JPH04105543U - 半導体製造装置用ウエーハ搬送アーム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウェーハ搬送アームの上に乗せるウェーハの
位置決めを行う。 【構成】 アーム本体３の上に支持棒２を介してウェー
ハ１を搬送させる機構において、ウェーハガイド４を可
動できるようにすることにより、ウェーハ１が位置ずれ
を起こしていても位置調整を実施することができる。 【効果】 位置調整ができることにより、常にウェーハ
を同じ位置に搬送することができ、搬送トラブルを防止
できる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は、半導体製造装置の外部の収納カセットから装置の反応室まで、ウ ェーハを搬送する過程の中で、カセットからウェーハを吸着ペンで取り出し、吸 着ペンから反応室へウェーハを移し替えて搬送するウェーハ搬送アーム構造に関 する。

【０００２】

【従来の技術】

従来、この種の搬送アームは、図２（ａ）（ｂ）に示すように、アーム本体３ 上に支持棒２がついていて、ウェーハ１を支持棒２の上に乗せて搬送する構造に なっている。その際、アーム本体３とウェーハ１との中心点Ｃを位置決めするセ ンタリングは、外周に固定させたウェーハガイド４に沿わせることによって位置 決めを行っていた。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

ところで、上記のようにウェーハガイド４が固定されていると、カセットにウ ェーハ１が正しく収納されていなかった場合、ウェーハ１を保持した吸着ペンか らアーム本体３に移し替える時、ウェーハガイド４の上にウェーハ１Ａのように 斜めに乗ってしまって、搬送トラブルになるという問題点があった。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

この考案は上記の課題を解決するために、ウェーハガイドが固定しているウェ ーハ搬送アームにおいて、センタリング機構を設けてウェーハガイドを可動位置 修正できるようにしたことを特徴とするものである。

【０００５】

【作用】

上記の構成によると、搬送アームがウェーハを取りに行ったときに、ウェーハ が位置ずれを起こしていても、ウェーハガイドの上にウェーハが乗ってしまった り、ウェーハを落としてしまったりするようなことはなく、ウェーハガイドでウ ェーハのセンタリングを正確に実施することができ、搬送トラブルを防止するこ とができる。

【０００６】

【実施例】

以下、この考案について図面を参照して説明する。図１（ａ）（ｂ）はこの考 案の一実施例のウェーハ搬送アームの下面図および断面図である。図において、 シリンダ５およびウェーハガイド４が可動できるしくみになっていること以外は 図２と同様であるので、同一部分には同一参照符号を付してその説明を省略する 。

【０００７】 ところで、ウェーハガイド４の可動方法の一実施例として、エアでシリンダ５ を動かし、その上下運動を例えばスライダクランク機構を用いて回転運動に変換 し、その回転運動を図１（ａ）の平面で矢印Ｙの直線方向，つまり求心・解放方 向に変換することにより、ウェーハガイド４を中心方向へ向かって可動させセン タリングを行う。

【０００８】 上記の構成によれば、ウェーハガイド４を可動式としたので、アーム本体３と ウェーハ１が位置ずれを起こしていても、ウェーハガイド４が可動することによ りアーム本体３とウェーハ１の中心位置が調整されて、正常な状態でウェーハ１ を搬送することが可能となり、搬送トラブルを防止できる。

【０００９】

【考案の効果】

この考案は以上のように、ウェーハガイドを可動できるしくみにすることによ り、ウェーハのセンタリングを実施することができ、搬送トラブルを防止するこ とができる。そのために、半導体製造装置，特にドライエッチング装置の搬送に 関する信頼度を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 （ａ） この考案の一実施例のウェーハ搬送アームの下
面図 （ｂ） この考案の一実施例のウェーハ搬送アームの断
面図

【図２】 （ａ） 従来のウェーハ搬送アームの平面図 （ｂ） 従来のウェーハ搬送アームの断面図

【符号の説明】

１ ウェーハ ２ 支持棒 ３ アーム本体 ４ ウェーハガイド ５ シリンダ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】半導体製造装置外のカセットからウェーハ
   を吸着ペンで取り出して、半導体製造装置まで移し替え
   て搬送するウェーハ搬送アームにおいて、搬送アーム上
   にて搬送アームの中心とウェーハの中心の位置合わせを
   するセンタリング機構を有することを特徴とするウェー
   ハ搬送アーム。