JPH0390434U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0390434U JPH0390434U JP15215889U JP15215889U JPH0390434U JP H0390434 U JPH0390434 U JP H0390434U JP 15215889 U JP15215889 U JP 15215889U JP 15215889 U JP15215889 U JP 15215889U JP H0390434 U JPH0390434 U JP H0390434U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- boat
- rod
- shaped bodies
- discharge port
- semiconductor wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 2
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 238000004518 low pressure chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Description
第１図は本考案に係るボートの一実施例を示す
部分斜視図、第２図は第１図のボートの横断面図
、第３図は本考案の他の実施例を示すボートの横
断面図、第４図は第１図のボートを使用した半導
体製造装置（減圧ＣＶＤ装置）の要部の縦断面図
である。第５図は従来のボートを使用した減圧Ｃ
ＶＤ装置の縦断面図、第６図は従来のボートの部
分斜視図である。 ７……半導体ウエーハ、２０……ボート、２１
……棒状体、２２，２３……棒状体（ガス供給管
）、２６……ガス吐出口。
部分斜視図、第２図は第１図のボートの横断面図
、第３図は本考案の他の実施例を示すボートの横
断面図、第４図は第１図のボートを使用した半導
体製造装置（減圧ＣＶＤ装置）の要部の縦断面図
である。第５図は従来のボートを使用した減圧Ｃ
ＶＤ装置の縦断面図、第６図は従来のボートの部
分斜視図である。 ７……半導体ウエーハ、２０……ボート、２１
……棒状体、２２，２３……棒状体（ガス供給管
）、２６……ガス吐出口。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 縦方向にたてた炉芯管内に挿入するものであり
、所定間隔で平行に並ぶ複数の棒状体の各々で、
複数の半導体ウエーハを略直交させて所定ピツチ
で整列保持するボートであつて、 前記棒状体の少なくとも１本に、周側面にガス
吐出口を有するガス導入管を形成したことを特徴
とする半導体ウエーハ用ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15215889U JPH0390434U (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15215889U JPH0390434U (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0390434U true JPH0390434U (ja) | 1991-09-13 |
Family
ID=31698433
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15215889U Pending JPH0390434U (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0390434U (ja) |
-
1989
- 1989-12-28 JP JP15215889U patent/JPH0390434U/ja active Pending