JPH0352247A - 半導体試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

〔産業上の利用分野］ この発明は半導体の良品、不良品の判定、選別を行う半
導体試験装置に関する．

【発明の概要］ この発明の半導体試験装置は、電気特性試験の測定値に
対し、一定の規格で良品、不良品の判定を行った後に，
測定値から偏差を求め、その偏差から規格を計算により
求め、偏差からの規格で再度良品、不良品の判定を行う
事により，分布の外れに位置するサンプルは不良品判定
とするようにしたものである． ［従来の技術１ 第２図は従来技術の半導体試験装置の良品、不良品判定
方法のフローチャートである．従来は第２図に示すよう
に測定ｌ、測定値読み込み２で得られた測定値に対し，
一定の規格による判定３を行い、良品７、不良品８に判
定していた．〔発明が解決しようとする課題〕 上記のような構成では、一定の規格の範囲内であれば分
布の外れに位置する他のサンプルに比べ問題のあるサン
プルでも良品判定してしまうという欠点があった． 〔課題を解決するための手段〕 上記問題点を解決するために，この発明は電気特性試験
の測定値に対し一定の規格で良品、不良品の判定を行っ
た後に、測定値から偏差を求め、その偏差から規楕を求
め、再度良品、不良品の判定を行うようにした． 〔作用］ 上記のような構成にすれば、分布の外れに位置するサン
プルを不良品判定とする事ができる．〔実施例Ｊ 以下に本発明の実施例を図面に基づいて説明する．第１
図は本発明の半導体試験装置における良品，不良品判定
方法のフローチャートである．測定１、測定値読み込み
２によって得られた測定値に対し従来と同様に一定の規
格による判定３を行う、一定の規格による判定３で規格
外であれば不良品判定とし、規格内であれば偏差計算４
、偏差からの規格計算５を行い、偏差からの規格による
判定６で再度判定を行う、偏差からの規格による判定６
で規格外であれば不良品８と判定し、規格内であれば良
品７と判定する． 第３図は本発明に関する良品、不良品判定方法の概念図
である．一定の規格９に対しサンプルの測定値の分布が
分布１０のようである場合、分布の外れに位置するサン
プル１ｌは他のサンプルに比べ問題があるにちかかわら
ず、一定の規格９の範囲内であるため従来の方法だと良
品判定となってしまう．これに対し偏差からの規格ｌ２
を設定し判定を行い分布の外れに位置するサンプルｌ１
を不良品判定とする． 【発明の効果】 この発明は以上説明したように，偏差により規格を決定
し判定を行う事により、分布の外れにあるサンプルを不
良品判定とする事ができる．

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の半導体試験装置の良品、不良品の判定
方法のフローチャート、第２図は、従来の半導体試験装
置の良品、不良品の判定方法のフローチャート、第３図
は本発明に関する良品、不良品判定方法の概念図である
． 測定 測定値読み込み 一定の規格による判定 偏差計算 偏差からの規格計算 ６　・ ７　・ ８　・ ９　・ １　０　・ １１　　・ １　２　・ ・偏差からの規格による判定 ・良品 ・不良品 ・一定の規格 ・サンプルの測定値の分布 ・分布の外れに位置するサンプル ・偏差からの規格範囲 以

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 電気特性試験機能を有する半導体試験装置において、測
   定値から偏差を求め、その偏差から規格を決定し、良品
   、不良品の判定を行う事を特徴とする半導体試験装置。