JPH0321637A - 封止用樹脂 - Google Patents
封止用樹脂Info
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- JPH0321637A JPH0321637A JP15567189A JP15567189A JPH0321637A JP H0321637 A JPH0321637 A JP H0321637A JP 15567189 A JP15567189 A JP 15567189A JP 15567189 A JP15567189 A JP 15567189A JP H0321637 A JPH0321637 A JP H0321637A
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Landscapes
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Macromolecular Compounds Obtained By Forming Nitrogen-Containing Linkages In General (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(発明の利用分野)
本発明はガラス転移点(以下Tgという)が高く、耐湿
性、相溶性に優れ、かつ低応力特性に優れた半導体封止
用樹脂に関するものである。
性、相溶性に優れ、かつ低応力特性に優れた半導体封止
用樹脂に関するものである。
(従来技術)
近年IC%LSI,}ランジスター、ダイオードなどの
半導体素子や電子回路等の封止には特性、コスト等の点
からエボキシ樹脂組戊物が多量に、かつ最も一般的に用
いられている。
半導体素子や電子回路等の封止には特性、コスト等の点
からエボキシ樹脂組戊物が多量に、かつ最も一般的に用
いられている。
しかし、電子部品の量産性指向、高集積化や表面実装化
の方向に進んで来ておりこれに伴い封止樹脂に対する要
求は厳しくなってきている。
の方向に進んで来ておりこれに伴い封止樹脂に対する要
求は厳しくなってきている。
の薄肉化や表面実装時における半田浸漬(200〜30
0℃)によって装置にクラックが発生し易くなっており
信頼性向上のために半導体封止用樹脂としては低応力特
性と耐熱性が強く望まれている。
0℃)によって装置にクラックが発生し易くなっており
信頼性向上のために半導体封止用樹脂としては低応力特
性と耐熱性が強く望まれている。
半導体封止用樹脂としては現在エポキシ樹脂が主流であ
るが耐湿性、低応力特性の点で未だ満足されるものは得
られていない。
るが耐湿性、低応力特性の点で未だ満足されるものは得
られていない。
これらに対処するためにエポキシ系樹脂においてはシリ
コーン化合物等の添加やシリコーン変性エボキシ樹脂の
利用によって低応力特性をもたせる試みがなされている
が、耐熱性という点ではエボキシ樹脂を用いているかぎ
り、改良に限界があり、表面実装時の半田浸漬後の信頼
性の高いものが得られていない。
コーン化合物等の添加やシリコーン変性エボキシ樹脂の
利用によって低応力特性をもたせる試みがなされている
が、耐熱性という点ではエボキシ樹脂を用いているかぎ
り、改良に限界があり、表面実装時の半田浸漬後の信頼
性の高いものが得られていない。
これらの半田耐熱性に対処するには樹脂特性として低応
力であり、かつTgが高く半田浴温度以上であることが
望まれている. エボキシ樹脂に変わる高耐熱性を有する樹脂としてはマ
レイミド樹脂が注目されてきているが、低応力特性に劣
り、堅くて脆いという欠点がある。
力であり、かつTgが高く半田浴温度以上であることが
望まれている. エボキシ樹脂に変わる高耐熱性を有する樹脂としてはマ
レイミド樹脂が注目されてきているが、低応力特性に劣
り、堅くて脆いという欠点がある。
ポリアミノマレイミド樹脂においては堅くて脆いという
欠点は改良されて来ているが、低応力特性の面では未だ
不十分である。
欠点は改良されて来ているが、低応力特性の面では未だ
不十分である。
ポリマレイミドとアノレケニノレフェノーノレ類まI二
はアルケニル7エノールエーテル類などを重合触媒存在
下で反応させる例(特開昭52−994.特開昭58−
117219号公報)もあるが、ポリアミノマレイミド
樹脂と同様に低応力特性に劣る欠点がある。
はアルケニル7エノールエーテル類などを重合触媒存在
下で反応させる例(特開昭52−994.特開昭58−
117219号公報)もあるが、ポリアミノマレイミド
樹脂と同様に低応力特性に劣る欠点がある。
ポリアミノマレイミド樹脂を含むマレイミド樹脂の低応
力特性の改善策として各種シリコーン化合物の添加が試
みられているが相溶性が著しく劣り、相分離して、均質
な樹脂が得られない。
力特性の改善策として各種シリコーン化合物の添加が試
みられているが相溶性が著しく劣り、相分離して、均質
な樹脂が得られない。
とくに、シリコーンオイルを用いた場合にはオイルのブ
リードが生じるためにロール滑り、金型汚れを起こして
しまう。又シリコーンゴムを用いI;場合には接着性が
低下してしまう。
リードが生じるためにロール滑り、金型汚れを起こして
しまう。又シリコーンゴムを用いI;場合には接着性が
低下してしまう。
又相溶性を向上させるために末端に−OH基、一〇〇H
I基等の反応性基を持ったシリコーン化合物を添加する
例(Brit UK PAT2018802(1984
).FR2544325,特開昭57−90827.5
6−20023.57−90012.58−74749
号公報)もあるが成形時にガスが発生し7クレを生じた
り、耐熱性や耐湿性の低下を招き満足のいく性能を発揮
できていない。
I基等の反応性基を持ったシリコーン化合物を添加する
例(Brit UK PAT2018802(1984
).FR2544325,特開昭57−90827.5
6−20023.57−90012.58−74749
号公報)もあるが成形時にガスが発生し7クレを生じた
り、耐熱性や耐湿性の低下を招き満足のいく性能を発揮
できていない。
又、ビスマレイミドとジアミンとアミノ基含有ポリシロ
キサンとを溶液中で反応させる例(特開昭62−246
933号公報)も試みられている。
キサンとを溶液中で反応させる例(特開昭62−246
933号公報)も試みられている。
しかし、無溶媒ではアミ7基含有ポリシロキサンとビス
マレイミド、ジアミンとの相溶性が悪く、均質な樹脂が
得られていない。
マレイミド、ジアミンとの相溶性が悪く、均質な樹脂が
得られていない。
溶剤を用いると相溶性は向上するが、反応終了時に溶剤
を完全に除去することは困難で、そのために貯蔵安定性
が低下したり、成形時にガス、7クレなどが発生して、
実用上問題点が多く残る。
を完全に除去することは困難で、そのために貯蔵安定性
が低下したり、成形時にガス、7クレなどが発生して、
実用上問題点が多く残る。
(発明の目的)
本発明の目的とするところは相溶性が良く、一般の特性
を低下させることなく、耐湿性、低応力特性に優れ、か
つ高耐熱性を有し、半田浸漬後の信頼性に非常に優れた
半導体封止用樹脂を提供することにある。
を低下させることなく、耐湿性、低応力特性に優れ、か
つ高耐熱性を有し、半田浸漬後の信頼性に非常に優れた
半導体封止用樹脂を提供することにある。
(発明の構1.)
本発明は下記式CI)で示されるビスマレイミドと、下
記式(n)で示されるジアミノポリシロキサンとを、 下記式〔■〕で示される多官能性ポリアリルフェノール
類の存在下に反応させてなる封止用樹脂である。
記式(n)で示されるジアミノポリシロキサンとを、 下記式〔■〕で示される多官能性ポリアリルフェノール
類の存在下に反応させてなる封止用樹脂である。
(作用)
本発明において用いられるビスマレイミド樹脂は下記式
(I)で表される。
(I)で表される。
R1:2価の芳香族基
具体例としては、N,N’−m−フエニレンビスマレイ
ミド、N,N’−p−7エニレンビスマレイミ}’、N
.N’−+m一トルイレンビスマレイミド、N,N’−
4.4’−ビフエニレンビスマレイミド、N.N’−4
.4’−(3.3’−ジメチルービフエニレン〕ビスマ
レイミド、N,N’−4.4’−(3.3′−ジメチル
ジフエニルメタン〕ビスマレイミド、N.N’−4.4
’−(3.3’−ジエチルジフエニルメタン〕ビスマレ
イミド、N,N’−4.4’−ジフエニルメタンビスマ
レイミト、N,N′−4.4′−ジフエニルプロノくン
ビスマレイミF、N,N’−4.4’−シフエニルエー
テルビスマレイミド, N,N’−3.3’−ジフエニ
ルスルホンビスマレイミド、N,N’−4.4’−ジフ
エニルスルホンビスマレイミドなどを挙げることができ
る。これらは2種以上含まれていても何ら差し支えない
。
ミド、N,N’−p−7エニレンビスマレイミ}’、N
.N’−+m一トルイレンビスマレイミド、N,N’−
4.4’−ビフエニレンビスマレイミド、N.N’−4
.4’−(3.3’−ジメチルービフエニレン〕ビスマ
レイミド、N,N’−4.4’−(3.3′−ジメチル
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’−(3.3’−ジエチルジフエニルメタン〕ビスマレ
イミド、N,N’−4.4’−ジフエニルメタンビスマ
レイミト、N,N′−4.4′−ジフエニルプロノくン
ビスマレイミF、N,N’−4.4’−シフエニルエー
テルビスマレイミド, N,N’−3.3’−ジフエニ
ルスルホンビスマレイミド、N,N’−4.4’−ジフ
エニルスルホンビスマレイミドなどを挙げることができ
る。これらは2種以上含まれていても何ら差し支えない
。
本発明に用いられるジアミノポリシロキサンは下記式(
II)で示されるポリシロキサンであり、その重合度n
は1〜100の範囲のものである。
II)で示されるポリシロキサンであり、その重合度n
は1〜100の範囲のものである。
R2:アルキレン基または7エニレン基R3.R4:ア
ルキル基またはフエニル基重合度が100以上の場合、
相溶性が低下してしまう。ジアミノポリシロキサンはビ
スマレイミド100重量部に対し5〜50重量部が好ま
しい。
ルキル基またはフエニル基重合度が100以上の場合、
相溶性が低下してしまう。ジアミノポリシロキサンはビ
スマレイミド100重量部に対し5〜50重量部が好ま
しい。
5重量部以下では硬化樹脂の低応力効果が低下し、又、
50重量部以上であれば相溶性が悪化し、強度が低下す
る。
50重量部以上であれば相溶性が悪化し、強度が低下す
る。
多官能性ボリアリルフェノール類は下記式(III)で
示され、その重合度mはO−toの範囲である。
示され、その重合度mはO−toの範囲である。
0
SO2 1−と一〇一
重合度mがlO以上の場合は、融点が高く、作業性が悪
くなって、硬化樹脂の強度が低下する。
くなって、硬化樹脂の強度が低下する。
多官能性ポリアリルフェノール類はビスマレイミド10
0重量部に対し、5〜50重量部が好ましい。5重量部
以下であれば相溶性が低下し、また50重量部以上であ
れば硬化樹脂の耐熱性が低下する。
0重量部に対し、5〜50重量部が好ましい。5重量部
以下であれば相溶性が低下し、また50重量部以上であ
れば硬化樹脂の耐熱性が低下する。
ビスマレイミド(A)とジアミノポリシロキサン(B)
の反応方法は、多官能性ポリアリルフェノール類(C)
の共存下でlOO〜200℃の任意の温度で行い、反応
の終点は、反応した樹脂の冷却時の融点が50〜120
℃の範囲となるまで反応させる。
の反応方法は、多官能性ポリアリルフェノール類(C)
の共存下でlOO〜200℃の任意の温度で行い、反応
の終点は、反応した樹脂の冷却時の融点が50〜120
℃の範囲となるまで反応させる。
又、得られt;樹脂を用いて戊形材料化するには硬化促
進剤、エポキシ樹脂、無機充填材、滑剤、難燃剤、離型
剤、シランカップリング剤等を適宜配合添加し、加熱混
練することによって材料化できる。
進剤、エポキシ樹脂、無機充填材、滑剤、難燃剤、離型
剤、シランカップリング剤等を適宜配合添加し、加熱混
練することによって材料化できる。
本発明の半導体封止用樹脂組戒物を戊形材料として製造
する一般的な方法としては、これらの必須戊分に各種添
加剤を加えて均一に混合した組戊物を二一グー、熱ロー
ル等により混練処理を行い、冷却後粉砕して成形材料と
する。
する一般的な方法としては、これらの必須戊分に各種添
加剤を加えて均一に混合した組戊物を二一グー、熱ロー
ル等により混練処理を行い、冷却後粉砕して成形材料と
する。
得られた戊形材料を半導体の封止用としてもちいれば高
Tgであり、しかも低応力特性に優れ、非常に信頼性の
高い半導体封止用樹脂組放物を得ることができる。
Tgであり、しかも低応力特性に優れ、非常に信頼性の
高い半導体封止用樹脂組放物を得ることができる。
(実施例)
実施例1〜3
第1表に示す配合でジアミノポリシロキサンとo,o’
−ジアリルビス7エノールAとを加熱して溶解し、これ
にN.N’−4.4’−ジフエニルメタンビスマレイミ
ドを添加し、20分間反応させ、融点が60〜80℃の
均質なシリコーン変性マレイミド樹脂得た。
−ジアリルビス7エノールAとを加熱して溶解し、これ
にN.N’−4.4’−ジフエニルメタンビスマレイミ
ドを添加し、20分間反応させ、融点が60〜80℃の
均質なシリコーン変性マレイミド樹脂得た。
比較例1〜5
第1表に示す配合で実施例と同様に反応させた。
比較例1.3.5は相溶性が悪く、均質な樹脂が得られ
なかった。
なかった。
実施例4〜6
第2表に示すように実施例1〜3で得たシリコーン変性
マレイミド樹脂にシリカ粉末、硬化促進剤、アミノシラ
ン、着色剤および離型剤を配合し、熱ロールで混練し戊
形材料を得た。
マレイミド樹脂にシリカ粉末、硬化促進剤、アミノシラ
ン、着色剤および離型剤を配合し、熱ロールで混練し戊
形材料を得た。
得られた成形材料をトランスファー戊形によりl80℃
,3分で或形し7クレの無い光沢の有る戒形品が得られ
た。この戊形品をさらに180℃.8時間後硬化を行い
特性を評価した。結果を第2表に示す。
,3分で或形し7クレの無い光沢の有る戒形品が得られ
た。この戊形品をさらに180℃.8時間後硬化を行い
特性を評価した。結果を第2表に示す。
比較例6.7
比較例2,比較例4の樹脂を第2表に示す配合で同様に
戊形して特性を評価した。結果を第1表に示す。
戊形して特性を評価した。結果を第1表に示す。
実施例1〜3の樹脂を用いた実施例4〜6の戊形材料は
常温での曲げ弾性率が小さく、低応力で、内部応力も小
さい。しかも、ガラス転移点温度が高く、250℃での
曲げ強度も大きく、耐熱性、耐半田クランク性に優れて
いる。
常温での曲げ弾性率が小さく、低応力で、内部応力も小
さい。しかも、ガラス転移点温度が高く、250℃での
曲げ強度も大きく、耐熱性、耐半田クランク性に優れて
いる。
(以 下 余 白)
(発明の効果)
本発明による半導体封止用樹脂組或物を用いた硬化物は
高Tgであり、耐湿性及び熱時の強度に優れているため
封止体の耐半田クラツク性が良く、かつ低応力であり耐
ヒートサイクル性にも優れており、半導体封止用樹脂組
戒物として非常に信頼性の高い優れたものである。
高Tgであり、耐湿性及び熱時の強度に優れているため
封止体の耐半田クラツク性が良く、かつ低応力であり耐
ヒートサイクル性にも優れており、半導体封止用樹脂組
戒物として非常に信頼性の高い優れたものである。
Claims (1)
- (1)(A)下記式〔 I 〕で示されるビスマレイミド
100重量部 ▲数式、化学式、表等があります▼・・・・・〔 I 〕 R_1:2価の芳香族基 (B)下記式〔II〕で示されるジアミノポリシロキサン
5〜50重量部 ▲数式、化学式、表等があります▼・・・・・〔II〕 R_2:アルキレン基又はフェニレン基 R_3、R_4:アルキル基又はフェニル基n:1〜1
00の整数 (C)下記式〔III〕で示される多官能ポリアリルフェ
ノール類5〜50重量部 ▲数式、化学式、表等があります▼・・・・・〔III〕 R_5:▲数式、化学式、表等があります▼ n:0〜10の整数 の(A)と(B)とを(C)の共存下で反応させてなる
封止用樹脂。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15567189A JPH0321637A (ja) | 1989-06-20 | 1989-06-20 | 封止用樹脂 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15567189A JPH0321637A (ja) | 1989-06-20 | 1989-06-20 | 封止用樹脂 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0321637A true JPH0321637A (ja) | 1991-01-30 |
Family
ID=15611040
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15567189A Pending JPH0321637A (ja) | 1989-06-20 | 1989-06-20 | 封止用樹脂 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0321637A (ja) |
-
1989
- 1989-06-20 JP JP15567189A patent/JPH0321637A/ja active Pending
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