JPH0345763B2 - - Google Patents
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- JPH0345763B2 JPH0345763B2 JP58199000A JP19900083A JPH0345763B2 JP H0345763 B2 JPH0345763 B2 JP H0345763B2 JP 58199000 A JP58199000 A JP 58199000A JP 19900083 A JP19900083 A JP 19900083A JP H0345763 B2 JPH0345763 B2 JP H0345763B2
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- JP
- Japan
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- inspected
- pattern
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/022—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness by means of tv-camera scanning
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、被検査物体の傷、汚れ等の外観を検
査する装置に関するものである。
査する装置に関するものである。
従来、被検査物体のパターン判定には、映像情
報から特徴抽出を行ない位置合わせ後、標準パタ
ーンと一致させて判定するのが一般的である。し
かしこの方法は、装置として複雑になり且処理時
間が多くかかる欠点があつた。
報から特徴抽出を行ない位置合わせ後、標準パタ
ーンと一致させて判定するのが一般的である。し
かしこの方法は、装置として複雑になり且処理時
間が多くかかる欠点があつた。
本発明は、上記欠点を解決し、量子化誤差にえ
いきようされることなく、簡単な構成にて孤立欠
陥と欠け欠陥とを識別して検査することができる
ようにした外観検査装置を提供するにある。
いきようされることなく、簡単な構成にて孤立欠
陥と欠け欠陥とを識別して検査することができる
ようにした外観検査装置を提供するにある。
即ち本発明は、上記目的を達成するために、予
め定められたパターンを有する被検査物体の映像
を走査しながら撮像する撮像装置と、該撮像装置
から得られる映像信号を所定の閾値で２値化する
と共に所定の周期でサンプリングして絵素化する
２値絵素化回路と、該２値絵素化回路より出力さ
れる２値絵素化信号の一方のレベルを計数して上
記パターンの面積を算出する第１の手段と、上記
２値絵素化回路より出力される２値絵素化信号に
基いて上記パターンの輪郭の長さを算出する第２
の手段と、上記第１の手段から算出された面積の
値が第１の基準範囲内に存在するか否かを判定す
る第１の比較手段と、上記第２の手段から算出さ
れた輪郭の長さの値が第２の基準範囲内に存在す
るか否かを判定する第２の比較手段と、上記第１
の比較手段によつて面積が第１の基準範囲内に存
在して第２の比較手段によつて輪郭の長さが第２
の基準範囲内に存在しないとき、上記パターン内
に孤立欠陥が存在すると判定し、更に上記第２の
比較手段によつて輪郭長さが第２の基準範囲内に
存在して第１の比較手段によつて面積が第１の基
準範囲内に存在しないとき、上記パターンに欠け
欠陥が存在すると判定する判定処理手段とを備え
付けたことを特徴とする外観検査装置である。
め定められたパターンを有する被検査物体の映像
を走査しながら撮像する撮像装置と、該撮像装置
から得られる映像信号を所定の閾値で２値化する
と共に所定の周期でサンプリングして絵素化する
２値絵素化回路と、該２値絵素化回路より出力さ
れる２値絵素化信号の一方のレベルを計数して上
記パターンの面積を算出する第１の手段と、上記
２値絵素化回路より出力される２値絵素化信号に
基いて上記パターンの輪郭の長さを算出する第２
の手段と、上記第１の手段から算出された面積の
値が第１の基準範囲内に存在するか否かを判定す
る第１の比較手段と、上記第２の手段から算出さ
れた輪郭の長さの値が第２の基準範囲内に存在す
るか否かを判定する第２の比較手段と、上記第１
の比較手段によつて面積が第１の基準範囲内に存
在して第２の比較手段によつて輪郭の長さが第２
の基準範囲内に存在しないとき、上記パターン内
に孤立欠陥が存在すると判定し、更に上記第２の
比較手段によつて輪郭長さが第２の基準範囲内に
存在して第１の比較手段によつて面積が第１の基
準範囲内に存在しないとき、上記パターンに欠け
欠陥が存在すると判定する判定処理手段とを備え
付けたことを特徴とする外観検査装置である。
以下本発明を図に示す実施例にもとづいて説明
する。第１図は、被検査物体の外観を検査する装
置のブロツク図である。同図において、映像入力
装置１は、通常用いられているTVカメラ等の撮
像装置で、明部と暗部にて形成された被検査物体
の映像を各列毎に走査しながら撮像し映像信号１
０を出力するものである。アナログ比較器２は、
電源Ｅと可変抵抗器Ｒとを直列に接続した設定電
圧回路１２からの電圧と、上記映像信号１０とを
比較して映像信号１０を２値化された明部と暗部
との白黒信号１１に変換するものである。サンプ
リング回路３は、この２値化された白黒信号１１
を所定の周期を持つクロツクパルスによつてサン
プリングして、第２図及び第３図に示す如く、被
検査物体の暗部の映像部分を×印に相当する映像
パルス信号１３に変換する回路である。面積計数
用カウンタ４は、第２図及び第３図に示されてい
る×印に相当する映像のパルス信号１３を、走査
される全ての列にわたつて計数し、これを面積値
デイジタル２進信号１４にて出力するものであ
る。この面積計数用カウンタ４にて計数された値
は、被検査物体が暗部に被われた面積に相当す
る。デイジタル比較器５は、被検査物体の外観で
ある暗部の面積の検査基準の上限値及び下限値を
予め別のカウンタ等に記憶させておきこの記憶さ
れた上限値及び下限値を上記面積計数用カウンタ
４からの２進信号１４の値と比較して良否の判別
をして２値化信号１５にて出力するものである。
電気回路６は、第４図及び第５図に×印にて示さ
れているように、被検査物体が暗部にて被われて
いる映像の輪郭部分をサンプリング回路３からの
パルス信号１３にもとづいて抽出し、パルス信号
１６を出力するものである。輪郭長さ計数用カウ
ンタ７は、電気回路６より抽出された輪郭部のパ
ルス信号１６を計数し、輪郭長さデイジタル２進
信号１７を出力するものである。デイジタル比較
器８は、被検査物体の外観である暗部の輪郭長さ
の検査基準の上限値及び下限値を予め別のカウン
タ等に記憶させておき、この記憶された上限値及
び下限値を上記輪郭長さ計数用カウンタ７からの
２進信号１７の値と比較して良否の判定をして２
値化信号１８にて出力するものである。総合判定
回路９は、演算回路及びデイジタル比較器等で構
成され、デイジタル比較器５及び８からの２値化
信号１５及び１８、面積計数用カウンタ４からの
２進信号１４、及び輪郭長さ計数用カウンタ７か
らの２進信号１７を受信し、被検査物体の外観映
像図形を総合的に判定する回路である。
する。第１図は、被検査物体の外観を検査する装
置のブロツク図である。同図において、映像入力
装置１は、通常用いられているTVカメラ等の撮
像装置で、明部と暗部にて形成された被検査物体
の映像を各列毎に走査しながら撮像し映像信号１
０を出力するものである。アナログ比較器２は、
電源Ｅと可変抵抗器Ｒとを直列に接続した設定電
圧回路１２からの電圧と、上記映像信号１０とを
比較して映像信号１０を２値化された明部と暗部
との白黒信号１１に変換するものである。サンプ
リング回路３は、この２値化された白黒信号１１
を所定の周期を持つクロツクパルスによつてサン
プリングして、第２図及び第３図に示す如く、被
検査物体の暗部の映像部分を×印に相当する映像
パルス信号１３に変換する回路である。面積計数
用カウンタ４は、第２図及び第３図に示されてい
る×印に相当する映像のパルス信号１３を、走査
される全ての列にわたつて計数し、これを面積値
デイジタル２進信号１４にて出力するものであ
る。この面積計数用カウンタ４にて計数された値
は、被検査物体が暗部に被われた面積に相当す
る。デイジタル比較器５は、被検査物体の外観で
ある暗部の面積の検査基準の上限値及び下限値を
予め別のカウンタ等に記憶させておきこの記憶さ
れた上限値及び下限値を上記面積計数用カウンタ
４からの２進信号１４の値と比較して良否の判別
をして２値化信号１５にて出力するものである。
電気回路６は、第４図及び第５図に×印にて示さ
れているように、被検査物体が暗部にて被われて
いる映像の輪郭部分をサンプリング回路３からの
パルス信号１３にもとづいて抽出し、パルス信号
１６を出力するものである。輪郭長さ計数用カウ
ンタ７は、電気回路６より抽出された輪郭部のパ
ルス信号１６を計数し、輪郭長さデイジタル２進
信号１７を出力するものである。デイジタル比較
器８は、被検査物体の外観である暗部の輪郭長さ
の検査基準の上限値及び下限値を予め別のカウン
タ等に記憶させておき、この記憶された上限値及
び下限値を上記輪郭長さ計数用カウンタ７からの
２進信号１７の値と比較して良否の判定をして２
値化信号１８にて出力するものである。総合判定
回路９は、演算回路及びデイジタル比較器等で構
成され、デイジタル比較器５及び８からの２値化
信号１５及び１８、面積計数用カウンタ４からの
２進信号１４、及び輪郭長さ計数用カウンタ７か
らの２進信号１７を受信し、被検査物体の外観映
像図形を総合的に判定する回路である。
上記構成により、被検査物体が第２図に示され
ているような良品の場合、面積計数用カウンタ４
から出力される２進信号１４の面積計数値はデイ
ジタル比較器５内に設定された上限値から下限値
までの範囲内の値となり、また輪郭長さ計数用カ
ウンタ７から出力される２進信号１７の輪郭長さ
計数値は、デイジタル比較器８内に設定された上
限値から下限値までの範囲内の値となる。一方被
検査物体が第３図に示されているような孤立欠陥
のある場合、デイジタル比較回路５からは、面積
の減少が僅かであるから良品と判定される２進化
信号１５が総合判定回路９に送信され、デイジタ
ル比較回路８からは第５図に示す如く輪郭の長さ
が大巾に増加するため孤立欠陥が存在する不良品
と判定される２値化信号１８が総合判定回路９に
送信される。逆に被検査物体が、第６図のように
一部が欠けたような欠け欠陥の場合、デイジタル
比較回路５からは、面積が大巾に減少するため欠
け欠陥が存在する不良品と判定される２値化信号
１５が総合判定回路９に送信され、デイジタル比
較回路８からは第７図に示す如く輪郭の長さは殆
んど変化しないため良品と判定される２値化信号
１８が総合判定回路９に送信される。このように
被検査物体の外観映像を面積、及び輪郭を組合せ
ることによつて検査するため、総合判定回路９は
非常に簡単にして４通りの判定が可能となる。
ているような良品の場合、面積計数用カウンタ４
から出力される２進信号１４の面積計数値はデイ
ジタル比較器５内に設定された上限値から下限値
までの範囲内の値となり、また輪郭長さ計数用カ
ウンタ７から出力される２進信号１７の輪郭長さ
計数値は、デイジタル比較器８内に設定された上
限値から下限値までの範囲内の値となる。一方被
検査物体が第３図に示されているような孤立欠陥
のある場合、デイジタル比較回路５からは、面積
の減少が僅かであるから良品と判定される２進化
信号１５が総合判定回路９に送信され、デイジタ
ル比較回路８からは第５図に示す如く輪郭の長さ
が大巾に増加するため孤立欠陥が存在する不良品
と判定される２値化信号１８が総合判定回路９に
送信される。逆に被検査物体が、第６図のように
一部が欠けたような欠け欠陥の場合、デイジタル
比較回路５からは、面積が大巾に減少するため欠
け欠陥が存在する不良品と判定される２値化信号
１５が総合判定回路９に送信され、デイジタル比
較回路８からは第７図に示す如く輪郭の長さは殆
んど変化しないため良品と判定される２値化信号
１８が総合判定回路９に送信される。このように
被検査物体の外観映像を面積、及び輪郭を組合せ
ることによつて検査するため、総合判定回路９は
非常に簡単にして４通りの判定が可能となる。
また総合判定回路９は面積計数用カウンタ４か
らの２進信号１４と輪郭長さ計数用カウンタ７か
らの２進信号１７を次に述べる如く演算して得ら
れる値を利用すれば、被検査物体の外観映像の検
査を厳密にできる。先ず被検査物体の外観映像図
形を第８図ａの円形の場合と第８図ｂの正方形の
場合とに大別して考える。第８図ａの場合半径を
ｒとすれば、面積Srはπr2、輪郭の長さLrは2πa
となる。一方第８図ｂの場合、一辺の長さをｈと
すれば、面積Shはh2、輪郭の長さLhは4hとなる。
らの２進信号１４と輪郭長さ計数用カウンタ７か
らの２進信号１７を次に述べる如く演算して得ら
れる値を利用すれば、被検査物体の外観映像の検
査を厳密にできる。先ず被検査物体の外観映像図
形を第８図ａの円形の場合と第８図ｂの正方形の
場合とに大別して考える。第８図ａの場合半径を
ｒとすれば、面積Srはπr2、輪郭の長さLrは2πa
となる。一方第８図ｂの場合、一辺の長さをｈと
すれば、面積Shはh2、輪郭の長さLhは4hとなる。
ここでＫ＝（輪郭の長さＬ）2／面積Ｓとすると、
第８図ａに対してはK1＝（2πa）2／πa2＝4π、第８
図ｂに対してはK2＝（4a）2／a2＝16となる。この
K1、及びK2は、ｒ及びｈの値に関係ない定数と
なり、ある程度被検査物体の外観映像図形の複雑
さを判定することができる。例えば、第８図に示
す如く、所定の面積範囲内で、且上記Ｋの値が所
定の範囲内に囲まれる領域１９を選び出すことに
より、被検査物体の外観映像図形の内、ある定め
られた図形のみを検査して選び出すこともでき
る。即ち総合判定回路９の演算回路は、輪郭長さ
計数用カウンタ７からの２進信号１４を乗算し、
この乗算した値を面積計数用カウンタ４からの２
進信号１７にて除算すれば、上記Ｋを求める。次
に総合判定回路９のデイジタル比較器は、上記Ｋ
の上限値Kmax、及び下限値Kminを予め別のカ
ウンタ等に記憶させておきこの記憶された上限値
Kmax、及び下限値Kminを上記演算回路からの
Ｋの値と比較して上限値Kmax及び下限値Kmin
に入つている場合の被検査物体の外観映像図形を
選び出す。このように総合判定回路９は上記デイ
ジタル比較器と面積Ｓの上限値Smaxから下限値
Sminまでの範囲内に入つているかを判定したデ
イジタル比較器５から２値化信号によつて第９図
に示された領域１９に入つている特定の被検査物
体の外観映像図形を選び出すように検査判定す
る。
第８図ａに対してはK1＝（2πa）2／πa2＝4π、第８
図ｂに対してはK2＝（4a）2／a2＝16となる。この
K1、及びK2は、ｒ及びｈの値に関係ない定数と
なり、ある程度被検査物体の外観映像図形の複雑
さを判定することができる。例えば、第８図に示
す如く、所定の面積範囲内で、且上記Ｋの値が所
定の範囲内に囲まれる領域１９を選び出すことに
より、被検査物体の外観映像図形の内、ある定め
られた図形のみを検査して選び出すこともでき
る。即ち総合判定回路９の演算回路は、輪郭長さ
計数用カウンタ７からの２進信号１４を乗算し、
この乗算した値を面積計数用カウンタ４からの２
進信号１７にて除算すれば、上記Ｋを求める。次
に総合判定回路９のデイジタル比較器は、上記Ｋ
の上限値Kmax、及び下限値Kminを予め別のカ
ウンタ等に記憶させておきこの記憶された上限値
Kmax、及び下限値Kminを上記演算回路からの
Ｋの値と比較して上限値Kmax及び下限値Kmin
に入つている場合の被検査物体の外観映像図形を
選び出す。このように総合判定回路９は上記デイ
ジタル比較器と面積Ｓの上限値Smaxから下限値
Sminまでの範囲内に入つているかを判定したデ
イジタル比較器５から２値化信号によつて第９図
に示された領域１９に入つている特定の被検査物
体の外観映像図形を選び出すように検査判定す
る。
以上説明したように本発明は、非常に簡単な構
成により、パターンに対して孤立欠陥が存在する
か否かと、欠け欠陥が存在するか否かとを同時に
識別して検査することができる効果を奏する。
成により、パターンに対して孤立欠陥が存在する
か否かと、欠け欠陥が存在するか否かとを同時に
識別して検査することができる効果を奏する。
第１図は、本発明の一実施例である外観検査装
置の構成を示したブロツク図、第２図は良品の場
合の被検査物体の暗部面積を×印の個数で示した
図、第３図は中央の一部が凸形状に明部にて形成
された被検査物体の暗部の面積を×印の個数で示
した図、第４図は第２図に示す被検査物体の暗部
の輪郭長さを×印の個数で示した図、第５図は第
３図に示す被検査物体の暗部の輪郭長さを×印の
個数にて示した図、第６図は角が明部にて形成さ
れた被検査物体の暗部の面積を×印の個数にて示
した図、第７図は第６図の被検査物体の暗部輪郭
長さを×印の個数で示した図、第８図ａ、ｂは、
被検査物体の暗部の形状が円形の場合と正方形の
場合とに分けて面積及び輪郭長さの各々について
説明するための図、第９図はＫを変化させて面積
と輪郭長さとの関係を示した図である。 １…撮像装置、２…アナログ比較器、３…サン
プリング回路、４…面積計数用カウンタ、５…デ
イジタル比較器、６…電気回路、７…輪郭長さ計
数用カウンタ、８…デイジタル比較器、９…総合
判定回路。
置の構成を示したブロツク図、第２図は良品の場
合の被検査物体の暗部面積を×印の個数で示した
図、第３図は中央の一部が凸形状に明部にて形成
された被検査物体の暗部の面積を×印の個数で示
した図、第４図は第２図に示す被検査物体の暗部
の輪郭長さを×印の個数で示した図、第５図は第
３図に示す被検査物体の暗部の輪郭長さを×印の
個数にて示した図、第６図は角が明部にて形成さ
れた被検査物体の暗部の面積を×印の個数にて示
した図、第７図は第６図の被検査物体の暗部輪郭
長さを×印の個数で示した図、第８図ａ、ｂは、
被検査物体の暗部の形状が円形の場合と正方形の
場合とに分けて面積及び輪郭長さの各々について
説明するための図、第９図はＫを変化させて面積
と輪郭長さとの関係を示した図である。 １…撮像装置、２…アナログ比較器、３…サン
プリング回路、４…面積計数用カウンタ、５…デ
イジタル比較器、６…電気回路、７…輪郭長さ計
数用カウンタ、８…デイジタル比較器、９…総合
判定回路。
Claims (1)
- １ 予め定められたパターンを有する被検査物体
の映像を走査しながら撮像する撮像装置と、該撮
像装置から得られる映像信号を所定の閾値で２値
化すると共に所定の周期でサンプリングして絵素
化する２値絵素化回路と、該２値絵素化回路より
出力される２値絵素化信号の一方のレベルを計数
して上記パターンの面積を算出する第１の手段
と、上記２値絵素化回路より出力される２値絵素
化信号に基いて上記パターンの輪郭の長さを算出
する第２の手段と、上記第１の手段から算出され
た面積の値が第１の基準範囲内に存在するか否か
を判定する第１の比較手段と、上記第２の手段か
ら算出された輪郭の長さの値が第２の基準範囲内
に存在するか否かを判定する第２の比較手段と、
上記第１の比較手段によつて面積が第１の基準範
囲内に存在して第２の比較手段によつて輪郭の長
さが第２の基準範囲内に存在しないとき、上記パ
ターン内に孤立欠陥が存在すると判定し、更に上
記第２の比較手段によつて輪郭長さが第２の基準
範囲内に存在して第１の比較手段によつて面積が
第１の基準範囲内に存在しないとき、上記パター
ンに欠け欠陥が存在すると判定する判定処理手段
とを備え付けたことを特徴とする外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19900083A JPS5994006A (ja) | 1983-10-26 | 1983-10-26 | 外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19900083A JPS5994006A (ja) | 1983-10-26 | 1983-10-26 | 外観検査装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10203073A Division JPS5055380A (ja) | 1973-09-12 | 1973-09-12 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5994006A JPS5994006A (ja) | 1984-05-30 |
| JPH0345763B2 true JPH0345763B2 (ja) | 1991-07-12 |
Family
ID=16400428
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19900083A Granted JPS5994006A (ja) | 1983-10-26 | 1983-10-26 | 外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5994006A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63269003A (ja) * | 1987-04-27 | 1988-11-07 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 晶出界面位置検出装置 |
| JPH01203935A (ja) * | 1988-02-09 | 1989-08-16 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光ファイバ端部の検査方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5857705B2 (ja) * | 1973-04-26 | 1983-12-21 | 住友金属工業株式会社 | ケイコウジフンタンシヨウホウ オヨビ ソノソウチ |
-
1983
- 1983-10-26 JP JP19900083A patent/JPS5994006A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5994006A (ja) | 1984-05-30 |
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