JPH04364911A - 光記録媒体用樹脂基板シートの製造方法および製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は光記録媒体に使用される
樹脂基板シートの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】多種多様の情報を取り扱う手段として、
光学的情報記録方法が提案され、そのための光学的情報
記録担体（光ディスク、光カード、光テープ等）、記録
・再生方法、記録・再生装置が提案され、該光学的情報
記録担体としての光記録媒体は、一般にレーザー光を用
いて該担体上の光記録層の一部を揮散させるか、反射率
の変化や屈折率の変化を生じさせるか、或いは変形を生
じさせて、光学的特性（例えば、反射率、透過率等）の
差によって情報を記録し、或いは再生を行なっている。

【０００３】情報の記録・再生は該担体を構成する基板
上のトラック溝部の微細な凹凸を利用してレーザー光の
位相差によりトラッキングしながら光学的書き込みと読
み出しを行なっている。該担体中の基板にトラック溝や
さらにはプリフォーマットと呼ばれる信号情報を凹凸状
に設けてある。凹凸パターンをあらかじめ形成したスタ
ンパーを用いて熱可塑性樹脂にプレス成形法や射出成形
法等の熱転写により、トラック溝や信号情報に対応する
凹凸パターンを基板上に形成する。その他に、樹脂シー
トに成形ロールで加熱押圧して凹凸パターンを転写する
方法（特開昭５６−８６７２１号）や紫外線、電子線硬
化樹脂を用いて成形ロールの凹凸パターンを転写する方
法（特開昭５６−８４９２１号）が提案され、さらに、
樹脂を溶解して押し出してから成形ロールで加熱、冷却
、押圧して凹凸パターンを転写する方法も提案されてい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、これらの成形
ロールで加熱、押圧して凹凸パターンを転写して基板を
連続的に製造する方法では、成形ロールと加圧ロールで
溶融樹脂を加圧、冷却するときの押し圧にムラがあると
、樹脂シートの複屈折が大きくなってしまう。

【０００５】溶融樹脂の押し出し時には成形ロールおよ
び加圧ロールの入口付近にバンクと呼ばれる樹脂溜りが
発生する。このバンク量は溶融樹脂の押し出し量が一定
の場合には増加するため、ロールギャップ量が変動し、
樹脂シートの厚さが変動してしまう。この結果、押し圧
にムラが生じて樹脂シートの複屈折が大きくなってしま
う。

【０００６】これは、各ロールに挟み込まれる溶融樹脂
の厚さの変動が大きくなり、成形ロールと加圧ロールで
加圧、加熱、冷却されるときの溶融樹脂の厚さが変動す
ると、それに伴って各ロールで樹脂シートを押す圧力が
変動するためである。強く押されたときは樹脂シートに
複屈折が発生し、弱く押されたときは凹凸パターンの転
写が不十分になる。

【０００７】このことは、特に溶融樹脂を押し出してか
ら成形ロールで凹凸パターンを転写して樹脂シートを製
造する方法で生じやすいため、該方法によるものにおい
ては、加圧ロール、成形ロールの表面温度とその分布お
よびＴダイより押し出す樹脂量を厳しく制御しなければ
ならず、押し出し成形のコントロールが難しくなり、求
める精度によっては制御不能になってしまうという問題
点が生じている。

【０００８】本発明は上記の問題点を解決するためにな
されたものであり、成形ロールで加熱、押圧して凹凸パ
ターンを転写して基板を連続的に製造する方法および装
置において、容易なコントロールで要求される精度を達
成することのできる製造方法を実現することを目的とす
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の光記録媒体基板
用樹脂シートの製造方法は、上面に光記録媒体のトラッ
ク溝部である凹凸パターンが形成される光記録媒体用樹
脂基板シートの製造を、溶融樹脂をロール対に挟み込ん
で該溶融樹脂を所定厚さの樹脂基板シートに加工するこ
とにより行う光記録媒体用樹脂基板シートの製造方法に
おいて、前記樹脂基板シートの少なくとも片面に、トラ
ック溝部の凹凸パターンの深さよりも高さが高い凸部ま
たはトラック溝の凹凸パターンの深さよりも深さが深い
凹部の少なくとも一方を形成するものである。

【００１０】また、本発明の光記録媒体基板用樹脂シー
トの製造装置は、上面に光記録媒体のトラック溝部であ
る凹凸パターンが形成される光記録媒体用樹脂基板シー
トの製造を、溶融樹脂をロール対に挟み込んで該溶融樹
脂を所定厚さの樹脂基板シートに加工することにより行
う光記録媒体用樹脂基板シートの製造装置において、前
記ロール対を構成するロールの少なくとも一方には、前
記樹脂基板シートに形成されるトラック溝部の凹凸パタ
ーンの深さよりも高さが高い凸部またはトラック溝の凹
凸パターンの深さよりも深さが深い凹部の少なくとも一
方が形成されたスタンパーが取り付けられる。

【００１１】

【作用】本発明の方法および本発明の装置により製造さ
れる光記録媒体基板用樹脂シートの一部には、トラック
溝部の凹凸パターンの深さよりも高さが高い凸部または
トラック溝の凹凸パターンの深さよりも深さが深い凹部
の少なくとも一方が形成される。

【００１２】これらの凹部または凸部を設けることによ
り、溶融樹脂の押し出し量が常に一定であっても、ロー
ル対に挟み込まれる溶融樹脂の量が変化するため、見か
けの溶融樹脂の押し出し量が一定とならず、各ロール対
の入口付近のバンクの量が増加することが防止され、ロ
ールギャップ量および樹脂シートの厚さが変動すること
が防止される。

【００１３】

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。

【００１４】図１は本発明による装置の一実施例の構成
を示す図、図２は図１中の成形ロール１０１上に形成さ
れるスタンパの一例を示す平面図、図３は図１中の成型
ロール１０１および加圧ロール１０２の構成を示す断面
図である。

【００１５】本実施例は図１に示す装置を用いて、ホッ
パー１０４より投入した樹脂をルーダー１０５で溶融温
度まで加熱・混練して溶融させてから、Ｔダイ１０６の
スリットからシート形状に押し出すと同時に、図３に示
すように、成形ロール１０１と加圧ロール１０２で挟ん
で加熱、冷却及び押圧等の加圧・成形を行なって樹脂シ
ート１０３の成形を行うものである。成形された樹脂シ
ート１０３は後段に設けられた反り取りロール１０８に
よって平坦とされ、搬送ロール１０７によって移動する
。

【００１６】図１中の加圧ロール１０２には図２に示さ
れるようなスタンパー２１１が取り付けられる。該スタ
ンパー２１１には、情報が記録されたトラック溝２１２
と、その周囲に配設され、トラック溝２１２の深さより
も高さが高い凸部２１３および凹部２１４とが設けられ
ている。

【００１７】次に、本実施例における加圧・成形動作に
ついて図３を参照して具体的に説明する。

【００１８】Ｔダイ１０６から押し出された溶融樹脂は
、成形ロール１０１と加圧ロール１０２で挟まれて加圧
されるが、両ロールで挟み込まれて加圧された時点での
溶融樹脂は、加圧・成形される前の溶融樹脂の厚さ３０
９よりも薄くなる。

【００１９】成形ロール１０１および加圧ロール１０２
のそれぞれには、図２中のスタンパー２１１と同様にト
ラック溝３１２の深さよりも高さが高い凸部３１３１，
３１３２および凹部３１４１，３１４２がそれぞれ設け
られている。これにより各ロールに挟み込まれた時点の
溶融樹脂にはトラック溝３１２の深さよりも高い凹凸が
形成される。これらの凹部または凸部を設けることによ
り、溶融樹脂の押し出し量が常に一定であっても、ロー
ル対に挟み込まれる溶融樹脂の量が変化するため、見か
けの溶融樹脂の押し出し量が一定とならず、各ロール対
の入口付近のバンクの量が増加することが防止され、ロ
ールギャップ量および樹脂シートの厚さが変動すること
が防止される。

【００２０】本実施例において、溶融樹脂のこれらの各
ロールに挟み込まれた時点での厚さは、各ロールの間隔
であるロールギャップ３１０によって決定される。この
ロールギャップ３１０は、上記の凸部３１３１，３１３
２および凹部３１４１，３１４２を設けたことにより調
節され、溶融樹脂が各ロールに挟み込まれた時点での厚
さの変動は１０％以下に抑えられる。これは、成形ロー
ル１０１および加圧ロール１０２の入口付近に生じたバ
ンクと呼ばれる樹脂溜りが吸収・調節されることによる
。

【００２１】本実施例におけるバンクの吸収・調節動作
について説明する。

【００２２】成形ロール１０１および加圧ロール１０２
の入口付近に生じたバンクはトラック溝３１２の深さよ
りも高い凹部３１４１，３１４２によって吸収される。 このとき、加圧・成形される前の溶融樹脂の厚さ３０９
およびロールギャップ３１０のそれぞれは上記バンクが
生じていたときの厚さより少ないものとなるが、続く凸
部３１３１，３１３２によって大きなものとなる。この
ように、バンクの吸収および発生を行わせることにより
、バンクは各ロールの一周期にて解消されるものとなり
、その発生量も所定量以下に抑えられ、各ロールに挟み
込まれた時点での溶融樹脂の厚さの変動は１０％以下に
抑えられる。

【００２３】なお、バンクの発生量は、加圧ロール、成
形ロールの表面温度、その分布および各ロールの回転速
度によって変化するものであるため、その発生量に応じ
てこれらのいずれかを調整することによりより高精度な
制御を行うことができる。

【００２４】本実施例において、溶融樹脂の厚さ３０９
、ロールギャップ３１０の大きさは、製造する樹脂シー
ト１０３や成形ロール１０１の径、成形速度に応じて自
由に選択することができるが、下記の式を満足する範囲
が好ましい。

【００２５】ロールギャップ３１０＜樹脂シート１０３
＜加圧・成形される前の溶融樹脂の厚さ３０９樹脂シー
ト１０３の製造に用いる樹脂は、熱可塑性を持つ樹脂で
あれば、いずれの樹脂でも用いることができる。例えば
、ポリカーボネート樹脂、ポリメチルメタクリル樹脂、
ポリスチレン樹脂、アモルファスポレオレフィン系樹脂
、塩化ビニル樹脂等の光透過性の良い高分子材料または
それらのコ−ポリマーを、必要に応じて単独でまたは混
合させて用いることができる。これらの樹脂中に離型材
、粘度調節剤、酸化防止材、ワックス等の各種添加物を
必要に応じて適量添加しても良い。樹脂の溶融温度は５
０〜５００度の範囲で、用いる樹脂によって自由に選択
できる。好ましい範囲は１００〜４００度である。押し
出して樹脂シートを形成する速度も、０．１〜１０００
ｍ／分の間で自由に選択できる。好ましい速度範囲は２
〜５０ｍ／分である。成形ロール１０１で凸部３１３１
及びトラック溝３１２を転写時の、成形ロール１０１と
加圧ロール１０２による押圧は０．１ｋｇ／ｃｍ２が良
く、好ましくは１〜１０ｋｇ／ｃｍ２の範囲が良い。

【００２６】成形ロール１０１及び、または加圧ロール
１０２に形成された凸部３１３１，３１３２または凹部
３１４１，３１４２を、両ロールのそれぞれ、または一
方に形成する位置は、ロールギャップ３１０を変化させ
て、各ロールに挟み込まれた時点での溶融樹脂の厚さの
変動を１０％以下に抑えることのできる位置であれば、
いずれの位置でも形成することができる。

【００２７】凸部３１３１，３１３２、凹部３１４１，
３１４２は、成形ロール１０１と加圧ロール１０２の両
方で、周方向に同じ位置に形成することもできるし、異
なる位置に形成することもできる。成形ロール１０１と
加圧ロール１０２の両方に凹部３１４１，３１４２また
は凸部３１３１，３１３２を形成してもよい。

【００２８】また、これらの凹部または凸部を設けるこ
とにより、各ロール対の入口付近のバンクの量が増加す
ることが防止され、ロールギャップ量および樹脂シート
の厚さが変動することが防止されるため、片方に凹部を
設け、反対側に凸部を設ける組み合わせも用いることが
でき、これにより、ロールに挟み込まれる前の溶融樹脂
の厚さの変動を１０％以下に制御することが容易となり
、複屈折の小さい、光学特性の良い樹脂基板シートの成
形を行なうことができるという利点がある。

【００２９】この凸部、凹部を形成する位置は、トラッ
ク溝に近すぎるとと、トラック溝付近での樹脂の流れに
乱れが生じ易くなったり、トラックに歪みが発生したり
するため、トラック溝周辺に形成する場合は、トラック
溝から１ｍｍ以上離れた位置に形成することが好ましく
、より好ましくは３ｍｍ以上離れた位置に形成すること
が好ましい。

【００３０】これらの凹凸部の形状としては、図２中の
凸部２１３、凹部２１４に示されるように、トラック溝
部２１２の周辺の適当な位置に形成することができる。 例えばトラック溝２１２の周囲を囲むように円形または
楕円形、長方形や正方形、三角等の多角形に形成するこ
ともできる。トラック溝２１２周辺以外の場所にも任意
の位置に、任意の形状に形成できる。押し出し方向に対
して、垂直、平行または斜め方向に形成することも可能
であり、さらにはこれらの方向を自由に組み合わせて形
成することができる。特に、押し出し方向に垂直な方向
である各ロールの周方向に一定の間隔で形成すると、各
ロールに挟み込まれる前の溶融樹脂の厚さ３０９（図３
参照）の変動を抑えるのに効果が大きい。

【００３１】凸部２１３、凹部２１４の高さ／深さは、
高さ／深さが大きすぎるとと、凸部２１３、凹部２１４
周辺の樹脂の流れが悪くなってしまい、製造された樹脂
シート１０３（図１参照）に複屈折が生じたり、厚さム
ラが発生してしまう。また高さ／深さが小さすぎると、
ロールギャップ３１０の変化を生じさせることが不十分
となり、各ロールに挟み込まれる前の溶融樹脂の厚さ３
０９の変動を一定以下に抑えることができなくなってし
まう。凸部２１３、凹部２１４の好ましい高さ／深さは
、製造する樹脂シート１０３の厚さの１／１０〜１／２
の範囲であり、具体的な数値としては、押し出して作る
樹脂シート１０３の厚さによるが、０．０１〜１０．０
ｍｍの範囲である。

【００３２】凸部２１３、凹部２１４の幅は必要な幅で
あれば、自由に選択することができる。幅が広すぎると
樹脂の流れが不均一となり、狭すぎると各ロールに挟み
込まれる前の溶融樹脂の厚さ３０９の変動を抑える効果
がなくなってしまう。好ましい幅は０．０１〜１０ｍｍ
の範囲である。凸部２１３、凹部２１４の断面形状は円
形、楕円、台形、三角形または多角形、矩形の中から自
由に選択できる。

【００３３】本発明におけるトラック溝２１２を持つス
タンパー２１１の材質は、用いるスタンパー２１１の製
造方法に応じて、ニッケル、クロム等の金属、タングス
テンカーバイド、窒化チタン等の金属化合物、可撓性を
持つガラス、セラミックス、または高分子等の樹脂類を
必要に応じて選択して用いることができる。スタンパー
２１１の表面には必要に応じて、金属酸化物、窒化物、
炭化物等による表面硬化層、シリコン系樹脂等による保
護層、炭素ハロゲン化物等による離型層等を形成するこ
ともできる。

【００３４】スタンパー２１１の製造方法は、一般にス
タンパー、型の製造に用いられている方法であればいず
れの方法でも用いることができる。具体的には、ガラス
原盤にレジストを所定の厚さに塗布して、パターンを露
光、現像してから、ニッケルをスパッターで成膜して導
電化処理してから、電鋳にて所定の厚さまでニッケルを
析出させる方法で得ることができる。こうして得られた
スタンパーをマスターとして、そのレプリカ（マザース
タンパー）及び第２レプリカ（孫スタンパー）を作成し
ても良い。その他の方法としては、剛性を持った材料か
らなる基板にフォトリソ等の方法でパターンを形成して
、そのパターンをレジストにして該剛性を持った基板を
湿式または乾式エッチングで必要な深さまでパターンの
溝を形成する方法や、フォトマスク等のあらかじめ凹凸
パターンを形成した原盤から１回または複数回レプリカ
を取って製造する方法を用いることもできる。スタンパ
ーの厚さは成形可能な強度、剛性、熱伝導度を持つ範囲
であれば、いずれでも良いが、０．０１〜５０ｍｍの範
囲が好ましい。

【００３５】凸部または／及び凹部形成されたスタンパ
ーが付けられた成形ロールと加圧ロールとを用いて、各
ロールに挟み込まれた時点での溶融樹脂の厚さ変動を１
０％以下に抑えながら、本実施例により製造される樹脂
基板は、以下のような特徴を有する。 １．成型した樹脂基板シートの複屈折が小さい。 ２．溶融樹脂のロールでの流れムラによる、トラック溝
の転写ムラが小さい。 ３．トラック溝にゴーストピットが発生することがない
。

【００３６】さらに凸部、凹部を樹脂基板に転写するこ
とによって以下の効果も得られる。 ４．スタンパーの光記録担体の内部または外部に工程管
理用の記号（スタンパー番号等）を設けることができる
。 ５．エンボス加工やホログラムパターン、模様の形成を
同時に行なうことができる。

【００３７】図４（ａ）〜（ｆ）および図５（ａ）〜（
ｆ）は図２中のスタンパー２１１の製造方法を段階的に
示す断面図である。

【００３８】トラック溝２１２よりも高さが高い凸部２
１３を形成する方法としては、前記トラック溝２１２を
持つスタンパー２１１の製造工程中で、図４（ａ）に示
すような原盤４２１（またはスタンパー２１１）にトラ
ック溝４１２を形成した後に、トラック溝４１２に相当
する部分に図４（ｂ）に示すように保護基材で被覆４２
２を施す。トラック溝４１２が形成されている場合には
、トラック溝４１２に相当する部分は必ず被覆する。 その後、図４（ｃ）に示すように、切削、研磨等の機械
的な方法で図４（ｆ）に示される凸部２１３を作るため
の溝４２３を形成する。この溝４２３を形成する方法と
しては上記の機械的な方法の他にエッチング方法（ウエ
ットエッチまたはドライエッチ）方法を用いることがで
きる。その他には、トラック溝４１２の凹凸パターンを
フォトリソ工程で形成するときにレジストに２種類の強
度または波長の光を用いて露光、現像して、２種類の深
さの溝を形成してトラック溝と同時に凸部になる溝４２
３を形成する方法を用いることも可能である。

【００３９】次に、トラック溝４１２上の被覆４２２を
除去してから、原盤４２１（またはトラック溝４１２）
の形成された面上に図４（ｄ）に示すような導電膜４２
５を形成する。導電化処理された導電膜４２５の上に所
定の厚さまで電鋳を行なって図４（ｅ）に示すような電
鋳膜４２６を得る。続いて、電鋳膜４２６の裏面を研磨
して平面性を高める。この後、電鋳膜４２６を原盤４２
１より剥離することにより図４（ｆ）に示すようなスタ
ンパー２１１が得られる。

【００４０】トラック溝２１２よりも高さが高い凹部２
１４を形成する方法としては、前記トラック溝２１２を
持つスタンパー２１１の製造工程中で、図５（ａ）に示
すような原盤４２１（またはスタンパー２１１）にトラ
ック溝４１２を形成した後に、トラック溝４１２に相当
する部分に図５（ｂ）に示すように保護基材で被覆４２
２を施す。トラック溝４１２が形成されている場合には
、トラック溝４１２に相当する部分は必ず被覆する。 その後、真空蒸着、スパッター、ＣＶＤ、ＰＶＤ、プラ
ズマ重合等の真空成膜方法、ディッピング、各種印刷法
、厚さの決まった部材を貼り付ける方法等により、図５
（ｆ）に示される凹部２１４の深さと同じ高さの突起５
２４を形成する。突起５２４の形成方法はこの他に、ト
ラック溝４１２の凹凸パターンをフォトリソ工程で形成
するときに、レジストに２種類の強度または波長の光を
用いて露光、現像して、２種類の深さの溝を形成してト
ラック溝４１２と同時に突起５２４を形成する方法を用
いることも可能である。

【００４１】次に、トラック溝４１２上の被覆４２２を
除去してから、原盤４２１（またはトラック溝４１２）
の形成された面上に図５（ｄ）に示すような導電膜４２
５を形成する。導電化処理された導電膜４２５の上に所
定の厚さまで電鋳を行なって図５（ｅ）に示すような電
鋳膜４２６を得る。続いて、電鋳膜４２６の裏面を研磨
して平面性を高める。この後、電鋳膜４２６を原盤４２
１より剥離することにより図５（ｆ）に示すようなスタ
ンパー２１１が得られる。この場合に加圧ロール１０２
に取り付けるスタンパー２１１は、トラック溝２１２が
形成されていないスタンパー２１１を用いることも可能
である。

【００４２】成形ロール１０１や加圧ロール１０２を構
成するロール芯の材質は、成形時に必要な強度を持ち、
硬度が高く、熱伝導率の良い材料であれば、どのような
材料でも用いることができ、例えば、鉄、クロム鋼等の
金属、金属合金、金属化合物、ガラス、セラミックス等
を用いることができる。

【００４３】各ロール表面の加工処理としては脱錆、脱
脂、水分を除去して研磨することが望ましい。表面精度
は成形する光記録媒体の面精度とほぼ同じか、またはそ
れよりも良い面精度が必要である。好ましい面精度は１
Ｓ以下で、より好ましい面精度は０．１Ｓ以下である。 また必要に応じて表面に窒化チタン等の硬化膜、シリコ
ン等の保護層を形成することもできるし、クロムメッキ
等のメッキを施すことも可能である。

【００４４】成形ロール１０１または加圧ロール１０２
へのスタンパー２１１の固定方法は、各ロールの表面に
凹凸なく固定できる方法であれば、いずれの方法でも用
いることができる。例えば、接着剤または粘着剤をスタ
ンパー２１１の裏面の全面または一部に塗布してロール
芯に貼り付ける方法、スタンパー２１１の端または一部
をロールに直接ネジ止めする方法、スタンパー２１１の
対向する２辺の端に棒状またはバンド状の固定具を取り
付けてロール芯に固定する方法、スタンパー２１１をロ
ール芯に設けた凹みにはめ込む方法、スタンパー２１１
を鞘状に加工してロール芯に被せて固定する方法、ハン
ダや低融点合金を用いてスタンパー２１１をロール芯に
ハンダ付ける方法等の中から必要に応じて選択すること
ができる。また、必要に応じてスタンパー２１１とロー
ル芯との間に断熱層や蓄熱層、弾性層、補強層、ズリ防
止層、熱伝導層等の機能を持つ層を設けることも可能で
ある。

【００４５】以下、実施例を示し、本発明をさらに具体
的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものでは
ない。 ［実施例１］厚さ２０ｍｍ，３００×３５０ｍｍのガラ
ス表面に、ピッチ１２μｍ、幅２．３μｍ、深さ３００
０Åの平行溝からなる、長さ８５．６ｍｍ、幅３１ｍｍ
の長方形の光カードの標準フォーマットのトラック溝が
、４個形成されたフォトマスク（ＨＯＹＡ）を用いて、
該フォトマスクの表面にレジスト（ＡＺ−１３７０、ヘ
キストジャパン）を２μｍの厚さにスピンコートした。 ガラス板の短辺の片側に、トラック溝から３０ｍｍ離れ
た位置に、７ｍｍの正三角形の凸部パターンを短辺に平
行に、一列に、露光機（ＭＡ−１０、三笠）を用いて露
光した。現像後、３０％の弗化水素水（キシダ化学）を
用いて１０μｍの深さまでエッチングして凸部用のパタ
ーンを作った。リムーバー（ＡＺリムーバー、ヘキスト
ジャパン）を用いてレジストを除去した後、再び同じレ
ジストを同じ厚さに全面に塗布した。凸部用のパターン
を形成したのと反対の短辺に、短辺と平行になるように
同じように凸部と同じ位置に、同じパターンを露光、現
像した。その上に金属クロムを１０μｍの厚さに蒸着し
て凹部用のパターンを形成した。再びレジストを取り除
いて原盤を形成した。ニッケルを１０００Åの厚さに真
空中でスパッターして表面を導電化してから、ニッケル
電鋳を行なって、厚さ２００μｍのの凸部、凹部が形成
されたスタンパーを得た。外形を２４０×３００ｍｍの
大きさに切断した後で、長辺方向の両端を、厚さ１０ｍ
ｍ、幅１５ｍｍ、長さ４００の固定具に、５ｍｍの幅で
、ＹＡＧレーザーを用いて２ｋＷの出力で溶接した。同
様にトラック溝の形成されていない同じ厚さ、大きさの
ガラス板に同じ方法で凸部用、凹部用のパターンをトラ
ック溝付きの場合と全く同じように形成した。同じよう
にレジストを取り除いて、導電化処理を行なってから、
電鋳、研磨、切断、溶接を行なって同じ厚さのトラック
溝がなく凸部、凹部が形成されたスタンパーを得た。

【００４６】表面に１０μｍの厚さにクロムメッキして
、０．１Ｓの精度で研磨した、外径３００ｍｍ、長さ４
００ｍｍの鉄製のロール固定具と同じ形状の溝を形成し
て、トラック溝と凸部、凹部が形成されたスタンパーの
端面に溶接された固定具の一方を成形ロールにネジ止め
して、他方のスタンパーに２．０ｋｇの張力が掛かるよ
うにして固定した。一本の成形ロールに同じようにして
、３枚のスタンパーと取り付けた。同様にトラック溝が
なく凸部、凹部が形成されたスタンパーを同じ形状のロ
ールに同じように固定して加圧ロールを得た。この成形
ロールと加圧ロールをそれぞれ凸部どうし、凹部どうし
が向き合うようにして、押し出し成型機（日立造船、Ｓ
ＨＴ９０−３２ＤＶＧ）に取り付けて、４．０ｍ／分の
速度で、ダイ温度は２９５℃、成形ロール温度１６０℃
の条件で、ポリカーボネート（帝人化成、Ｌ−１２２５
）を０．４ｍｍ厚さに押し出した。樹脂を押し出して成
形を行なっているときのバンク量の変動は７〜８％で十
分に小さかった。また、押し出した基板を測定してみた
ところ次に示すような特性を示した。光透過率は８９％
で十分に透明であった。（日立、Ｕ−３４００、λ＝８
３０ｎｍ）。複屈折は、全面にわたってシングルパスで
２０ｎｍ以下で小さかった。（日本電子光学社、複屈折
測定器、λ＝８３０ｎｍ）。また、糸引き等は見られな
かった。トラック溝の線幅はマスクの９９％であり良好
であった（エリオニクス、三次元計測装置）。トラック
溝の外形寸法はマスクを基準にして誤差１％以下で形状
の変化は十分に小さく、凸部、凹部によるトラック溝の
転写乱れは発生しなかった（カールツァイス、計測顕微
鏡）。またトラック溝の深さはマスクの９７％であり、
十分に転写していた。（テーラーホブソン、タリステッ
プ）。続いて、下記構造式［Ｉ］で示される、光記録材
料を溶剤塗布した。

【００４７】

【化１】 この基板を１００ｍｍ幅に切断して、保護基板には０．
２５ｍｍ厚のポリカーボネート（帝人化成、パンライト
２５１）を同じ１００ｍｍ幅に切断して、５０ミクロン
の厚さの接着剤（ヒロダイン、エバフレックス７５００
ＥＸＰ）を挟んで、ロールラミネーター（大成ラミネー
ター、特注品）を用いて、送り速度０．１０ｍ、ロール
温度１１０℃、ロール圧力２．０ｋｇでロール間に０．
５ｍｍの金属製のギャップを挟んでラミネートした。そ
れから８６×５４ｍｍのカードサイズに切断して光カー
ドを作製した。

【００４８】次の条件で記録・再生してみたところ、Ｃ
／Ｎ比で４７ｄＢ、ビットエラーレイトは１×１０−５
であった。この値は６０℃、９０％ＲＨの条件で１００
０時間保存しても、読み取り特性、書き込み特性ともに
変化がなかった。

【００４９】カードの送り速度：記録時６０ｍｍ／秒、
再生時４００ｍｍ／秒 記録周波数：７．６５ｋＨｚ、再生周波数：５１ｋＨｚ
レーザーパワー：書き込み３．５ｍＷ、読み出し０．２
ｍＷ、スポット径３ミクロン ［実施例２］実施例１と同じフォトマスクを用いて、実
施例１と同じ位置にフォトマスクには凸部だけを、ガラ
スには凹部だけを実施例と同じ方法で形成して、凸部の
付いたトラック溝を有するスタンパーと、凹部の付いた
トラック溝のないスタンパーを得た。実施例１と同様に
それぞれの凸部と凹部が向かい合うようにして、実施例
と同じ成形ロールと加圧ロールにスタンパーを設置した
。実施例１と同じ押し出し成型機を用いて、実施例１と
同じ条件で０．４ｍｍ厚のポリカーボネートを成形した
。成形中のバンク量の変動は７〜８％であった。得られ
た樹脂基板シートを実施例１と同じように測定すると、
光透過率は８９％で十分に透明であった。複屈折は全面
にわたってシングルパルスデで２０ｎｍ以下で小さかっ
た。また、糸引き等は見られなかった。トラック溝の線
幅はマスクの９９％であり良好であった。トラック溝の
外形寸法はマスクを基準にして誤差１％以下で形状の変
化は十分に小さく、凸部、凹部によるトラック溝の転写
乱れは発生しなかった。トラック溝の転写深さは９７％
であった。 ［実施例３］実施例１と同じフォトマスクとガラスを用
いて、実施例１と同じ位置に、実施例１と同じようにフ
ォトマスクとガラスに凸部、凹部を実施例１と同じ方法
で形成して、凸部と凹部の付いたトラック溝を有するス
タンパーと、トラック溝のないスタンパーを得た。それ
ぞれの凸部、凹部が対向するスタンパーの凸部、凹部と
向かい合わない位置になるようにして、実施例１と同じ
成形ロールを加圧ロールにスタンパーを設置した。実施
例１と同じ押し出し成型機を用いて、実施例１と同じ条
件で０．４ｍｍ厚のポリカーボネートを成形した。成形
中のバンク量の変動は７〜８％であった。得られた樹脂
基板シートを実施例１と同じように測定すると、光透過
率は８９％で十分に透明であった。複屈折は全面にわた
ってシングルパルスで２０ｎｍ以下で小さかった。また
、糸引き等は見られなかった。トラック溝の線幅はマス
クの９９％であり良好であった。トラック溝の外形寸法
はマスクを基準にして誤差１％以下で形状の変化は十分
に小さく、凸部、凹部によるトラック溝の転写乱れは発
生しなかった。トラック溝の転写深さは９７％であった
。 ［比較例１］実施例と同じフォトマスクとガラスを用い
て、凸部、凹部を形成しないで、導電化処理と電鋳を行
なった。実施例１と同じように裏面研磨、切断、溶接を
行なってトラック溝を有するスタンパーと、トラック溝
のないスタンパーを得た。実施例１と同じ成形ロールと
加圧ロールにそれぞれスタンパーを設置した。実施例１
と同じ押し出し成型機を用いて、実施例１と同じ条件で
０．４ｍｍ厚のポリカーボネートを形成した。バンク量
の変動は２０％であった。実施例１と同様に測定すると
、光透過率は８９％で十分に透明であった。複屈折は部
分的にシングルパルスで最大５０ｎｍとなってしまった
。糸引き等は見られなかった。トラック溝の線幅はマス
クの９９％であり良好であった。トラック溝の外形寸法
はマスクを基準にして最大で誤差１０％で形状の変化が
大きい。トラック溝の転写は深さで９７％であった。

【００５０】

【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載するような効果を奏する。

【００５１】請求項１に記載の方法においては、容易な
コントロールで要求される精度を達成することができ、
製造される樹脂シートを複屈折率が小さく、トラック溝
の転写が良好に行われるものとすることができる効果が
ある。

【００５２】請求項２に記載の装置においては、上記効
果を有する製造装置を実現することができる効果がある
。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による装置の一実施例の構成を示す図で
ある。

【図２】図１中の成形ロール１０１上に形成されるスタ
ンパーの一例を示す平面図である。

【図３】図１中の成型ロール１０１および加圧ロール１
０２の構成を示す断面図である。

【図４】（ａ）〜（ｆ）は図２中のスタンパー２１１の
製造方法を段階的に示す断面図である。

【図５】（ａ）〜（ｆ）は図２中のスタンパー２１１の
製造方法を段階的に示す断面図である。

【符号の説明】

１０１　　　　成形ロール １０２　　　　加圧ロール １０３　　　　樹脂シート １０４　　　　ホッパー １０５　　　　ルーダー １０６　　　　Ｔダイ １０７　　　　搬送ロール １０８　　　　反り取りロール ２１１，３１１　　　　スタンパー ２１２，３１２，４１２　　　　トラック溝２１３，３
１３１，３１３２　　　　凸部２１４，３１４１，３１
４２　　　　凹部３０９　　　　厚さ ３１０　　　　ロールギャップ ４２１　　　　原盤 ４２２　　　　被覆 ４２３　　　　溝 ４２５　　　　導電膜 ４２６　　　　電鋳膜 ５２４　　　　突起

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　上面に光記録媒体のトラック溝部であ
   る凹凸パターンが形成される光記録媒体用樹脂基板シー
   トの製造を、溶融樹脂をロール対に挟み込んで該溶融樹
   脂を所定厚さの樹脂基板シートに加工することにより行
   う光記録媒体用樹脂基板シートの製造方法において、前
   記樹脂基板シートの少なくとも片面に、トラック溝部の
   凹凸パターンの深さよりも高さが高い凸部またはトラッ
   ク溝の凹凸パターンの深さよりも深さが深い凹部の少な
   くとも一方を形成することを特徴とする光記録媒体用樹
   脂基板シートの製造方法。
2. 【請求項２】　　上面に光記録媒体のトラック溝部であ
   る凹凸パターンが形成される光記録媒体用樹脂基板シー
   トの製造を、溶融樹脂をロール対に挟み込んで該溶融樹
   脂を所定厚さの樹脂基板シートに加工することにより行
   う光記録媒体用樹脂基板シートの製造装置において、前
   記ロール対を構成するロールの少なくとも一方には、前
   記樹脂基板シートに形成されるトラック溝部の凹凸パタ
   ーンの深さよりも高さが高い凸部またはトラック溝の凹
   凸パターンの深さよりも深さが深い凹部の少なくとも一
   方が形成されたスタンパーが取り付けられることを特徴
   とする光記録媒体用樹脂基板シートの製造装置。