JPH0348879Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の利用分野〕 本考案は、交流電界の印加によつてEL（エレク
トロ・ルミネツセンス）発光を生ずる薄膜EL素
子に関するものである。

〔従来技術〕

従来の薄膜EL素子としては、例えば特許願昭
和58年第19128号に記載されているものがある。

第２図は、上記の薄膜EL素子の断面図である。

第２図において、ガラス基板１の上にIn₂O₃や
SnO₂等の透明導電膜２、Y₂O₃やSi₃N₄等の第１
誘電体膜３、Mnを微量含んだZnSからなる発光
膜４及び上記第１誘電体膜３と同様の材質からな
る第２誘電体膜５が電子ビーム蒸着或はスパツタ
リングによつて順次積層され、これらの２〜５に
よつて透明多層膜１００が形成されている。

なお、上記各部分の膜厚は、誘電体膜が5000Å
程度、発光膜が6000Å程度である。

さらに、第２誘電体膜５の上に質量膜厚が50〜
300ÅのMo膜からなる島状吸収体膜６が電子ビ
ーム蒸着或はスパツタリングによつて形成されて
いる。

なお、この島状吸収体膜６は、島状構造をもつ
他の金属膜や半導体膜、例えばTa，Cr，Si等で
代替することも可能である。

さらに、島状吸収体膜６の上に500Å程度の膜
厚をもつたAl₂O₃等の透明な誘電体膜７を形成
し、その上にAl等の金属膜８を蒸着或はスパツ
タリングによつて順次積層する。

この６〜８が黒色化背面電極２００を形成して
いる。

透明導電膜２と黒色化背面電極２００とは、通
常のフオトリソグラフイによつて適当な形状にパ
ターン化されている。

上記の素子において、透明導電膜２と黒色化背
面電極２００との間に交流電圧を印加し、発光膜
４内の電界が１〜２×10⁶V／cmに達すると、上
記２つの電極に挟まれた部分が発光し、前記のパ
ターン化された形状を発光表示する。

従つて、第１及び第２の誘電体膜としては、誘
電率の大きな物質を用いることが望ましい。

なお、第２図の素子においては、前記のごとく
黒色化背面電極２００を用いているので、透明多
層膜１００を通つて侵入した外来光が島状吸収体
膜６及び透明誘電体膜７によつて吸収されるた
め、背面電極としてAl等の高反射率の金属を用
いた素子に比べて、明るい環境下におけるコント
ラストが大幅に改善されている。

〔考案が解決しようとする問題点〕

上記のごとき従来素子においては、黒色化背面
電極が島状吸収体６と金属膜８との間に透明誘電
体膜７を挟んだ構造となつているため、駆動電圧
が上昇（約５％上昇する）し、そのため駆動素子
耐圧を高くする必要があるので駆動回路の製造コ
ストが増加するという問題がある。

又、透明誘電体膜７は、それ自身非常に薄くか
つ凹凸の大きい島状吸収体膜６の上に形成される
ため、誘電特性が極めて不安定になり絶縁破壊を
起こし易くなる。そのため、製造時の歩留りが抵
下する原因となる。

本考案は、上記のごとき従来技術の問題を解決
することを目的とするものである。

〔問題を解決するための手段〕

上記の目的を達成するため本考案においては、
複数の導電体膜及び誘電体膜からなる背面電極
の、少なくとも最も背面側の導電体膜から最も前
面側の導電体膜に達する孔または溝を、上記背面
電極の前面電極が形成されていない領域上に設
け、その孔または溝に導電体を埋設することによ
つて背面電極の最も前面（例えば島状吸収体膜
６）と最も後面（金属膜８）とを電気的に接続し
て同電位にするように構成している。

〔考案の実施例〕

第１図は、本考案の一実施例の断面図であり、
前記第２図と同符号は同一物を示す。

第１図の実施例においては、黒色化背面電極２
００を形成している金属膜８、透明誘電体膜７、
島状吸収体膜６を貫通する溝９を設け、この溝９
に導電体１０を埋設している。

なお、溝９は、透明導電膜２が下に存在してい
ない部分に形成する。

上記の溝９を設けるには、黒色化背面電極２０
０上をダイヤモンドカツタで傷つけるか、或は超
音波振動を利用した加工機、砂噴出加工機（サン
ドブラスト）等を用いて形成する。

そして、切削粉をきれいに除去した後、この溝
に銀ペースト等の導電体１０を埋込み、金属膜８
と島状吸収体膜６とを電気的に接続する。

次に作用を説明する。

Mo、Ta、Cr等の金属からなる島状吸収体膜
６のシート抵抗は10〜20Ω程度であり、この値は
透明導電膜２の値と同程度である。

従つて、島状吸収体膜６を電力供給電極として
用いることが可能である。

第１図のように構成すれば、金属膜８に供給さ
れた電力は導電体１０を介して島状吸収体膜６に
与えられるので、薄膜EL素子に印加される電圧
は全て透明導電膜２と島状吸収体膜６との間に印
加されることになる。

従つて、第１図の素子においては、島状吸収体
膜６と誘電体膜７とがない通常の素子と同じ電圧
で駆動することが出来、駆動回路のコストが上昇
するという問題は生じない。

又、誘電体膜７には、電圧が印加されないため
絶縁破壊を発生するというおそれもなく、歩留り
の低下が生ずることもない。

次に、第３図は本考案の他の実施例図であり、
黒色化背面電極３００がAl膜とAl₂O₃膜との多層
膜によつて形成されているもの（公告特許公報昭
和58年第27506号に記載のもの）に本考案を適用
する場合を例示している。

第３図において、黒色化背面電極３００は、厚
さ300Å以下のAl膜１１及び１３と、同じく厚さ
が300Å以下のAl₂O₃膜１２及び１４との二層構
造が２段に積層され、その上に金属膜８が設けら
れた構造を有している。

このような素子の場合にも、黒色化背面電極３
００に前記第１図の場合と同様の方法で溝又は孔
１５を設け、切削粉をきれいに除去した後、真空
蒸着法を用いてAl等の導電性薄膜１６を孔１５
及びその近傍に選択的に配置する。

なお、導電性薄膜１６の代りに前記第１図と同
様の銀ペースト等を充填しても良い。

第３図の実施例の場合においても、供給される
電力は金属膜８を介して最も下層のAl膜１１に
供給されるため、黒色化背面電極３００を用いた
ことによる駆動電圧の上昇や歩留りの低下は生じ
ない。

〔考案の効果〕

以上説明したごとく本考案においては、複数の
導電体膜の間に少なくとも１枚の誘電体膜を積層
した構造を有する背面電極に孔または溝を、前記
電極が形成されていない領域上に設けてその中に
導電体を埋設する構成としているので、背面電極
を設けたことによる駆動電圧の上昇が防止され、
駆動回路の製造コストが増加することがなくな
る。

又、絶縁破壊を発生することもなくなるので、
製造時における歩留りの低下を防ぐことも出来
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の断面図、第２図は
従来素子の一実施例の断面図、第３図は本考案の
他の実施例の断面図である。 符号の説明、１……ガラス基板、２……透明導
電膜、３……第１誘電体膜、４……発光膜、５…
…第２誘電体膜、６……島状吸収体膜、７……透
明誘電体膜、８……金属膜、９……溝、１０……
導電体、１１，１３……Al膜、１２，１４……
Al₂O₃膜、１５……孔、１００……透明多層膜、
２００……黒色化背面電極。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 光透過性の基板上に選択的に配設された透明な
   前面電極と、 前記基板上および前記前面電極上に形成された
   発光膜と、 前記発光膜上に形成され、複数の導電体膜の間
   に少なくとも１枚の誘電体膜を積層した構造を有
   する背面電極と、 前記背面電極の前記前面電極が形成されていな
   い領域上に、少なくとも最も背面側の導電体膜か
   ら最も前面側の導電体膜に達するまで形成された
   孔または溝と、 前記孔または溝に埋設された導電体と、 を備えたことを特徴とする薄膜EL素子。