JPH03244888A

JPH03244888A - 真空容器の自動排気装置

Info

Publication number: JPH03244888A
Application number: JP3742890A
Authority: JP
Inventors: Masao Matsumura; 正夫松村
Original assignee: Ebara Corp
Current assignee: Ebara Corp
Priority date: 1990-02-20
Filing date: 1990-02-20
Publication date: 1991-10-31
Anticipated expiration: 2009-09-21
Also published as: JPH0674863B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、真空を維持する必要のある真空容器を自動的
に排気する自動排気装置に関する。

［従来の技術］例えば半導体チップの格納、輸送には、クリーンな状態
を維持するために、真空容器と、その真空容器内を排気
する自動排気装置とが用いられている。

［発明が解決しうよとする課題］従来の自動排気装置は、バルブ操作等を手動で行ってお
り、十分な性能のものが見当らず、高真空に耐え、高ク
リーン度を維持する能力に欠けていた。

本発明は、真空容器を高クリーン度に維持する自動排気
装置を提供することを目的としている。

［課題を解決するための手段］本発明によれば、真空容器の排気口を該排気口に取付け
た磁性体に吸引される永久磁石を備えたシールフランジ
でシールしている真空容器の自動排気装置において、前
記シールフランジを開閉する開閉手段と、該シールフラ
ンジの開時に真空圧を測定する測定手段と、真空圧が所
定値のときに前記開閉手段を閉動作させる制御手段とを
備えている。

上記開閉手段は、永久磁石の磁力を低減させる電磁コイ
ルと、シールフランジに設けた磁性体を介しシールフラ
ンジを吸引して開く磁性体及び電磁コイルとて構成する
のが好ましい。

また、測定手段は、シールフランジの開時に排気口に連
通ずる圧力取出通路及び真空計で構成するのが好ましい
。

また、制御手段はマイクロコンピュータで構成されたコ
ントローラを用い、このコントローラに真空ポンプ、真
空計、電磁コイルを接続するのが好ましい。

また、装置の本体を真空容器に押圧して密着させる押圧
装置を設け、コントローラに接続するのが好ましい。

また、必要に応じ、真空容器の密着シール面をパージす
るクリーンエア又はＮ２など貴ガスを噴射する噴射通路
、バルブを備えた供給管及びタンクからなるパージ手段
を設け、そのバルブをコントローラに接続するのが好ま
しい。

［作用］上記のように構成された自動排気装置においては、本体
を真空容器へ取付ける際にコントローラは、必要に応じ
バルブを開きクリーンエア又は貴ガスを密着シール面に
噴射してパージする。

コントローラは、押圧手段で本体を真空容器に密着させ
、真空ポンプを作動して真空排気を行い、シールフラン
ジまでの管路を規定圧まで降圧する。

次いで、シールフランジの永久磁石側の電磁コイルを励
磁し、永久磁石の磁力を低減すると共に、本体の磁性体
側の電磁コイルを励磁し、シールフランジを吸着して開
く。

この状態において、真空計からの検出信号に基づき、容
器内の圧力が規定より高い場合は、更に排気を継続し、
規定値に達したら、両電磁コイルを消磁し、永久磁石を
介してシールフランジを容器側の磁性体に吸着させ、排
気口を閉じてシールする。

［実施例コ以下図面を参照して本発明の詳細な説明する。

この自動排気装置は、真空容器Ａに密着される本体１−
０と、本体１０に排気管Ｌ１を介して接続された真空ポ
ンプ３１と、本体１０に接続された圧力取出管Ｌ２及び
該取出管Ｌ２に接続された真空計３２からなる測定手段
と、本体１０に接続されバルブ３４を備えた供給管Ｌ３
及び該供給管Ｌ３に接続されたクリーンエア又はＮ２な
ど貴ガスのタンク３３からなるパージ手段と、本体１０
をを真空容器Ａに密着させる押圧装置３５と、本体１０
の後記する開閉手段に電線ｌを介して接続されたコント
ローラ３０とから概略構成され、真空ポンプ３１、真空
計３２、バルブ３４及び押圧装置３５はコントローラ３
０に接続されている。

第２図及び第３図において、真空容器Ａの排気口１が開
口する部分には、環状突部２が形成され、その突部２の
端面には、０リング３が設けられている。この突部２を
囲んで断面がＬ字形で内端面が突部２より若干低い環状
の第１磁性体４が設けられ、ポルト５により真空容器Ａ
に固設されている。その磁性体４の内部に収まるシール
フランジ６か設けられ、そのシールフランジ６には、円
周等配に複数（図示の例では８個）の筒状の第２磁性体
７が立設され、その端部には永久磁石８が埋設されてい
る。したがって、これらの永久磁石８か磁性体４に吸引
されることによりシールフランジ６か突部２の端面をＯ
リング３を介して密閉しシールするようになっている。

そして、シールフランジ６の端面には、円板状の第３磁
性体９か埋設されている。

前記本体１０には、隙間Ｃ１、Ｃ２を設けて第１磁性体
４を収める凹部１１が形成され、真空容器Ａとの接面に
は、０リング１２．１３が設けられている。

この本体１０には、隙間Ｃ１に開口する排気通路１４が
設けられ、その排気通路１４には排気管Ｌ１が接続され
ている。また、Ｏリング１２．１３間に開口する噴射通
路１５が設けられ、その噴射通路１５には供給管Ｌ３が
接続されている。また、隙間Ｃ１に開口する圧力取出通
路１６が設けられ、この圧力取出通路１６には圧力取出
管Ｌ２が接続されている。

シールフランジ６の開閉手段は、前記第２磁性体７を覆
う第１電磁コイル１７と、第３磁性体９と、その第３磁
性体９に対向し隙間ｃ１に若干突出する筒状の第４磁性
体１８と、この磁性体１８を囲む第２電磁コイル１９と
からなり、両電磁コイル１７．１９は、リード線２０と
、本体１０に０リング２１を介して取付けられたフィー
ドスルー２２の端子２３を介して電線ｌに接続されてい
る。

次に作用について説明する。

本体１０を真空容器Ａに取付けるに際し、コントローラ
３０は、真空容器Ａが大気中にある場合などの必要に応
じバルブ３４を開き、噴射通路１５からクリーンエア又
は貴ガスを噴射して真空容器Ａの接面をパージする。

次いで、コントローラ３０は、押圧装置３５により本体
１０を真空容器Ａに密着する。そして、真空ポンプ３１
を作動し、隙間Ｃ１、Ｃ２までの管路を規定圧まで真空
排気したのち、第１電磁コイル１７を励磁して第２磁性
体７及び永久磁石８の磁力を低減すると共に、第２電磁
コイル１９を励磁し第４磁性体１８に第３磁性体９を吸
着してシールフランジ６を開く。

この状態で真空計からの信号に基づき、真空圧が規定値
より大きい場合、真空排気を継続する。

そして、規定値に達したのち、両電磁コイル１７．１９
を消磁し、永久磁石８の吸引力によりシールフランジ６
を第１磁性体４に吸着させ、排気口１を閉じてシールす
る。

第４図及び第５図は本発明の別の実施例を示し、第２磁
性体７Ａをシールフランジ６の外周を囲む環状体に形成
し、永久磁石８Ａ及び第１電磁コイル１７Ａをそれぞれ
第２磁性体７Ａに対応する環状体に形成し、他を第２図
と実質的に同様に構成した例である。この実施例でも第
２図と同様な作用効果を奏する。

［発明の効果］本発明は、以上説明したように構成されているので、排
気、圧力測定等の操作をすべて自動的に行い、クリーン
な真空場を作ると共に、真空度の低下を防止することが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の全体構成を示す概略図、第２図は本発
明の第１実施例の要部を示す側断面図、第３図はシール
フランジの正面図、第４図及び第５図は本発明の第２実
施例を示す第２図及び第３図に相当する図面である。Ａ・・・真空容器　　１・・・排気口　　４・・・第１
磁性体　　６・・・シールフランジ７．７Ａ・・・第２
磁性体　　８．８Ａ・・・永久磁石　　９・・・第３磁
性体　　１０、ＩＯＡ・・・本体　　１４・・・排気通
路　　１６・・・圧力取出通路　　１７．１７Ａ・・・
第１電磁コイル　　１８・・・第４磁性体　　１９・・
・第２電磁コイル　　３０・・・コントローラ３１・・
・真空ポンプ　　３２・・・真空計３３・・・タンク　
　３５・・・押圧装置第１図

Claims

【特許請求の範囲】

真空容器の排気口を該排気口に取付けた磁性体に吸引さ
れる永久磁石を備えたシールフランジでシールしている
真空容器の自動排気装置において、前記シールフランジ
を開閉する開閉手段と、該シールフランジの開時に真空
圧を測定する測定手段と、真空圧が所定値のときに前記
開閉手段を閉動作させる制御手段とを備えていることを
特徴とする自動排気装置。