JPH0345971U - - Google Patents
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- JPH0345971U JPH0345971U JP10603089U JP10603089U JPH0345971U JP H0345971 U JPH0345971 U JP H0345971U JP 10603089 U JP10603089 U JP 10603089U JP 10603089 U JP10603089 U JP 10603089U JP H0345971 U JPH0345971 U JP H0345971U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- raw material
- material melt
- compound semiconductor
- single crystal
- semiconductor single
- Prior art date
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- Pending
Links
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Landscapes
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例に係る化合物半導体
単結晶の製造装置を示す平面図、第２図は従来装
置の放熱量特性図、第３図は従来型の放熱孔を用
いた装置で化合物半導体単結晶を育成した場合の
固液界面の形状を示す平面図、第４図は本実施例
の石英製反応容器の上視図、第５図は同じく放熱
孔と石英ボートの位置関係を示した平面図、第６
図は第１図の−線断面図、第７図は本実施例
による放熱孔を用いた場合の放熱量特性図、第８
図は同じく放熱孔を用いた装置例で化合物半導体
単結晶を育成した場合の固液界面形状を示す平面
図、第９図は本考案の他の実施例を示す平面図で
ある。 ５……加熱炉、１０……原料融液、６……上方
の炉壁、７……放熱孔、９……複数に分割された
小放熱孔である。
単結晶の製造装置を示す平面図、第２図は従来装
置の放熱量特性図、第３図は従来型の放熱孔を用
いた装置で化合物半導体単結晶を育成した場合の
固液界面の形状を示す平面図、第４図は本実施例
の石英製反応容器の上視図、第５図は同じく放熱
孔と石英ボートの位置関係を示した平面図、第６
図は第１図の−線断面図、第７図は本実施例
による放熱孔を用いた場合の放熱量特性図、第８
図は同じく放熱孔を用いた装置例で化合物半導体
単結晶を育成した場合の固液界面形状を示す平面
図、第９図は本考案の他の実施例を示す平面図で
ある。 ５……加熱炉、１０……原料融液、６……上方
の炉壁、７……放熱孔、９……複数に分割された
小放熱孔である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 加熱炉によつて形成する結晶成長に必要な温度
分布を、上記加熱炉内に帯状に配置された原料融
液に対し相対的に移動することによつて、上記原
料融液を冷却して結晶化させる化合物半導体単結
晶の製造装置において、 上記原料融液の上方の炉壁に、上記原料融液の
幅方向に沿つて複数に分割された放熱孔を形成し
たことを特徴とする化合物半導体単結晶の製造装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10603089U JPH0345971U (ja) | 1989-09-08 | 1989-09-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10603089U JPH0345971U (ja) | 1989-09-08 | 1989-09-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0345971U true JPH0345971U (ja) | 1991-04-26 |
Family
ID=31654776
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10603089U Pending JPH0345971U (ja) | 1989-09-08 | 1989-09-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0345971U (ja) |
-
1989
- 1989-09-08 JP JP10603089U patent/JPH0345971U/ja active Pending
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