JPH0365650B2 - - Google Patents
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- JPH0365650B2 JPH0365650B2 JP16782582A JP16782582A JPH0365650B2 JP H0365650 B2 JPH0365650 B2 JP H0365650B2 JP 16782582 A JP16782582 A JP 16782582A JP 16782582 A JP16782582 A JP 16782582A JP H0365650 B2 JPH0365650 B2 JP H0365650B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- substrate
- magnetic
- magnetic field
- cobalt
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/851—Coating a support with a magnetic layer by sputtering
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- Compounds Of Iron (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
本発明は、磁気テープまたは磁気デイスク等に
用いられる磁気記録媒体の製造方法に関する。 磁気記録装置における記録密度の向上は斯界の
変わらぬ趨勢であり、これを実現するためには磁
気記録媒体の薄層化、薄膜化が不可欠である。 従来、媒体としては酸化鉄微粒子とバインダー
の混合物を基体上に塗布した、いわゆるコーテイ
ング媒体が広く用いられている。これらの記録体
には音声用の磁気テープ、VTR用の磁気テープ、
コンピユータ用磁気テープ、フレキシブル磁気デ
イスク、リジツト磁気デイスクがあり、これらの
媒体では磁性層の薄層化と相まつて媒体の高抗磁
力化によつて高記録密度化を図ろうとしている。 しかし、コーテイング媒体においては厚さが数
千〓以下で、しかも均一な記録再生特性を実現す
ることはきわめて困難である。そこでコーテイン
グ媒体に代わる高密度記録媒体として、Co蒸着
テープ及びメツキテープが提案されている。しか
しこのような金属薄膜はフエライトのような固い
ヘツドとの接触によつて膜表面の損傷、摩耗が生
じたり、また腐食が起こり易く、薄層化が進む程
信頼性の観点から問題となる。 そこでかかる点を解決しようと、耐摩耗性、耐
腐食性が良好な酸化物磁性薄膜であるγ−Fe2O3
またはγ−Fe2O3とFe3O4の中間組成物または
Fe3O4を主成分とし、高保磁力を得るためにCoを
添加したコバルト含有酸化鉄磁性薄膜が注目され
ている。しかしこのようなコバルト含有酸化鉄磁
性薄膜は酸化度、コバルトの含有量によつては大
きな加圧減磁を示すことがあり、磁気ヘツドとの
接触により再生出力が減少し、安定した電磁特性
を得ることが出来なかつた。また磁気記録体の形
成条件、もしくは基体の性質によつては磁気特性
が充分に達せられないことがあつた。 本発明の目的はコバルト含有酸化鉄磁性薄膜を
加熱し磁場中で冷却処理を施すことにより上記欠
点を解決することにある。 本発明はそれぞれコバルトを含むFe3O4または
Fe3O4とγ−Fe2O3の中間組成物またはγ−
Fe2O3あるいはこれら３種類の材料にその他の金
属元素添加物を含むものを主成分とする強磁性酸
化鉄連続薄膜を基体上に形成する工程、及び該基
板上の薄膜を80℃以上350℃以下の温度範囲に加
熱し、しかる後に磁場中で冷却する工程を含むこ
とを特徴とする。この磁場中での冷却処理を施す
ことにより、加圧減磁量を大巾に減少させる事が
出来る。また角型化Ｓ（残留磁束密度／飽和磁束
密度）、抗磁力角型比S*、抗磁力Hcを増加させ、
磁気記録媒体の磁気特性を改善することが出来
る。 磁場中での冷却処理によつて磁気特性が向上す
るという効果は原理的にはコバルトフエライトの
磁界中冷却効果として知られているものであり、
（例えば近角聡信著「強磁性体の物理」昭和34年
裳華房刊P264）磁気記録媒体への応用としては
コーテイング媒体に使用するコバルト含有酸化鉄
微粒子に対して磁場中での冷却処理を施し、角型
比、抗磁力等の磁気特性を向上させるというもの
がある。（特公昭36−5927、特公昭36−18282）し
かしながらこのようにコバルト含有酸化鉄微粒子
に対して磁場中冷却処理を施した場合には、磁界
中冷却効果によつて得られた特性が時間の経過と
共に急速に緩和してしまい、処理前の状態に戻つ
てしまうという欠点があることが知られている。
このため、コバルト含有酸化鉄微粒子の場合に
は、磁場中冷却処理後化学的な安定化処理を施す
（特公昭39−17113）、粒子の形状を針状としてそ
の長軸方向の内部磁界を利用して安定化を計る
（特公昭52−42363）、等なんらかの安定化処理を
行うことが必要であつた。しかるに本発明者は、
コバルト含有酸化鉄磁性薄膜に磁場中で冷却を施
した場合には、加圧減磁特性、磁気特性が著しく
向上し、しかもなんら安定化処理を行わなくても
長期の時間経過に対して極めて安定であることを
新らたに発見し、本発明をなすに至つたものであ
る。この原因については未だ明らかではないが、
コバルト含有酸化鉄微粒子は基体上に塗布された
状態では個々の粒子がバインダー中に分散され、
孤立した状態であるのに対して本発明のコバルト
含有酸化鉄磁性薄膜はより小さい粒子からなる連
続膜であり、各粒子が粒界を接して稠密な構造を
作つているため粒子間の相互作用によつて安定化
されるのではないかと考えられる。 本発明の効果を得るためには先に述べたように
酸化鉄がコバルトを含有していることが必要であ
るが、コバルトの含有量としては重量パーセント
で0.2％程度からコバルトフエライトになる25％
位までの範囲のものが有効である。添加物として
は上記コバルトの他にMn、Zn、Cu、Ti等も有
効である。基体としてはポリエチレンテレフタレ
ート、ポリエステルイミド、ポリイミド、ポリア
ミドイミド等の可撓性基体の他、アルマイト被覆
したアルミ合金、ガラス等のリジツド基体があ
る。 次に実施例を挙げて本発明を詳細に説明する。
各実施例において磁気特性は試料振動型磁化測定
装置によつて室温で測定した。またここに言う加
圧減磁量は、試料を3KOeの外部磁場中で磁化し
た後に磁場を取り去り、試料に油圧プレスを用い
て磁化方向と垂直方向に1000Kg／cm2の圧力を10秒
間加えた前後での残留磁化の減少した割合を％で
示したものであり、磁気テープ状の試料を用いた
多数回連続再生での減磁量と良い対応が見られる
ことを確認した。 実施例 １ 重量パーセントでCoを2.5％含むFe3O4をター
ゲツトとし、ポリイミド基体上にアルゴンガス中
でスパツタパワー1.5kW、スパツタ圧6.0×
10-3Torrでスパツタする事により厚さ2500Åの
コバルト含有酸化鉄磁性薄膜を得た。これを空気
中で200℃、250℃、300℃の各温度で１時間酸化
したものを試料とし、1kOeの膜面に平行な直流
磁場中で250℃から室温まで20℃／分の速度で除
冷した。これらの試料の各特性について磁場中熱
処理前の値を第１表に、磁場中熱処理直後の値を
第２表に、磁場中熱処理後空気中60℃で３ケ月間
保存した後の値を第３表に示す。 どの酸化温度の試料についても第１表と第２表
を比較して分かるように各特性の向上が見られ
る。しかもこれらの特性は第２表と第３表を比較
して分かるように60℃で３ケ月間放置した後でも
まつたく劣化せずに安定である。
用いられる磁気記録媒体の製造方法に関する。 磁気記録装置における記録密度の向上は斯界の
変わらぬ趨勢であり、これを実現するためには磁
気記録媒体の薄層化、薄膜化が不可欠である。 従来、媒体としては酸化鉄微粒子とバインダー
の混合物を基体上に塗布した、いわゆるコーテイ
ング媒体が広く用いられている。これらの記録体
には音声用の磁気テープ、VTR用の磁気テープ、
コンピユータ用磁気テープ、フレキシブル磁気デ
イスク、リジツト磁気デイスクがあり、これらの
媒体では磁性層の薄層化と相まつて媒体の高抗磁
力化によつて高記録密度化を図ろうとしている。 しかし、コーテイング媒体においては厚さが数
千〓以下で、しかも均一な記録再生特性を実現す
ることはきわめて困難である。そこでコーテイン
グ媒体に代わる高密度記録媒体として、Co蒸着
テープ及びメツキテープが提案されている。しか
しこのような金属薄膜はフエライトのような固い
ヘツドとの接触によつて膜表面の損傷、摩耗が生
じたり、また腐食が起こり易く、薄層化が進む程
信頼性の観点から問題となる。 そこでかかる点を解決しようと、耐摩耗性、耐
腐食性が良好な酸化物磁性薄膜であるγ−Fe2O3
またはγ−Fe2O3とFe3O4の中間組成物または
Fe3O4を主成分とし、高保磁力を得るためにCoを
添加したコバルト含有酸化鉄磁性薄膜が注目され
ている。しかしこのようなコバルト含有酸化鉄磁
性薄膜は酸化度、コバルトの含有量によつては大
きな加圧減磁を示すことがあり、磁気ヘツドとの
接触により再生出力が減少し、安定した電磁特性
を得ることが出来なかつた。また磁気記録体の形
成条件、もしくは基体の性質によつては磁気特性
が充分に達せられないことがあつた。 本発明の目的はコバルト含有酸化鉄磁性薄膜を
加熱し磁場中で冷却処理を施すことにより上記欠
点を解決することにある。 本発明はそれぞれコバルトを含むFe3O4または
Fe3O4とγ−Fe2O3の中間組成物またはγ−
Fe2O3あるいはこれら３種類の材料にその他の金
属元素添加物を含むものを主成分とする強磁性酸
化鉄連続薄膜を基体上に形成する工程、及び該基
板上の薄膜を80℃以上350℃以下の温度範囲に加
熱し、しかる後に磁場中で冷却する工程を含むこ
とを特徴とする。この磁場中での冷却処理を施す
ことにより、加圧減磁量を大巾に減少させる事が
出来る。また角型化Ｓ（残留磁束密度／飽和磁束
密度）、抗磁力角型比S*、抗磁力Hcを増加させ、
磁気記録媒体の磁気特性を改善することが出来
る。 磁場中での冷却処理によつて磁気特性が向上す
るという効果は原理的にはコバルトフエライトの
磁界中冷却効果として知られているものであり、
（例えば近角聡信著「強磁性体の物理」昭和34年
裳華房刊P264）磁気記録媒体への応用としては
コーテイング媒体に使用するコバルト含有酸化鉄
微粒子に対して磁場中での冷却処理を施し、角型
比、抗磁力等の磁気特性を向上させるというもの
がある。（特公昭36−5927、特公昭36−18282）し
かしながらこのようにコバルト含有酸化鉄微粒子
に対して磁場中冷却処理を施した場合には、磁界
中冷却効果によつて得られた特性が時間の経過と
共に急速に緩和してしまい、処理前の状態に戻つ
てしまうという欠点があることが知られている。
このため、コバルト含有酸化鉄微粒子の場合に
は、磁場中冷却処理後化学的な安定化処理を施す
（特公昭39−17113）、粒子の形状を針状としてそ
の長軸方向の内部磁界を利用して安定化を計る
（特公昭52−42363）、等なんらかの安定化処理を
行うことが必要であつた。しかるに本発明者は、
コバルト含有酸化鉄磁性薄膜に磁場中で冷却を施
した場合には、加圧減磁特性、磁気特性が著しく
向上し、しかもなんら安定化処理を行わなくても
長期の時間経過に対して極めて安定であることを
新らたに発見し、本発明をなすに至つたものであ
る。この原因については未だ明らかではないが、
コバルト含有酸化鉄微粒子は基体上に塗布された
状態では個々の粒子がバインダー中に分散され、
孤立した状態であるのに対して本発明のコバルト
含有酸化鉄磁性薄膜はより小さい粒子からなる連
続膜であり、各粒子が粒界を接して稠密な構造を
作つているため粒子間の相互作用によつて安定化
されるのではないかと考えられる。 本発明の効果を得るためには先に述べたように
酸化鉄がコバルトを含有していることが必要であ
るが、コバルトの含有量としては重量パーセント
で0.2％程度からコバルトフエライトになる25％
位までの範囲のものが有効である。添加物として
は上記コバルトの他にMn、Zn、Cu、Ti等も有
効である。基体としてはポリエチレンテレフタレ
ート、ポリエステルイミド、ポリイミド、ポリア
ミドイミド等の可撓性基体の他、アルマイト被覆
したアルミ合金、ガラス等のリジツド基体があ
る。 次に実施例を挙げて本発明を詳細に説明する。
各実施例において磁気特性は試料振動型磁化測定
装置によつて室温で測定した。またここに言う加
圧減磁量は、試料を3KOeの外部磁場中で磁化し
た後に磁場を取り去り、試料に油圧プレスを用い
て磁化方向と垂直方向に1000Kg／cm2の圧力を10秒
間加えた前後での残留磁化の減少した割合を％で
示したものであり、磁気テープ状の試料を用いた
多数回連続再生での減磁量と良い対応が見られる
ことを確認した。 実施例 １ 重量パーセントでCoを2.5％含むFe3O4をター
ゲツトとし、ポリイミド基体上にアルゴンガス中
でスパツタパワー1.5kW、スパツタ圧6.0×
10-3Torrでスパツタする事により厚さ2500Åの
コバルト含有酸化鉄磁性薄膜を得た。これを空気
中で200℃、250℃、300℃の各温度で１時間酸化
したものを試料とし、1kOeの膜面に平行な直流
磁場中で250℃から室温まで20℃／分の速度で除
冷した。これらの試料の各特性について磁場中熱
処理前の値を第１表に、磁場中熱処理直後の値を
第２表に、磁場中熱処理後空気中60℃で３ケ月間
保存した後の値を第３表に示す。 どの酸化温度の試料についても第１表と第２表
を比較して分かるように各特性の向上が見られ
る。しかもこれらの特性は第２表と第３表を比較
して分かるように60℃で３ケ月間放置した後でも
まつたく劣化せずに安定である。
【表】
【表】
【表】
実施例 ２
重量パーセントでCoを2.0％含むFe3O4をター
ゲツトとし、ポリイミド基体上にアルゴンガス中
でスパツタパワー2.0kW、スパツタ圧7.0×
10-3Torrでスパツタすることにより厚さ2100Å
のコバルト含有酸化鉄磁性薄膜を得た。同薄膜及
びこれを空気中でそれぞれ第４表に示した温度で
1.5時間酸化したものを試料として用いた。酸化
後の磁性膜表面の電気抵抗を電極間距離1.0cmで
２端子法で測定した値は第４表に示すようになつ
た。これより酸化処理無しの試料はFe3O4に近い
組成であり、300℃で酸化処理した試料はγ−
Fe2O3になつていることが分かる。その中間の各
温度で酸化した試料はFe3O4とγ−Fe2O3の中間
の組成である。それぞれの酸化温度の試料を２つ
に分け、片方はそのまま各特性を測定し、もう片
方は膜面に平行な1kOeの直流磁場中において250
℃から30℃まで５℃／分の速度で除冷する処理を
施した後で各特性を測定した。結果を第４表にま
とめたが、磁場中での熱処理の無い試料の値は
（ ）内に記した。
ゲツトとし、ポリイミド基体上にアルゴンガス中
でスパツタパワー2.0kW、スパツタ圧7.0×
10-3Torrでスパツタすることにより厚さ2100Å
のコバルト含有酸化鉄磁性薄膜を得た。同薄膜及
びこれを空気中でそれぞれ第４表に示した温度で
1.5時間酸化したものを試料として用いた。酸化
後の磁性膜表面の電気抵抗を電極間距離1.0cmで
２端子法で測定した値は第４表に示すようになつ
た。これより酸化処理無しの試料はFe3O4に近い
組成であり、300℃で酸化処理した試料はγ−
Fe2O3になつていることが分かる。その中間の各
温度で酸化した試料はFe3O4とγ−Fe2O3の中間
の組成である。それぞれの酸化温度の試料を２つ
に分け、片方はそのまま各特性を測定し、もう片
方は膜面に平行な1kOeの直流磁場中において250
℃から30℃まで５℃／分の速度で除冷する処理を
施した後で各特性を測定した。結果を第４表にま
とめたが、磁場中での熱処理の無い試料の値は
（ ）内に記した。
【表】
【表】
この結果に示されるように磁場中での熱処理を
施した試料ではFe3O4からγ−Fe2O3までの組成
領域において諸磁気特性の改善及び加圧減磁量の
減少（約1/2〜1/8）が見られる。 実施例 ３ 重量パーセントでCoを2.5％、Cuを3.0％含む
Fe3O4をターゲツトとし、ポリイミド基体上にア
ルゴンガス中でスパツタパワー2.25kW、スパツ
タ左8.0×10-3Torrでスパツタする事により、厚
さ4000Åのコバルト含有酸化鉄磁性薄膜を得た。
これを空気中で265℃で１時間酸化したものを試
料として用いた。磁場中熱処理を行わなかつたも
の、600Oe、800Oe、1.0KOe、2.5KOeの各膜面
に平行な直流磁場中で250℃から50℃まで10℃／
分の速度で除冷する処理を施したもの計５種類の
試料について各特性を測定し、第５表にまとめ
た。 磁場中熱処理を施した試料は無処理のものに比
べて磁気特性、加圧減磁特性共大きく向上してい
る。この範囲では磁場強度は強ければ強い程大き
な効果が得られる。
施した試料ではFe3O4からγ−Fe2O3までの組成
領域において諸磁気特性の改善及び加圧減磁量の
減少（約1/2〜1/8）が見られる。 実施例 ３ 重量パーセントでCoを2.5％、Cuを3.0％含む
Fe3O4をターゲツトとし、ポリイミド基体上にア
ルゴンガス中でスパツタパワー2.25kW、スパツ
タ左8.0×10-3Torrでスパツタする事により、厚
さ4000Åのコバルト含有酸化鉄磁性薄膜を得た。
これを空気中で265℃で１時間酸化したものを試
料として用いた。磁場中熱処理を行わなかつたも
の、600Oe、800Oe、1.0KOe、2.5KOeの各膜面
に平行な直流磁場中で250℃から50℃まで10℃／
分の速度で除冷する処理を施したもの計５種類の
試料について各特性を測定し、第５表にまとめ
た。 磁場中熱処理を施した試料は無処理のものに比
べて磁気特性、加圧減磁特性共大きく向上してい
る。この範囲では磁場強度は強ければ強い程大き
な効果が得られる。
【表】
実施例 ４
重量パーセントでCo2.5％、Cuを3.0％を含む
Fe3O4をターゲツトとし、ポリイミド基体上にア
ルゴンガス中でスパツタパワー2.0kW、スパツタ
圧7.0×10-3Torrでスパツタする事によつて厚さ
2500Åのコバルト含有酸化鉄磁性薄膜を得た。こ
れを空気中で250℃で１時間酸化したものを試料
とし、60℃から350℃の各温度から1KOeの膜面
に平行な直流磁場中で10℃／分で室温まで除冷し
た。これらの試料及び無処理のものの諸特性を測
定した結果を第６表にまとめた。
Fe3O4をターゲツトとし、ポリイミド基体上にア
ルゴンガス中でスパツタパワー2.0kW、スパツタ
圧7.0×10-3Torrでスパツタする事によつて厚さ
2500Åのコバルト含有酸化鉄磁性薄膜を得た。こ
れを空気中で250℃で１時間酸化したものを試料
とし、60℃から350℃の各温度から1KOeの膜面
に平行な直流磁場中で10℃／分で室温まで除冷し
た。これらの試料及び無処理のものの諸特性を測
定した結果を第６表にまとめた。
【表】
【表】
実施例 ５
重量パーセントでCoを3.0、Cu4.0％を含む
Fe3O4をターゲツトとし、ポリイミド基体上にア
ルゴンガス中でスパツタパワー2.25kW、スパツ
タ圧8.0×10-3Torrでスパツタする事により厚さ
3500Åのコバルト含有酸化鉄磁性薄膜を得た。こ
れを空気中で265℃で１時間酸化したものを試料
とし、900Oeの膜面に平行な直流磁場中で250℃
から第７表に示すように冷却速度で50℃まで除冷
した。これらの試料及び無処理のものの諸特性を
測定した第７表にまとめた。 いずれの冷却速度においても、磁気特性、加圧
減磁特性とも無処理のものに比べて大きく向上し
ている。200〜300℃／分の急速な冷却速度でも磁
場中熱処理の効果は著しいものがある。
Fe3O4をターゲツトとし、ポリイミド基体上にア
ルゴンガス中でスパツタパワー2.25kW、スパツ
タ圧8.0×10-3Torrでスパツタする事により厚さ
3500Åのコバルト含有酸化鉄磁性薄膜を得た。こ
れを空気中で265℃で１時間酸化したものを試料
とし、900Oeの膜面に平行な直流磁場中で250℃
から第７表に示すように冷却速度で50℃まで除冷
した。これらの試料及び無処理のものの諸特性を
測定した第７表にまとめた。 いずれの冷却速度においても、磁気特性、加圧
減磁特性とも無処理のものに比べて大きく向上し
ている。200〜300℃／分の急速な冷却速度でも磁
場中熱処理の効果は著しいものがある。
【表】
【表】
実施例 ６
第８表に示すような基体ターゲツト組成、スパ
ツタ条件で厚さ2500Åのコバルト含有酸化鉄磁性
薄膜を得た。これを空気中250℃で１時間酸化し
たものを試料とし、1KOeの膜面に平行な直流磁
場中で250℃から室温まで第20℃／分で除冷した。
これらの試料及び無処理のものの諸特性を測定し
た結果を第９表にまとめた。無処理のものの値は
（ ）内に示したが、基体の種類、ターゲツトの
組成によらずいずれの場合にも磁場中熱処理の効
果が認められる。
ツタ条件で厚さ2500Åのコバルト含有酸化鉄磁性
薄膜を得た。これを空気中250℃で１時間酸化し
たものを試料とし、1KOeの膜面に平行な直流磁
場中で250℃から室温まで第20℃／分で除冷した。
これらの試料及び無処理のものの諸特性を測定し
た結果を第９表にまとめた。無処理のものの値は
（ ）内に示したが、基体の種類、ターゲツトの
組成によらずいずれの場合にも磁場中熱処理の効
果が認められる。
【表】
【表】
実施例 ７
重量パーセントでFe90％、Co10％の組成の
FeCo合金を酸素分圧60×10-4Torr、基板温度
200℃、付着速度50Å／secの条件で蒸発源より蒸
発させ、酸素との反応により表面をアルマイト処
理したアルミ合金基板上に厚さ2000Åのコバルト
含有酸化鉄磁性薄膜を得た。これを空気中300℃
で１時間酸化したものを試料とし、2.0Kgaussの
膜面に平行な直流磁場中で300℃から室温まで20
℃／分で除冷した。この磁場中熱処理前後での磁
気特性を第10表に示す。 このように反応蒸着法によるコバルト含有酸化
鉄磁性薄膜についても磁場中熱処理により、磁気
特性の改善が見られる。
FeCo合金を酸素分圧60×10-4Torr、基板温度
200℃、付着速度50Å／secの条件で蒸発源より蒸
発させ、酸素との反応により表面をアルマイト処
理したアルミ合金基板上に厚さ2000Åのコバルト
含有酸化鉄磁性薄膜を得た。これを空気中300℃
で１時間酸化したものを試料とし、2.0Kgaussの
膜面に平行な直流磁場中で300℃から室温まで20
℃／分で除冷した。この磁場中熱処理前後での磁
気特性を第10表に示す。 このように反応蒸着法によるコバルト含有酸化
鉄磁性薄膜についても磁場中熱処理により、磁気
特性の改善が見られる。
【表】
以上説明したように本発明はそれぞれコバルト
を含むFe3O4またはFe3O4とγ−Fe2O3の中間組
成物またはγ−Fe2O3あるいはこれら３種類の材
料にその他の金属元素添加物を含むものを主成分
とする強磁性酸化鉄連続薄膜を基体上に形成する
工程、及び該基板上の薄膜を80℃以上350℃以下
の温度範囲に加熱し、しかる後に磁場中で冷却す
る工程により加圧源磁量を大巾に減少させ、角型
比Ｓ、抗磁力角型比S*、抗磁力Hc等の磁気特性
を向上させ、しかもなんら安定化処理を行なわな
くても長時の時間経過に対して極めて安定である
という利点がある。 また基体上にそれぞれコバルトを含むFe3O4ま
たはFe3O4とγ−Fe2O3の中間組成物が主成分と
する、あるいはこれら３種類の材料に他の添加物
を含んだ強磁性酸化鉄連続薄膜を形成する方法と
しては、実施例に示したコバルトを含むFe3O4ま
たはこれにその他の添加物を含むFe3O4をターゲ
ツトとし、中性ガスまたは中性ガスと酸化性ガス
との混合ガス中でスパツタリングすることによつ
て直接形成する方法、酸素雰囲気中での反応蒸着
法の他に、Ar＋O2の酸化雰囲気中でFeターゲツ
トをスパツタし、基板上にγ−Fe2O3を形成し、
これを還元してFe3O4膜を得る反応スパツタ法
（間接法）、Ar＋O2の酸化雰囲気中でFeターゲツ
トをスパツタし、基板上にFe3O4を直接形成する
反応スパツタ法（直接法）等があるが、これらの
方法で作製したコバルト含有酸化鉄磁性薄膜にお
いても、本発明に示した磁場中での加熱冷却処理
の効果は何ら変わるところはない。 以上のように本発明によれば耐摩耗性、耐蝕性
にすぐれ、かつ記録再生特性に係わる加圧減磁の
問題がない、磁気特性の良好な磁気記録媒体が得
られる。
を含むFe3O4またはFe3O4とγ−Fe2O3の中間組
成物またはγ−Fe2O3あるいはこれら３種類の材
料にその他の金属元素添加物を含むものを主成分
とする強磁性酸化鉄連続薄膜を基体上に形成する
工程、及び該基板上の薄膜を80℃以上350℃以下
の温度範囲に加熱し、しかる後に磁場中で冷却す
る工程により加圧源磁量を大巾に減少させ、角型
比Ｓ、抗磁力角型比S*、抗磁力Hc等の磁気特性
を向上させ、しかもなんら安定化処理を行なわな
くても長時の時間経過に対して極めて安定である
という利点がある。 また基体上にそれぞれコバルトを含むFe3O4ま
たはFe3O4とγ−Fe2O3の中間組成物が主成分と
する、あるいはこれら３種類の材料に他の添加物
を含んだ強磁性酸化鉄連続薄膜を形成する方法と
しては、実施例に示したコバルトを含むFe3O4ま
たはこれにその他の添加物を含むFe3O4をターゲ
ツトとし、中性ガスまたは中性ガスと酸化性ガス
との混合ガス中でスパツタリングすることによつ
て直接形成する方法、酸素雰囲気中での反応蒸着
法の他に、Ar＋O2の酸化雰囲気中でFeターゲツ
トをスパツタし、基板上にγ−Fe2O3を形成し、
これを還元してFe3O4膜を得る反応スパツタ法
（間接法）、Ar＋O2の酸化雰囲気中でFeターゲツ
トをスパツタし、基板上にFe3O4を直接形成する
反応スパツタ法（直接法）等があるが、これらの
方法で作製したコバルト含有酸化鉄磁性薄膜にお
いても、本発明に示した磁場中での加熱冷却処理
の効果は何ら変わるところはない。 以上のように本発明によれば耐摩耗性、耐蝕性
にすぐれ、かつ記録再生特性に係わる加圧減磁の
問題がない、磁気特性の良好な磁気記録媒体が得
られる。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ それぞれコバルトを含むFe3O4またはFe3O4
とγ−Fe2O3の中間組成物またはγ−Fe2O3、あ
るいはこれら３種類の材料にそれぞれその他の金
属元素添加物を含むものを主成分とする強磁性酸
化鉄連続薄膜を基体上に形成する工程、及び該基
板上の薄膜を80℃以上350℃以下の温度範囲に加
熱し、しかる後に磁場中で冷却する工程を含むこ
とを特徴とする酸化物薄膜磁気記録媒体の製造方
法。 ２ コバルトを含むFe3O4またはこれにその他の
金属元素添加物を含むFe3O4をターゲツトとし、
中性ガスまたは中性ガスと酸化性ガスとの混合ガ
ス中でスパツタリングすることによつて、あるい
は更に該スパツタリングにより得られた薄膜を酸
化をすることによつて強磁性酸化鉄連続薄膜を基
体上に形成する。特許請求範囲第１項記載の酸化
物薄膜磁気記録媒体の製造方法。 ３ 酸素雰囲気中でFeとCoからなる材料または
これらにその他の金属元素添加物を加えたものを
蒸発源より蒸発させ、あるいは更に該蒸発によつ
て得られた薄膜を酸化することにより強磁性酸化
鉄連続薄膜を基体上に形成する、特許請求範囲第
１項記載の酸化物薄膜磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16782582A JPS5957413A (ja) | 1982-09-27 | 1982-09-27 | 酸化物薄膜磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16782582A JPS5957413A (ja) | 1982-09-27 | 1982-09-27 | 酸化物薄膜磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5957413A JPS5957413A (ja) | 1984-04-03 |
| JPH0365650B2 true JPH0365650B2 (ja) | 1991-10-14 |
Family
ID=15856788
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16782582A Granted JPS5957413A (ja) | 1982-09-27 | 1982-09-27 | 酸化物薄膜磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5957413A (ja) |
-
1982
- 1982-09-27 JP JP16782582A patent/JPS5957413A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5957413A (ja) | 1984-04-03 |
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