JPH0674863B2

JPH0674863B2 - 真空容器の自動排気装置

Info

Publication number: JPH0674863B2
Application number: JP3742890A
Authority: JP
Inventors: 正夫松村
Original assignee: Ebara Corp
Current assignee: Ebara Corp
Priority date: 1990-02-20
Filing date: 1990-02-20
Publication date: 1994-09-21
Anticipated expiration: 2009-09-21
Also published as: JPH03244888A

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、真空容器の排気口を該排気口に取付けた磁性
体に吸引される永久磁石を備えたシールフランジでシー
ルしている真空容器の自動排気装置に関する。

［従来の技術］例えば半導体チップの格納、輸送には、クリーンな状態
を維持するために、真空容器と、その真空容器内を排気
する自動排気装置とが用いられている。

従来の自動排気装置は、バルブ操作等を手動で行ってお
り、十分な性能のものが見当らず、高真空に耐え、高ク
リーン度を維持する能力に欠けていた。

一般に磁気作動の真空破壊弁や仕切弁は種種知られてお
り、例えば実開平１−100965号公報や実開昭53−120321
号公報等に開示されている。しかしながら、かかる公知
技術では真空容器に物品を挿入し取出す場合に適用でき
ない。

［発明が解決しようとする課題］したがって、本発明の目的は、真空容器を高クリーン度
に維持でき、かつ真空容器に着脱が容易な真空容器の自
動排気装置を提供するにある。

［課題を解決する手段］本発明によれば、真空容器の排気口を該排気口に取付け
た磁性体に吸引される永久磁石を備えたシールフランジ
でシールしている真空容器の自動排気装置において、前
記シールフランジ（６）を囲うための囲い体（10）と、
囲い体（10）と真空容器（Ａ）とのあいだのシール手段
（12、13）と、該囲い体（10）のシール面を清浄気体で
パージするパージ機構（15、L3）と、囲い体内または囲
い体内と真空容器（Ａ）内を真空排気する排気機構（L
1、31）と、該シールフランジ（６）を吸着把持開閉す
るための電磁石（18、19）と、囲い体（10）を真空容器
（Ａ）に押しつけまたは切り離しする押圧機構（35）と
を具備している。

さらに本発明によれば、シールフランジ（６）の開示に
真空圧を測定する真空計等の測定手段（L2、32）を具備
している。

そして本発明によれば、真空容器（Ａ）の排気口（１）
を該排気口（１）に取り付けた磁性体（４）に吸引され
る永久磁石消磁コイル（17）を取付けてある。

また本発明によれば、前記測定手段による測定値と規定
値との比較により真空引きかシールフランジ閉かを判断
し、動作指示をする制御手段（30）を有している。

［作用］上記のように構成された自動排気装置においては、囲い
体を真空容器へ取付ける際に制御手段は、必要に応じバ
ルブを開きクリーンエア又は貴ガスを密着シール面に噴
射してパージする。

制御手段は、囲い体を真空容器に押しつけ、または切り
離しをする押圧機構で囲い体を真空容器に押圧して密着
させ、真空ポンプを作動して真空排気を行い、シールフ
ランジまでの管路を規定圧まで降圧する。

次いで、シールフランジの永久磁石側の電磁コイルを励
磁し、永久磁石の磁力を低減すると共に、囲い体の磁性
体側の電磁コイルを励磁し、シールフランジを吸着して
開く。

この状態において、真空計から検出信号に基づき、真空
容器内の圧力が規定より高い場合は、更に排気を継続
し、規定値に達したら、両電磁コイルを消磁し、永久磁
石を介してシールフランジを容器側の磁性体に吸着さ
せ、排気口を閉じてシールする。

［実施例］以下図面を参照して本発明の実施例を説明する。

この自動排気装置は、真空容器Ａに密着される囲い体10
と、その囲い体10に排気管L1を介して接続された真空ポ
ンプ31と、囲い体10に接続された圧力取出管L2及び該取
出管L2の接続された真空計32からなる測定手段と、囲い
体10に接続されバルブ34を備えた供給管L3及び該供給管
L3に接続されたクリーンエア又はN₂など貴ガスのタンク
33からなるパージ機構と、囲い体10を真空容器Ａに密着
させる押圧機構35と、囲い体10の後記する開閉手段に電
線ｌを介して接続された制御手段30とから概略構成さ
れ、真空ポンプ31、真空形32、バルブ34及び押圧機構35
は制御手段30に接続されている。

なお、排気管L1および真空容器ポンプ31は排気機構を構
成している。

第２図及び第３図において、真空容器Ａの排気口１が開
口する部分には、環状突部２が形成され、その突部２の
端面には、Ｏリング３が設けられている。この突部２を
囲んで断面がＬ字形で内端面が突部２よりも若干低い環
状の第１磁性体４が設けられ、ボルト５により真空容器
Ａに固設されている。その磁性体４の内部に収まるシー
ルフランジ６が設けられ、そのシールフランジ６には、
円周等配に複数（図示の例では８個）の筒状の第２磁性
体７が立設され、その端部には永久磁石８が埋設されて
いる。したがって、これらの永久磁石８が磁性体４に吸
引されることによりシールフランジ６が突部２の端面を
Ｏリング３を介して密閉しシールするようになってい
る。そして、シールフランジ６の端面には、円板状の第
３磁性体９が埋設されている。

前記囲い体10には、隙間C1、C2を設けて第１磁性体４を
収める凹部11が形成され、真空容器Ａとの接面にはシー
ル手段を構成するＯリング12、13が設けられている。

この囲い体10には、隙間C1に開口する排気通路14が設け
られ、その排気通路14には排気管L1が接続されている。
また、Ｏリング12、13間に開口する噴射通路15が設けら
れ、その噴射通路15には供給管L3が接続されている。ま
た、隙間C1に開口する圧力取出通路16が設けられ、この
圧力取出通路16には圧力取出管L2が接続されている。

シールフランジ６の開閉手段は、前記第２磁性体７を覆
う第１電磁コイル17と、第３磁性体９と、その第３磁性
体９に対向し隙間C1に若干突出する筒状の第４磁性体18
と、この磁性体18を囲む第２電磁コイル19とからなり、
両電磁コイル17、19は、リード線20と、囲い体10のＯリ
ング21を介して取付けられたフィードスルー22の端子23
を介して電線ｌに接続されている。

次に作用について説明する。

真空容器Ａ内にはあらかじめキャリヤに半導体ウエハを
入れておき、カバーで閉塞しておく。そして囲い体10を
真空容器Ａに取付けるに際し、制御手段30は真空容器Ａ
が大気中にある場合などの必要に応じバルブ34を開き、
噴射通路15からクリーンエア又は貴ガスを噴射して真空
容器Ａの接面をパージする。

次いで、制御手段30は、押圧機構35により囲い体10を真
空容器Ａに密着する。そして、真空ポンプ31を作動し、
隙間C1、C2までの管路を規定圧まで真空排気したのち、
第１電磁コイル17を励磁して第２磁性体７及び永久磁石
８の磁力を低減すると共に、第２電磁コイル19を励磁し
第４磁性体18に第３磁性体９を吸着してシールフランジ
６を開く。

この状態で真空計からの信号に基づき、真空圧が規定値
より大きい場合、真空排気を継続する。そして、規定値
に達したのち、両電磁コイル17、19を消磁し、永久磁石
８の吸引力によりシールフランジ６を第１磁性体４に吸
着させ、排気口１を閉じてシールする。

第４図及び第５図は本発明の別の実施例を示し、第２磁
性体7Aをシールフランジ６の外周に囲む環状体に形成
し、永久磁石8A及び第１電磁コイル17Aをそれぞれ第２
磁性体7Aに対応する環状体に形成し、他を第２図と実質
的に同様に構成した例である。この実施例でも第２図と
同様な作用効果を奏する。

［発明の効果］以上の通り、本発明によれば下記のすぐれた効果を奏す
る。

（ｉ）囲い体を確実に真空容器に取付けることがで
き、真空容器の排気作業を簡単に行うことができる。

（ii）電磁石によりシールフランジを吸着把持開閉す
るので自動化ができ、作業が確実である。

（iii）真空圧を測定する測定手段を設ければ、規定
値に達するまで排気作業をすればよく、自動化が容易で
ある。

（iv）永久磁石用消磁コイルを取付ければ、消磁後排
気口から囲い体を容易に引き離すことができ、磁力が大
きくなっても囲い体の開閉が可能となり、装置の大型化
を図ることができる。

（ｖ）測定手段からデータに基づき、制御手段が動作
指示するようにすれば、真空容器内の真空度が経時的に
低下しても、一定真空度以下になる前に真空引きが可能
となり、真空引き作業時間の低減を図ることができ、か
つ異常真空圧上昇を防止できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の全体構成を示す概略図、第２図は本発
明の第１実施例の要部を示す側断面図、第３図はシール
フランジの正面図、第４図及び第５図は本発明の第２実
施例を示す第２図及び第３図に相当する図面である。Ａ……真空容器、１……排気口、４……第１磁性体、６
……シールフランジ、７、7A……第２磁性体、８、8A…
…永久磁石、９……第３磁性体、10、10A……囲い体、1
4……排気通路、16……圧力取出通路、17、17A……第１
電磁コイル、18……第４磁性体、19……第２電磁コイ
ル、30……制御手段、31……真空ポンプ、32……真空
計、33……タンク、35……押圧機構

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】真空容器（Ａ）の排気口を該排気口に取付
けた磁性体に吸引される永久磁石を備えたシールフラン
ジ（６）でシールしている真空容器の自動排気装置にお
いて、前記シールフランジ（６）を囲うための囲い体
（10）と、囲い体（10）と真空容器（Ａ）とのあいだの
シール手段（12、13）と、該囲い体（10）のシール面を
清浄気体でパージするパージ機構（15、L3）と、囲い体
内または囲い体内と真空容器（Ａ）内を真空排気する排
気機構（L1、31）と、該シールフランジ（６）を吸着把
持開閉するための電磁石（18、19）と、囲い体（10）を
真空容器（Ａ）に押しつけまたは切り離しをする押圧機
構（35）とを具備したことを特徴とする真空容器の自動
排気装置。
【請求項２】シールフランジ（６）の開時に真空圧を測
定する真空計等の測定手段（L2、32）を具備したことを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の真空容器の自動
排気装置。
【請求項３】真空容器（Ａ）の排気口（１）に取り付け
た磁性体（４）に吸引され、かつシールフランジ（６）
に付属する永久磁石（８）を消磁する永久磁石用消磁コ
イル（17）を取付けたことを特徴とする特許請求の範囲
第１項又は第２項のいずれかに記載の真空容器の自動排
気装置。
【請求項４】前記測定手段（L2、32）による計測値と規
定値との比較により真空引きかシールフランジ閉かを判
断し、動作指示する制御手段（30）を有することを特徴
とする特許請求の範囲第１項ないし第３項のいづれかに
記載の真空容器の自動排気装置。