JPH0339963A - ペリクル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は特性の優れた新規なペリクルを提供するもので
あり、さらに詳しくいえば、特に、短波長のＵＶ（紫外
線）透過性に優れたメンブレン膜を有することを特徴と
するペリクルに関する。

（従来の技術） ペリクルは、フォトリソグラフィープロセスにより高度
集積回路（ＬＳＩ）を作製する際に、微細なゴミやホコ
リの付着に依り、回路パターンに不具合が生じることを
防ぐために多用されている。従来のペリクルとしては、
特開昭６３−１５２５０号、特開昭６２−１２７８０１
号、特開昭６１−１０６２４３号、特開昭６３−６４０
４８号、特開昭５９−２０６４０６号、特開昭５９−１
６４３５６号などに開示されているものがある。

（発明が解決しようとする課題） これら従来技術において、ペリクルの膜材料としては、
主に酢酸セルロース系材料が使用されている。しかし、
従来のセルロース系膜は、ｉ線、ｇ線およびｈ線のＵＶ
光に対する透過性は比較的良好であるが、短波長とくに
３００ｎｍより短い波長域においては、その透過性は十
分ではなかった。例えば特開昭６１−１０６２４３号に
明記されているように、この膜は２００〜３００ｎｍの
ＵＶ短波長域における光透過性が不十分であった。その
ため、今後の一層の高集積化に対応する技術である、エ
キシマレーザ−露光において用いられる３００ｎｍ以下
のＵＶ光には使えないという重大な欠点があった。また
多数回使用時において、従来のセルロース系材料はＵＶ
光により劣化するという実用面での難点があった０本発
明は、このような従来の膜材料の欠点を解消した高性能
の新規なメンブレン膜を有するペリクルを提供すること
を目的とする。

（課題を解決するための手段） 本発明者らは上記の従来のペリクルの膜材料の難点を克
服するため種々検討を重ねた結果、光学透過性の主鎖に
環構造を有するフッ素樹脂を用いることによりその目的
を達成しうることを見出し、この知見に基づき本発明を
なすに至った。

すなわち本発明は、（１）光学的透過性に優れるフッ素
樹脂の薄膜を有することを特徴とするペリクル、（２）
フッ素樹脂が主鎖に環構造を有することを特徴とする（
１）項記載のペリクル、及び（３）フッ素樹脂が主鎖に
環構造を有し非結晶質であることを特徴とする（１）項
記載のペリクルを提供するものである。

本発明において、“光学的透過性に優れろ”とは、゛膜
厚が１００μｍのフィルムにて、波長２００ｎｍから３
００ｎｍのＵＶ光の全波長範囲において、透過率（Ｔｒ
ａｎｓｍｉｔｔａｎｃｅ）が５０％以上を示す”ことを
意味する。したがって、例えば、１５０μｍの厚さのフ
ィルムで５０％以上の透過率を示すものは、本発明にい
う“光学的透過性に優れる”フィルムであることば６ち
るんである。

このような光学的透過性は例えば主鎖に環構造を有する
フッ素樹脂の加工において劣化や分解をおこさない条件
のもとで、ピンホールのない表面平滑な薄膜とすること
により達成できる。

本発明において、好ましく用いられる主鎖に環構造を有
するフッ素樹脂としては、例えば次のようなものがある
。

（ｄ）上記（ａ）、（ｂ）、（ｃ）を構成する単量体の
一種もしくは二種以上と他の共重合性の含フツ素単量体
との共重合体。

これらのうち、 次のような主鎖に環構造を有す るフッ素樹脂が代表的なものである。

本発明に用いられる、 主鎖に環構造を有する フッ素樹脂は、例えば、−数式 ＣＦ　、＝　ＣＦ＋　ＣＦ　＊　＋−０→ＣＦ汁−ＣＦ
”ＣＦ！（ただし、ｎ＝Ｏ〜５、ｍ＝０〜５でｍ＋ｎ＝
１〜６である。）で表わされる末端二重結合を二つ有す
るパーフルオロエーテルやパーフルオロ−２，２−ジメ
チル−１，３−ジオキソールをラジカル重合せしめて得
られる。また共重合体は、上記のパーフルオロエーテル
又は、パーフルオロ−２，２−ジメチル−１，３−ジオ
キソールとフルオロオレフィンやフルオロビニルエーテ
ルなどの含フツ素単量体との共重合により得られる。単
量体としては、例えば、テトラフルオロエチレン、パー
フルオロビニルエーテル、フッ化ビニリデン、クロロト
リフルオロエチレンなどである。

さらに、本発明にて用いる樹脂は、結晶を持たないいわ
ゆる非晶質のものが好ましい、それは微結晶による光の
透過阻害がおこらないからである。

本発明において特に好ましい主鎖に環構造を有するフッ
素樹脂としては、例えばＤｕ　Ｐｏｎｔ社の製造になる
主鎖に環構造を有するフッ素樹脂ｒＦＰＸＪ又は「テフ
ロンＡＦＪ　　（商品名）や旭硝子■の製造になる主鎖
に環構造を有するフッ素樹脂ｒｃＹＴＯＰＪ　　（商品
名）等を例示することができる。

本発明に用いられるフッ素樹脂のメンブレン膜の厚さは
特に制限はなく、その要求特性に応じて比較的自由に選
定できる。好ましくはおおよそ０．１１Ｌｍから１００
μｍの範囲にある。より好ましくは、０．５〜２０ｕｍ
である。本発明のペリクルは従来のものより厚くても、
優れた光学的透過性を有する特徴がある。

本発明のペリクルでは、膜の透過性が高いので、通常必
須とされる膜表面の反射防止膜のコーティングはなくて
もよい。もちろん、反射防止膜を形成することは何ら構
わないが、不可欠ではない。

また、本発明のペリクルは、まだその理由は定かではな
いが、光学的干渉現象がおこりにくいためか、３００ｎ
ｍより長い波長域にては、透過率がフラットである特徴
を有する。そのため従来のセルロース系膜で行われてい
た、ｇｌｉｌ用とｉ線用とでペリクルを使い分けるとい
う煩雑な処理、管理が全く不要になる。

（実施例） 次に本発明を実施例に基づきさらに詳細に説明するが本
発明はこれに限定されるものではない。

実施例１ 主鎖に環構造を有するフッ素樹脂であるｒｃＹＴＯＰＪ
　　（非結晶質性、厚さ２００ｕｍの膜におけるＵ■光
の透過率は、波長２００ｎｍから３００ｎｍの全範囲に
おいて５０％以上の透過率である）を用いペリクル用に
厚さ２．８μｍのメンブレン膜を作製した。膜の作製は
、この樹脂の特殊フッ素系溶剤を用い、キャスト製膜し
た。

この膜の上に、反射防止のために、フッ化マグネシウム
の膜（厚さ；３００ｎｍ）を蒸着したのち、アルミ合金
製のフレームの片面に張りつけた。そして、フレームの
他の片面上に、粘着剤を塗布して、ペリクルを作った。

このペリクルをホトマスクに張りつけ、その性能を確認
した。このペリクルのスペクトル透過特性を第１図に示
した。

また、このペリクルをＡ　ｒ　Ｆ　（１９３ｎｍ）およ
びＫ　ｒ　Ｆ　（２４９ｎｍ）のエキシマレーザ−光を
用いて露光テストしたところ、１０万回の露光に対して
ペリクルに要求される役割を果たし、何ら不具合が生じ
なかった。

実施例２ パーフルオロアクリルビニルエーテル （ＣＦ、＝ＣＦ−０−ＣＦｔ−ＣＦ＝ＣＦ、）を原料と
して、常法による主鎖に環構造を有するフッ素樹脂（屈
折率１．３４）を得た。このフッ素樹脂をフロリナート
ＦＣ−７５　（商品名、３Ｍ社製のフッ素系溶媒）に溶
かし、スピンコーターを用いて、厚さ７μｍの平滑膜を
作成した。この膜に反射防止膜として、デュポン社製の
テフロンＡＦ２４００　（屈折率１．２９）の薄膜を形
成せしめた。膜厚は３６５ｎｍの透過が最大値（９９，
５％以上）となるよう実験的に決定した。この膜を用い
て実施例１と同様にペリクルを作成し、３６５ｎｍの光
源に対する寿命テストをし、１０万回以上の露光に十分
耐えるものであった。

このように、本発明のペリクルは、今後−層進展する高
集積化ＬＳＩに対応して要求されるエキシマレーザ−露
光に使用されるのに好適な性能を有する。

（発明の効果） 本発明のペリクルは３００ｎｍより短い波長域における
透過性が高く、膜表面の反射防止膜のコーティングは不
要となる。また、３００ｎｍより長い波長域においても
フラットな透過率を示しｇ線用とｉ線用でペリクルを使
い分ける、という煩雑な処理、管理が全く不要である。

さらに本発明のペリクルは膜強度に優れエキシマレーザ
−光による多数回使用においても劣化することがない。

４、

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のペリクルのスペクトル透過特性を示す
。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）光学的透過性の優れるフッ素樹脂膜を有してなる
   ことを特徴とするペリクル。
2. （２）フッ素樹脂が主鎖に環構造を有することを特徴と
   する請求項（１）に記載のペリクル。
3. （３）フッ素樹脂が主鎖に環構造を有し非結晶質である
   ことを特徴とする請求項（１）に記載のペリクル。