JPH0323948B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0323948B2 JPH0323948B2 JP58225651A JP22565183A JPH0323948B2 JP H0323948 B2 JPH0323948 B2 JP H0323948B2 JP 58225651 A JP58225651 A JP 58225651A JP 22565183 A JP22565183 A JP 22565183A JP H0323948 B2 JPH0323948 B2 JP H0323948B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pattern
- pixels
- preprocessing
- black
- unevenness
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- Expired - Lifetime
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- Image Analysis (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(1)発明の技術分野
本発明はパターン処理方法、特に光学的にパタ
ーンを検知し検査を行う装置におけるパターンの
処理方法に関する。
ーンを検知し検査を行う装置におけるパターンの
処理方法に関する。
(2)技術の背景
例えばマイクロコンピユータなどに用いられる
印刷基板に形成された回路のパターン検査装置、
特にパターンを自動的に検査する装置が開発され
ている。パターンの自動的検査のためには最初に
パターンを光学的に読み取り、その結果を電気的
信号に変換し、この電気的信号を他の電気回路で
観察して欠陥の有無を検査する。そしてそのとき
に検査に先だち前処理が行われる。本発明はこの
前処理の方法に関するものである。
印刷基板に形成された回路のパターン検査装置、
特にパターンを自動的に検査する装置が開発され
ている。パターンの自動的検査のためには最初に
パターンを光学的に読み取り、その結果を電気的
信号に変換し、この電気的信号を他の電気回路で
観察して欠陥の有無を検査する。そしてそのとき
に検査に先だち前処理が行われる。本発明はこの
前処理の方法に関するものである。
(3)従来技術の問題点
パターン検査装置においては、欠陥検出回路の
誤動作を防止するために、検知したパターンに対
して必ず前処理が行われる。最初に読み取つたパ
ターンそのものにはノイズが含まれていたりエツ
ジに凹凸が存在するので、読み取つたパターンそ
のままでは検査がしにくいから、前処理をなして
ノイズや凹凸をなくすのである。
誤動作を防止するために、検知したパターンに対
して必ず前処理が行われる。最初に読み取つたパ
ターンそのものにはノイズが含まれていたりエツ
ジに凹凸が存在するので、読み取つたパターンそ
のままでは検査がしにくいから、前処理をなして
ノイズや凹凸をなくすのである。
パターンは可視的には黒と白で表され、黒は細
く短い棒状に現われ、黒と白は電気的には“１”
と“０”に対応する。特にパターンの境界付近
（エツジともいう）にはパターンに凹凸部分が発
生し易いのでその凹凸をなくしたい。そうしない
とパターンは欠陥ありと検知されることになるか
らである。
く短い棒状に現われ、黒と白は電気的には“１”
と“０”に対応する。特にパターンの境界付近
（エツジともいう）にはパターンに凹凸部分が発
生し易いのでその凹凸をなくしたい。そうしない
とパターンは欠陥ありと検知されることになるか
らである。
第１図に１つのパターンが示されている。図示
のパターンは前記した黒棒と白によつて構成され
ているのであるが、図には黒棒の代りに模式的に
砂地を付して示す。前記のエツジにおける凹凸は
その一部を縁部１に誇張して示したが、同じよう
な凹凸は他の縁部にも存在する。第１図に示すパ
ターンにおいて、縁部１の凹凸は欠陥の不存在に
もかかわらず欠陥として現れた部分であるが、図
に２と３で示す部分は現実にパターン間隔不良、
断線欠陥が存在する。
のパターンは前記した黒棒と白によつて構成され
ているのであるが、図には黒棒の代りに模式的に
砂地を付して示す。前記のエツジにおける凹凸は
その一部を縁部１に誇張して示したが、同じよう
な凹凸は他の縁部にも存在する。第１図に示すパ
ターンにおいて、縁部１の凹凸は欠陥の不存在に
もかかわらず欠陥として現れた部分であるが、図
に２と３で示す部分は現実にパターン間隔不良、
断線欠陥が存在する。
第１図のパターンを従来技術に従つて前処理す
ると第２図に示されるパターンが得られる。縁部
１の凹凸がなくなつたのはよいとしても、パター
ン間隔不良部分はパターンがつながつてしまい、
また断線部分もつながつてしまう。この前処理に
より微小な欠陥は除去されるが、第２図のパター
ンを検査をしたとしても正確な検出ができないこ
とになる。
ると第２図に示されるパターンが得られる。縁部
１の凹凸がなくなつたのはよいとしても、パター
ン間隔不良部分はパターンがつながつてしまい、
また断線部分もつながつてしまう。この前処理に
より微小な欠陥は除去されるが、第２図のパター
ンを検査をしたとしても正確な検出ができないこ
とになる。
上記の現象は、従来の方法においては次のよう
にして前処理をしていたからである。第３図を参
照すると、Ａ，Ｂ，Ｃで示す各部分はそれぞれセ
ンサーを表し、砂地を付したＡとＢのセンサーは
黒１、またはＣのセンサーの各々は白０に対応す
るとする。従来の方法では、Ａ＝Ｂ＝１のときに
はＣ＝１とし、第４図に示す如く前処理しすべて
を黒１にし、かかる操作を４方向について行つて
いたのである。その結果、前述した如くにエツジ
の凹凸は除去されたがその他の微小欠陥までも除
去されていたのである。
にして前処理をしていたからである。第３図を参
照すると、Ａ，Ｂ，Ｃで示す各部分はそれぞれセ
ンサーを表し、砂地を付したＡとＢのセンサーは
黒１、またはＣのセンサーの各々は白０に対応す
るとする。従来の方法では、Ａ＝Ｂ＝１のときに
はＣ＝１とし、第４図に示す如く前処理しすべて
を黒１にし、かかる操作を４方向について行つて
いたのである。その結果、前述した如くにエツジ
の凹凸は除去されたがその他の微小欠陥までも除
去されていたのである。
(4)発明の目的
本発明は上記従来の問題に鑑み、光学的にパタ
ーンを検知し検査を行う装置における検査信頼度
の高いパターン前処理の方法を提供することを目
的とする。
ーンを検知し検査を行う装置における検査信頼度
の高いパターン前処理の方法を提供することを目
的とする。
(5)発明の構成
そしてこの目的は本発明によれば、光学的にパ
ターンを検知し検査を行う際の２値パターンの前
処理において、隣接する画素の値が“０”と
“１”であり、さらにその“１”の値の画素より
所定画素数離れ、かつ同一ライン上に位置する画
素の値が“１”のとき、それら２個の画素“１”
にはさまれた複数個の画素の値を“１”とするこ
とを特徴とするパターン処理方法を提供すること
によつて達成される。
ターンを検知し検査を行う際の２値パターンの前
処理において、隣接する画素の値が“０”と
“１”であり、さらにその“１”の値の画素より
所定画素数離れ、かつ同一ライン上に位置する画
素の値が“１”のとき、それら２個の画素“１”
にはさまれた複数個の画素の値を“１”とするこ
とを特徴とするパターン処理方法を提供すること
によつて達成される。
(6)発明の実施例
以下本発明実施例を図面によつて詳説する。
本発明者は、パターンのエツジの凹凸をそのま
まにしておくと良いパターンであつても検査で不
良と判定されるかもしれないので、それを防止す
るために前処理でエツジ付近の凹凸のみを除去す
るのであるが、しかしエツジ部以外のその他の欠
陥は微小欠陥であつてもそのままにしておかなけ
ればならぬことを認識し、第５図と第６図に示さ
れる原理を考えた。すなわち、第５図においてセ
ンサーＡとＣの各々は白０、センターＢとＤは黒
１を表すとする。なお図において黒は砂地を付し
て表す。そして、センサーＡ＝０、かつ、Ｂ＝Ｄ
＝１ならばＣ＝１とするのである。その結果は第
６図に示され、本発明においてはかかるセンサー
を８方向に設ける。
まにしておくと良いパターンであつても検査で不
良と判定されるかもしれないので、それを防止す
るために前処理でエツジ付近の凹凸のみを除去す
るのであるが、しかしエツジ部以外のその他の欠
陥は微小欠陥であつてもそのままにしておかなけ
ればならぬことを認識し、第５図と第６図に示さ
れる原理を考えた。すなわち、第５図においてセ
ンサーＡとＣの各々は白０、センターＢとＤは黒
１を表すとする。なお図において黒は砂地を付し
て表す。そして、センサーＡ＝０、かつ、Ｂ＝Ｄ
＝１ならばＣ＝１とするのである。その結果は第
６図に示され、本発明においてはかかるセンサー
を８方向に設ける。
第７図は上記した動作を実現させるための回路
を示し、図において、１１はインバータ、１２は
ANDゲート、１３はORゲートをそれぞれ示す。
を示し、図において、１１はインバータ、１２は
ANDゲート、１３はORゲートをそれぞれ示す。
上記の動作をパターンの境界付近を例に第８図
を参照して説明すると、パターンのエツジである
縁部１の外方に符号４で示す黒が現れエツジに空
域が発生した、いいかえるとこの部分に凹凸がで
きたとする。そこに第５図を当ててみると、Ｂの
外方のＡは白であり、上記したところによつてＢ
からＤまでは第６図の場合の如く黒でつなげられ
パターンの境界付近の凹凸はなくなる。
を参照して説明すると、パターンのエツジである
縁部１の外方に符号４で示す黒が現れエツジに空
域が発生した、いいかえるとこの部分に凹凸がで
きたとする。そこに第５図を当ててみると、Ｂの
外方のＡは白であり、上記したところによつてＢ
からＤまでは第６図の場合の如く黒でつなげられ
パターンの境界付近の凹凸はなくなる。
次に断線部分３を第９図を参照して設明する。
断線部分に第５図を当てると、Ａが白でないの
で、ＢからＤまでは黒でつながらなくなり、断線
部分は白すなわち断線そのものとして残る。
断線部分に第５図を当てると、Ａが白でないの
で、ＢからＤまでは黒でつながらなくなり、断線
部分は白すなわち断線そのものとして残る。
このようにして第１図に示すパターンを前処理
した結果は概略的に第１０図に示される。第５図
と第６図に示されるセンサーを８方向に配置し前
処理をすると第１図の縁部分１の入江状に入り込
んだ部分（この部分は誤つて欠陥と検知されるお
それがある部分である。）は第８図を参照して説
明したとおりに前処理されて埋め込まれ、当該部
分が欠陥と検知されることが防止される。なお、
前記した入江状部分以外の凹部は部分的に埋め込
まれた凹部として残るがそれはパターン検査に影
響するものではない。一方、パターン間隔不良お
よび断線はあるがまゝに保たれて検査されること
になる。
した結果は概略的に第１０図に示される。第５図
と第６図に示されるセンサーを８方向に配置し前
処理をすると第１図の縁部分１の入江状に入り込
んだ部分（この部分は誤つて欠陥と検知されるお
それがある部分である。）は第８図を参照して説
明したとおりに前処理されて埋め込まれ、当該部
分が欠陥と検知されることが防止される。なお、
前記した入江状部分以外の凹部は部分的に埋め込
まれた凹部として残るがそれはパターン検査に影
響するものではない。一方、パターン間隔不良お
よび断線はあるがまゝに保たれて検査されること
になる。
なお、上記した実施例の論理の１と０を入れか
えても微小パターン除去処理は可能であるので、
本発明の適用範囲は上記の場合に限定されるもの
でない。
えても微小パターン除去処理は可能であるので、
本発明の適用範囲は上記の場合に限定されるもの
でない。
(7)発明の効果
以上詳細に説明した如く本発明によれば、微小
な欠陥を除去することなくパターンの境界付近の
凹凸のみを除去することができるので、パターン
検査の信頼性向上に効果大である。
な欠陥を除去することなくパターンの境界付近の
凹凸のみを除去することができるので、パターン
検査の信頼性向上に効果大である。
第１図はパターンを示す図、第２図は第１図の
パターンを従来方法により前処理した結果を示す
図、第３図と第４図は従来のパターン前処理の原
理を示す図、第５図と第６図は本発明のパターン
前処理の原理を示す図、第７図は本発明の方法を
実施するための回路を示す図、第８図と第９図は
本発明の方法の実施例を示す図、第１０図は第１
図のパターンを本発明により前処理した結果を示
す図である。 １……縁部分（境界付近）、２……パターン間
隔不良部分、３……パターン断線部分、４……黒
パターン、１１……インバータ、１２……AND
ゲート、１３……ORゲート。
パターンを従来方法により前処理した結果を示す
図、第３図と第４図は従来のパターン前処理の原
理を示す図、第５図と第６図は本発明のパターン
前処理の原理を示す図、第７図は本発明の方法を
実施するための回路を示す図、第８図と第９図は
本発明の方法の実施例を示す図、第１０図は第１
図のパターンを本発明により前処理した結果を示
す図である。 １……縁部分（境界付近）、２……パターン間
隔不良部分、３……パターン断線部分、４……黒
パターン、１１……インバータ、１２……AND
ゲート、１３……ORゲート。
Claims (1)
- １ 光学的にパターンを検知し検査を行う際の２
値パターンの前処理において、隣接する画素の値
が“０”と“１”であり、さらにその“１”の値
の画素より所定画素数離れ、かつ同一ライン上に
位置する画素の値が“１”のとき、それら２個の
画素“１”にはさまれた複数個の画素の値を
“１”とすることを特徴とするパターン処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58225651A JPS60117380A (ja) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | パタ−ン処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58225651A JPS60117380A (ja) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | パタ−ン処理方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60117380A JPS60117380A (ja) | 1985-06-24 |
| JPH0323948B2 true JPH0323948B2 (ja) | 1991-04-02 |
Family
ID=16832632
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58225651A Granted JPS60117380A (ja) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | パタ−ン処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60117380A (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4898886A (ja) * | 1972-03-29 | 1973-12-14 | ||
| JPS52140278A (en) * | 1976-05-19 | 1977-11-22 | Hitachi Ltd | Position detector |
| JPS55124872A (en) * | 1979-03-20 | 1980-09-26 | Hitachi Ltd | Noise pattern erase circuit for binary video signal |
-
1983
- 1983-11-30 JP JP58225651A patent/JPS60117380A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60117380A (ja) | 1985-06-24 |
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