JPH0410902A - グリーンシートの製造方法 - Google Patents
グリーンシートの製造方法Info
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- JPH0410902A JPH0410902A JP11413990A JP11413990A JPH0410902A JP H0410902 A JPH0410902 A JP H0410902A JP 11413990 A JP11413990 A JP 11413990A JP 11413990 A JP11413990 A JP 11413990A JP H0410902 A JPH0410902 A JP H0410902A
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- green sheet
- sheet
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Landscapes
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- Ceramic Capacitors (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産皇」ｊｌＵ止止旺
本発明は、グリーンシートの製造方法に関し、特にグリ
ーンシート表面を平滑にする製造方法に関する。
ーンシート表面を平滑にする製造方法に関する。
従監Δ皮直
一般に多層セラミック基板、積層セラミックコンデンサ
等に使用されるグリーンシートは、例えば次のように形
成されている。
等に使用されるグリーンシートは、例えば次のように形
成されている。
第２図の略示断面図を用いて従来の製造方法の一例であ
るコンマコタ法による形成方法を説明する。
るコンマコタ法による形成方法を説明する。
まず、コンマータ１の中にチタン酸バリウム等のセラミ
ック粉末、エチルアルコール等の有機溶剤、フタル酸ジ
オクチル等の可塑剤、ポリビニルアルコール等のバイン
ダを含む泥しょう２を所要量注入する。次に、キャリア
シート供給部３よりキャリアシート４を図面矢印で示す
ように左方向から右方向へ移動させると、キャリアシー
ト４上にはコンマータ１とキャリアシート４との隙間間
隔にほぼ対応する厚さの未乾燥のグリーンシートが連続
的に形成される。次に、熱風または赤外線等を用いた乾
燥炉５にてグリーンシート中の有機溶剤を乾燥させ、キ
ャリアシート巻取部６にてグリーンシートを表面に形成
したキャリアシート４を巻き取る。
ック粉末、エチルアルコール等の有機溶剤、フタル酸ジ
オクチル等の可塑剤、ポリビニルアルコール等のバイン
ダを含む泥しょう２を所要量注入する。次に、キャリア
シート供給部３よりキャリアシート４を図面矢印で示す
ように左方向から右方向へ移動させると、キャリアシー
ト４上にはコンマータ１とキャリアシート４との隙間間
隔にほぼ対応する厚さの未乾燥のグリーンシートが連続
的に形成される。次に、熱風または赤外線等を用いた乾
燥炉５にてグリーンシート中の有機溶剤を乾燥させ、キ
ャリアシート巻取部６にてグリーンシートを表面に形成
したキャリアシート４を巻き取る。
ところで、上述した従来手段では、コンマータ１から出
た未乾燥のグリーンシートは直ちに乾燥炉５へ入るため
、その表面にスジ等が発生していた場合、そのまま乾燥
されたグリーンシートの膜表面には凹凸ができる。
た未乾燥のグリーンシートは直ちに乾燥炉５へ入るため
、その表面にスジ等が発生していた場合、そのまま乾燥
されたグリーンシートの膜表面には凹凸ができる。
特に、乾燥後の膜厚が３０μｍ以下のものになると、膜
表面のスジ等による凹凸は、製品の信頼性を著しく悪く
するという欠点がある。
表面のスジ等による凹凸は、製品の信頼性を著しく悪く
するという欠点がある。
上述した従来のグリーンシートの製造方法に対し、本発
明はコンマータから出た直後の未乾燥の薄いグリーンシ
ートに溶媒を介して超音波を照射するという相違点を有
する。
明はコンマータから出た直後の未乾燥の薄いグリーンシ
ートに溶媒を介して超音波を照射するという相違点を有
する。
、の
本発明の目的は、かかる従来欠点を解決したグリーンシ
ートの製造方法を提供することにある。
ートの製造方法を提供することにある。
本発明によれば、セラミック粉末、有機溶剤。
可塑剤、バインダを混練してなる泥しようをコンマータ
法にて成膜する工程において、コンマータから出た直後
の未乾燥の薄いグリーンシートに溶媒を介して超音波を
照射することを特徴とするグリーンシートの製造方法が
得られる。
法にて成膜する工程において、コンマータから出た直後
の未乾燥の薄いグリーンシートに溶媒を介して超音波を
照射することを特徴とするグリーンシートの製造方法が
得られる。
１且
上記方法によれば、超音波を、溶媒を介して未乾燥の薄
いグリーンシートに照射することにより、その表面の凹
凸に溶媒の振動が加わり、凹凸が平滑化する作用をする
ため、乾燥後のグリーンシートの表面を平滑にすること
ができる。
いグリーンシートに照射することにより、その表面の凹
凸に溶媒の振動が加わり、凹凸が平滑化する作用をする
ため、乾燥後のグリーンシートの表面を平滑にすること
ができる。
災胤阻
以下、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は、本発明の一実施例であるグリーンシートの製
造方法を示す略示断面図である。
造方法を示す略示断面図である。
まず、コンマータ１の中にチタン酸バリウム等のセラミ
ック粉末、エチルアルコール等の有機溶剤、フタル酸ジ
オフチル等の可塑剤、ポリビニルアルコール等のバイン
ダを含む泥しょう２を所要量注入する。次に、キャリア
シート供給部３よりキャリアシート４を図面矢印で示す
ように、左方向から右方向へ移動させると、キャリアシ
ート４上にはコンマータ１の出口下端とキャリアシート
４との隙間間隔に対応する厚さの未乾燥のグリーンシー
トが連続的に形成される。次に、超音波発振器７にて超
音波振動子８を振動させ、ポーン９より容器１０．水等
の溶媒１１を伝幡した超音波を未乾燥のグリーンシート
上に照射する。照射された超音波は、未乾燥のグリーン
シートを振動させ、表面の凹凸をなくし平滑化させる。
ック粉末、エチルアルコール等の有機溶剤、フタル酸ジ
オフチル等の可塑剤、ポリビニルアルコール等のバイン
ダを含む泥しょう２を所要量注入する。次に、キャリア
シート供給部３よりキャリアシート４を図面矢印で示す
ように、左方向から右方向へ移動させると、キャリアシ
ート４上にはコンマータ１の出口下端とキャリアシート
４との隙間間隔に対応する厚さの未乾燥のグリーンシー
トが連続的に形成される。次に、超音波発振器７にて超
音波振動子８を振動させ、ポーン９より容器１０．水等
の溶媒１１を伝幡した超音波を未乾燥のグリーンシート
上に照射する。照射された超音波は、未乾燥のグリーン
シートを振動させ、表面の凹凸をなくし平滑化させる。
その後、熱風または赤外線等を用いた乾燥炉５にてグリ
ーンシート中の有機溶剤を乾燥させ、キャリアシート巻
取部６にてグリーンシートを表面に形成したキャリアシ
ート４を巻き取る。
ーンシート中の有機溶剤を乾燥させ、キャリアシート巻
取部６にてグリーンシートを表面に形成したキャリアシ
ート４を巻き取る。
欠晩囚麹果
以上、本発明により次の効果がある。
（１）超音波を、溶媒を介して未乾燥の薄いグリーンシ
ートに照射することにより、その表面の凹凸をな（シ、
乾燥後のグリーンシートの表面を平滑にできる。
ートに照射することにより、その表面の凹凸をな（シ、
乾燥後のグリーンシートの表面を平滑にできる。
（Ｉｆ）膜表面の凹凸がなくなり、製品の信頼性が向上
する。
する。
第１図は、本発明のグリーンシートの製造方法を説明す
るための略示断面図、第２図は製造方法を説明するため
の略示断面図である。
るための略示断面図、第２図は製造方法を説明するため
の略示断面図である。
１・・・・・・コンマータ、
２・・・・・・泥しよう、
３・・・・・・キャリアシート供給部、４・・・・・・
キャリアシート、 ５・・・・・・乾燥炉、 ６・・・・・・キャリアシート巻取部、７・・・・・・
超音波発振器、 ８・・・・・・超音波振動子、 ９・・・・・・ホーン、 １０・・・・・・容器、 １１・・・・・・溶媒。
キャリアシート、 ５・・・・・・乾燥炉、 ６・・・・・・キャリアシート巻取部、７・・・・・・
超音波発振器、 ８・・・・・・超音波振動子、 ９・・・・・・ホーン、 １０・・・・・・容器、 １１・・・・・・溶媒。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 セラミック粉末、有機溶剤、可塑剤、バインダを混練し
てなる泥しょうをコンマコータ法にて成膜する工程にお
いて、 コンマコータから出た直後の未乾燥の薄いグリーンシー
トに溶媒を介して超音波を照射することを特徴とするグ
リーンシートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11413990A JPH0410902A (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 | グリーンシートの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11413990A JPH0410902A (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 | グリーンシートの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0410902A true JPH0410902A (ja) | 1992-01-16 |
Family
ID=14630117
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11413990A Pending JPH0410902A (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 | グリーンシートの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0410902A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5262193A (en) * | 1991-10-15 | 1993-11-16 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Ultrasonically assisted coating method |
| AU663116B2 (en) * | 1991-10-15 | 1995-09-28 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Ultrasonically assisted coating apparatus and method |
| JP2001118743A (ja) * | 1999-10-18 | 2001-04-27 | Murata Mfg Co Ltd | セラミックグリーンシートの製造装置 |
| US6692598B1 (en) * | 1999-10-18 | 2004-02-17 | Murata Manufacturing Co. Ltd | Method of producing ceramic green sheet and method of manufacturing multilayer ceramic electronic part |
-
1990
- 1990-04-27 JP JP11413990A patent/JPH0410902A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5262193A (en) * | 1991-10-15 | 1993-11-16 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Ultrasonically assisted coating method |
| US5376402A (en) * | 1991-10-15 | 1994-12-27 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Ultrasonically assisted coating method |
| AU663116B2 (en) * | 1991-10-15 | 1995-09-28 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Ultrasonically assisted coating apparatus and method |
| JP2001118743A (ja) * | 1999-10-18 | 2001-04-27 | Murata Mfg Co Ltd | セラミックグリーンシートの製造装置 |
| US6692598B1 (en) * | 1999-10-18 | 2004-02-17 | Murata Manufacturing Co. Ltd | Method of producing ceramic green sheet and method of manufacturing multilayer ceramic electronic part |
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