JPH0343151A - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置Info
- Publication number
- JPH0343151A JPH0343151A JP1176219A JP17621989A JPH0343151A JP H0343151 A JPH0343151 A JP H0343151A JP 1176219 A JP1176219 A JP 1176219A JP 17621989 A JP17621989 A JP 17621989A JP H0343151 A JPH0343151 A JP H0343151A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- weight
- lapping machine
- work piece
- flat lapping
- workpiece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
この発明は、平面ラップ盤を回転させて、その上に載置
したチップ等の被加工物の研磨を行う研磨装置に関する
ものである。
したチップ等の被加工物の研磨を行う研磨装置に関する
ものである。
［従来の技術］
第４図は従来の研磨装置を示す斜視図であり、図におい
て（１）は高速回転される平面ラップ盤、（２）はその
下面に被加工物（３）を重合貼着した治具である。
て（１）は高速回転される平面ラップ盤、（２）はその
下面に被加工物（３）を重合貼着した治具である。
第５１１はこの治具の背面拡大斜視図であり、上記被加
工物（３）はワックス等でこの治具に重合接着されてお
り、第４図の状態で平面ラップ盤（１）を高速回転する
ことにより、治具（２）の下面に貼着された被加工物（
３）と平面ラップ盤（１）とがこすれ合い研磨されるよ
うになっている。
工物（３）はワックス等でこの治具に重合接着されてお
り、第４図の状態で平面ラップ盤（１）を高速回転する
ことにより、治具（２）の下面に貼着された被加工物（
３）と平面ラップ盤（１）とがこすれ合い研磨されるよ
うになっている。
［発明が解決しようとする課題］
従来の研磨装置は以上のように構成されているので、被
加工物（３）の例えば厚さの「ばらつき」により平面ラ
ップ盤（１）への片あたり現象が起きたり、また治具（
２）への各被加工物（３）の取付は位置によって被加工
物に印加される荷重が変化し、安定した研磨ができない
という問題点があった。
加工物（３）の例えば厚さの「ばらつき」により平面ラ
ップ盤（１）への片あたり現象が起きたり、また治具（
２）への各被加工物（３）の取付は位置によって被加工
物に印加される荷重が変化し、安定した研磨ができない
という問題点があった。
この発明は上記の問題点を解決するためになされたもの
で、被加工物（３）の平面ラップｇ１（１）への片あた
り現象を無くすと共に、被加工物に対する荷重の安定化
を図ることを目的とする。
で、被加工物（３）の平面ラップｇ１（１）への片あた
り現象を無くすと共に、被加工物に対する荷重の安定化
を図ることを目的とする。
［課題を解決するための手段］
この発明の場合は、平面ラップ盤（１）上に載置した治
具（２）の筒状部（２ａ）内に、下面に被加工物（３）
を貼着した支持プレート（４）および一定重さのおもり
（５）を積み重ね状態に遊嵌収納させ、上記おもりの重
量を不変状態で上記支持プレートを介してその直下の被
加工物に印加させている。
具（２）の筒状部（２ａ）内に、下面に被加工物（３）
を貼着した支持プレート（４）および一定重さのおもり
（５）を積み重ね状態に遊嵌収納させ、上記おもりの重
量を不変状態で上記支持プレートを介してその直下の被
加工物に印加させている。
［作 用］
この発明の場合は、被加工物の支持プレートとおもりと
の間におけるその重量の受授が、点または線で行われる
ので、おもりに作用する力の方向に関係なく被加工物に
印加される荷重が常に一定になり、被加工物の研磨面は
自然に平面ラップ盤面に倣うことになる。
の間におけるその重量の受授が、点または線で行われる
ので、おもりに作用する力の方向に関係なく被加工物に
印加される荷重が常に一定になり、被加工物の研磨面は
自然に平面ラップ盤面に倣うことになる。
［実施例］
以下この発明の一実施例について説明する。すなわち第
１図において（１）は高速回転される平面ラップ盤、（
２）はその上に載置されるこの発明のものにおける治具
で中央に筒状部（２ａ）が植立されている。第２図の（
３）は被加工物、（４）はこの被加工物をその下面に貼
着する支持プレートで、上面中心部には後記突起（５ａ
）の尖鋭部が衝合される断面■字形の凹部（４ａ）を有
している。（５）は下面に先端が尖鋭な突部（５ａ）を
有するおもりである。
１図において（１）は高速回転される平面ラップ盤、（
２）はその上に載置されるこの発明のものにおける治具
で中央に筒状部（２ａ）が植立されている。第２図の（
３）は被加工物、（４）はこの被加工物をその下面に貼
着する支持プレートで、上面中心部には後記突起（５ａ
）の尖鋭部が衝合される断面■字形の凹部（４ａ）を有
している。（５）は下面に先端が尖鋭な突部（５ａ）を
有するおもりである。
また第３図は上記各部品を組合せた研磨状態での断面図
であり、上記被加工物（３）と支持プレート（４）との
貼着は例えばワックス等で行われ、これらは固定状態で
上記治具（２）の筒状部（２ａ）内に遊嵌状態に収納さ
れ、そして支持プレート（４）上には上記突部（５ａ）
を介して遊嵌状態のおもり（５）がのせられている。
であり、上記被加工物（３）と支持プレート（４）との
貼着は例えばワックス等で行われ、これらは固定状態で
上記治具（２）の筒状部（２ａ）内に遊嵌状態に収納さ
れ、そして支持プレート（４）上には上記突部（５ａ）
を介して遊嵌状態のおもり（５）がのせられている。
次に動作について説明する。第３図の状態では被加工物
（３）の下面には常におもり（５）と支持プレート（４
）および被加工物（３）自身の重さを加算した荷重が印
加されており、この際おもり（５）と支持プレート（４
）とは突部（５ａ）の尖鋭部と凹部（４ａ）の１点で接
しているので、被加工物（３）の下面は常に平面ラップ
盤（１）の表面に自然に倣うことになる。
（３）の下面には常におもり（５）と支持プレート（４
）および被加工物（３）自身の重さを加算した荷重が印
加されており、この際おもり（５）と支持プレート（４
）とは突部（５ａ）の尖鋭部と凹部（４ａ）の１点で接
しているので、被加工物（３）の下面は常に平面ラップ
盤（１）の表面に自然に倣うことになる。
この状態で平面ラップ盤（１）を高速回転させれば、こ
の平面ラップ盤（１）の表面と被加工物（３）の下面が
こすれ合い、おもり（５）による一定荷重下で被加工物
（３）の下面が平面ラップ盤（１）の表面に自然に倣っ
て安定した状態での研磨がなされる。
の平面ラップ盤（１）の表面と被加工物（３）の下面が
こすれ合い、おもり（５）による一定荷重下で被加工物
（３）の下面が平面ラップ盤（１）の表面に自然に倣っ
て安定した状態での研磨がなされる。
なお上記実施例では、おもり（５）の下面に円錐状の突
部（５ａ）を下向きに形成させたが、これをナイフェツ
ジ状とすると共に、これに対応する凹部（４ａ）をＶ形
の長手溝として双方の接触状・態を線状接触にしてもよ
い。
部（５ａ）を下向きに形成させたが、これをナイフェツ
ジ状とすると共に、これに対応する凹部（４ａ）をＶ形
の長手溝として双方の接触状・態を線状接触にしてもよ
い。
［発明の効果］
この発明の研磨装置は以上のように構成しているので、
おもりに加わる力の方向に関係なく、常に一定荷重の下
で被加工物の下面を平面ラップ盤の上面に倣った安定状
態に維持でき、平面ラップ盤の「ぶれ」や被加工物の寸
法精度に影響されることなく安定した状態での高精度研
磨が可能になるという効果がある。
おもりに加わる力の方向に関係なく、常に一定荷重の下
で被加工物の下面を平面ラップ盤の上面に倣った安定状
態に維持でき、平面ラップ盤の「ぶれ」や被加工物の寸
法精度に影響されることなく安定した状態での高精度研
磨が可能になるという効果がある。
第１図はこの発明の研磨装置の一実施例を示す斜視図、
第２図はその要部の分解斜視図、第３図は要部の組立状
態での垂直断面図、第４図は従来の研磨装置を示す斜視
図、第５図はその治具の背面拡大斜視図である。
第２図はその要部の分解斜視図、第３図は要部の組立状
態での垂直断面図、第４図は従来の研磨装置を示す斜視
図、第５図はその治具の背面拡大斜視図である。
Claims (1)
- 下面に先端が尖鋭な突部を有するおもり、このおもりの
突部の尖鋭部が衝合される断面Ｖ字形の凹部を上面に有
し、下面に被加工物が重合貼着されたその支持プレート
およびこれらを遊嵌状態に収納する筒状部を中央に突設
され、平面ラップ盤上に載置される治具を備え、これら
の載置状態で上記平面ラップ盤の回転により上記被加工
物の下面を研磨するようにしたことを特徴とする研磨装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1176219A JPH0343151A (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1176219A JPH0343151A (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 | 研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0343151A true JPH0343151A (ja) | 1991-02-25 |
Family
ID=16009709
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1176219A Pending JPH0343151A (ja) | 1989-07-07 | 1989-07-07 | 研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0343151A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007260869A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Ntn Corp | ラップ装置 |
-
1989
- 1989-07-07 JP JP1176219A patent/JPH0343151A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007260869A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Ntn Corp | ラップ装置 |
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