JPH0352279A - ガスレーザ発振器 - Google Patents
ガスレーザ発振器Info
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- JPH0352279A JPH0352279A JP18844689A JP18844689A JPH0352279A JP H0352279 A JPH0352279 A JP H0352279A JP 18844689 A JP18844689 A JP 18844689A JP 18844689 A JP18844689 A JP 18844689A JP H0352279 A JPH0352279 A JP H0352279A
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- JP
- Japan
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- discharge
- laser oscillator
- signal
- gas laser
- extinction
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- Pending
Links
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 claims abstract description 12
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 11
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 9
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/0014—Monitoring arrangements not otherwise provided for
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は放電により放電管内のレーザガスを励起してレ
ーザ発振を行うガスレーザ発振器に関し、特に放電の消
滅を検知可能なガスレーザ発振器に関する。
ーザ発振を行うガスレーザ発振器に関し、特に放電の消
滅を検知可能なガスレーザ発振器に関する。
一般に、放電励起型ガスレーザ発振器では放電電流を検
出してレーザガス励起用の電源に帰還し、指令値と比較
することにより電流制御を行って、レーザ出力を制御し
ている。
出してレーザガス励起用の電源に帰還し、指令値と比較
することにより電流制御を行って、レーザ出力を制御し
ている。
一方、この種のレーザ発振機では放電管内部のガス圧力
の異常上昇等によりベース放電時に放電が消滅してしま
う場合がある。放電が消滅すると、放電管の電極間イン
ピーダンスの上昇により励起用電源の端子電圧が上昇す
るが、この放電消滅状態の時に誤ってレーザ出力指令を
受けて放電電流を増加させようとすると、励起用電源の
出力電圧がさらに急激に異常上昇して、内部の半導体部
品が破壊されることがある。
の異常上昇等によりベース放電時に放電が消滅してしま
う場合がある。放電が消滅すると、放電管の電極間イン
ピーダンスの上昇により励起用電源の端子電圧が上昇す
るが、この放電消滅状態の時に誤ってレーザ出力指令を
受けて放電電流を増加させようとすると、励起用電源の
出力電圧がさらに急激に異常上昇して、内部の半導体部
品が破壊されることがある。
このため、例えば放電消滅時の電圧上昇を検出してアラ
ーム信号を発生し、以後のレーザ出力指令を受け付けな
いようにしていた。
ーム信号を発生し、以後のレーザ出力指令を受け付けな
いようにしていた。
しかし、実際には放電消滅時の電圧は放電管のバラツキ
等により異なった値を示すので、それに応じてしきい値
を変更しなければならず、調整が煩雑で、アラームの正
確度にも問題があった。
等により異なった値を示すので、それに応じてしきい値
を変更しなければならず、調整が煩雑で、アラームの正
確度にも問題があった。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、放
電消滅の検知確度を向上させたガスレーザ発振器を提供
することを目的とする。
電消滅の検知確度を向上させたガスレーザ発振器を提供
することを目的とする。
本発明では上記課題を解決するために、放電により放電
管内のレーザガスを励起してレーザ発振を行うガスレー
ザ発振器において、前記放電管の近傍に設置されて前記
放電に伴って発生する光を受光し、受光量に応じた信号
を出力する光センサと、前記光センサからの信号を設定
値と比較し、前記設定値以下に低下した場合は前記放電
の消滅を示す所定のアラーム信号を出力する比較回路と
、を有することを特徴とするガスレーザ発振器が提供さ
れる。
管内のレーザガスを励起してレーザ発振を行うガスレー
ザ発振器において、前記放電管の近傍に設置されて前記
放電に伴って発生する光を受光し、受光量に応じた信号
を出力する光センサと、前記光センサからの信号を設定
値と比較し、前記設定値以下に低下した場合は前記放電
の消滅を示す所定のアラーム信号を出力する比較回路と
、を有することを特徴とするガスレーザ発振器が提供さ
れる。
放電時には放電に伴って光が発生するので、これを光セ
ンサで検出し、光センサの出力が設定値以下に低下した
場合には放電消滅状態とみなしてアラーム信号を出力す
る。放電管の特性のバラツキ等の影響を受けず、確実に
放電消滅状態を検出できる。
ンサで検出し、光センサの出力が設定値以下に低下した
場合には放電消滅状態とみなしてアラーム信号を出力す
る。放電管の特性のバラツキ等の影響を受けず、確実に
放電消滅状態を検出できる。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明の一実施例の高周波放電励起レーザ発振
機のハードウェアの構成を示したブロック図である。図
において、励起用電源ｌは図示されていない商用電源か
らの交流電力を整流した後、これをスイッチイングする
ことにより例えば２ＭＨｚの高周波電圧を発生する。
機のハードウェアの構成を示したブロック図である。図
において、励起用電源ｌは図示されていない商用電源か
らの交流電力を整流した後、これをスイッチイングする
ことにより例えば２ＭＨｚの高周波電圧を発生する。
そして、この高周波電圧が放電管２の表面上に設けられ
た電極２ａ及び２ｂに印加されると放電管２の内部で放
電を生じ、内部を高速で循環している図示されていない
レーザガスが励起されてレーザ光が発生する。
た電極２ａ及び２ｂに印加されると放電管２の内部で放
電を生じ、内部を高速で循環している図示されていない
レーザガスが励起されてレーザ光が発生する。
なお、放電電流の値は電流測定回路３によって測定され
、その測定値が演算器４に人力される。
、その測定値が演算器４に人力される。
演算器４は出力設定回路５からの設定値と電流測定回路
３からの測定値との差分を演算し、この差分に応じた出
力を励起用電源１に指令している。
３からの測定値との差分を演算し、この差分に応じた出
力を励起用電源１に指令している。
したがって、放電電流は略設定値に等しく制御され、こ
の電流値に応じたレーザ出力が発生する。
の電流値に応じたレーザ出力が発生する。
一方、放電に伴って光６が発生し、フォト・ダイオード
７に照射される。そして、フォト・ダイオード７は受光
量に応じた電流を出力し、これを変換回路８が電圧信号
Ｄ１に変換して比較回路１０に入力する。比較回路１０
は信号Ｄ１の値をメモリ９に格納されている設定値Ｄｒ
と比較して、設定値Ｄｒ以下の場合にはアラーム信号Ｓ
ａを発生する。制御回路１ｌはアラーム信号Ｓａが入力
されることにより、励起用電源１の動作を停止する。
７に照射される。そして、フォト・ダイオード７は受光
量に応じた電流を出力し、これを変換回路８が電圧信号
Ｄ１に変換して比較回路１０に入力する。比較回路１０
は信号Ｄ１の値をメモリ９に格納されている設定値Ｄｒ
と比較して、設定値Ｄｒ以下の場合にはアラーム信号Ｓ
ａを発生する。制御回路１ｌはアラーム信号Ｓａが入力
されることにより、励起用電源１の動作を停止する。
なお、上記の説明ではアラーム信号Ｓａにより励起用電
源１の動作を停止させたが、これと同時に例えば表示装
置に放電消滅を示すアラームを表示しても良い。
源１の動作を停止させたが、これと同時に例えば表示装
置に放電消滅を示すアラームを表示しても良い。
以上説明したように本発明では、放電に伴って発生する
光を光センサで検出し、光センサの出力が設定値以下に
低下した場合には放電消滅状態とみなしてアラーム信号
を出力するので、確実に放電消滅状態を検出できる。ま
た、この設定値は放電管の電圧、電流特性等に合わせて
変更する必要がなく、調整が容易である。さらに、放電
の消滅を検出すると直ちに励起用電源の動作を停止させ
るので、このときに誤ってレーザ出力指令が指令されて
も、励起用電源が破壊されることがなく、信頼性が向上
する。
光を光センサで検出し、光センサの出力が設定値以下に
低下した場合には放電消滅状態とみなしてアラーム信号
を出力するので、確実に放電消滅状態を検出できる。ま
た、この設定値は放電管の電圧、電流特性等に合わせて
変更する必要がなく、調整が容易である。さらに、放電
の消滅を検出すると直ちに励起用電源の動作を停止させ
るので、このときに誤ってレーザ出力指令が指令されて
も、励起用電源が破壊されることがなく、信頼性が向上
する。
第１図は本発明のー・実施例のがスレーザ発振器の構成
を示したブ丁コック図である。 １ ２ ６ ７ １０ Ｄ】 Ｄｒ Ｓａ 励起用電源 放電管 光 フォト・ダイオード 比較回路 信号 設定値 ・アラーム信号
を示したブ丁コック図である。 １ ２ ６ ７ １０ Ｄ】 Ｄｒ Ｓａ 励起用電源 放電管 光 フォト・ダイオード 比較回路 信号 設定値 ・アラーム信号
Claims (3)
- （１）放電により放電管内のレーザガスを励起してレー
ザ発振を行うガスレーザ発振器において、前記放電管の
近傍に設置されて前記放電に伴って発生する光を受光し
、受光量に応じた信号を出力する光センサと、 前記光センサからの信号を設定値と比較し、前記設定値
以下に低下した場合は前記放電の消滅を示す所定のアラ
ーム信号を出力する比較回路と、を有することを特徴と
するガスレーザ発振器。 - （２）前記アラーム信号により励起用電源の動作を停止
させるように構成したことを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載のガスレーザ発振器。 - （３）前記光センサはフォト・ダイオードで構成される
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のガスレー
ザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18844689A JPH0352279A (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | ガスレーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18844689A JPH0352279A (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | ガスレーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0352279A true JPH0352279A (ja) | 1991-03-06 |
Family
ID=16223832
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18844689A Pending JPH0352279A (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | ガスレーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0352279A (ja) |
-
1989
- 1989-07-20 JP JP18844689A patent/JPH0352279A/ja active Pending
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