JPH04155949A - 樹脂封止型半導体装置 - Google Patents
樹脂封止型半導体装置Info
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- JPH04155949A JPH04155949A JP2282484A JP28248490A JPH04155949A JP H04155949 A JPH04155949 A JP H04155949A JP 2282484 A JP2282484 A JP 2282484A JP 28248490 A JP28248490 A JP 28248490A JP H04155949 A JPH04155949 A JP H04155949A
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- JP
- Japan
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- lead frame
- plating
- solder
- resin
- semiconductor device
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/30—Die-attach connectors
- H10W72/351—Materials of die-attach connectors
- H10W72/352—Materials of die-attach connectors comprising metals or metalloids, e.g. solders
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W72/30—Die-attach connectors
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- H10W72/387—Flow barriers
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W72/551—Materials of bond wires
- H10W72/552—Materials of bond wires comprising metals or metalloids, e.g. silver
- H10W72/5522—Materials of bond wires comprising metals or metalloids, e.g. silver comprising gold [Au]
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W72/874—On different surfaces
- H10W72/884—Die-attach connectors and bond wires
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- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
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- H10W90/701—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts
- H10W90/731—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of die-attach connectors
- H10W90/734—Package configurations characterised by the relative positions of pads or connectors relative to package parts of die-attach connectors between a chip and a stacked insulating package substrate, interposer or RDL
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Landscapes
- Die Bonding (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、樹脂封止型半導体装置に関し、特にダイボン
ディング用ソルダのリードフレームへの流出しを防止し
た半導体装置に関する。
ディング用ソルダのリードフレームへの流出しを防止し
た半導体装置に関する。
従来の樹脂封止型半導体装置は、第2図に示す用に、リ
ードフレーム上面がAgメツキ10で覆われており、ダ
イボンディング用Au−5uソルダ3を熱により溶解し
て、半導体素子1の(llA uとリードフレーム上面
Agメツキとを接着させてダイボンディングしている。
ードフレーム上面がAgメツキ10で覆われており、ダ
イボンディング用Au−5uソルダ3を熱により溶解し
て、半導体素子1の(llA uとリードフレーム上面
Agメツキとを接着させてダイボンディングしている。
この従来の樹脂封止型半導体装置は、リードフレーム上
面が、ダイボンディング用Au−8uソルダ3となじみ
の良いAgメツキ10で覆われているので、ソルダの流
出しが起こり、リードフレーム上面のAuワイヤ2のボ
ンディングエリアに達してし家い、Auワイヤ2のボン
ディングが出来ないという問題点があった。
面が、ダイボンディング用Au−8uソルダ3となじみ
の良いAgメツキ10で覆われているので、ソルダの流
出しが起こり、リードフレーム上面のAuワイヤ2のボ
ンディングエリアに達してし家い、Auワイヤ2のボン
ディングが出来ないという問題点があった。
本発明の目的は、このような問題を解決し、ダイボンデ
ィング用ソルダのリードフレームへの流出を防止した半
導体装置を提供することにある。
ィング用ソルダのリードフレームへの流出を防止した半
導体装置を提供することにある。
本発明の構成は、リードフレーム上面の金属材に半導体
素子が搭載され、この半導体素子の電極がAuワイヤに
より前記リードフレーム上面の金属材に連結され、前記
半導体素子および前記リードフレームの連結部が樹脂で
封止された樹脂封止型半導体装置において、前記リード
フレーム上面のダイボンディング部とAuワイヤの連結
部との間にある金属材を酸化金属とすることにより、ダ
イボンディング用ソルダの前記リードフレームへの流出
を防止するようにしたことを特徴とする。
素子が搭載され、この半導体素子の電極がAuワイヤに
より前記リードフレーム上面の金属材に連結され、前記
半導体素子および前記リードフレームの連結部が樹脂で
封止された樹脂封止型半導体装置において、前記リード
フレーム上面のダイボンディング部とAuワイヤの連結
部との間にある金属材を酸化金属とすることにより、ダ
イボンディング用ソルダの前記リードフレームへの流出
を防止するようにしたことを特徴とする。
次に本発明について、図面を参照して説明する。
第1図は、本発明の一実施例の断面図である。
リードフレーム素材は、42合金7の両面にCuストラ
イクメツキ6が行われたものを用いている。このリード
フレーム上にダイボンディング部Agメツキ4およびA
uワイヤボンディングエリアにAgメツキ5を形成し、
Agメツキ4の上に半導体素子1を搭載し、Au−5n
ソルダ3によりダイホンディングされる。このリードフ
レームの露出しなCuストライクメツキ6の部分は酸化
処理されて酸化銅つとなっている。また、半導体素子1
のポンディングパッドをAgメツキ5との間がAuワイ
ヤ2により接続され、最後にこれらが封止用樹脂8で覆
われる。
イクメツキ6が行われたものを用いている。このリード
フレーム上にダイボンディング部Agメツキ4およびA
uワイヤボンディングエリアにAgメツキ5を形成し、
Agメツキ4の上に半導体素子1を搭載し、Au−5n
ソルダ3によりダイホンディングされる。このリードフ
レームの露出しなCuストライクメツキ6の部分は酸化
処理されて酸化銅つとなっている。また、半導体素子1
のポンディングパッドをAgメツキ5との間がAuワイ
ヤ2により接続され、最後にこれらが封止用樹脂8で覆
われる。
以上説明した様に本発明は、従来Agメツキされている
リードフレームのダイボンディング部とAuワイヤボン
ディングエリア間を酸化金属にすることにより、Auワ
イヤボンディングエリアへの、Au−8nソルダの流出
が防止でき、安定してAuワイヤボンディングが出来る
という効果がある。
リードフレームのダイボンディング部とAuワイヤボン
ディングエリア間を酸化金属にすることにより、Auワ
イヤボンディングエリアへの、Au−8nソルダの流出
が防止でき、安定してAuワイヤボンディングが出来る
という効果がある。
第1図は本発明の樹脂封止型半導体装置の一実施例の断
面図、第2図は従来の樹脂封止型半導体装置の一例の断
面図である。 1・・・半導体素子、2・・・Auワイヤ、3・・・A
u−5nソルダ、4・・・ダイボンディング部Agメツ
キ、5・・・AuワイヤボンディングエリアのAgメ°
ツキ、6・・・Cuストライクメツキ、7・・・42
合金、8・・・封止用樹脂、9・・・酸化銅、10・・
・Agメツキ。
面図、第2図は従来の樹脂封止型半導体装置の一例の断
面図である。 1・・・半導体素子、2・・・Auワイヤ、3・・・A
u−5nソルダ、4・・・ダイボンディング部Agメツ
キ、5・・・AuワイヤボンディングエリアのAgメ°
ツキ、6・・・Cuストライクメツキ、7・・・42
合金、8・・・封止用樹脂、9・・・酸化銅、10・・
・Agメツキ。
Claims (1)
- リードフレーム上面の金属材に半導体素子が搭載され
、この半導体素子の電極がAuワイヤにより前記リード
フレーム上面の金属材に連結され、前記半導体素子およ
び前記リードフレームの連結部が樹脂で封止された樹脂
封止型半導体装置において、前記リードフレーム上面の
ダイボンディング部とAuワイヤの連結部との間にある
金属材を酸化金属とすることにより、ダイボンディング
用ソルダの前記リードフレームへの流出を防止するよう
にしたことを特徴とする樹脂封止型半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2282484A JPH04155949A (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 樹脂封止型半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2282484A JPH04155949A (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 樹脂封止型半導体装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04155949A true JPH04155949A (ja) | 1992-05-28 |
Family
ID=17653040
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2282484A Pending JPH04155949A (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 樹脂封止型半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04155949A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000063969A1 (en) * | 1999-04-16 | 2000-10-26 | Micron Technology, Inc. | Electrical conductor system of a semiconductor device and manufacturing method thereof |
| US7663242B2 (en) * | 2001-05-24 | 2010-02-16 | Lewis Brian G | Thermal interface material and solder preforms |
| WO2014198511A1 (de) * | 2013-06-14 | 2014-12-18 | Robert Bosch Gmbh | Substrat mit einem aus oxid, sulfid oder nitrid bestehenden lotstoppbereich zur begrenzung eines lotbereichs und entsprechendes herstellungsverfahren |
| JP2016058612A (ja) * | 2014-09-11 | 2016-04-21 | 株式会社デンソー | 半導体装置 |
-
1990
- 1990-10-19 JP JP2282484A patent/JPH04155949A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000063969A1 (en) * | 1999-04-16 | 2000-10-26 | Micron Technology, Inc. | Electrical conductor system of a semiconductor device and manufacturing method thereof |
| US6707152B1 (en) | 1999-04-16 | 2004-03-16 | Micron Technology, Inc. | Semiconductor device, electrical conductor system, and method of making |
| EP1918992A1 (en) * | 1999-04-16 | 2008-05-07 | Micron Technology, Inc. | Electrical conductor system of a semiconductor device and manufacturing method thereof |
| US7663242B2 (en) * | 2001-05-24 | 2010-02-16 | Lewis Brian G | Thermal interface material and solder preforms |
| WO2014198511A1 (de) * | 2013-06-14 | 2014-12-18 | Robert Bosch Gmbh | Substrat mit einem aus oxid, sulfid oder nitrid bestehenden lotstoppbereich zur begrenzung eines lotbereichs und entsprechendes herstellungsverfahren |
| JP2016058612A (ja) * | 2014-09-11 | 2016-04-21 | 株式会社デンソー | 半導体装置 |
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