JPH0366145U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0366145U JPH0366145U JP12729289U JP12729289U JPH0366145U JP H0366145 U JPH0366145 U JP H0366145U JP 12729289 U JP12729289 U JP 12729289U JP 12729289 U JP12729289 U JP 12729289U JP H0366145 U JPH0366145 U JP H0366145U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pair
- flat plate
- plate electrodes
- inductively coupled
- coupled plasma
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims 1
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Description
第１図は本考案実施例の要部裁断構成斜視図、
第２図は高周波誘導結合プラズマ質量分析計の全
体的な構成説明図、第３図は従来例の要部構成説
明図である。 １……プラズマトーチ、３……アルゴンガス供
給源、７……高周波誘導結合プラズマ、８……ノ
ズル、９……スキマー、１６……マスフイルタ、
１９……二次電子増倍管、２０……信号処理部、
２１，２２……アパーチヤープレート、２３ａ〜
２３ｈ……四極子レンズ電極、２４ａ〜２４ｄ…
…平板電極、２５ａ〜２５ｃ……可変電圧電源。
第２図は高周波誘導結合プラズマ質量分析計の全
体的な構成説明図、第３図は従来例の要部構成説
明図である。 １……プラズマトーチ、３……アルゴンガス供
給源、７……高周波誘導結合プラズマ、８……ノ
ズル、９……スキマー、１６……マスフイルタ、
１９……二次電子増倍管、２０……信号処理部、
２１，２２……アパーチヤープレート、２３ａ〜
２３ｈ……四極子レンズ電極、２４ａ〜２４ｄ…
…平板電極、２５ａ〜２５ｃ……可変電圧電源。
Claims (1)
- 高周波誘導結合プラズマを用いて試料を励起さ
せ生じたイオンをノズルとスキマーからなるイン
ターフエイスを介して質量分析計検出器に導いて
検出することにより前記試料中の被測定元素を分
析する分析計において、開口部を有する一対のア
パーチヤープレートで偏向レンズを挟むと共に、
これら一対のアパーチヤーレンズと偏向レンズの
平均電位を可変にすると共に、平行に向い合せた
一対の平板電極を２組並べ、一組目の平板電極と
２組目の平板電極に平均電位を中心にして対称的
に電圧を印加することを特徴とする高周波誘導結
合プラズマ質量分析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989127292U JPH0541496Y2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989127292U JPH0541496Y2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0366145U true JPH0366145U (ja) | 1991-06-27 |
| JPH0541496Y2 JPH0541496Y2 (ja) | 1993-10-20 |
Family
ID=31675053
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989127292U Expired - Lifetime JPH0541496Y2 (ja) | 1989-10-31 | 1989-10-31 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0541496Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01252772A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-09 | Ulvac Corp | イオン注入装置 |
-
1989
- 1989-10-31 JP JP1989127292U patent/JPH0541496Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01252772A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-09 | Ulvac Corp | イオン注入装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0541496Y2 (ja) | 1993-10-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2543761B2 (ja) | 誘導結合プラズマ質量分析装置 | |
| US6784424B1 (en) | Apparatus and method for focusing and selecting ions and charged particles at or near atmospheric pressure | |
| GB1145107A (en) | Ion beam microanalyser | |
| AU6615394A (en) | Time-of-flight mass-spectrometer with gasphase ion source, with high sensitivity and large dynamic range | |
| US3783279A (en) | Hyperbolic field mass filter | |
| CN110767526A (zh) | 一种倾斜多极杆导引系统 | |
| JPS6082956A (ja) | 交流変調型四重極分析装置 | |
| US4975585A (en) | Radiation dose monitor | |
| JPS6264043A (ja) | 誘導結合プラズマ・質量分析計 | |
| JPH0541496Y2 (ja) | ||
| JPH04160749A (ja) | 四重極型質量分析計 | |
| JPH0542610Y2 (ja) | ||
| JPS6253561U (ja) | ||
| JPS63308857A (ja) | 誘導結合プラズマ・質量分析計 | |
| RU2198449C2 (ru) | Способ масс-спектрометрического анализа ионов в квадрупольном фильтре масс и устройство для его осуществления | |
| JPS6258855U (ja) | ||
| JPS6356557U (ja) | ||
| GB918693A (en) | Improvements in or relating to mass spectrometers | |
| JPH0518842Y2 (ja) | ||
| JPS6217063U (ja) | ||
| JP2506660Y2 (ja) | 四重極質量分析計 | |
| SU1437938A1 (ru) | Анализатор гиперболоидного масс-спектрометра типа трехмерной ловушки | |
| JPH041990B2 (ja) | ||
| JPH0316656U (ja) | ||
| PL106874B1 (pl) | Heksapolowy filtr masowy |