JPH04748U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の一実施例を示すウエハ移し
換え装置の全体斜視図、第２図は、ウエハプツシ
ヤの構成を示す斜視図、第３図は、移し換え時の
動作態様を示す要部側面図、第４図は、従来のウ
エハ移し換え装置の一例を示す斜視図、第５図は
、従来のウエハ移し換え装置の動作説明図である
。 １……ウエハアーム、２……ウエハチヤツク、
３……ウエハプツシヤ、４……キヤリア、５……
移載台、１１……ローラ、１１ａ……第１の載置
部、１１ｂ……第２の載置部、２０……第１のチ
ヤツク片、２０ａ……第１のチヤツク面、２０ｂ
……第２のチヤツク面、２１……第２のチヤツク
片、２１ａ……第１のチヤツク面、２１ｂ……第
２のチヤツク面、Ｗ……ウエハ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 移し換え装置本体上に一対のチヤツク片を
   対向配置してウエハチヤツクを構成し、所定の位
   置に収納されているウエハを上記各チヤツク片間
   に挟持して別の位置に移し換えるようにしたウエ
   ハ移し換え装置において、 上記ウエハを挟持するために上記各チヤツク片
   上にそれぞれ形成された複数の挟持面と、 上記複数の挟持面同志を選択的に対向させて上
   記移し換えするウエハに応じた使用態様にする挟
   持面選択機構とを具備することを特徴とするウエ
   ハ移し換え装置。 (2) 一対のチヤツク片を移し換え装置本体上に
   対向配置してウエハチヤツクを構成するとともに
   、移し換えられるウエハが載置される移載台にウ
   エハプツシヤを上下動自在に配設し、所定の位置
   に収納されているウエハを上記ウエハプツシヤで
   上方に押し上げてから上記各チヤツク片間に挟持
   して別の位置に移し換えるようにしたウエハ移し
   換え装置において、 上記ウエハを挟持するために上記各チヤツク片
   上にそれぞれ形成された複数の挟持面と、 上記複数の挟持面同志を選択的に対向させて上
   記移し換えするウエハに応じた使用態様にする挟
   持面選択機構と、 上記ウエハプツシヤの上部に形成された複数の
   ウエハ載置部と、 上記移し換えするウエハに対応させて上記各ウ
   エハ載置部を選択的に上方に向けるウエハ載置部
   選択機構とを具備することを特徴とするウエハ移
   し換え装置。