに適したカセットに関する。
セットに関し、特に、プラズマＣＶＤ装置における成膜
用基板等のようなデリケートな板状体を傷付けることな
く収納するのに適したカセットに関する。
２従来の技術 非晶質シリコンを基板上に成膜するためのプラズマＣＶ
Ｄ装置においては、カセットの内部に互いに接触しない
ように積み重ね状態で収納した正方形の基板を搬送機構
によって順次取り出し、これに成膜等の所定の処理を施
した後、再び搬送機構によって他のカセットに順次収納
する、所謂カッセト・トゥー・カセットの手法が用いら
れている。
Ｄ装置においては、カセットの内部に互いに接触しない
ように積み重ね状態で収納した正方形の基板を搬送機構
によって順次取り出し、これに成膜等の所定の処理を施
した後、再び搬送機構によって他のカセットに順次収納
する、所謂カッセト・トゥー・カセットの手法が用いら
れている。
第５図はプラズマＣＶＤ装置等で使用されている従来の
カセットを示すもので、このカセットＣは一側面が開放
した箱体０１の内面に突設した多数のガイド０２を備え
ており、このガイド０２に正方形の基板Ｂの外周の３辺
を載置して支持するようになっている。
カセットを示すもので、このカセットＣは一側面が開放
した箱体０１の内面に突設した多数のガイド０２を備え
ており、このガイド０２に正方形の基板Ｂの外周の３辺
を載置して支持するようになっている。
３考案が解決しようとする課題 しかしながら、前記従来のカセットＣは基板Ｂをスムー
ズに挿入するために箱体０１の開口部の幅を基板Ｂの幅
よりも大きくする必要があるため、カセットＣの内部に
おける基板Ｂの位置決め精度が悪いという問題点を有し
ていた。また、箱体０１のガイド０２と基板Ｂとの接触
部の面積が大きくなるため、基板Ｂの表面に成膜した非
晶質シリコンを傷付けやすいだけでなく、接触部の摩擦
によって発生したダストが品質に悪影響を与えるという
問題点を有していた。
ズに挿入するために箱体０１の開口部の幅を基板Ｂの幅
よりも大きくする必要があるため、カセットＣの内部に
おける基板Ｂの位置決め精度が悪いという問題点を有し
ていた。また、箱体０１のガイド０２と基板Ｂとの接触
部の面積が大きくなるため、基板Ｂの表面に成膜した非
晶質シリコンを傷付けやすいだけでなく、接触部の摩擦
によって発生したダストが品質に悪影響を与えるという
問題点を有していた。
本考案は、前述の事情に鑑みてなされたもので、収納さ
れる板状体の位置決め精度が高く、しかも板状体の外周
の接触部の面積を小さくすることが可能な板状体の収納
カセットを提供することを課題とする。
れる板状体の位置決め精度が高く、しかも板状体の外周
の接触部の面積を小さくすることが可能な板状体の収納
カセットを提供することを課題とする。
Ｂ．考案の構成 １課題を解決するための手段 前記課題を解決するために、本考案は、上下方向に多段
に配置される複数の板状体支持装置（Ｕ）を備え、各板
状体支持装置（Ｕ）に対して角形の板状体(B)をその対
角線方向に挿入して収納する板状体（Ｂ）の収納カセッ
トであって； 前記板状体支持装置（Ｕ）が、板状体（Ｂ）の前記対角
線の両側に位置する左右の対角線を支持する水平支持板
(3a,3b)と、この水平支持板(3a,3b)の上面に設けられ、
前記板状体（Ｂ）の挿入方向の奥側の２辺にそれぞれ当
接する截頭円錐状の位置決めスペーサ(4a,4b)と、前記
水平支持板(3a,3b)の上面に設けられ、前記板状体
（Ｂ）の挿入方向手前側の２辺にそれぞれ当接する位置
決め突起(5a,5b)とを備え、 前記位置決めスペーサ(4a,4b)を介して各板状体支持装
置（Ｕ）を上下に連結するとともに、前記位置決め突起
(5a,5b)の上端と上方の板状体支持装置（Ｕ）との間に
板状体（Ｂ）の挿入・排出を行う間隙（δ）が形成され
たことを特徴とする。
に配置される複数の板状体支持装置（Ｕ）を備え、各板
状体支持装置（Ｕ）に対して角形の板状体(B)をその対
角線方向に挿入して収納する板状体（Ｂ）の収納カセッ
トであって； 前記板状体支持装置（Ｕ）が、板状体（Ｂ）の前記対角
線の両側に位置する左右の対角線を支持する水平支持板
(3a,3b)と、この水平支持板(3a,3b)の上面に設けられ、
前記板状体（Ｂ）の挿入方向の奥側の２辺にそれぞれ当
接する截頭円錐状の位置決めスペーサ(4a,4b)と、前記
水平支持板(3a,3b)の上面に設けられ、前記板状体
（Ｂ）の挿入方向手前側の２辺にそれぞれ当接する位置
決め突起(5a,5b)とを備え、 前記位置決めスペーサ(4a,4b)を介して各板状体支持装
置（Ｕ）を上下に連結するとともに、前記位置決め突起
(5a,5b)の上端と上方の板状体支持装置（Ｕ）との間に
板状体（Ｂ）の挿入・排出を行う間隙（δ）が形成され
たことを特徴とする。
２作用 前述の構成を備えた本考案によれば、搬送機構に載置し
た板状体(B)をその対角線方向に移動させて下側の板状
体支持装置(U)の前記位置決め突起の上端と上側の板状
体支持装置(U)の間に形成された間隙（δ）に挿入し、
この板状体(B)の挿入方向の奥側の２辺が位置決めスペ
ーサ(4a,4b)に当接する位置において搬送機構を下降さ
せる。すると、板状体(B)は奥側の２辺が截頭円錐状の
位置決めスペーサ(4a,4b)の側面に案内されながら下降
し、水平支持板(3a,3b)によって前記対角線の両側に位
置する左右の対角部を支持される。このとき、板状体
(B)の挿入方向の奥側の２辺は位置決めスペーサ(4a,4b)
に当接し、挿入方向手前側の２辺は位置決め突起(5a,5
b)に当接することにより、水平支持板(3a,3b)に対する
板状体(B)の位置決めが行われる。
た板状体(B)をその対角線方向に移動させて下側の板状
体支持装置(U)の前記位置決め突起の上端と上側の板状
体支持装置(U)の間に形成された間隙（δ）に挿入し、
この板状体(B)の挿入方向の奥側の２辺が位置決めスペ
ーサ(4a,4b)に当接する位置において搬送機構を下降さ
せる。すると、板状体(B)は奥側の２辺が截頭円錐状の
位置決めスペーサ(4a,4b)の側面に案内されながら下降
し、水平支持板(3a,3b)によって前記対角線の両側に位
置する左右の対角部を支持される。このとき、板状体
(B)の挿入方向の奥側の２辺は位置決めスペーサ(4a,4b)
に当接し、挿入方向手前側の２辺は位置決め突起(5a,5
b)に当接することにより、水平支持板(3a,3b)に対する
板状体(B)の位置決めが行われる。
３実施例 以下、図面に基づいて本考案の実施例を説明する。
第１図及び第２図は、正方形の板状体であるプラズマＣ
ＶＤ装置に使用する成膜用の基板Ｂを収納するカセット
Ｃを示すもので、このカセットＣは下部に底板１と上部
に天板２を備えており、これら底板１と天板２との間に
は板状体支持装置Ｕが５段に積層されている。
ＶＤ装置に使用する成膜用の基板Ｂを収納するカセット
Ｃを示すもので、このカセットＣは下部に底板１と上部
に天板２を備えており、これら底板１と天板２との間に
は板状体支持装置Ｕが５段に積層されている。
第３図に示すように、各板状体支持装置Ｕは互いに対向
して配置される左右一対のく字状の水平支持板３ａ，３
ｂを備えており、これら水平支持板３ａ，３ｂの基板Ｂ
の挿入方向奥側の２辺には、側面が上方に向けてテーパ
するとともに、中央に貫通孔を形成した截頭円錐状の位
置決めスペーサ４ａ，４ｂが左右それぞれ２個ずつ設け
られている。また、前記水平支持板３ａ，３ｂの基板Ｂ
の挿入方向手前側の２辺には、同じく上方に向けてテー
パした小型の截頭円錐状の位置決め突起５ａ，５ｂが左
右それぞれ１個ずつ設けられている。
して配置される左右一対のく字状の水平支持板３ａ，３
ｂを備えており、これら水平支持板３ａ，３ｂの基板Ｂ
の挿入方向奥側の２辺には、側面が上方に向けてテーパ
するとともに、中央に貫通孔を形成した截頭円錐状の位
置決めスペーサ４ａ，４ｂが左右それぞれ２個ずつ設け
られている。また、前記水平支持板３ａ，３ｂの基板Ｂ
の挿入方向手前側の２辺には、同じく上方に向けてテー
パした小型の截頭円錐状の位置決め突起５ａ，５ｂが左
右それぞれ１個ずつ設けられている。
前記底板１（第１，２図参照）の上面に固着した左右各
２個のスペーサ６にはそれぞれ支柱７が植設されてお
り、これら支柱７に前記位置決めスペーサ４ａ，４ｂに
形成した貫通孔を挿通するとともに、その上部に前記天
板２を挿通してネジ８で締め付けることによりカセット
Ｃの組み立てが行われる。
２個のスペーサ６にはそれぞれ支柱７が植設されてお
り、これら支柱７に前記位置決めスペーサ４ａ，４ｂに
形成した貫通孔を挿通するとともに、その上部に前記天
板２を挿通してネジ８で締め付けることによりカセット
Ｃの組み立てが行われる。
第２図から明らかなように、基板Ｂはその対角線Ｌ方向
からカセットＣに挿入され、前記対角線Ｌの両側に位置
する左右の対角部Ｐをく字状の水平支持板３ａ，３ｂの
内縁にそって載置した状態で支持される。そして前記位
置決めスペーサ４ａ，４ｂと位置決め突起５ａ，５ｂの
下端の大径部は、水平支持板３ａ，３ｂに載置された基
板Ｂの各辺に当接し、その位置決めを行うようになって
いる。また、水平支持板３ａ，３ｂの手前側に設けられ
た位置決め突起５ａ，５ｂの上端と、そのＳ上方に配置
された水平支持板３ａ，３ｂの下面との間には間隙δが
形成されており、この間隙δを通して基板Ｂの挿入・排
出が行われる。
からカセットＣに挿入され、前記対角線Ｌの両側に位置
する左右の対角部Ｐをく字状の水平支持板３ａ，３ｂの
内縁にそって載置した状態で支持される。そして前記位
置決めスペーサ４ａ，４ｂと位置決め突起５ａ，５ｂの
下端の大径部は、水平支持板３ａ，３ｂに載置された基
板Ｂの各辺に当接し、その位置決めを行うようになって
いる。また、水平支持板３ａ，３ｂの手前側に設けられ
た位置決め突起５ａ，５ｂの上端と、そのＳ上方に配置
された水平支持板３ａ，３ｂの下面との間には間隙δが
形成されており、この間隙δを通して基板Ｂの挿入・排
出が行われる。
カセットＣに対して基板Ｂの挿入・排出を行う搬送機構
Ｔ（第１，２図参照）は上面に４個の截頭円錐状の位置
決め突起９を突設した支持板１０を備えており、前記位
置決め突起９の下部周辺には前記基板Ｂを支持するため
の基板支持用大径部９ａが設けられている。また、前記
支持板１０は前記４個の位置決め突起９間に基板Ｂを載
置した状態で、ステップモータを用いた駆動装置（図示
せず）によって矢印ａ−ｂ方向に前進・後退運動すると
ともに、矢印ｃ−ｄ方向に上昇・下降運動するようにな
っている。
Ｔ（第１，２図参照）は上面に４個の截頭円錐状の位置
決め突起９を突設した支持板１０を備えており、前記位
置決め突起９の下部周辺には前記基板Ｂを支持するため
の基板支持用大径部９ａが設けられている。また、前記
支持板１０は前記４個の位置決め突起９間に基板Ｂを載
置した状態で、ステップモータを用いた駆動装置（図示
せず）によって矢印ａ−ｂ方向に前進・後退運動すると
ともに、矢印ｃ−ｄ方向に上昇・下降運動するようにな
っている。
次に、前述の構成を備えた本考案の実施例の作用につい
て説明する。
て説明する。
カセットＣに挿入する基板Ｂを搬送機構Ｔの支持板１０
に載置し、その４個の位置決め突起９のテーパした側面
によって基板Ｂを位置決めする。基板Ｂを載置した支持
板１０は間隙δから上下の板状体支持装置Ｕ間に矢印ａ
方向に挿入され、基板Ｂの奥側の２辺が４個の位置決め
スペーサ４ａ，４ｂに当接する位置において停止する。
次に、支持板１０は矢印ｄ方向に下降して基板Ｂを左右
の水平支持板３ａ，３ｂ上に移載し、空になった支持板
１０は矢印ｂ方向に後退する。上記基板Ｂの移載の過程
において、基板Ｂの２辺は位置決めスペーサ４ａ，４ｂ
のテーパした側面に沿って下降し、その下降の最終段階
で基板Ｂの他の２辺は更に位置決め突起５ａ，５ｂのテ
ーパした側面に沿って下降する。これにより、基板Ｂは
水平支持板３ａ，３ｂ上の正しい位置に位置決めされ、
その対角部Ｐによって支持される。
に載置し、その４個の位置決め突起９のテーパした側面
によって基板Ｂを位置決めする。基板Ｂを載置した支持
板１０は間隙δから上下の板状体支持装置Ｕ間に矢印ａ
方向に挿入され、基板Ｂの奥側の２辺が４個の位置決め
スペーサ４ａ，４ｂに当接する位置において停止する。
次に、支持板１０は矢印ｄ方向に下降して基板Ｂを左右
の水平支持板３ａ，３ｂ上に移載し、空になった支持板
１０は矢印ｂ方向に後退する。上記基板Ｂの移載の過程
において、基板Ｂの２辺は位置決めスペーサ４ａ，４ｂ
のテーパした側面に沿って下降し、その下降の最終段階
で基板Ｂの他の２辺は更に位置決め突起５ａ，５ｂのテ
ーパした側面に沿って下降する。これにより、基板Ｂは
水平支持板３ａ，３ｂ上の正しい位置に位置決めされ、
その対角部Ｐによって支持される。
上述のようにしてカセットＣに挿入された基板Ｂを取り
出すには、搬送機構Ｔの支持板１０を前述とは逆のａ→
ｃ→ｂ方向に移動させ、その位置決め突起９間に基板Ｂ
へを移載することによって行われる。
出すには、搬送機構Ｔの支持板１０を前述とは逆のａ→
ｃ→ｂ方向に移動させ、その位置決め突起９間に基板Ｂ
へを移載することによって行われる。
以上、本考案の実施例を詳述したが、本考案は、前記実
施例に前提されるものではなく、実用新案登録請求の範
囲に記載された本考案を逸脱することなく、種々の小設
計変更を行うことが可能である。
施例に前提されるものではなく、実用新案登録請求の範
囲に記載された本考案を逸脱することなく、種々の小設
計変更を行うことが可能である。
例えば、第４図(A)、第４図(B)に示すように、位置決め
スペーサ４ａ，４ｂ、及び位置決め突起５ａ，５ｂの下
部に鍔を形成し、この鍔によって基板（板状体）Ｂを支
持することが可能である。すなわち、水平支持板３ａ，
３ｂにより基板（板状体）Ｂを支持する場合、直接支持
する代わりに、前記鍔等の部材を介して間接的に支持す
ることも可能である。この場合、左右の水平支持板３
ａ，３ｂは必ずしもく字状に形成する必要はない。そし
て、この場合には、板状体Ｂとことを支持する部材（前
記鍔）との接触面積が小さくなり、板状体Ｂの表面の傷
み発生を軽減することが可能となる。また、基板（板状
体）ＢはプラズマＣＶＤ装置の基板に限られるものでは
なく、その形状も正方形に限らず矩形等の角形の板状体
であればよい。
スペーサ４ａ，４ｂ、及び位置決め突起５ａ，５ｂの下
部に鍔を形成し、この鍔によって基板（板状体）Ｂを支
持することが可能である。すなわち、水平支持板３ａ，
３ｂにより基板（板状体）Ｂを支持する場合、直接支持
する代わりに、前記鍔等の部材を介して間接的に支持す
ることも可能である。この場合、左右の水平支持板３
ａ，３ｂは必ずしもく字状に形成する必要はない。そし
て、この場合には、板状体Ｂとことを支持する部材（前
記鍔）との接触面積が小さくなり、板状体Ｂの表面の傷
み発生を軽減することが可能となる。また、基板（板状
体）ＢはプラズマＣＶＤ装置の基板に限られるものでは
なく、その形状も正方形に限らず矩形等の角形の板状体
であればよい。
Ｃ．考案の効果 前述の本考案の板状体の収納カセットによれば、板状体
が収納カセットに出入されるとき、板状体の対角線方向
に沿って移動されるとともに、板状体が水平支持板に
（直接又は間接的に）載置されるとき、位置決めスペー
サの截頭円錐状の側面に案内されながら該位置決めスペ
ーサと位置決め突起間に保持されるため、その位置決め
を極めて精密に行うことができる。更に、複数の板状体
支持装置を上下に多段に配置する際、位置決めスペーサ
を利用して各板状体支持装置が連結されるので、その構
造を簡略化することが可能となる。
が収納カセットに出入されるとき、板状体の対角線方向
に沿って移動されるとともに、板状体が水平支持板に
（直接又は間接的に）載置されるとき、位置決めスペー
サの截頭円錐状の側面に案内されながら該位置決めスペ
ーサと位置決め突起間に保持されるため、その位置決め
を極めて精密に行うことができる。更に、複数の板状体
支持装置を上下に多段に配置する際、位置決めスペーサ
を利用して各板状体支持装置が連結されるので、その構
造を簡略化することが可能となる。
第１図は本考案の一実施例による板状体の収納カセット
を示す第２図の１−１線矢視図、第２図は第１図の２−
２線矢視図、第３図は板状体支持装置を示す斜視図、第
４図は位置決めスペーサと位置決め突起の他の実施例を
示す図、第５図は従来の板状体の収納カセットを示す図
である。 δ…間隙、Ｂ…基板（板状体）、Ｌ…対角線、Ｐ…対角
部、Ｕ…板状体支持装置 ３ａ，３ｂ…水平支持板、４ａ，４ｂ…位置決めスペー
サ、５ａ，５ｂ…位置決め突起
を示す第２図の１−１線矢視図、第２図は第１図の２−
２線矢視図、第３図は板状体支持装置を示す斜視図、第
４図は位置決めスペーサと位置決め突起の他の実施例を
示す図、第５図は従来の板状体の収納カセットを示す図
である。 δ…間隙、Ｂ…基板（板状体）、Ｌ…対角線、Ｐ…対角
部、Ｕ…板状体支持装置 ３ａ，３ｂ…水平支持板、４ａ，４ｂ…位置決めスペー
サ、５ａ，５ｂ…位置決め突起
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/205
Claims (1)
- 【請求項１】上下方向に多段に配置される複数の板状体
支持装置を備え、各板状体支持装置に対して角形の板状
体をその対角線方向に挿入して収納する板状体の収納カ
セットであって； 前記板状体支持装置が、板状体の前記対角線の両側に位
置する左右の対角部を支持する水平支持板と、この水平
支持板の上面に設けられ、前記板状体の挿入方向の奥側
の２辺にそれぞれ当接する截頭円錐状の位置決めスペー
サと、前記水平支持板の上面に設けられ、前記板状体の
挿入方向手前側の２辺にそれぞれ当接する位置決め突起
とを備え、 前記位置決めスペーサを介して各板状体支持装置を上下
に連結するとともに、前記位置決め突起の上端と上方の
板状体支持装置との間に板状体の挿入・排出を行う間隙
が形成されたことを特徴とする板状体の収納カセット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15620688U JPH062273Y2 (ja) | 1988-11-30 | 1988-11-30 | 板状体の収納カセット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15620688U JPH062273Y2 (ja) | 1988-11-30 | 1988-11-30 | 板状体の収納カセット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0276842U JPH0276842U (ja) | 1990-06-13 |
| JPH062273Y2 true JPH062273Y2 (ja) | 1994-01-19 |
Family
ID=31434536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15620688U Expired - Lifetime JPH062273Y2 (ja) | 1988-11-30 | 1988-11-30 | 板状体の収納カセット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH062273Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101125011B1 (ko) * | 2009-07-09 | 2012-03-27 | 주식회사 선익시스템 | 기판 정렬용 핀세트, 기판 정렬 장치 및 이를 포함하는 박막 증착 장치 |
-
1988
- 1988-11-30 JP JP15620688U patent/JPH062273Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0276842U (ja) | 1990-06-13 |
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