JPH0682730B2 - 半導体装置のマーク検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体装置上に印刷されたマークを検査する検
査装置に関し、特にこの検査の質の向上に関するもので
ある。

〔従来の技術〕

第５図は従来のこの種のマーク検査装置を表すブロック
図であり、この検査装置を用いて第６図に示される文字
（Ｐ）13を検査する従来の検査について以下に説明す
る。

同図において、半導体装置上に印刷されたマークは光電
変換装置３により撮像され、この画像はマーク位置決定
部５によりマーク部の位置決めが行われる。この位置決
めは検査したいマークの上下端および左右端の座標を求
めることにより行われる。続いて、入力された画像デー
タは、明度比較部７において、端子６から入力されるし
きい値によって半導体装置のマーク面の文字と地肌とが
区別され、２値化画像に変換される。そして、この２値
化画像は検査エリア決定部８により、第６図に示すよう
に、予め設定されている文字欠け検査用枠14,目詰まり
検査用枠15に区分され、面積カウント部９によって各枠
14,15内の文字面積がカウントされる。このカウント結
果は、カウント比較部11において端子10に入力されるカ
ウントしきい値と比較され、予め基準文字を使って登録
されたカウント値の比率が一定の判定基準内に入ってい
るかどうかが調べられる。

以上の処理は設定された各枠14,15の全てについて行わ
れるが、カウント結果が判定基準内に入っていないもの
が検出された場合には、検査はその時点で終了する。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、従来のマーク検査装置は上記のように構
成されているため、文字の各エリア毎に使用している判
定基準（検査するマークのカウント値と予めティーチン
グされた基準マークのカウント値との比率）は、全ての
エリアに対して一定の値となる。このため、この判定基
準を厳しくすると全エリアに対して厳しく検査されるた
め、人間が十分に読める程度のマークを不良にすること
があり、また、この判定基準を緩めると全エリアに対し
て緩く検査されるため、異種文字との判別が不可能とな
るという課題を有していた。

本発明はこのような課題を解消するためになされたもの
で、人間の柔軟性を持ったマークの良否判別に近いマー
ク検査を行える装置を得ることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明は、２値化画像の各エリアに対する設定種類に応
じてカウントのしきい値を選択し、このしきい値と面積
カウント手段によるカウント結果値とを比較するカウン
ト比較手段とを備えたものである。

〔作 用〕

マークの品質を調べる検査データについての判定基準は
緩めに設定され、異種文字の判別をする検査データにつ
いての判定基準は厳しく設定される。

〔実施例〕

次に本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例の回路構成を表すブロック
図、第２図はこの実施例による検査装置全体の構成を示
す斜視図である。

第２図において、２は半導体装置、2aはこの半導体装置
２上に印刷されたマーク、１はこのマーク2aに光を投射
する照明装置、３はこの照明装置１により得られるマー
ク2aの光情報を入力して電気信号に変換する光電変換装
置、４はマーク2aを検査するマーク検査装置である。

第１図において、３は上記の光電変換装置であり、５は
この光電変換装置３からの電気信号によりマーク2aの位
置を検出するマーク位置決定部、７はマーク2aの画情報
を２値化する明度比較部であり、この明度比較部７は、
マーク位置決定部５からの出力信号を端子６から入力さ
れる明度の判別基準値となるしきい値と比較することに
より行われる。

また、８は明度比較部７から出力されたマーク2aの２値
化画像を複数のエリアに分割して部分検査するための検
査エリア決定部であり、このエリアは、マーク2aの画素
数の下限をチェックするための文字欠け検出エリアとこ
の画素数の上限をチェックするための目詰まり検出エリ
アとに設定されて区分される。９は検査エリア決定部８
により区分された各エリア内の文字面積を把握するため
にこの文字に相当する部分の画素数をカウントする面積
カウント部、11は各エリア毎に応じて面積カウント部９
によるカウント数のしきい値を選択するカウントしきい
値選択部、12は面積カウント部９のカウント結果とカウ
ントしきい値選択部11のしきい値とを入力してこれらを
比較するカウント比較部である。

なお、マーク位置決定部5,明度比較部7,検査エリア決定
部8,面積カウント部9,カウントしきい値選択部11および
カウント比較部12はマーク検査装置４を構成する。

このような構成において、マーク2aを第３図に示される
文字（Ｐ）13とし、本実施例の動作を第４図のフローチ
ャートを参照して以下に説明する。

まず、検査対象物である半導体装置２を光学系の光電変
換装置３の下にセットする（ステップ301）。次に、光
電変換装置３によりマーク2aの光情報を取り込んで電気
信号に変換してマーク位置決定部５に出力する（ステッ
プ302）。マーク位置決定部５はマーク2aの位置決めを
行い、マーク2aの電気信号は明度比較部７において端子
６から入力されるしきい値と比較されて２値化画像に変
換される（ステップ303）。この２値化画像は検査エリ
ア決定部８において、第３図に示されるように、文字検
査用エリア14,目詰まり検査用エリア15および異種文字
検査用エリア16に区分される。（ステップ304）。

次にカウントしきい値選択部11によりマーク2aの各エリ
アに対応してカウントしきい値を設定する（ステップ30
5）。このしきい値の設定は、文字の品質検査となる文
字欠け検査用エリア14および目詰まり検査用エリア15に
対しては緩い判定基準値が設定されるが、異種文字検査
用エリア16については厳しい判定基準が設定される。

そして、各エリア内の文字面積が文字面積カウント部９
によりカウントされ（ステップ306）、このカウント結
果値とカウントしきい値選択部11で設定されたカウント
しきい値とがカウント比較部12にて比較される（ステッ
プ307）。この比較結果が設定しきい値の範囲内か否か
が判断され（ステップ308）、範囲外であれば不良と判
定されて（ステップ309）処理を終了する。また範囲内
であれば、さらに、ステップ304で設定された全てのエ
リアについて以上の処理が終了したか否が判断され（ス
テップ310）、終了していなげればステップ304に戻って
同様な処理が繰り返され、全てのエリアについて終了す
ると良品と判定して検査を終える（ステップ311）。

以上のように本実施例は、カウントしきい値選択部12を
設けて、文字欠け検査用および目詰まり検査用の判定基
準は緩く、異種文字検査用の判定基準は厳しく判定する
ことを可能としたことにより、人間による柔軟性を有す
る目視検査に極めて近い検査を行えるようになった。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、２値化画像の各エリアに
対する設定種類に応じてカウントのしきい値を選択し、
このしきい値と面積カウント手段によるカウント結果値
とを比較するカウント比較手段とを備えたことにより、
マークの品質を調べる検査データについての判定基準は
緩めに設定され、異種文字の判別をする検査データにつ
いての判定基準は厳しく設定される。このため、人間に
よる目視検査と同様に各マークに対応して柔軟性を持っ
て検査を行える検査装置が得られるという効果を有す
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の回路構成を表すブロック
図、第２図はこの実施例の装置全体の斜視図、第３図は
この実施例において検査対象となる文字の一例を示す
図、第４図はこの実施例の動作を説明するためのフロー
チャート、第５図は従来の装置の回路構成を表すブロッ
ク図、第６図はこの従来の検査において検査対象となる
文字を示す図である。 ３……光電変換装置、５……マーク位置決定部、７……
明度比較部、８……検査エリア決定部、９……面積カウ
ント部、11……カウントしきい値選択部、12……カウン
ト比較部。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】半導体装置上に印刷されたマークを撮像し
   てこれを電気信号に変換して出力する光電変換手段と、
   この光電変換手段により得られた電気信号から前記マー
   クの２値化画像を得る２値化手段と、前記光電変換手段
   により得られた電気信号からマークの印字位置を検出す
   る位置検出手段と、この位置検出手段より得られた位置
   を基準として設定する，下限を検査するための文字欠け
   検出枠および上限を検査するための目詰まり検出枠を持
   つ検査エリア決定手段と、この検査エリア決定手段より
   得られた２値化画像上のエリアの文字面積をカウントす
   る面積カウント手段と、この面積カウント手段より得ら
   れた面積を判定する時に異種文字エリアの判定基準を品
   質検査エリアの判定基準よりも厳しく判定するカウント
   比較手段とを備えたことを特徴とする半導体装置のマー
   ク検査装置。