JPH0379419U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0379419U JPH0379419U JP1989141318U JP14131889U JPH0379419U JP H0379419 U JPH0379419 U JP H0379419U JP 1989141318 U JP1989141318 U JP 1989141318U JP 14131889 U JP14131889 U JP 14131889U JP H0379419 U JPH0379419 U JP H0379419U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bake
- bake device
- radial direction
- generating means
- heat generating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Description
第１図ａ，ｂおよび第２図ａ，ｂはそれぞれ本
考案におけるプリベーク装置の上面図と断面図、
第３図ａ，ｂは従来のプリベーク装置の上面図と
断面図である。 １ａ……ホツトプレート（低温部）、１ｂ……
ホツトプレート（高温部）、２……ウエハ支持ピ
ン、３……ウエハ、４……ホツトプレート、５ａ
……発熱体、５ｂ……発熱体。
考案におけるプリベーク装置の上面図と断面図、
第３図ａ，ｂは従来のプリベーク装置の上面図と
断面図である。 １ａ……ホツトプレート（低温部）、１ｂ……
ホツトプレート（高温部）、２……ウエハ支持ピ
ン、３……ウエハ、４……ホツトプレート、５ａ
……発熱体、５ｂ……発熱体。
Claims (1)
- 半導体ウエハ製造工程のリソグラフイー工程に
おいてレジスト塗布後のプリベークを行う装置で
あつて、ウエハの半径方向に温度分布を変え得る
発熱手段を設けたことを特徴とするプリベーク装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989141318U JPH0379419U (ja) | 1989-12-05 | 1989-12-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989141318U JPH0379419U (ja) | 1989-12-05 | 1989-12-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0379419U true JPH0379419U (ja) | 1991-08-13 |
Family
ID=31688223
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989141318U Pending JPH0379419U (ja) | 1989-12-05 | 1989-12-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0379419U (ja) |
-
1989
- 1989-12-05 JP JP1989141318U patent/JPH0379419U/ja active Pending