JPH0416431Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この考案は半導体（I.C）のパツケージに溶解
液を噴射してチツプを露出させるオープナー装置
において、送風ダクト内の排液を取除く排液取出
装置に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、半導体（I.C）の不良解析時、又は品質
チエツクを行なう際に、半導体のパツケージに溶
解液、例えば加熱した熱硫酸を当ててチツプを露
出させる手段がとられている。

半導体のパツケージは作業テーブルのセツト部
に載置され、噴射ノズルより噴射された熱硫酸が
前記パツケージに当るようになつている。

半導体のチツプが露出し、仕事を終えた排液は
排液冷却部で冷却された後、排液貯留タンク部へ
送り出される構造となつている。

〔考案が解決しようとする問題点〕

前記した如くオープナー装置は、チツプを露出
させる容解液として沸点近く約290℃まで加熱し
た熱硫酸を使用する所から仕事を終えた熱硫酸は
排液冷却部で約100℃前後まで冷却された後、排
液貯留タンク部へ送り出される。

排液貯留タンク部内の熱硫酸は約100℃前後の
温度があり、蒸気が発生する所から該蒸気を送風
ダクトへ誘導するようになつている。送風ダクト
内に誘導された蒸気は冷気によつて凝固して送風
ダクトの底に溜まる恐れがあり、ダクトの底に溜
まつた液体は硫酸のため処理が大変面倒であつ
た。

そこで、この考案は送風ダクト内に溜る硫酸の
処理が安全かつ、容易に行なえるようにすること
を目的としている。

〔問題点を解決するための手段〕

前記目的を達成するためにこの考案にあつて
は、送風ダクト内に設けられ半導体開口部で仕事
を終えた排液を該ダクト内を通る冷却風によつて
冷却する冷却トラツプと、冷却トラツプ内の排液
を一時溜めておく排液貯留タンク部とを備えたオ
ープナー装置において、前記送風ダクト内に、該
ダクトの底部近接部位に取入口が臨む排液取出管
を設け、該排液取出管に吸引ポンプを接続すると
共に該ポンプの吐出口を排液貯留タンク部に接続
連通させてある。

〔作用〕

かかるオープナー装置において、送風ダクト内
で凝固して溜つた硫酸は、吸引ポンプによつて排
液取出管の取入口より取入れられると共に排液貯
留タンク部へ順次送り出され、送風ダクト内に溜
る排液の処理が安全、かつ容易に行なえるように
なる。

〔実施例〕

以下、第１図と第２図の図面を参照しながらこ
の考案の一実施例を詳細に説明する。

第１図は装置全体の概略図を示しており、該装
置は、貯蔵タンク部１と、予熱ヒータ部３と、半
導体開口部５と、排液冷却部７と、排液貯留タン
ク部９とを備えており、これらは機体内に配置さ
れている。

貯蔵タンク部１のタンク本体１１は耐酸性の合
成樹脂材で形成され、上部に常時閉状態の第１電
磁弁１３が設けられている。また、タンク本体１
１は常時閉状態の第２電磁弁１５を介して予熱ヒ
ータ部３のヒータタンク１７と連通し、ヒータタ
ンク１７は前記タンク本体１１より低い位置に配
置されている。これにより、タンク本体１１内の
硫酸が落差でヒータタンク１７内に送り込まれる
ようになつている。

ヒータタンク１７は後述するエアーポンプ２５
からの空気圧（エアー圧）が作用することでタン
ク１７内の硫酸が強制的に送り出されるもので、
該タンク１７には温度センサ１９によつてタンク
１７内の硫酸が約250℃に管理制御されるニクロ
ム線等の熱源部２１が設けられている。

第１、第２電磁弁１３，１５はヒータタンク１
７内に設けられた硫酸の有無を検知する液面セン
サ２３によつて開閉自在に制御され、ヒータタン
ク１７内の硫酸が空になつたことを前記液面セン
サ２３が検知すると開となる。これにより、タン
ク本体１１は大気に開放される一方、タンク本体
１１内の硫酸が落差でヒータタンク１７内に流れ
込むようになる。

エアーポンプ２５は所望の駆動手段によつて駆
動され、該ポンプ２５の吐出側に第３、第４、第
５電磁弁２７，２９，３０が直列に設けられてい
る。

第３、第４、第５電磁弁２７，２９，３０は取
入口となるポートＰの外にノーマルクローズのポ
ートP₁とノーマルオープンのポートP₂を有し、
第５電磁弁３０のポートP₂はエア管３１と連通
しポートP₁はヒータタンク１７と連通している。
また、第５電磁弁３０は半導体開口部５の液面セ
ンサ４５からの空の信号で切換制御される。

なお、エア管３１には後述する溶解槽４１内の
蒸気を排液貯留タンク部９へ逃がす常時開の第７
電磁弁５３と、前記第５電磁弁３０のポートP₂
と連通のエア取入口３７と、エアー管３１内で凝
固した硫酸を溶解槽４１へ戻すバイパス通路３３
が設けられている。

第４電磁弁２９は後述する電極センサ４９から
の指令信号によつて切換制御され、ポートＰは第
３電磁弁２７のポートP₂と連通し、ポートP₁は
前記第５電磁弁３０のポートＰと連通しポート
P₂は遊んでいる。

第３電磁弁２７はフード６１の「開」で切換制
御される。

フード６１はヒンジを支点として開閉可能で閉
時において半導体開口部５の作業台３９をカバー
するようになると共に該フード６１の「開」時に
おいて、オンとなる検知スイツチ６９が機体に設
けられている。

検知スイツチ６９は、第３電磁弁２７を切換制
御する。これにより、ボートP₁とP₂は切換わり
エアーポンプ２５からのエアーがアスピレータ６
３のノズル６７に流れフード６１の開時におい
て、作業台３９の内部に溜つた硫酸の蒸気を吸引
し作業者が蒸気を吸うのを防いでいる。

ヒータタンク１７に設けられた第６電磁弁３８
は常時は開で、ヒータタンク１７内の蒸気を排液
貯留タンク部９へ逃がすよう機能すると共に温度
センサ１９及び後述する液面センサ４５の信号で
閉に制御される。これにより空気圧がヒータタン
ク１７内に作用するようになる。

なお、前記温度センサ１９は硫酸が約250℃以
下の場合はスタートスイツチを作動してもスター
トの指令信号が出力するのを押える機能を備えて
いる。

半導体開口部５は、DIPタイプの半導体Ｗをセ
ツトする作業台３９と、該作業台３９の下位に配
置された溶解槽４１と、前記半導体Ｗのパツケー
ジに硫酸を噴射するポンプ４３とから成り、溶解
槽４１は前記ヒータタンク１７と連通している。

溶解槽４１には前記した液面センサ４５と、電
極センサ４９の外に温度センサ４７がそれぞれ設
けられている。液面センサ４５は溶解槽４１内の
硫酸の有無を検出する。

温度センサ４７は溶解槽４１内の硫酸の温度を
約250℃前後にニクロム線等の熱源部５１を管理
制御する機能を有し、約290℃に達したことを検
知するとポンプ４３をオンに駆動する。また、電
極センサ４９は、半導体Ｗのパツケージが溶解し
て内部のチツプが露出した時に硫酸を介して流れ
る電流を検知し、検出後に作動するタイマーによ
り一定時間経過後ポンプ４３の駆動を停止する一
方、第４電磁弁２９を切換制御し、かつ、常時開
の第７電磁弁５３を閉とする。これにより、溶解
槽４１にはエア管３１を介して空気圧が作用す
る。なお、電極センサ４９と半導体Ｗのチツプ端
子は該半導体Ｗを保持するホルダー５７と電気的
に接続し硫酸を介して電気回路が形成されるよう
になつている。

排液冷却部７は前記溶解槽４１と連通する冷却
トラツプ７１と該トラツプ７１に冷却風を送風す
る冷却フアン７３とから成り、冷却フアン７１は
前記冷却フアン７３を備えた送風ダクト７５内に
設けられている。送風ダクト７５内に冷却風が流
れることでトラツプ７１内の排液は約100℃前後
まで冷却されるようになる。

送風ダクト７５内には取入口７９が送風ダクト
７５の底部近接部位に臨む排液取出管７７が設け
られている。

排液取出管７７は吸引ポンプ８１の吸引口８１
ａと接続連通している。また、吸引ポンプ８１の
吐出口８１ｂは排液貯留タンク部９の装着部８３
とそれぞれ接続連通している。吸引ポンプ８１は
耐酸製の材質で作られると共に手元操作スイツチ
（図示していない）によつてオン・オフに制御さ
れる。

排液貯留タンク部９の装着部８３とタンク部８
５とから成り、タンク部８５は前記冷却トラツプ
７１と連通しフツ素樹脂（テフロン）の合成樹脂
材で形成され、装着部８３に設けられた一対の液
面センサ８７が液面に触れることで排液を介して
電流が流れ、満杯になつたことがわかるようにな
つている。これにより、スタートスイツチをオン
としても機能停止状態のままとなる。

なお、満杯になつたタンク部８５は蛇腹８９に
対し離脱自在で、新しいタンク部と交換可能とな
つている。

このように構成されたオープナー装置におい
て、半導体開口部５で仕事を終えた熱硫酸は第４
電磁弁２９のポートP₁の開でエアー管３１にエ
アーが流れる。これにより、溶解槽４１内の熱硫
酸は空気圧で冷却トラツプ７１に送り出され、該
トラツプ７１で約100℃前後まで冷却された後、
排液貯留タンク部９のタンク８５部内へ送り出さ
れる。

排液貯留タンク部９のタンク８５より発生した
蒸気は送風ダクト内に送られるが、この時、凝固
した硫酸は送風ダクト７５の底部に時間と共に溜
まるようになる。

送風ダクト７５の底部に溜つた硫酸が一定量溜
ると吸引ポンプ８１を作動し排取出管７７を介し
て硫酸を吸い上げて排液貯留タンク部９へ送り込
む。これにより、排液処理が行なえるようにな
る。なお、吸引ポンプ８１は液面センサからの信
号でオン・オフの作動管理が行なえるようにして
もよい。

また、吸引ポンプ８１は装着部８３と接続して
いるためタンク部８３の交換時に支障は起こらな
い。

〔考案の効果〕

以上、説明したようにこの考案によれば、蒸気
が凝固して送風ダクト内に硫酸が溜ると吸引ポン
プによつて容易に取出すことができるようにな
り、硫酸の処理が安全に行なえるようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図はオープナー装置の全体の概要説明図、
第２図は排液取出装置の切断面図である。 主要な図面符号の説明、５……半導体開口部、
９……排液貯留タンク部、７１……冷却トラツ
プ、７５……送風ダクト、７７……排液取出管、
７９……取入口、８１……吸引ポンプ。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 送風ダクト内に設けられ半導体開口部で仕事を
   終えた排液を該ダクト内を通る冷却風によつて冷
   却する冷却トラツプと、冷却トラツプ内の排液を
   一時溜めておく排液貯留タンク部とを備えたオー
   プナー装置において、前記送風ダクト内に、該ダ
   クトの底部近接部位に取入口が臨む排液取出管を
   設け、該排液取出管に吸引ポンプを接続すると共
   に該ポンプの吐出口を排液貯留タンク部にそれぞ
   れ接続連通させたことを特徴とするオープナー装
   置の送風ダクト内の排液取出装置。