JPH036288A - イリジウム酸化物電析膜 - Google Patents
イリジウム酸化物電析膜Info
- Publication number
- JPH036288A JPH036288A JP1141032A JP14103289A JPH036288A JP H036288 A JPH036288 A JP H036288A JP 1141032 A JP1141032 A JP 1141032A JP 14103289 A JP14103289 A JP 14103289A JP H036288 A JPH036288 A JP H036288A
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- JP
- Japan
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- film
- solution
- electrodeposition
- mol
- iridium oxide
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野〕
本発明はイリジウム酸化物膜に係り，とくに平滑性にす
ぐれ，エレクトロクロミック素子の表示極として用いて
好適な上記酸化物の電析膜に関する。
ぐれ，エレクトロクロミック素子の表示極として用いて
好適な上記酸化物の電析膜に関する。
従来のイリジウム酸化物膜形成用電析液は特願昭６１−
１７３６５３号に記載されるように，四塩化イリジウム
（ＩｒＣＱ４）の５ｇ／１２坪１．５Ｘ １ ０−”ｍ
ｏｆｉ ／ Ｑと蓚酸（ （ＣＯＯＨ）、）の５ ｇ／
ｎ ４４ Ｘ １ ０−”ｍｏＭ ／ Ｑを含む溶液
を調製し、さらに炭酸ナトリウム（ＮａｚＣ○，）を加
えてｐＨ１０のアルカリ性としたものであった。
１７３６５３号に記載されるように，四塩化イリジウム
（ＩｒＣＱ４）の５ｇ／１２坪１．５Ｘ １ ０−”ｍ
ｏｆｉ ／ Ｑと蓚酸（ （ＣＯＯＨ）、）の５ ｇ／
ｎ ４４ Ｘ １ ０−”ｍｏＭ ／ Ｑを含む溶液
を調製し、さらに炭酸ナトリウム（ＮａｚＣ○，）を加
えてｐＨ１０のアルカリ性としたものであった。
このような組成の電析液は調製後，時間の経過とともに
徐々に沈澱（ＩｒＯオ・ｎＨ，Ｏ）を生じる．このため
電析液組成が変化し、得られる電析膜の膜質の再現性が
乏しいという欠点があった。
徐々に沈澱（ＩｒＯオ・ｎＨ，Ｏ）を生じる．このため
電析液組成が変化し、得られる電析膜の膜質の再現性が
乏しいという欠点があった。
また、得られた電析膜の表面は平滑でなく荒れており、
基板との密着性が弱い。このため、とくに厚膜化して発
色濃度の高いものを得ることは剥離しやすく、困難であ
った。
基板との密着性が弱い。このため、とくに厚膜化して発
色濃度の高いものを得ることは剥離しやすく、困難であ
った。
本発明の目的は、これらの欠点のないイリジウム酸化物
電析膜を得ることにある。
電析膜を得ることにある。
上記目的は電析液組成としてのイリジウム塩（ＩｒＣＱ
、、Ｉｒ（ＳＯ２）、、Ｎａ２ＩｒＣＩ２．等）および
錯化剤（たとえば（ＣＯＯＨ）、）の濃度範囲、さらに
雰囲気および温度の選定によって達成される。
、、Ｉｒ（ＳＯ２）、、Ｎａ２ＩｒＣＩ２．等）および
錯化剤（たとえば（ＣＯＯＨ）、）の濃度範囲、さらに
雰囲気および温度の選定によって達成される。
イリジウム酸化物薄膜形成用の電析液は本発明者の先願
発明、特願昭６１−１７３６５３号において開示したも
のの他に例がなく、独特である。
発明、特願昭６１−１７３６５３号において開示したも
のの他に例がなく、独特である。
これはイリジウム塩、（ＣＯＯＨ）、、Ｎａ、Ｇｏ。
で構成されている。この構成において、イリジウム塩の
濃度と錯化剤（ＣＯＯＨ）ｚの濃度は電析効率（電析電
流密度に対する電析量）に、また（ＣＯＯＨ）２は電析
膜の表面状態に影響することが検討の結果明らかになっ
た。これは第１表に示す通りである。
濃度と錯化剤（ＣＯＯＨ）ｚの濃度は電析効率（電析電
流密度に対する電析量）に、また（ＣＯＯＨ）２は電析
膜の表面状態に影響することが検討の結果明らかになっ
た。これは第１表に示す通りである。
第１表は電析液の組成と電析効率（電流密度に対する電
析量：表では電流密度と電析量とに分けて記載）および
膜の表面状態の関係を表わしている。
析量：表では電流密度と電析量とに分けて記載）および
膜の表面状態の関係を表わしている。
ここで、電析液中の（の濃度が
４０ Ｘ Ｉ ０−３ｒｎｏＱ ／ Ｑの場合と、零の
場合とを比較すると、同じ電析量を得るのに（ＣＯＯＨ
Ｌによって電析効率が高くなることがわかる。しかし、
（ＣＯＯＨ）、の存在は膜表面を荒らし、し７かも膜を
基板から剥離しやすくさせるという作用もあるこの現象
は（ＣＯＯＨ）２．１１度が８、ＯＸ １０″″３ｍｏ
ｌ／ｌと、比較的低い濃度でも現われていることがわか
る。また（ＣＯＯＨ）。
場合とを比較すると、同じ電析量を得るのに（ＣＯＯＨ
Ｌによって電析効率が高くなることがわかる。しかし、
（ＣＯＯＨ）、の存在は膜表面を荒らし、し７かも膜を
基板から剥離しやすくさせるという作用もあるこの現象
は（ＣＯＯＨ）２．１１度が８、ＯＸ １０″″３ｍｏ
ｌ／ｌと、比較的低い濃度でも現われていることがわか
る。また（ＣＯＯＨ）。
の存在下ではイリジウム塩の濃度が低いほど電析効率が
高くなることがわかる。
高くなることがわかる。
これらのことから（ＣＯＯＨ）’、は電析膜の平滑性を
失なわない程度の低い濃度で、しかも電析効率も高める
という最適濃度とし、またイリジウム塩は電析効率の点
から低濃度とする （１．５Ｘ１０″″”ｍ、ｏＱ／Ｑの高濃度で調製した
液からは沈澱を生ずるので低濃度化は好ましい）ことで
、高電析効率を有し、しかもすぐれた平滑性をもつ膜を
形成しうる、沈澱生成などのない安定した、経時変化の
ない電析液かえられた。すなわち、イリジウム塩は、沈
澱生成および電析効率の点から６．０Ｘ１０−’ｍｏＱ
／Ｑ以下、錯化剤（ＣＯＯＨ）、は電析膜の平滑性をそ
こなわないで電析効率を高める点から、８．０Ｘ１０−
″３ｍｏｌ／ｌ以下の濃度である。
失なわない程度の低い濃度で、しかも電析効率も高める
という最適濃度とし、またイリジウム塩は電析効率の点
から低濃度とする （１．５Ｘ１０″″”ｍ、ｏＱ／Ｑの高濃度で調製した
液からは沈澱を生ずるので低濃度化は好ましい）ことで
、高電析効率を有し、しかもすぐれた平滑性をもつ膜を
形成しうる、沈澱生成などのない安定した、経時変化の
ない電析液かえられた。すなわち、イリジウム塩は、沈
澱生成および電析効率の点から６．０Ｘ１０−’ｍｏＱ
／Ｑ以下、錯化剤（ＣＯＯＨ）、は電析膜の平滑性をそ
こなわないで電析効率を高める点から、８．０Ｘ１０−
″３ｍｏｌ／ｌ以下の濃度である。
また、第１表に示されている結果はすべて電析液を窒素
雰囲気下（液中にも窒素を吹込む）で行なったものであ
る。窒素雰囲気下で行なった方が電析の効率は著しく改
善され、約２倍高く、また電析膜の平滑性も良好である
。
雰囲気下（液中にも窒素を吹込む）で行なったものであ
る。窒素雰囲気下で行なった方が電析の効率は著しく改
善され、約２倍高く、また電析膜の平滑性も良好である
。
また、電析温度の電析効率に対する影響も顕著であり、
低温になるほど効率は高くな−ｙ、１５℃以下において
好結果を得る。表の結果はすべて１０℃で行ったもので
ある。
低温になるほど効率は高くな−ｙ、１５℃以下において
好結果を得る。表の結果はすべて１０℃で行ったもので
ある。
以下、本発明の内容を具体的実施例でより詳細に説明す
る。
る。
実施例１゜
６．０Ｘ１０−”ｍｏＱ／Ｑの工ｒＣＱ４を含む溶液を
１００ｍ ＱｒｌＡ製した。この溶液に炭酸カリウム（
Ｋ ２ Ｇ Ｏ？ ）を加えてｐＨを１０とした。この
溶液をシート抵抗が１０Ω／ａｍ”の、酸化インジウム
を主成分とする透明導電膜でコートしたガラス基板（以
下ＩＴＯ基板と記す）を陽極、金線を陰極とし、電析電
流密度を４００μＡ／ｃｍ２、温度１０’Ｃで、窒素を
流入しながら３０分間電析した。
１００ｍ ＱｒｌＡ製した。この溶液に炭酸カリウム（
Ｋ ２ Ｇ Ｏ？ ）を加えてｐＨを１０とした。この
溶液をシート抵抗が１０Ω／ａｍ”の、酸化インジウム
を主成分とする透明導電膜でコートしたガラス基板（以
下ＩＴＯ基板と記す）を陽極、金線を陰極とし、電析電
流密度を４００μＡ／ｃｍ２、温度１０’Ｃで、窒素を
流入しながら３０分間電析した。
その結果陽極の透明導電膜上にブルーブラックの被膜が
電着した。この膜は平滑で鏡面であった。
電着した。この膜は平滑で鏡面であった。
実施例２゜
３、ＯＸｌｏ−３ｍｏＱ／ｎのＩｒＣｌ２４を含む溶液
を１００ｍ１２調製した。以下実施例１と同様な操作で
同様の平滑で鏡面をもつブルーブラックの電析膜を得た
。
を１００ｍ１２調製した。以下実施例１と同様な操作で
同様の平滑で鏡面をもつブルーブラックの電析膜を得た
。
実施例３゜
６、ＯＸ １０−’ｍｏｆ２ ／ Ｑの工ｒＣＱ４と４
．０×１０′″３ｍｏｌ／ｌの蓚酸を含む溶液を１００
ｍＱ調製した。この溶液に炭酸カリウムを加えてＰ Ｈ
を１０とした。この溶液をシート抵抗が１０Ω／ｃｍ”
のＩＴＯ基板を陽極、金線を陰極とし、電析電流密度２
００１１ Ａ／ｃｍ”、液温１０℃で窒素を流入しなが
ら３０分間電析した。その結果陽極の透明導電膜上にブ
ルーブラックの被膜が電着した。この膜は平滑で鏡面で
あった。
．０×１０′″３ｍｏｌ／ｌの蓚酸を含む溶液を１００
ｍＱ調製した。この溶液に炭酸カリウムを加えてＰ Ｈ
を１０とした。この溶液をシート抵抗が１０Ω／ｃｍ”
のＩＴＯ基板を陽極、金線を陰極とし、電析電流密度２
００１１ Ａ／ｃｍ”、液温１０℃で窒素を流入しなが
ら３０分間電析した。その結果陽極の透明導電膜上にブ
ルーブラックの被膜が電着した。この膜は平滑で鏡面で
あった。
実施例４゜
４．５ Ｘ １０−３ｒｎｏＱ ／ ＱのＩｒＣＱ、と
４．０Ｘ１０””ｍａｎ／Ｑの蓚酸を含む溶液を１００
ｍＱ調製した。以下実施例３と同様な操作でｐ Ｉ（％
調製、同様の電極を用い、電流密度２３０μＡ／ｃ＋ａ
”、液温１０℃で窒素を流入しながら電枦した。その結
果陽極の透明導電膜上にブルーブラックの被膜が電着し
た。この膜は平滑で鏡面であった。
４．０Ｘ１０””ｍａｎ／Ｑの蓚酸を含む溶液を１００
ｍＱ調製した。以下実施例３と同様な操作でｐ Ｉ（％
調製、同様の電極を用い、電流密度２３０μＡ／ｃ＋ａ
”、液温１０℃で窒素を流入しながら電枦した。その結
果陽極の透明導電膜上にブルーブラックの被膜が電着し
た。この膜は平滑で鏡面であった。
Ｃ発明の効果〕
以上に述べたように１本発明のイリジウム酸化物膜形成
用電析液を用いることによって平滑性にすぐれた鏡面を
有する膜を比較的簡便に生成しつるので、イリジウム酸
化物膜を用いた製品の高品位化、低価格化に効果がある
。
用電析液を用いることによって平滑性にすぐれた鏡面を
有する膜を比較的簡便に生成しつるので、イリジウム酸
化物膜を用いた製品の高品位化、低価格化に効果がある
。
６５１
Claims (5)
- １．イリジウム原子当り６×１０＾−＾３ｍｏｌ／ｌ以
下のイリジウム化合物を含むアルカリ性の溶液から電析
させたことを特徴とするイリジウム酸化物電析膜。 - ２．上記請求項第１項記載のイリジウム原子当り６×１
０＾−＾３ｍｏｌ／ｌ以下のイリジウム化合物を含むア
ルカリ性の溶液において、さらに錯化剤を加えた溶液か
ら電析させたことを特徴とするイリジウム酸化物電析膜
。 - ３．上記記載の錯化剤が８×１０＾−＾３ｍｏｌ／ｌ以
下の蓚酸であることを特徴とする上記請求項第２項記載
のイリジウム酸化物電析膜。 - ４．窒素を流入した溶液から電析させたことを特徴とす
る上記請求項第１、第２、第３項記載のイリジウム酸化
物電析膜。 - ５．１５°以下の溶液から電析させたことを特徴とする
請求項第１項乃至第４項記載のイリジウム酸化物電析膜
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1141032A JPH036288A (ja) | 1989-06-05 | 1989-06-05 | イリジウム酸化物電析膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1141032A JPH036288A (ja) | 1989-06-05 | 1989-06-05 | イリジウム酸化物電析膜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH036288A true JPH036288A (ja) | 1991-01-11 |
Family
ID=15282635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1141032A Pending JPH036288A (ja) | 1989-06-05 | 1989-06-05 | イリジウム酸化物電析膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH036288A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0627983U (ja) * | 1992-09-08 | 1994-04-15 | 文健 江口 | 巻立体 |
| JP2007222873A (ja) * | 2007-06-04 | 2007-09-06 | Ohbayashi Corp | 有害物質の分離除去方法及び装置 |
-
1989
- 1989-06-05 JP JP1141032A patent/JPH036288A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0627983U (ja) * | 1992-09-08 | 1994-04-15 | 文健 江口 | 巻立体 |
| JP2007222873A (ja) * | 2007-06-04 | 2007-09-06 | Ohbayashi Corp | 有害物質の分離除去方法及び装置 |
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