JPH0332917Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 《産業上の利用分野》 本考案はクリーンルームに関するもので、より
具体的には、フイルタの長寿命化、広いクリーン
ルームへの給気量の確保並びに施工性・メンテナ
ンス性の改善を図れるようにしたクリーンルーム
に関する。

《従来の技術》 従来、この種のクリーンルームは一般に、ルー
ム外の空気を、高性能フイルタを通してルーム内
に供給し、その全量をルーム外へ排出するように
したものがある。例えば、全量排出型では第３図
に例示するように、高清浄度を得るための室内の
天井部には、吹出フアン１の前面に高性能フイル
タ２を配置した、吹出口３が設けられている。ク
リーンルームＡの天部開口に、吹出フアン１と高
性能フイルタ２を一組とするフアンユニツトを設
置しているのである。外壁４の下端部と床面５と
の間には若干の間隙を設け、この間隙から吹出口
３の吹出気流を排出している。天部の片方側には
貫通口を穿ち、その上方に、筒体で囲んだ換気口
６を設けている。以上の構成によつてクリーンル
ームＡ外の浮遊塵などが、ルームＡ内に入る過程
で可及的速やかに高性能フイルタで除去され、ク
リーンルームＡの空気が高度が清浄状態に保持さ
れるものである。

他方、ルーム内の空気をルームの外へ全量排出
せず再度利用するように、循環させるクリーンル
ームも提案されている。この公知の循環型クリー
ンルームでは、周壁が外壁と内壁との二重構造と
され、ルーム内の空気は、外壁と内壁との間に形
成された循環路を通つて天井部に帰還され、そこ
から再び高性能フイルタを通してルーム内へ循環
されるようになつている。それには、循環ダクト
の吸入開口から吹出口へ至る途中に送風フアンを
設置したものが多い。例えばこのようなタイプの
ものとして、「空気清浄装置」（特開昭58−136930
号公報）が提案されている。

この提案にあつては、クリーン域へ流出される
清浄空気の温度を制御するように構成されてお
り、互いに間隔を隔てる一対の下り壁相互間で区
画された領域を、クリーン域として構成し、この
クリーン域に対して、送風機、与圧室及び空気清
浄フイルタで成る空気清浄ユニツトを配設してい
る。この空気清浄ユニツトに対しては、一方の下
り壁と外壁とで区画した清浄空気の再循環系と、
クリーン域外の空調空気吹出口側から、他方の下
り壁を介して、未清浄の外気を導入する外気導入
系とが備えられている。そしてこれら各系に、開
口量調整装置を有する吸込口を設置し、これら開
口量調整装置を開閉して温度制御しつつ、クリー
ン域へ給気するようにしている。

《考案が解決しようとする問題点》 これら従来のクリーンルームのうち、第３図に
例示したようなクリーンルームでは、全風量が、
床面近くから清浄度の低い周囲空間へ排出され、
他方では、全吹出風量が清浄度の低い周囲空間か
ら取り込まれており、高性能フイルタの目詰りが
早く、フイルタの圧力損失の増加割合が加速度的
に増大するという問題があつた。

また、室内空気を吹出口へ戻す循環ダクト、ま
たは室内空気のリターン経路等から給気される吹
出口を具えた循環型では、フイルタの寿命は長く
なるが、クリーン度の高い、広く大きなクリーン
ルームは得られない欠点があつた。これは、吹出
フアンの能力や室内気流の関係から、広い室内の
中央部分まで高清浄な空気を速やかに対流させる
ことが難しいからである。

また特に上記公報記載のものでは、外気と循環
空気との両者を、一括して単一のフイルタで清浄
するようにしているため、フイルタの寿命は導入
される外気量に支配され、交換に際しては、この
フイルタ全体を交換しなければならなかつた。さ
らに、調整装置で給気系を切り替えるようにして
いるので、極端に言えば、外気導入のみのときと
再循環のみのときとでは、清浄度に相当の差が生
じるとも考えられ、時間経過において清浄度が変
動すると考えらる。即ち、上記技術では、吹き出
される清浄空気の温度を均一に保証するという観
点を有することからして、調整装置の開閉は温度
に支配され、極端な場合には、上述したように単
一の給気系から給気が行われるものであつて、清
浄度は安定しないものと考えられる。

本考案は上記事情に鑑みてなされたものであつ
て、その目的は、フイルタの長寿命化、広いクリ
ーンルームへの給気量の確保並びに施工性・メン
テナンス性の改善を図れるクリーンルームを提供
することにある。

《問題点を解決するための手段》 上記目的を達成するために本考案のクリーンル
ームは、外幕部材で側面が区画され天井板で上面
が閉塞されて、床面上に形成される作業室と、上
記天井板全体に亘つて複数形成された吹出口と、
上記天井板から上記床面上方に内幕部材が垂下さ
れて該内幕部材と上記外幕部材との間に形成さ
れ、上記吹出口に接続される清浄空気再循環系
と、該清浄空気再循環系が接続される上記吹出口
間に位置される他の吹出口に接続され、上記作業
室外方と連通される外気導入系と、上記作業室内
外双方に連通される換気口を有して、上記内幕部
材の垂下位置とは反対側の遠隔位置の吹出口に接
続され、清浄空気と外気とを混合する混合気導入
系と、これら清浄空気再循環系、外気導入系及び
混合気導入系それぞれに個別に設けられた、フイ
ルタ及び吹出フアンから成る空気清浄ユニツト
と、を備えると共に、上記空気清浄ユニツトを上
記天井板に取り付けるための取付部が、該天井板
に形成された、該空気清浄ユニツトの外径寸法よ
りも大きな孔径を有する透孔と、上記天井板の上
方に上記透孔内側へ張り出して配設され、上記空
気清浄ユニツトを支持する支持具が下方から係合
される支持金具と、上記透孔内に配設され、上記
天井板と上記空気清浄ユニツトとの隙間を塞ぐ充
填材と、から成ることを特徴とする。

《作用》 本考案の作用について述べると、再循環系と外
気導入系とが別個独立で、これら各系に個別にフ
イルタを備えて構成されるので、フイルタの寿命
としては、再循環系で長く、他方外気導入系では
短いが、交換に際しては主に外気導入系のフイル
タを交換すれば良く、必要的に交換すべきフイル
タ容量を削減でき、嫁働コストを低減させること
ができる。

また、他の２つの系とは独立させて新設した混
合気導入系は、外気と清浄空気とが混合されるも
のであり、外気の導入により比較的清浄な空気を
大量に供給することができ、また外気導入系に比
してフイルタの寿命も長くすることができる。そ
して、この増設した混合気導入系で外気導入系の
肩代わりさせるようにしており、このような構成
より、大量の給気量を確保しつつ清浄度を保つこ
とができ、特に広い空間スペースのクリーンルー
ムに対して有効である。

またこの混合気導入系の配設位置についても、
再循環系から遠く離すことで、適当な空気流れの
生成を達成しながら、反面清浄度を悪化させるこ
とがない。

さらに、外気導入系についても、再循環系の間
に配置するようにして、広いクリーンルームに対
する必要給気量の確保と清浄度とを両立させるこ
とができる。

そしてこれら再循環系と外気導入系とを組み合
わせると共に、さらに混合気導入系を新設するこ
とで、クリーンルーム全体という観点から、フイ
ルタ寿命を長くでき、嫁働コストの低減を図れる
と共に、広いスペースに対して十分な給気量を確
保できる。そしてさらに、常設の各給気系からの
吹出しで給気を行うものであるので、清浄度をで
きる限り安定に維持しつつ、且つ広いクリーン域
に対応できるような多くの空気を供給することが
できる。

他方、天井裏に入ることなく施工やメンテナン
スを行うことができるので、作業の煩雑さを解消
することができる。また、天井裏の作業スペース
が不要となり、必要な天井裏高さは空気清浄ユニ
ツトの高さ相当の最小限で済むので、クリーンル
ームとして、デツドスペースをできる限り削減し
た広いスペースを確保することができる。

《実施例》 以下、本考案の好適な実施例について添附図面
を参照して説明する。

第１図は本考案の実施例に係るクリーンルーム
Ｂを示し、このクリーンルームＢは、４本の各支
柱７間をビニール幕で仕切つて平面矩形の外幕部
材である外幕８を形成し、かつ各支柱７の下端に
はキヤスタ９が取付けてある。そして、外幕８で
側面が区画され天井板１０で上面が閉塞されて、
床面５上に作業室１３が形成される。支柱７−７
の上端には、天井板１０が取付けられているとと
もに、この天井板１０には、全体に亘つて複数形
成される吹出口に対応する透孔が形成されてい
る。各透孔の上方に高性能フイルタ２′が取付け
られている。また、このフイルタ２′の上方には、
送風方向をフイルタ側にした吹出フアン１ａ，１
ｂが配設されている。そしてこれらフイルタ２′
と吹出フアン１ａ，１ｂとから空気清浄ユニツト
が構成される。

さらに、外幕８の内側に通気ダクトに相応する
だけの間隔を空けて、天井板１０から透明または
半透明のビニールカーテンを垂下させて内幕部材
である内幕１１とし、この内幕１１の下端縁は、
床面５より若干上方に離れた位置にて終端をなし
ている。これにより、内幕１１で清浄空気再循環
系としての戻りダクト１２と作業室１３を画成し
ている。

戻りダクト１２の上部に取付けた吹出フアン１
ｂの送風口は、天井板１０の透孔を経て、天井裏
のダクト１２に接続している。このダクト１２か
ら吸気される吹出口３ａの吹出し空気は、作業室
１３から戻りダクト１２を通り再循環する。吹出
口３ｂは、その吸入口が低清浄域（室外）に開口
されており、吹出口３ａ−３ａの中間に配置して
いる。即ち、吹出口３ｂと吹出フアン１ａとで直
接、作業室１３外方へ連通される外気導入系が構
成され、この外気導入系の吹出口３ｂは、清浄空
気再循環系が接続される吹出口３ａ間に位置され
ている。また、吹出口３ｃは、天井板１０の透孔
直上に設けた高性能フイルタ２′の直上に吹出フ
アン１ａを設けて、その吸込側は混合気導入系を
構成するダクト１２′に接続している。このダク
ト１２′の吸入開口は、内幕１１の垂下位置とは
反対側の遠隔位置、言い換えれば循環系吹出フア
ン１ｂの反対側位置において、天井板１０の透孔
に覆設した換気口６′であり、この作業室１３内
外双方に連通される換気口６′から吹出口３ｃの
吸入口へ至るダクト１２′からの、清浄空気と外
気との混合給気によつて、作業室１３内の気流に
変化を生じさせている。天井板１０の不要な透孔
は、メクラパネル１５で閉塞している。

以上のように構成した本実施例にあつては、再
循環系と外気導入系とが別個独立で、これら各系
に個別にフイルタ２′を備えて構成したので、フ
イルタ２′の寿命としては、再循環系で長く、他
方外気導入系では短いが、交換に際しては主に外
気導入系のフイルタ２′を交換すれば良く、必要
的に交換すべきフイルタ容量を削減でき、嫁働コ
ストを低減させることができる。

また、他の２つの系とは独立させて新設した混
合気導入系は、外気と清浄空気とが混合されるも
のであり、外気の導入により比較的清浄な空気を
大量に供給することができ、また外気導入系に比
してフイルタ２′の寿命も長くすることができる。
そして、この増設した混合気導入系で外気導入系
の肩代わりさせるようにしており、このような構
成より、大量の給気量を確保しつつ清浄度を保つ
ことができ、特に広い空間スペースのクリーンル
ームＢに対して有効である。

またこの混合気導入系の配設位置についても、
再循環系から遠く離すことで、適当な空気流れの
生成を達成しながら、反面清浄度を悪化させるこ
とがない。

さらに、外気導入系についても、再循環系の間
に配置するようにして、広いクリーンルームＢに
対する必要給気量の確保と清浄度とを両立させる
ことができる。

そしてこのように再循環系と外気導入系とを組
み合わせると共に、さらに混合気導入系を新設す
ることで、クリーンルームＢ全体という観点か
ら、フイルタ２′の寿命を長くでき、嫁働コスト
の低減を図れると共に、広いスペースに対して十
分な給気量を確保できる。そしてさらに、常設の
各給気系からの吹出しで給気を行うものであるの
で、清浄度をできる限り安定に維持しつつ、且つ
広いクリーン域に対応できるような多くの空気を
供給することができる。

これら吹出フアン１ａ，１ｂ等のフアンユニツ
トや高性能フイルタ２′及びメクラパネル１５等
は、総て外幕８の内側から取り付けることができ
る。こうすることにより、クリーンルームＢの天
井裏が低くても組立施工が可能となるからであつ
て、第２図に概略を示す。

支柱７−７の間は、上端部において軟質塩化ビ
ニル材で形成した挟着部材１６で連結し、これに
外幕８の上端を挟着して垂下する。そして、アル
ミ板を曲成した中空な天井板１０は、支柱７−７
の上端に掛け渡した梁１７にネジ止めしている。
この天井板１０の上面には、天井板１０に設け
た、上記空気清浄ユニツトの外径寸法よりも大き
な孔径を有する吹出口用透孔１８の上方に、透孔
１８内側へ張り出して配設され且つ延出部にボル
ト挿通孔が穿たれて、その箇所にナツト１９が溶
接固定された、支持金具２０が設置してある。

支持金具２０は、ボルト２１で天井板１０に固
定されている。吹出フアン１ａのユニツトは、そ
の外周囲に設けた取付けリブにボルトを通し、こ
れをナツト１９に螺入緊締すればよい。そして、
高性能フイルタ２′の外周囲にも同様に構成した
取付けリブ２２は、上端部と下端部とに各々形成
してあつて、上端部側を上記フアン１ａのユニツ
トの取付けリブにボルトで取付け、さらに透孔１
８内で天井板１０と空気清浄ユニツトとの隙間
に、これを塞ぐ充填材として、発泡スチロール系
バツクアツプ材２３及びシリコンシール材２４を
充填している。

こうして、クリーンルームＢの天井裏が狭くて
も吹出口を構成するフイルタやフアンの取付け作
業はクリーンルームＢ内から行えるので不都合で
はない。

《効果》 以上要するに本考案によれば、次のような優れ
た効果を発揮する。

(1) 再循環系と外気導入系とを組み合わせると共
に、さらに混合気導入系を新設することで、ク
リーンルーム全体という観点から、フイルタ寿
命を長くでき、嫁働コストの低減を図れると共
に、広いスペースに対して十分な給気量を確保
できる。そしてさらに、常設の各給気系からの
吹出しで給気を行うものであるので、清浄度を
できる限り安定に維持しつつ、且つ広いクリー
ン域に対応できるような多くの空気を供給する
ことができる。

(2) 他方、天井裏に入ることなく施工やメンテナ
ンスを行うことができるので、作業の煩雑さを
解消することができる。また、天井裏の作業ス
ペースが不要となり、必要な天井裏高さは空気
清浄ユニツトの高さ相当の最小限で済むので、
クリーンルームとして、デツドスペースをでき
る限り削減した広いスペースを確保することが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例に係るクリーンルーム
の概略側面図、第２図はフイルタ、フアン等の取
付構造を示す説明図、第３図は従来のクリーンル
ームを示す側面図である。 Ｂ……クリーンルーム、１ａ，１ｂ……吹出フ
アン、２′……高性能フイルタ、３ａ，３ｂ，３
ｃ……吹出口、５……床面、６′……換気口、７
……支柱、８……外幕、１０……天井板、１１…
…内幕、１２，１２′……ダクト、１３……作業
室、１４……チヤンバ、１５……メクラパネル、
１８……透孔、２０……支持金具、２３……バツ
クアツプ材、２４……シール材。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 外幕部材で側面が区画され天井板で上面が閉塞
   されて、床面上に形成される作業室と、 上記天井板全体に亘つて複数形成された吹出口
   と、 上記天井板から上記床面上方に内幕部材が垂下
   されて該内幕部材と上記外幕部材との間に形成さ
   れ、上記吹出口に接続される清浄空気再循環系
   と、 該清浄空気再循環系が接続される上記吹出口間
   に位置される他の吹出口に接続され、上記作業室
   外方と連通される外気導入系と、 上記作業室内外双方に連通される換気口を有し
   て、上記内幕部材の垂下位置とは反対側の遠隔位
   置の吹出口に接続され、清浄空気と外気とを混合
   する混合気導入系と、 これら清浄空気再循環系、外気導入系及び混合
   気導入系それぞれに個別に設けられた、フイルタ
   及び吹出フアンから成る空気清浄ユニツトと、 を備えると共に、 上記空気清浄ユニツトを上記天井板に取り付け
   るための取付部が、 該天井板に形成された、該空気清浄ユニツトの
   外径寸法よりも大きな孔径を有する透孔と、 上記天井板の上方に上記透孔内側へ張り出して
   配設され、上記空気清浄ユニツトを支持する支持
   具が下方から係合される支持金具と、 上記透孔内に配設され、上記天井板と上記空気
   清浄ユニツトとの隙間を塞ぐ充填材と、 から成ることを特徴とするクリーンルーム。