JPH0413878B2 - - Google Patents

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JPH0413878B2
JPH0413878B2 JP60137845A JP13784585A JPH0413878B2 JP H0413878 B2 JPH0413878 B2 JP H0413878B2 JP 60137845 A JP60137845 A JP 60137845A JP 13784585 A JP13784585 A JP 13784585A JP H0413878 B2 JPH0413878 B2 JP H0413878B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
insulating layer
wiring
thick film
conductor
mask
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
JP60137845A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS61296798A (ja
Inventor
Kakuzo Morigami
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Oki Electric Industry Co Ltd filed Critical Oki Electric Industry Co Ltd
Priority to JP13784585A priority Critical patent/JPS61296798A/ja
Publication of JPS61296798A publication Critical patent/JPS61296798A/ja
Publication of JPH0413878B2 publication Critical patent/JPH0413878B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
  • Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、厚膜印刷配線基板の製造方法に係
り、特に、厚膜基板上のクロスオーバー印刷配線
構造に関するものである。
(従来の技術) 従来、厚膜基板上でクロスオーバー配線を行う
場合、第3図に示されるような構成となつてい
る。この図において、1はアルミナ基板、2a,
2b,3はこのアルミナ基板1上に印刷、焼成さ
れた下部配線導体(以下、下部導体という)、5
は下部導体2a,2b間を接続するための上部配
線導体(以下、上部導体という)である。4a,
4bは下部導体3と上部導体5とを電気的に絶縁
する絶縁層で、4aは第1の絶縁層、4bはその
第1の絶縁層4a上に設けられる第2の絶縁層で
ある。第1の絶縁層4aと第2の絶縁層4bは全
く重なり、絶縁層の端部5a,5aは急峻になる
ため、上部導体5の端部5aは薄くなり、断線し
易いといつた欠点がある。
第4図は第3図による欠点を補うために提案さ
れた従来の他の構成を示す厚膜印刷配線基板の断
面図、第5図はその平面図である。この従来例に
おいては、第4図に示されるように、第1の絶縁
層6aと第2の絶縁層6bとは寸法が異なり絶縁
層の端部はなめらかな傾斜を成すように形成さ
れ、上部導体7の端部7aも薄くなることはな
く、断線が防止できるように改善されている。
(発明が解決しようとする問題点) 上記したように、第4図及び第5図に示される
ものは、上部導体がクロスしたその端部において
も厚膜が極端に薄くなることはないので、第3図
のものに比較して改善されている。
しかしながら、第4図及び第5図から明らかな
ように、クロスオーバー部分に形成される第1の
絶縁層6aと第2の絶縁層6bとはそれぞれその
寸法を異ならせる必要があり、印刷マスクを2版
用意し、それぞれのマスクを用いて2度印刷を行
う必要があり、製造コストがアツプするといつた
問題があつた。
本発明は、上記の問題点を除去し、クロスオー
バー部分の絶縁層を形成するのに1枚のマスクを
用いて、第1の絶縁層を形成後、前記マスクを斜
め方向にずらした位置に設定して第2の絶縁層を
形成するだけですみ製造コストが低減された、し
かも信頼性の高い多層配線を行い得る厚膜印刷配
線基板の製造方法を提供することを目的とする。
(問題点を解決するための手段) 本発明は、上記問題点を解決するために、ま
ず、クロスオーバー部の下部導体上に所定のマス
クを用いて第1の絶縁層14aを形成し、次い
で、そのマスクを斜め方向にずらした位置に設定
し、第2の絶縁層14bを形成するようにし、そ
の形成された絶縁層上に上部導体15を形成する
ようにしたものである。
(作用) 本発明によれば、所定のマスクを用いて、クロ
スオーバー部の下部導体上に第1の絶縁層14a
を形成し、次に、その所定マスクを斜め方向にず
らした位置に設定し、第2の絶縁層14bを形成
する。このようにして形成された絶縁層上に上部
導体15を形成するようにしたので、上部導体1
5はなだらかな丘陵状の絶縁層上に配線されるこ
とになり、特に、上部導体15の端部15aにお
いても膜厚が薄くなることはなく、良好な多層配
線を行うことができる。
(実施例) 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に
説明する。
第1図は本発明に係る厚膜印刷配線基板の製造
方法の説明図、第2図は本発明の製造方法を用い
て製造された厚膜印刷配線基板の平面図である。
図中、11はアルミナ基板、12a,12b,
13はアルミナ基板11上に印刷、焼成された下
部導体であり、14aはその下部導体13上にク
ロスオーバー配線を行うために形成される第1の
絶縁層、14bは第2の絶縁層、15は下部導体
12aと12bとを接続するための上部導体であ
る。この上部導体15は第2図に示されるよう
に、前記第1及び第2の絶縁層上に印刷配線によ
つて形成される。
次に、この厚膜印刷配線基板の製造方法につい
て説明する。
まず、第1図aに示されるように、アルミナ基
板11上に下部導体12a,12b及び13を印
刷、焼成し、クロスオーバーすべき下部導体13
上に所定のマスク(図示なし)を用いて第1の絶
縁層14aを形成する。
次いで、第1図bに示されるように、前記した
所定のマスクを斜め方向にずらした位置に設定
し、第2の絶縁層14bを形成する。
次に、第1図cに示されるように、下部導体1
2aと12bを橋絡するように前記第1及び第2
の絶縁層上に上部導体15を形成する。
このようにしてクロスオーバー配線が行われ
る。
上記したように、マスクを斜め方向にシフトす
るようにしたので、絶縁層のあらゆる端部がなだ
らかな丘陵状となり、上部導体の端部15aにお
いても膜厚が薄くなることはなく、以下のような
利点がある。すなわち、第1図及び第2図におい
ては厚膜基板のクロスオーバー配線は一箇所のみ
を図示しているが、このようなクロスオーバー配
線箇所が数箇所ある場合(多ポイントクロスオー
バー配線)には、マスクを斜め方向にシフトする
とその数箇所のクロスオーバー配線の全てに有効
に対処することができる。
この点について、第6図を参照しながら詳細に
説明する。
前記したように、クロスオーバー配線箇所はA
の箇所のみならず、他の箇所にも存在する。そし
て、その箇所の上部導体、下部導体の配線方向は
必ずしも全箇所が一定とは限らない。例えば、第
6図に示されるように、B箇所におけるクロスオ
ーバー配線はA箇所におけるクロスオーバー配線
とは各導体の配線方向が逆に入れ替わつている。
つまり、A箇所においては下部導体12a,12
bはX方向に配線され、下部導体13はY方向に
配線されているのに対して、B箇所においては、
下部導体12a′,12b′はY方向に配線され、下
部導体13′はX方向に配線されている。従つて、
A箇所及びB箇所のいずれのクロスオーバー配線
に対しても有効に対処するためにはマスクは斜め
方向にシフトさせるのが得策である。
また、三重の多層配線を行うような場合にもマ
スクは斜め方向にシフトさせて絶縁層を形成する
方が有利である。
なお、本発明は上記実施例に限定されるもので
はなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するもの
ではない。
(発明の効果) 以上、詳細に説明したように本発明によれば、
基板上においてクロスオーバー配線を行う厚膜印
刷配線基板の製造方法において、クロスオーバー
部の下部導体上に所定のマスクを用いて第1の絶
縁層を形成し、次に前記マスクを斜め方向にずら
した位置に設定して第2の絶縁層を形成し、前記
第1及び第2絶縁層上に上部導体を印刷配線する
ようにしたので、第2の絶縁層の形成時に同一の
マスクを単に斜め方向にずらして設定するだけで
複数箇所のクロスオーバー配線部の良好な絶縁層
を形成することができ、製造コストの低減を図る
ことができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る厚膜印刷配線基板の製造
方法の説明図、第2図は本発明に係る厚膜印刷配
線基板の平面図、第3図は従来の厚膜印刷配線基
板の断面図、第4図は従来の他の厚膜印刷配線基
板の断面図、第5図は同厚膜印刷配線基板の平面
図、第6図は多ポイントクロスオーバー配線の説
明図である。 11……基板、12a,12b,12a′,12
b′,13……下部導体、14a……第1の絶縁
層、14b……第2の絶縁層、15……上部導
体、15a……上部導体の端部。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 基板上においてクロスオーバー配線を行う厚
    膜印刷配線基板の製造方法において、 (a) クロスオーバー部の下部配線導体上に所定の
    マスクを用いて第1の絶縁層を形成し、 (b) 前記マスクを斜め方向にずらした位置に設定
    して第2の絶縁層を形成し、 (c) 前記第1及び第2の絶縁層上に上部配線導体
    を印刷配線することを特徴とする厚膜印刷配線基
    板の製造方法。
JP13784585A 1985-06-26 1985-06-26 厚膜印刷配線基板の製造方法 Granted JPS61296798A (ja)

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JP13784585A JPS61296798A (ja) 1985-06-26 1985-06-26 厚膜印刷配線基板の製造方法

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JPS61296798A JPS61296798A (ja) 1986-12-27
JPH0413878B2 true JPH0413878B2 (ja) 1992-03-11

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2010258202A (ja) * 2009-04-24 2010-11-11 Renesas Electronics Corp 半導体装置及びその製造方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6025173U (ja) * 1983-07-28 1985-02-20 株式会社東芝 厚膜回路

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JPS61296798A (ja) 1986-12-27

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