JPH0416434Y2

JPH0416434Y2 -

Info

Publication number: JPH0416434Y2
Application number: JP7118486U
Authority: JP
Priority date: 1986-05-14
Filing date: 1986-05-14
Publication date: 1992-04-13
Also published as: JPS62184741U

Description

【考案の詳細な説明】［産業上の利用分野］この考案は半導体のパツケージに溶解液を噴射
してチツプを露出させる半導体のオープナー装置
に関するものである。

［従来の技術］従来、半導体（Ｉ，Ｃ）の不良解析時、又は品
質チエツクを行なう際に、半導体のパツケージに
溶解液、例えば加熱した熱硫酸を当ててチツプを
露出させる手段がとられている。

半導体のパツケージは作業台のセツト部に載置
され、噴射ノズルより噴射された熱硫酸が前記パ
ツケージに当るようになつている。

熱硫酸が噴射されている作動時において、作業
台はフードによつてカバーされた構造となつてい
る。

［考案が解決しようとする問題点］前記した如くオープナー装置は、チツプを露出
させる溶解液として沸点近くまで加熱した熱硫酸
を使用する所から作業中は半導体開口部の溶解槽
内に多数の蒸気が発生する。発生した蒸気は作業
終了後、フードを開けて作業台より半導体を取外
す時に作業台から逃げるようになり、その蒸気を
作業者が吸い込む恐れがあつた。このため作業者
の健康管理面においてのぞましくなかつた。

そこで、この考案は半導体の交換時に作業者が
蒸気を吸うことがないようにした半導体のオープ
ナー装置を提供することを目的としている。

［問題点を解決するための手段］前記目的を達成するために、この考案にあつて
は、開閉可能なフードによつて作業台がカバーさ
れる半導体開口部を備えたオープナー装置におい
て、前記作業台に、該半導体開口部で発生した蒸
気を外部へ誘導する蒸気抜き管を設け、該蒸気抜
き管に、前記フードの「開」でオンとなる吸引装
置を接続してある。

［作用］かかるオープナー装置において、作業終了後に
フードを開とすると吸引装置が働き蒸気は蒸気抜
き管によつて外部へ誘導される。このため、作業
台より半導体を取外す時に作業者が蒸気を吸い込
む恐れがなくなる。

［実施例］以下、第１図乃至第３図の図面を参照しながら
この考案の一実施例を詳細に説明する。

第１図は装置全体の概略図を示しており、該装
置は、貯蔵タンク部１と、予熱ヒータ部３と、半
導体開口部５と、排液冷却部７と、排液貯留タン
ク部９とを備えており、これらは機体内に配置さ
れている。

貯蔵タンク部１のタンク本体１１は耐酸性の合
成樹脂材で形成され、上部に常時閉状態の第１電
磁弁１３が設けられている。また、タンク本体１
１は常時閉状態の第２電磁弁１５を介して予熱ヒ
ータ部３のヒータタンク１７と連通し、ヒータタ
ンク１７は前記タンク本体１１より低い位置に配
置されている。これにより、タンク本体１１内の
硫酸が落差でヒータタンク１７内に送り込まれる
ようになつている。

ヒータタンク１７は後述するエアーポンプ２５
からの空気圧（エア圧）が作用することでタンク
１７内の硫酸が強制的に送り出されるもので、該
タンク１７には温度センサ１９によつてタンク１
７内の硫酸が約250℃に管理制御されるニクロム
線等の熱源部２１が設けられている。

第１、第２電磁弁１３，１５はヒータタンク１
７内に設けられた硫酸の有無を検知する液面セン
サ２３によつて開閉自在に制御され、ヒータタン
ク１７内の硫酸が空になつたことを前記液面セン
サ２３が検知すると開になる。これにより、タン
ク本体１１は大気に解放される一方、タンク本体
１１内の硫酸が落差でヒータタンク１７内に流れ
込むようになる。

エアーポンプ２５は所望の駆動手段によつて駆
動され、該ポンプ２５の吐出側に第３、第４、第
５電磁弁２７，２９，３０が直列に設けられてい
る。

第３、第４、第５電磁弁２７，２９，３０は取
入口となるポートＰの外にノーマルクローズのポ
ートP₁とノーマルオープンのポートP₂を有する
３方弁となつていて第５電磁弁３０のポートP₂
はエア管３１と連通しポートP₁は遊んでいる。

なお、エア管３１には後述する溶解槽４１内の
蒸気を排液貯留タンク部９へ逃がす常時開の第７
電磁弁５３と、前記第５電磁弁３０のポートP₂
と連通のエア取入口３７と、凝縮した硫酸を溶解
槽４１へ戻すバイパス通路５５が設けられてい
る。

第４電磁弁２９は後述する電極センサ４９から
の指令信号によつて切換制御され、ポートＰは第
３電磁弁２７のポートP₂と連通し、ポートP₁は
前記第５電磁弁３０のポートＰと連通している。
また、第４電磁弁２９のポートP₂はヒータタン
ク１７と連通している。

第３電磁弁２７は後述するフード６１の「開」
で切換制御される。ヒータタンク１７に設けられ
た第６電磁弁３８は常時は開で、ヒータタンク１
７内の蒸気を排液貯留センサ部９へ逃がすよう機
能すると共に温度センサ１９及び後述する液面セ
ンサ４５の信号で閉に制御される。これにより空
気圧がヒータタンク１７内に作用するようにな
る。

なお、前記温度センサ１９は硫酸が約250℃以
下の場合はスタートスイツチを作動してもスター
トの指令信号が出力するのを押える機能を備えて
いる。

一方、半導体開口部５は、DIPタイプの半導体
Ｗをセツトする作業台３９と、該作業台３９の下
位に配置された溶解液４１と、前記半導体Ｗのパ
ツケージに硫酸を噴射するポンプ４３とから成
り、溶解槽４１は前記ヒータタンク１７と連通し
ている。

溶解槽４１には液面センサ４５と、温度センサ
４７と電極センサ４９がそれぞれ設けられてい
る。液面センサ４５は溶解槽４１内の硫酸の有無
を検知する。

温度センサ４７は溶解槽４１内の硫酸の温度を
約290℃前後にニクロム線等の熱源部５１を管理
制御する機能を有し、約290℃に達したことを検
知するとポンプ４３をオンに駆動する。また、電
極センサ４９は、半導体Ｗのパツケージが溶解し
て内部のチツプが露出した時に硫酸を介して流れ
る電流を検知し、検知後に作動するタイマーによ
り一定時間経過後ポンプ４３の駆動を停止する一
方、第４電磁弁２９を切換制御し、かつ、常時開
の第７電磁弁５３を閉とする。これにより、溶解
槽４１には空気圧が作用する。なお、電極センサ
４９と半導体Ｗのチツプ端子は該半導体Ｗを保持
するホルダー５７と電気的に接続し硫酸を介して
電気回路が形成されるようになる。

作業台３９には前記溶解槽４１の上方に臨む蒸
気抜き管５９が装着されると共に蒸気抜き管５９
はフード６１の「開」で作動するアスピレータ６
３等の吸引装置６５と接続連通している。アスピ
レータ６３はノズル６７からエアが吹き出される
時に発生する負圧によつて蒸気を吸引し、吸引し
た蒸気を排液貯留タンク部９へ逃がすように機能
する。また、ノズル６７は前記第３電磁弁２７の
ポートP₁と連通すると共に、螺旋状となつてい
る。これにより強い負圧が得られるようになる。

フード６１は、ヒンジを支点として開閉可能で
閉時において作業台３９をカバーするようになる
と共に該フード６１の「開」時において、オンと
なる検知スイツチ６９が機体に設けられている。

検知スイツチ６９は、第３電磁弁３を切換制御
する。これにより、ポートP₁は開となりエアポ
ンプ２５からのエアがアスピレータ６３のノズル
６７に流れるようになる。

排液冷却部７は前記溶解槽４１と連通する冷却
トラツプ７１と該トラツプ７１に冷却風を送風す
る冷却フアン７３とから成り、冷却フアン７３に
よつてトラツプ７１内の排液は約100℃前後まで
冷却されるようになる。

排液貯留タンク部９は前記冷却トラツプ７１と
連通しフツ素樹脂（テフロン）の合成樹脂材で形
成され、タンク部７５に設けられた一対の液面セ
ンサ７７が液面に触れることで排液を介して電流
が流れ、満杯になつたことがわかるようになつて
いる。これにより、スタートスイツチをオンとし
ても機能停止状態のままとなる。

なお、満杯になつたタンク部７５は蛇腹８１に
対し離脱自在で、新しいタンク部と交換可能とな
つている。

このように構成されたオープナー装置におい
て、作業台３９に半導体Ｗをセツトしスタートス
イツチをオンにする。これにより、タンク本体１
１内の硫酸は第１、第２電磁弁１３，１５の開で
ヒータタンク１７内に送り込まれる。ヒータタン
ク１７内の硫酸は熱源部２１によつて約250℃前
後に加温される。硫酸が約250℃に達すると、第
６電磁弁３８は閉となり空気圧がヒータタンク１
７に作用する。これによりヒータタンク１７内の
熱硫酸が溶解槽４１内に送り込まれる。

溶解槽４１内の熱硫酸は熱源部４１によつて約
290℃に高められる。そして約290℃に達したこと
を温度センサ４７が検知するとポンプ４３がオン
となり熱硫酸を半導体Ｗのパツケージに噴射す
る。以下、パツケージが溶解してチツプが露出す
るまで噴射が続けられる。チツプが露出すると硫
酸を介して流れる電流を電極センサ４９が検知
し、検知後一定時間経過後にポンプ４３を停止さ
せると共に第４、第７電磁弁２９を作動制御す
る。これにより溶解槽４１内に空気圧が作用し、
溶解槽４１内での仕事を終えた排液は冷却トラツ
プ７１に送り出される。そして、約100℃まで冷
却された後、タンク部７５へ排出されるようにな
る。

次に、半導体Ｗを交換すべくフード６１を開放
すると検知スイツチ６９がオンとなり第３電磁弁
２７のポートP₁は開となる。これによりアスビ
レータ６３によつて溶解槽４１内の蒸気は吸引さ
れ排液貯留タンク部９へ逃がすようになる。この
結果、半導体Ｗの交換時に作業者が蒸気を吸うこ
とがなくなる。

［考案の効果］以上、説明したようにこの考案のオープナー装
置によれば、フードの開によつて蒸気が吸引され
るため半導体の交換時に作業者が蒸気を吸うのを
防ぐことができるため作業者の健康管理面におい
て大変望しいものとなる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案のオープナー装置の全体の概
要説明図、第２図は吸引装置の断面図、第３図は
作業台の一部断面図である。主要な図面符号の説明、５……半導体開口部、
３９……作業台、５９……蒸気抜き管、６１……
フード、６５……吸引装置。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

開閉可能なフードによつて作業台がカバーされ
る半導体開口部を備えたオープナー装置におい
て、前記作業台に、該半導体開口部で発生した蒸
気を外部へ誘導する蒸気抜き管を設け、該蒸気抜
き管に、前記フードの「開」でオンとなる吸引装
置を接続したことを特徴とする半導体のオープナ
ー装置。