JPH0332429U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0332429U JPH0332429U JP9225389U JP9225389U JPH0332429U JP H0332429 U JPH0332429 U JP H0332429U JP 9225389 U JP9225389 U JP 9225389U JP 9225389 U JP9225389 U JP 9225389U JP H0332429 U JPH0332429 U JP H0332429U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holder
- wafer
- tipping
- semiconductor wafers
- holding jig
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 6
Description
第１図は本考案の一実施例に係るウエハ立替機
の一部破断斜視図、第２図は第１図の−線に
沿つて見る内側面図、第３図イからハは何れも本
考案のウエハ立替機による半導体ウエハの立て替
えを順を追つて説明する要部断面図、第４図は従
来のウエハ立替機の一部破断斜視図である。 １１……溝、２……プツシヤー、３……収容治
具（キヤリア）、５……ローラ、５１……テーパ
面、５２……ウエハガイド部、Ｗ……半導体ウエ
ハ。
の一部破断斜視図、第２図は第１図の−線に
沿つて見る内側面図、第３図イからハは何れも本
考案のウエハ立替機による半導体ウエハの立て替
えを順を追つて説明する要部断面図、第４図は従
来のウエハ立替機の一部破断斜視図である。 １１……溝、２……プツシヤー、３……収容治
具（キヤリア）、５……ローラ、５１……テーパ
面、５２……ウエハガイド部、Ｗ……半導体ウエ
ハ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 収容治具に収められた複数枚の半導体ウエハを
仮保持する複数の溝を有する立替用ホルダと、前
記収容治具内の半導体ウエハを支持して前記立替
用ホルダ内に出し入れするプツシヤーとからなる
ウエハ立替機であつて、 上記立替用ホルダの下端に回動自在のローラを
設けると共に、上記ホルダの各溝に対応する位置
の前記ローラに幅狭となるテーパ面をもつた径小
のウエハガイド部を周設したことを特徴とするウ
エハ立替機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9225389U JPH0332429U (ja) | 1989-08-04 | 1989-08-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9225389U JPH0332429U (ja) | 1989-08-04 | 1989-08-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0332429U true JPH0332429U (ja) | 1991-03-29 |
Family
ID=31641691
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9225389U Pending JPH0332429U (ja) | 1989-08-04 | 1989-08-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0332429U (ja) |
-
1989
- 1989-08-04 JP JP9225389U patent/JPH0332429U/ja active Pending