JPH0323312B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は清浄作業台に係り、特に装置の薄形化
に好適な清浄作業台に関する。

〔発明の背景〕

清浄作業台の装置の範形化が要求されている。
この要求に対応するのに当り作業空間１３１の奥
行は確保しなければならないので、通常は第２図
に示すように清浄作業台本体１７０の背面側に設
けられたダクト部１０９の奥行寸法および本体１
７０の下部に設けられた脚部１０２の奥行寸法を
締めることにより対応している。従来の清浄作業
台は特公昭55−18134号公報に記載されているよ
うにフアンケースの奥行とダクトの奥行とが等し
く、該フアンケースはその背面が作業台本体の背
面と平担になるように脚部に固定されている。そ
のため第３図に示すようにダクト部１０９の奥行
寸法および脚部１０２の奥行寸法を締めると、作
業台前面からフアンケース１１９の吸込口１１６
までの奥行が短くなり、作業台が座つたときに作
業者の足元が狭くなり作業性が悪くなるという問
題があつた。特に吸込口１１６に電気集じん器１
２０が設けられた機種において奥行がさらに約
200mm短くなるので、この問題は著しい。

本発明に至る過程で第５図に示すように小型の
フアン８″を用いてフアンケース１９″の厚さを薄
くすることも検討されたが、フイルタの圧力損失
が大きいため所定の風量を得るのが困難であると
いう問題がある。また、風量を得るためにフアン
の回転数を上げるとそれだけ騒音が大きくなると
いう問題もあつた。

〔発明の目的〕

本発明の目的はフレキシブル生産に適するとと
もに現地での仕様変更への対応が容易な清浄作業
台を提供することにある。

〔発明の概要〕

本発明は前面に作業用開口部を備え、両側面に
側壁を有して内部に清浄空気が供給されるよう構
成された作業室と、該作業室の背面側に設けられ
たダクト部と、前記ダクト部に設けられて前記作
業室に清浄空気を供給するよう設けられたフイル
タと、前記ダクト部の上流に設けられて吹出口が
前記ダクトに連通するよう設けられたフアンとを
備えて成る清浄作業台において、前記ダクト部の
奥行寸法より大きい奥行寸法を有して前記フアン
を格納するよう構成されたフアンケースを備え、
該フアンケースは前記ダクト部の背面より後方に
突出する第１の位置と、前記ダクト部の前面より
前方に突出する第２の位置とを選択的にとるよう
前記ダクト部の下方に設けられたことを特徴とす
るものである。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の実施例を第４図および第６図〜
第３０図により説明する。

本発明の第１実施例を第６図に示す。

第６図は気流垂直型の標準型清浄作業台に本発
明を適用した例である。

清浄作業台本体７０は作業室としての作業空間
３１と該作業空間に連通してけられたダクト部で
あるダクト９と、前記作業空間３１に面して該ダ
クト部に設けられたフイルタであるHEPAフイ
ルタ１１と脚部である脚２とを備えて成る。

作業空間３１は上方に螢光ランプ３０が内蔵さ
れた吹出口５を備え、ガラス板又はアクリル板で
形成された側壁３とステンレス板で作業空間３１
の背面に形成された後壁４により三方を囲まれ、
正面にはガイド１３に沿つて開閉自在に設けられ
たシヤツタ１２を備えて成る。作業空間３１の下
面は作業台１が設けられる。清浄作業台本体７０
の背面には背板１０が設けられ、ダクト９の内外
の仕切となつている。ダクト９の奥行き寸法はフ
アン８の吹出口８ａより大きく、フアン８のスク
ロール８ｃの径の最大値より小さくなるよう設定
される。

本実施例ではダクト部９は略逆Ｌ形に形成され
一端がダクト部接続部２０に接続されて他端が作
業空間３１の上面に開口し、この開口部に
HEPAフイルタ１１が設けられている。脚部２
は略コ字形の平面を有するよう形成され平行する
２辺の下部にはキヤスタ（図示せず）又はアジヤ
スタ３２が設けられ、中央の辺にはフアンケース
取付台２３およびダクト接続部２０が設けられて
成る。本実施例ではフアン８は後壁４、すなわち
作業室３１の背面、の下方への延長線より後方に
設けられ、さらにフアン８の突出部８ｅが背板１
０、すなわちダクト９の背面、の下方への延長線
より突出するとともにスクロール８ｃの巻終わり
部分８ｄが後壁４の下方への延長線に近接して設
けられている。

第７図にフアンケース１９の外形形状、第１１
図にフアンケース１９の側断面をそれぞれ示す。
フアンケース１９は相対する２面に開口部６を備
えたケース１８と、開口部６にそれぞれ取付けら
れたカバー１７および取付板１６、取付板１６に
保持金具１４，１５を用いて取付けられたプレフ
イルタ７、ケース１８に内蔵され羽根車８ｂを有
する送風機８を備えて成る。また、必要に応じて
サーマルリレー等の電気品２６が内蔵される。プ
レフイルタ７は必ずしも取付枠１６を介してフア
ンケース１９に取付けられる必要はなく、第２７
図に示すように材７ａが収められた枠７ｂに板
ばね等の弾性体により形成した取付金具を取付
け、吸込口となる開口部６に直接取付けてもよ
い。

フアンケース１９は清浄作業台の背面側より装
着され、ダクト接続部２０にねじ２２によりパツ
キン２１を介して接続される。フアンケース１９
の上面にはダクト接続部２０に対応する位置にフ
アン８の吹出口８ａが設けられる。フアンケース
１９の下面に取付けられたストツパ２４は装着時
における水平方向の取付位置の決定およびねじ２
５を用いてフアンケース取付台２３への固定のた
めに用いられる。

取付部６の寸法を両側共同一寸法とし、カバー
１７および取付板１６のフアンケース１９への取
付寸法を同一にしておけば、必要に応じてプレフ
イルタの取付位置を変えることができる。フアン
ケース１９は、本実施例のように着脱自在に脚部
２に取付ければ製品納入後、現地の都合で清浄作
業台の背面側をフラツトにする必要が生じた場合
でも第１２図に示すようにフアンケース１９の向
きを変え、取付台１６とカバー１７の位置を入れ
換えるだけで容易に対応できる。第１２図の状態
ではフアン８のスクロール８ｃの巻終わり部分８
ｄはダクト部９の背面、すなわち背板１０の下方
への延長線に近接して設けられ、これにより突出
部８ｅは背板１０の下方への延長線に対向する位
置に設けられる。また吸込口６には第４図に示す
ように電気集じん器１２０が設けられることがあ
る。

電気系統の接続は第９図に示すようにフアンケ
ース１９のダクト接続部２０に対応する面に開口
部１９ａを設け、この開口部に接触子６１をねじ
６４およびナツト６５で締着した絶縁板６０を取
付け、ダクト接続部２０側に設けられた接触子６
３により給電する。接触子６３は絶縁板６２を介
してダクト接続部２０に取付けられる。接触子６
１および６３にはフアン８への配線６６および電
源への配線６７がそれぞれ接続される。接触子６
１を板ばね等の弾性体で形成し、接触子６３に弾
性接触するようにしておけばパツキンの圧縮し３
の変化または接触子６３の取付位置の誤差があつ
ても接触不良を防止することができる。この場
合、ダクト接続部２０内にリミツトスイツチ（図
示せず）を取付け、フアンケース１９の装着を検
知して接触子６３に給電するように構成すれば充
電部が露出せず保守作業の安全性を高めることが
できる。また、第１０図に示すようにコネクタ２
７，２８を用いて電気接続を行つてもよい。開口
部１９ａをフアンケース１９のダクト部接続部２
０に対応する位置の中央に設けておけばフアンケ
ース１９の向きを入れ換えてもそのまま電気接続
を行うことができる。電気系統の接続部はフアン
ケース１９の上面に限ることなく、フアンケース
１９の下面または側面に設けられてもよい。

フアンケースの位置決めを行うには第８図に示
すようにストツパ２４の代りにフランジ３５をダ
クト接続部２０に対応する面に取付けてもよく、
これによればフアンケースの着脱を清浄作業台の
正面側・背面側のいずれからでも行うことができ
る。

フランジ３５の立上り高さｌはフアンケース固
定持におけるフアンケース１９の底面とフアンケ
ース取付台２３とのギヤツプＬに対しＬ＞ｌとな
るよう設定される。

フランジ８５を備えたフアンケース１９の取付
方法を第１３図〜第１６図に示す。

第１３図はフアンケース取付台２３のナツト４
１を溶接し、ナツト４１に螺着されたボルト４０
の先端に設けられた当板４２とダクト接続部２０
との間でフアンケース１９を挾持するものであ
る。

第１４図はフアンケース取付台２３′内に設け
られた偏心カム４３，４４とダクト接続部２０
（図示せず）との間でフアンケース１９を挾持す
るものである。偏心カム４３，４４は回動自在に
設けられた軸４５に固定され、ハンドル４６の回
転に連動して回転するように構成される。

第１５図はフアンケース取付台２３″に摺動自
在に設けられたくさび４７とダクト接続部２０
（図示せず）との間でフアンケース１９を挾持す
るものである。フアンケース２３′内には摺動自
在に設けられた軸４９にくさび４８が固定され、
くさび４７はその斜面がくさび４８の斜面に当接
している。ハンドル５０の往復運動に連動してく
さび４７とくさび４８の当接面が摺動し、これに
よりくさび４８が上下方向に摺動する。

第１６図はフアンケース取付台２３″の一部２
３″ａがパンタグラフ装置により上昇し、ダクト
接続部２０（図示せず）との間でフアンケース１
９を挾持するものである。パンタグラフ装置５１
は、フアンケース取付台２３″内に回動自在に設
けられてねじ山を備えて成る軸５２と螺合し、ハ
ンドル５３の回転に連動して上昇・下降を行う。

本発明の第２実施例を第７図、第８図に示す。

第１７図、第１８図は本発明を装置組込形清浄
作業台に適用したものである。

装置組込形清浄作業台の本体部分７０′は作業
台１を備えてないこと、および作業空間３１の下
面が該清浄作業台が設置される床面に向つて開放
されていること以外は第１実施例における本体部
分７０と同一構成である。

作業空間３１内には半導体製造装置等、高い清
浄度を必要とする各種の装置が組込まれる。第１
７図は、比較的装置高さの大きい装置２９が組込
まれた例を示し、第８図は装置高さの小さい装置
２９′が組込された例を示す。このような装置は
通常高い清浄度が要求される部分は装置上部に設
けられている。そのため、装置高さの大きい装置
２９では、プレフイルタ７が作業空間３１に面し
ていても問題はないが装置高さの小さい装置２
９′の場合は清浄作業台下部より吸引される未処
理空気の影響を受けることがあるため第１８図の
ようにプレフイルタ７とカバー１７の位置を入れ
換えると巻込みの防止、気流状態の改善をはかる
ことができる。

以上の実施例によれば装置組込型、標準型等の
清浄作業台を並べてラインを形成する時に、それ
ぞれ第１９図、第２０図に示すように清浄作業台
の背面を装置２９への配管３３等のためのスペー
スとして利用することができ、省スペース化をは
かることができる。

また、清浄作業台を設置する作業室の空気に有
機溶剤の蒸気が含されている場合は第２１図のよ
うに有機溶剤を含まない隣室の空気を吸引するこ
ともできる。さらにはダクトフランジ８０を備え
た取付板８１をフアンケース１９の背面側に取付
けることにより、第２２図に示すように有機溶剤
を含まない空気をダクト８２を介して供給するこ
ともできる。

本発明の第３実施例を第２３図、第２４図に示
す。

第２３図は羽根車８′ｂを有する低騒音フアン
８′を内蔵したフアンケース１９′を備えた清浄作
業台に本発明を適用したものである。第２３図の
ようにフアンケース１９′の羽根車８′ｂを格納し
た部分を背面側に突出させれば、低騒音フアン
８′の使用によりフアンケース１９′の形状が大き
くなつても作業台１の下側のスペースはフアンケ
ース１９を用いた場合と同一である。また、フア
ンケース１９′は着脱自在に設けられているので、
清浄作業台を設置するに背面のスペースが確保で
きない場合は第２４図のようにフアンケース１
９′の向きを変えて背面を平らにすることもでき
る。

本発明の第４実施例を第２５図、第２６図に示
す。

第２５図、第２６図は本発明を気流水平形清浄
作業台に適用した例を示す。

フアンケース１９は清浄作業台本体７０″に装
置されフアンケース１９に内蔵されたフアン８よ
り吹出された空気はダクト接続部２０、ダクト部
９、HEPAフイルタ１１を介して吹出口５′より
作業空間３１′内へ吹出される。

第２５図はフアンケース１９を背面側に突出さ
せた例、第２６図は背面側を平担にした例をそれ
ぞれ示す。本実施例においても第１実施例〜第３
実施例と同様の効果を得ることができる。また、
以上の実施例によれば、本体部分およびフアンケ
ース部分をそれぞれ任意に組合せることができる
のでフレキシブル生産に適した清浄作業台を得る
ことができる。

また、以上の実施例によれば清浄作業台の奥行
寸法を小さくした場合でも、フアンケースが背面
側に突出して設けられるため作業者の足元の空間
が狭められることなく、作業性に優れた清浄作業
台を得ることができる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、フレキシブル生産に適すると
ともに現地での仕様変更への対応が容易な清浄作
業台を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図はそれぞれ従来例における清浄
作業台を示す正面図および側面図、第３図、第４
図はそれぞれ従来例および本発明の第１実施例に
おける清浄作業台の使用状態を示す側断面図、第
５図は本発明に至る過程で検討された清浄作業台
の側断面図、第６図は本発明の第１実施例におけ
る清浄作業台の側断面図、第７図、第８図はそれ
ぞれフアンケースの形状を示す一部を破断面とし
た斜視図、第９図、第１０図はそれぞれ電気接続
部の構造例を示す断面図、第１１図、第１２図は
第７図に示すフアンケースの取付方法の例を示す
側断面図、第１３図、第１４図、第１５図、第１
６図はそれぞれ第８図に示すフアンケースの取付
方法の例を示す側面図、第１７図、第１８図、第
１９図、第２０図、第２１図、第２２図はそれぞ
れ本発明の第２実施例における清浄作業台の各種
の使用状況を示す側断面図、第２３図、第２４図
は本発明の第３実施例における清浄作業台の側断
面図、第２５図、第２６図は本発明の第４実施例
における清浄作業台の側断面図、第２７図はプレ
フイルタ取付方法の１例を示す側断面図である。 ２：脚部、６，１６：吸込口、８，８′，７８，
８８：フアン、８ａ，８′ａ，７８ａ，８８ａ：
吹出口、８ｂ，８′ｂ，７８ｂ，８８ｂ：羽根車、
１１：フイルタ、１７：カバー、１９，１９′，
７９：フアンケース、３１，３１′：作業空間、
７０，７０′，７０″：本体部分、７８ｄ，８８
ｄ：ベルマウス。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 前面に作業用開口部を備え、両側面に側壁を
   有して内部に清浄空気が供給されるよう構成され
   た作業室と、該作業室の背面側に設けられたダク
   ト部と、て前記ダクト部に設けられて前記作業室
   に清浄空気を供給するよう設けられたフイルタ
   と、前記ダクト部の上流に設けられて吹出口が前
   記ダクトに連通するよう設けられたフアンとを備
   えて成る清浄作業台において、前記ダクト部の奥
   行寸法より大きい奥行寸法を有して前記フアンを
   格納するよう構成されたフアンケースを備え、該
   フアンケースは前記ダクト部の背面より後方に突
   出する第１の位置と、前記ダクト部の前面より前
   方に突出する第２の位置とを選択的にとるよう前
   記ダクト部の下方に設けられたことを特徴とする
   清浄作業台。 ２ 前記フアンはそのスクロールの巻終わり部分
   が前記フアンケースの第１の位置において前記作
   業室の前面に向くよう設けられ、前記フアンケー
   スの第２の位置において前記作業室の背面に向く
   よう設けられたことを特徴とする特許請求の範囲
   第１項記載の清浄作業台。 ３ 前記フアンケースは前記ダクト部に着脱自在
   に装着されたことを特徴とする特許請求の範囲第
   １項記載の清浄作業台。 ４ 前記フアンケースはそれぞれ着脱自在に設け
   られた吸い込み口とカバーとを備え、該吸い込み
   口および該カバーは同一取り付け寸法に形成され
   たことを特徴とする特許請求の範囲第３項記載の
   清浄作業台。