JPH0335410A - マルチトラック型薄膜磁気ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明は複数のヘッド素子よりなるマルチトラック型薄
膜磁気ヘッドに関する。

（ロ）従来の技術 従来、この種の薄膜磁気ヘッドは、実公昭６２−３５１
３３号公報（Ｇ１１Ｂ５／３１）等に示されているよう
に基板上に薄膜堆積法及び７オトリソグラフイー技術を
用いて磁気回路、導体コイル、電極等を絶縁層を介して
形成したものであり、従来の磁気コアと巻線より戊るバ
ルク型磁気ヘッドに比べて、小型化、マルチチャンネル
化が容易である。

第８図は従来のマルチトラック型薄膜磁気ヘッドの基板
の要部上面図である。

図中、（１）はＮｉ−Ｚｎフェライト等の磁性材料或い
は結晶化ガラス等の非磁性材料よりなる基板で、該基板
（１）上にはセンダスト等の強磁性金属材料よりなる下
部磁性コア（２）が被着されている。前記下部磁性コア
（２）上には絶縁層（図示せず）を介して導体コイル層
（３）（３）・・・及び上部磁性コア（４）（４）・・
・を被着することにより複数個のヘッド素子（旦）（□
）（５３）（５４）（５５）がトラック幅方向Ａに沿っ
て形成されている。また、前記基板（１）上には前記導
体コイル層（３）（３）・・・に連結している電極（６
）（６）・・・が被着形成されている。前記下部磁性コ
ア（２）と上部磁性コア（４）（４）・・・どの間には
、ギャップスペーサが被着形成されており、該ギャップ
スペーサにより、フロントギャップ部（７１）（７２）
（７３）（７４）（７５）が形成されている。また、前
記ヘッド素子（５１）（５２）（５３）（５４）（５５
）群の両側にはｌ（８）（８）が形成されている。前記
溝（８）（８）間に形成された突出部の端面、即ち媒体
摺接面（１０）は中央が突出するように曲面上にＲ付加
上されており、前記フロントギャップ部（７１）（７２
）（７３）（７４）（７５）の上端（７１ａ）（７２ａ
）（７３ａ）（７４ａ）（７５ａ）は前記媒体摺接面（
１０）上に位置している。また、前記フロントギャップ
部（７１）＜７２）（７３）（７４）（７５）の下端（
７１ｂ）（７２ｂ）（７３ｂ）（７４ｂ）（７５ｂ）は
−直線上に形成されている。

しかし乍ら、上記従来のマルチトラック型薄膜磁気ヘッ
ドでは、媒体摺接面（１０）が中央が突出する曲面によ
り１１ｆ＆されているため、フロントギャップ部（７１
）（７２）（７３）（７４）（７５）の上！（７１ａ）
（７２ａ）（７３ａ）（７４ａ）（７５ａ）から下端（
７１ｂ）（７２ｂ）（７３ｂ）（７４ｂ）（７５ｂ）ま
での距離、即ちギャップ深さり、、、Ｄ。

ｈＤ　？　３％　　Ｄ　？　＋、Ｄｏは各ヘッド素子毎
に異なり、Ｄ　ｔ＋＜　Ｄ　ｔ＝＜　Ｄ　ｔｓ＞　Ｄ　
ｔ−＞　Ｄ　ｖ＊となる。そして一般に、前述のギャッ
プ深さが小さい程、媒体への記録信号、媒体からの再生
信号は強くなり、各チャンネル間で記録再生信号の大き
さにバラツキが生じる。特に、２０チャンネル以上のデ
ジタル用マルチトラックヘッドでは、例えば約５μｍの
ギャップ深さに対して、ギャップ深さのバラツキが最大
１ｐｍ前後になり、大きな問題である。

（ハ）発明が解決しようとする課題 本発明は上記従来例の欠点に鑑み為されたものであり、
媒体摺接面を曲面形状に形成した場合においても、各ヘ
ッド素子間のフロントギャップ部のギャップ深さの差を
無くし、各チャンネル間における記録再生信号のバラツ
キを抑えたマルチトラック型ｉＷ膜磁気ヘッドを提供す
ることを目的とするものである。

（ニ）課題を解決するための手段 本発明のマルチトラック型薄膜磁気ヘッドは各ヘッド素
子のフロントギャップ部の下端を媒体摺接面をｔｌｌＪ
ｆｆｉする曲面と等しい曲率半径を有し、且つ前記曲面
の曲率中・ヒ１よりもギャップ深さ方向に所望のギャッ
プ深さだけ移動した点を曲率中心とする曲線上に形成し
たことを特徴とする。

（ホ）作　用 上記構成に依れば、各ヘッド素子間のフロントギャップ
部のギャップ深さの差はほとんど無くなる。

（へ）実施例 以下、図面を参照しつつ本発明の一実施例を詳細に説明
する。

第１図は本実施例のマルチトラック型薄膜磁気ヘッドの
要部を上方から観を図であり、第８図と同一部分には同
一符号を付し、その説明は割愛する。

図中、（９１）（９２）（９３）（９４）（９５）は本
実施例のマルチトラック型薄膜磁気ヘッドのフロントギ
ャップ部である。前記フロントギャップ部（９１）（９
２）（９３）（９４）（９５）の上端（９１ａ）（９２
ａ）（９３ａ）（９４ａ）（９５ａ）は媒体摺接面（ｌ
Ｏ）上に位置しでおり、下端（９１ｂ）（９２ｂ）（９
３ｂ）（９４ｂ）（９５ｂ）は媒体摺接面（１０）を構
成する曲面の曲率半径と同じ曲率半径を有する曲線上に
形成されている。また、前記フロントギャップ部（９１
）（９２）（９３）（９４）（９５）の下端（９１ｂ）
　（９２ｂ）（９３ｂ）　（９４ｂ）（９５ｂ）が位置
する曲線の曲率中心は、前記媒体摺接面（１０）を構成
する曲面の曲率中心からギャップ深さ方向Ｂに所望のギ
ャップ深さだけ移動した位置に存在する。前記フロント
ギャップ部（９１）（９２）（９３）（９４）（９５）
の下端（９１ｂ０９２ｂ）（９３ｂ）（９４ｂ）（９５
ｂ）が前述したような曲線上に形成されているため、各
ヘッド素子（５１）（５２）（５３）（５４）（５５）
のフロントギャップ部（９１）（９２）（９３）（９４
）（９５）のギャップ深さり８、Ｄｏ、Ｄ、、Ｄ＠４、
Ｄ、は全て略等しくなる。

次に、上記実施例のマルチトラック型薄膜磁気ヘッドの
製造方法について説明する。

先ず、第２図に示すようにＮｉ−Ｚｎフェライト等の磁
性材料或いは結晶化ガラス等の非磁性材料よりなる基板
（１）の上面にセンダスト等よりなる強磁性金属薄膜を
スパッタリング等により被着した後、該薄膜をフォトリ
ングラフイーにより所望の形状に加工して下部磁性コア
（２）を形成する。

次に、第３図に示すように前記基板（１）及び下部磁性
コア（２）上にＣｕ、　ｋｌ等よりなる金属導電薄膜を
スパッタリング等により被着した後、該薄膜を７オトリ
ソグラフイーにより所望の形状に加工してスパイラル状
の導体コイル層（３）（３）・・・及び電極（６）（６
）・・・を複数個形成する。尚、前記下部磁性コア（２
）と前記導体コイル層（３）との層間にはＳ　ｉＯ，等
の絶縁薄膜（図示せず）が被着形成されている。

次に、第４図に示すように前記基板（１）上に被着して
いる絶縁薄膜の所定部分をイオンビームエツチング、反
応性イオンビームエツチング等により除去することによ
り前記下部磁性コア（２）の上面が露出しているフロン
トギャップ形成部（１１１）（１１２）（１１３）（１
１４）（１１５）及びパックギャップ形成部（１２）（
１２）・・・を形成する。前記フロントギャップ形成部
（１１１０１１２）（１１３）（１１４）（１１５）の
上端（ｌｌｌａ）（１１２ａ）（１１３ａ）（１１４ａ
）（１１５ａ）は前記基板（１）の端部（ｌａ）と一致
して一直線上にあり、下端（ｌｌｌｂ）（１１２ｂ）（
１１３ｂ）（１１４ｂ）　（１１５ｂ）は磁気ヘッド完
戊体における媒体摺接面の曲面の曲率半径と同じ曲率半
径を有する曲線上に形成されている。尚、前記フロント
ギャップ形成部（１１１）（１１２）（１１３）（１１
４）（１１５は、該フロントギャップ形成部（１１１）
（１１２）（１１３）（１１４）（１１５）と同形状の
フォトマスクを用いて上述のエツチングを行うことによ
り容易に形成することが出来る。

次に、第５図に示すように前記基板のフロントギャップ
形成部（１１１）（１１２）（１１３）（１１４）（１
１５）及びパックギャップ形成部（１２）（１２）・・
・上に５ｉｆｔ等の非磁性絶縁材料よりなるギャップス
ペーサをスパッタリング等により被着形成し、更に、そ
の上方にセンダスト等の強磁性金属薄膜をスパッタリン
グ等により被着し、該薄膜をフォトリソグラフィーによ
り所望の形状の加工して上部磁性コア（４）（４）・・
・を形成する。この工程により複数のヘッド素子（５１
）（５２）（５３）（５４）（５５）がトラック幅方向
Ａに並んで形成される。前記各ヘッド素子（５１）（５
２）（５３）（５４）（５５）は夫々前記フロントギャ
ップ形成部（１１１）（１１２）（１１３）（１１４）
（１１５）と同形状のフロントギャップ部（９１）（９
２）（９３）（９４）（９５）を有する。

次に、第６図の斜視図に示すように、第５図に示す基板
の上方にＢａＴｉＯｓ等の非磁性材料よりなる保護板（
１３）を低融点ガラス（１４）により接合固定する。　
最後に、第７図の斜視図に示すように第６図に示す接合
体の端面のヘッド素子形成部の両側に溝（８）（８）を
形成してヘッド素子形成部分を突出させ、該突出部の端
面にＲ材加工を施して所定の曲率半径を有する曲面によ
りＩＩ或される媒体摺接面（１０）をＭ處する。前記媒
体摺接面（１０）の曲率半径は前にフロントギャップ部
（９１）（９２）（９３）（９４）（９５）の下端（９
１ｂ）（９２ｂ）（９３ｂ）（９４ｂ）（９５ｂ）と一
致する曲線の曲率半径に等しい。また、前記フロントギ
ャップ部（９１）（９２）（９３）（９４）（９５）の
下端（９１ｂ）（９２ｂ）（９３ｂ）（９４ｂ）（９５
ｂ）と一致する曲線の曲率中心が媒体摺接面（１０）を
構成する曲面の曲率中心よりもギャップ深さ方向Ｂにギ
ャップ深さだけ移動した点に位置するように前記媒体摺
接面（１０）はＲ材加工される。

以上の工程により、本実施例のマルチトラック型薄膜磁
気ヘッドは完成する。

上述のようなマルチトラック型薄膜磁気ヘッドでは、各
ヘッド素子（５１）（井）（競）（５４）（四）のフロ
ントギャップ部（９１）（９２）（９３）（９４）（９
５）の下端（９１ｂ）（９２ｂ）（９３ｂ）（９４ｂ）
（９５ｂ）が、前記フロントギャップ部（９１）（９２
）（９３）（９４）（９５）の上端（９１ａ）（９２ａ
）（９３ａ）（９４ａ）（９５ａ）となる媒体摺接面（
ｌＯ）を構成する曲面の曲率半径と等しい曲率半径を有
し、且つ曲率中心が前記媒体摺接面を構成する曲面の曲
率中心よりギャップ深さ方向Ｂにギャップ深さ方向Ｂに
ギャップ深さ分だけ移動した位置にある曲線上に存在す
るため、各フロントギャップ部（９１）（９２）（９３
）（９４）（９５）のギャップ深さＤ□、Ｄｏ、Ｄｏ、
Ｄｏ、Ｄｏの差はほとんど無くなり、各チャンネル間の
記録再生信号の大きさにバラツキはほとんど生じない。

（ト）発明の効果 本発明に依れば、各チャンネル間の記録、再生信号のバ
ラツキを押さえたマルチトラック型薄膜磁気ヘッドを提
供し得る。

【図面の簡単な説明】

第１図乃至第７図は本発明に係り、第１図はヘッド素子
が形成された基板の要部上面図、第２図、第３図、第４
図及び第５図は夫々製造方法を示す要部上面図、第６図
及び第７図は夫々製造方法を示す要部斜視図である。第
８図は従来のヘッド素子が形成された基板の要部上面図
である。 （１）・・・基板、（２）・・・下部磁性コア、（３）
・・・導体コイル層、（４）・・・上部磁性コア、（５
１）（５２）（５３）（５４ン（５５）・・・ヘッド素
子、（９１）（９２）（９３）（９４）（９５）・・・
フロントギャップ部、（９１ａ）（９２ａ）（９３ａ）
（９４ａ）（９５ａ）・・・上端、　（９１ｂ）（９２
ｂ）（９３ｂ）（９４ｂ）（９５ｂ）・・・下端、（１
０）・・・媒体摺接面。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板上に下部磁性コア、導体コイル層、フロント
   ギャップ部形成用のギャップスペーサ及び上部磁性コア
   を被着してなるヘッド素子をトラック幅方向に沿って複
   数個を備え、該複数個のヘッド素子のフロントギャップ
   部の上端となる媒体摺接面がトラック幅方向に沿って曲
   面状に形成されているマルチトラック型薄膜磁気ヘッド
   において、前記フロントギャップ部の下端を前記媒体摺
   接面を構成する曲面と等しい曲率半径を有し、該曲面の
   曲率中心よりもギャップ深さ方向に所望のギャップ深さ
   だけ移動した点を曲率中心とする曲線上に形成したこと
   を特徴とするマルチトラック型薄膜磁気ヘッド。