JPH0346732A - マグネトロン及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）産業上の利用分野 本発明はマグネトロンの陰極構体の構造及びその製造方
法の改良に関する。

（ロ）　従来の技術 従来、この種マグネトロンの陰極構体として、例えば特
開昭５６−１３２７４７号公報が知られている。

この構造を第１５図に基づき説明すると、（５１）はフ
ィラメント、（５２）はフィラメント（５１）上端を支
持するトップハツト、（５３）はフィラメント（５１）
下端を支持するエンドハツトで、フィラメント（５１）
、トップハツト（５２）及びエンドハツト（５３）によ
り陰極（５０）を構成している。（５４）はトップハツ
ト（５２）を支持する支持棒となるトップリード、（５
５）はエンドハツト（５３）を支持する支持棒となるエ
ンドリード、（５６）はトップリード（５４）とエンド
リード（５５）を貫通孔（５７）に挿入して支持するセ
ラミ・ンク製陰極ステム、（５８）は貫通孔（５７）を
覆って両ノード（５４）（５５）周縁を陰極ステム（５
６）に気密に接続する封止金具である。

この陰極構体は、陰極（５０）を第１５図とは反転した
状態に治具にて支持し、治具上に筒状金属容器（５９）
を載置し、金属容器（５９）上にロウ材、陰極ステム（
５６）、ロウ材、封止金具（５８）を順次積層し、各部
材をロウ付固定して製造される。

しかしながら、封止金具（５８）は微小な部品であるた
め、両リード（５４）（５５）への嵌合作業が困難で、
熟練を要し、作業時間がかかつて作業効率が低下する欠
点があった。

（ハ）発明が解決しようとする課題 本発明は上記欠点に鑑みなされたもので、作業性及び作
業効率を向上し得るマグネトロンとその製造方法を提供
することを課題とする。

（ニ）課題を解決するための手段 封止金具は、支持棒を陰極ステムに気密接合する一対の
封止部と、封止部間に架設され、封止金具の陰極ステム
への装着後除去される接続部とを一体形成する。

また、製造方法は、陰極と陰極を支持する一対の支持棒
を設ける工程、支持棒が挿入される透孔を各々有する一
対の封止部と封止部を接続する接続部とを一体形成した
封止金具を設ける工程、支持棒が貫通する貫通孔又は支
持棒が挿入される凹部を有する陰極ステムを設ける工程
、陰極を支持する工程、支持棒に封止部の透孔を挿入す
る工程、支持棒に陰極ステムの貫通孔又は凹部を挿入す
る工程、封止部と陰極ステムと支持棒を気密接合する工
程、支持棒に透孔を挿入した封止金具の接続部を除去す
る工程を備えている。

（ホ）作　用 上述の構造及び製造方法であれば、封止金具は、従来の
封止金具に相当する封止部を一対一体的に形成している
ので、部品が大型化し、把持しやすくなると共に、支持
棒への装着工程が一度で済みて作業性及び作業効率が向
上する。

（へ）実施例 本発明の一実施例を第１図乃至第３図及び第１４図に基
づき以下に詳述する。

第１４図において、（１）は内周面から中心に向って複
数のベイン（２）を配設した陽極筒体、（３）は前記ベ
イン（２）先端で囲まれる空間に配設された陰極で、フ
ィラメント（４）と、フィラメント（４）の両端を支持
するモリブデン類のトップハツト（５）及びエンドハツ
ト（６）とから構成されている。

（７）（８）は前記陽極筒体（１）の両端開口に配設さ
れた鉄等の磁性材料製ボールピー２．（９）（１０）は
ポールピース（７）（８）を覆い、陽極筒体（１）に気
密接合する筒状金属容器、（１１）は一端を前記ベイン
（２）に接続した出力導体、（１２）はセラミック製絶
Ｒ筒体（１３）を介して前記金属容器（９）に接合され
る出力部で、真空容器内を排気する際の排気の案内とな
ると共にチップオフにより前記出力導体（１１）を挟持
している。　（１４）は前記出力部（１２）を覆うキャ
ップである。

（１５）は前記陰極（３）のトップハツト（５）を支持
する支持棒となるモリブデン類のトップリード、（１６
）は前記エンドハツト（６）を支持する支持棒となるモ
リブデン類のエンドリード、（１７）は前記金属容器（
１０）に接合されるセラミック製陰極ステムで、前記両
リード（１５）（１６）を支持している。

そして、これらにより真空容器を構成している。

（１８）は前記陽極筒体（１）外周に装着された放熱フ
ィン、（１９）は永久磁石、（２０）は永久磁石（１９
）を磁気的に結合するヨーク、（２１）はシールドボッ
クスである。

第１図乃至第３図に基づき本発明一実施例の陰極構体を
説明する。

前記陰極ステム（１７）は、−面外周部にリング状突部
（２２）を形成し、この突部（２２）が金属容器（１０
）の接合面（Ａ）となっている、前記陰極ステム（１７
）には、一対の貫通孔（２３）が穿設され、陰極ステム
（１７）他面には貫通孔（２３）を中心に一対の円状の
凸部（２４）が形成され、この凸部（２４）が後述する
封止金具（２チ）の接合面（Ｂ）となっている。

前記両液台面（Ａ）（Ｂ）には、モリブデン−マンガン
ペーストを塗布し、これを乾燥後、１４００°Ｃ程度の
不活性ガス加熱炉に入れて焼結し、所謂メタライズ層を
形成している。

（２５）は封止金具で、前記リード（１５）（１６）が
嵌合する透孔（２６）を有する一対の封止部（２７）と
封止部を接続する接続部（２８）とを一体形成しており
、封止部Ａ（２５）は、各々の封止部（２７）の透孔（
２６）にノード（１５）（１６）を嵌合して封止部（２
７）を陰極ステム（１７）の凸部（２４）に装着し、こ
の状態で接続部（２８）を除去するようになっている。

前記封止金具（２５）は陰極ステム（１７）と類似した
熱膨張係数を有し、前記メタライズ層を介してろう接し
やすい金属、例えば、Ｎｉ−Ｆｅ合金、コバール（商品
名）等が使用される。

次に製造方法を説明する。

陰極（３）を第３図の状態から反転し治具（図示しない
）にて固定する。治具上に金属容器（１０）をＭ、置し
、金属容器（１ｏ）上にロウ材を載置してリード（１５
）（１６）を貫通孔（２６）に挿入して陰極ステム（１
７）をロウ材上に＃７．置する。さらに、陰彌ステム（
１７）の凸部（２４）上にロウ材を載置し、リード（１
５）（１６）を透孔（２６）に嵌挿して封止金具（２５
）をロウ材上に＃７．置する。

この状態で８００℃程度の加熱炉に入れてロウ材を溶か
し、各部品をロウ接する。

その後、封止金具（２５）の接続部（２８）をレーザー
、カッター等により切断する。

第４図は本発明の他の実施例の陰極構体を示し、陰極ス
テム（１７）は、一対の貫通孔（２３）が穿設され、−
面には貫通孔（２３）を中心に一対の円状の凸部（２９
）が形成され、この凸部（２９）が封止金具（２５）の
接合面（Ｂ）となっている。また、陰極ステム（１７）
の−面には、外周部に金属容器（１０）の接合面（・Ａ
）を形成している０両液合面（Ａ）（Ｂ）には前述の実
施例と同様にしてメタライズ層が形成されている。

この構造における製造方法を説明すると、陰極（３）を
第４図の状態から反転し、治具にて固定する。治具上に
金属容器（１０）を載置すると共に、封止金具（２５）
を、リード（１５）（１６）を透孔（２６）に嵌挿して
治具上に載置する。金属容器（１０）及び封止金具（２
５）上にロウ材を載置し、陰極ステム（１７）を、ノー
ド（１５）（１６）を貫通孔（２３）に挿入してロウ村
上に載置する。

そして、第４図の状態に反転し、ｓｏｏ’ｃ程度の加熱
炉でロウ材を溶かし、各部品をロウ接する。

その後、前述の実施例と同様に封止金具（２Ｓ）の接続
部（２８）を切断する。

第５図乃至第８図は本発明の更に他の実施例の陰極構体
を示し、陰極ステム（１７）は縦断面逆Ｕ字状をなし、
−面にリング状の凹部り３０）を有し、この凹部（３０
）の内側の面が封止金具（２５）を接合するための略半
円状の接合面（Ｂ）とされ、外側の円周面が金属容器を
接合するための金属容器（１０）接合面（Ａ）とされる
、これ″ら両液台面（Ａ）、（Ｂ）は中心軸に対して垂
直な同一平面上に位置するように形成されている。他方
の面には、中央部が軸方向に沿って大きくえぐられた大
気側の凹部（３１）が形成されている。モしてステムの
底部には、２個の貫通孔（３２）が穿設され、またこれ
ら貫通孔と対角線状に並んで所定深さを有するり−）−
’（１５）（１６）嵌合用凹部（３３）が穿たれている
。それぞれ一対の貫通孔（３２）および嵌合用凹部（３
３）の中間には、それらを区切るように凹溝（３４）が
形成されている。このようなセラミックステム部品を使
用し、同一面上に位置する接合面（Ａ）（Ｂ）の全面に
、モリブデン（Ｍｏ）−マンガン（Ｍｎ＞ペーストを塗
布する。このペースト塗布にあたっては、両方の接合面
（Ａ）−（Ｂ）が同一面上にあり且つ両液台面の間に突
出部のような何らの障害物がないことを活用して１回の
例えばスクリーン塗布等でこれら全面に塗布することが
できる。そしてこれを乾燥後、１４００°Ｃ程度の不活
性ガス加熱炉に入れて焼結し、所謂メタライズ層を形成
する。

接合面（Ｂ）にロウ材により気密ロウ接される封止金具
（２５）は、第８図に示す如く、リード（１５）（１６
）及び外部接読リード（３５）（３６）がそれぞれ貫通
する透孔（２６）を有する一対の半円状封止部（２７）
と、封止部を接続する接続部（２８）とから構成されて
いる。

次に、この陰極構体の製造方法を説明する。

陰極（３）を第５図とは反転した状態に治具にて支持し
、治具上に金属容器（１０）を載置すると共に、封止金
具（２５）を、リード（１５）（１６）を透孔（２６）
に底挿して治具上に載置する。金属容器（１０）及び封
止金具（２５）上にロウ材を載置し、陰極ステム（１７
）を、凹部（３３）にリード（１５）（１６）を挿入し
て金属容器（１０）及び封止金具（２５）上に載置する
。銅或いは鉄のような金属棒からなる一対の外部接続リ
ード（３５）（３６）を、陰極ステム（１７）の貫通孔
（３２）及び封止金具（２５）の透孔（２６）に挿通す
る。

そして、第５図の状態に反転し、加熱炉でロウ材を溶か
し、各部品を気密ロウ接する。その後、前述の実施例と
同様に封止金具（２５）の接続部（２８）を切断する。

なお、以上の実施例では、各部品をロウ接した後に封止
金具（２５）の接続部（２８）を切断したが、ロウ接す
る前でもよく、即ち、リード（Ｉｓ）（１６）に封止金
具（２５）を装着した後であれば、いつでもよいもので
ある。

また、陰極ステム（２５〉の接続部（２８）は、第９図
に示す如くわん面形成すれば、接続部（２８）と陰極ス
テム（１７）との間隔を大きくすることができ、切断、
特にカッターによる切断をより容易に行なうことができ
る。

第１０図及び第１１図は封止金具（２５）の他の実施例
を示し、（４０）は銀、又は銀合金等のロウ材層〈４１
）を、コバール（商品名）、Ｎｉ−Ｆｅ合金等の金属部
材（４２）にて挟持した複合金属材料で、この材料（４
０）から第１１図破線にて示すようにプレス加工により
封止金具（２５）を形成する。この時、材料（４０）の
ロウ材層（４１）が接続部（２８）となり、接続部（２
８）は各部品のロウ接時に溶け、金属部材（４２）製の
封止部（１７）に付着する。

第１２図及び第１３図は封止金具（２５）の更に他の実
施例を示し、前述の実施例の材料（４０）の−面にロウ
材層（４１）を形成した複合金属材料から第１３図破線
にて示す如くプレス加工により形成したものである。こ
の実施例の封止金具（２５）であれば、組立時封止金具
（２５）とリード（１５）（１６）と陰極ステム（１７
）とを接合するロウ材の配設工程をなくすことができる
。

（ト）　発明の効果 以上の如く、本発明の構造及び製造方法に依れば、封止
金具は、従来の封止金具に相当する封止部を、一対一体
的に形成しているので、部品が大型化し、把持しやすく
なると共に、支持棒への装着工程が一度で済み、作業性
及び作業効率を向上できる等の効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明一実施例の要部斜視図、第２図は同封止
金具の斜視図、第３図は同断面図、第４図は本発明他の
実施例の要部断面図、第５図は本発明の更に他の実施例
の要部断面図、第６図は同斜視図、第７５！Ｊは同陰極
ステムの斜視図、第８図は同封止金具の斜視図、第９図
は封止金具の他の実施例の斜視図、第１０図は封止金具
の他の実施例の斜視図、第１１図は同封止金具の材料の
斜視図、第１２図は封止金具の他の実施例の斜視図、第
１３図は同封止金具の材料の斜視図、第１４図は断面図
、第１５図は従来の要部断面図である。 （１）・・・陽極筒体、３・・・陰極、（１５）・・・
トップリード、（１６）・・・エンドリード、（１７）
・・・陰極ステム、（２３）・・・ダ貫通孔、（２５）
・・・封止金具、（２６）・・・透孔、（２７）・・・
封止部、（２８）・・・接続部、（３３）・・・凹部。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）陽極筒体の中心軸部分に配置された陰極と、該陰
   極を支持する一対の支持棒と、該支持棒を支持する陰極
   ステムと、該陰極ステムに固着され、支持棒を陰極ステ
   ムに気密接合する封止金具とを備え、前記封止金具は、
   支持棒を陰極ステムに気密接合する一対の封止部と、該
   封止部間に架設され、封止金具の支持棒への装着後除去
   される接続部とを一体形成したことを特徴とするマグネ
   トロン。
2. （２）陰極と陰極を支持する一対の支持棒を設ける工程
   、前記支持棒が挿入される透孔を各々有する一対の封止
   部と封止部を接続する接続部とを一体的に形成した封止
   金具を設ける工程、前記支持棒が貫通する貫通孔又は支
   持棒が挿入される凹部を有する陰極ステムを設ける工程
   、前記陰極を支持する工程、前記支持棒に封止部の透孔
   を挿入する工程、前記支持棒に陰極ステムの貫通孔又は
   凹部を挿入する工程、前記封止部と陰極ステムと支持棒
   を気密接合する工程、前記支持棒に透孔を挿入した封止
   金具の接続部を除去する工程を備えてなるマグネトロン
   の製造方法。