JPH0416427Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この考案は半導体の不良解析時の検査あるいは
品質チエツクに使用できるようにするオープナ装
置において使用済みの排液を一時貯留する排液貯
留タンクに関するものである。

［従来技術］ 従来、プラスチツクで封止された半導体のチツ
プを露出させるには、例えば、水道水を流すこと
によつて生じるベンチユリ効果により硫酸をパツ
ケージに当てて溶かしチツプを露出させる手段が
一般的に行なわれている。

［考案が解決しようとする問題点］ かかる手段にあつては、使用済みの排液処理が
面倒であつた。

そこで、この考案は排液処理を容易にしたオー
プナ装置の排液貯留タンクを提供することを目的
としている。

［問題点を解決するための手段］ 前記目的を達成するために考案にあつては、排
液ノズルの下位に受口が臨む排液貯留タンクを備
えたオープナ装置において、前記排液貯留タンク
のタンク本体をタンク収納部より引き出し自在に
収納セツトし、タンク本体の上面に上下に伸縮可
能な可撓体を弾接させて前記受口周辺部をシール
すると共に前記タンク本体内の排液量を検知手段
によつて検知するようにしてある。

［作用］ かかる排液貯留タンクにおいて、仕事を終えた
排液は、排液ノズルより排出され受口より排液貯
留タンク内に溜まる。排液貯留タンク内の排液量
は検知手段によつて検知され、満杯になつたこと
が検知されるとタンク本体を引き出し、空のタン
ク本体をタンク収納部にセツトし、以下、タンク
本体が満杯になると空のタンクとの交換を繰返す
ことで排液処理を行なう。

［実施例］ 以下、添付図面に基づきこの考案の一実施例を
詳細に説明する。

図面は装置全体の概略図を示しており、該装置
は、貯蔵タンク部１と、予熱ヒータ部３と、半導
体開口工程部５と、排液冷却部７と、排液貯留タ
ンク９とを備えており、これらは本体ケース（図
示していない）内に収納配置されている。

貯蔵タンク部１のタンク７本体１１は耐酸性の
合成樹脂材で形成され、上部に常時閉状態の第１
電磁弁１３が設けられている。また、タンク本体
１１は常時閉状態の第２電磁弁１５を介して予熱
ヒータ部３のヒータタンク１７と連通し、ヒータ
タンク１７は前記タンク本体１１より低い位置に
配置されている。これにより、タンク本体１１内
の硫酸が落差でヒータタンク１７内に送り込まれ
るようになつている。

ヒータタンク１７は後述するエアーポンプから
の空気圧が作用することでタンク１７内の硫酸が
強制的に送り出されるもので、該タンク１７には
温度センサ１９によつてタンク１７内の硫酸が約
250℃に管理されるニクロム線等の熱源部２１が
設けられている。

第１、第２電磁弁１３，１５はヒータタンク１
７内に設けられた硫酸の有無を検知する液面セン
サ２３によつて開閉自在に制御され、ヒータタン
ク１７内の硫酸が空になつたことを前記液面セン
サ２３が検知すると開となる。これにより、タン
ク本体１１は大気に開放される一方、タンク本体
内の硫酸が落差でヒータタンク１７内に流れ込む
ようになる。

エアーポンプ２５は所望の駆動手段によつて駆
動され、該ポンプ２５の吐出側に常時は閉の第３
電磁弁２７と、該電磁弁２７と直列に第４電磁弁
２９が設けられいる。第４電磁弁２９はポート
Ｐ，P₁，P₂を有する３方弁となつていてポート
P₁はヒータタンク１７に、ポートP₂は半導体開
口工程部５にそれぞれ連通し、前記第３電磁弁２
７と連通のポートＰは、ノーマルオープンとなる
ポートP₂と連通している。

第３電磁弁２７は、図外のスタートスイツチと
液面センサ２３との信号によつて開になると同時
に第４電磁弁２９のポートP₁はポートＰと連通
し、常時開の第５電磁弁３８は閉に制御される。
なお、第５電磁弁３８は蒸気を大気へ逃がすもの
でヒータタンク１７に設けられている。

あた、第３電磁弁２７は後述する電極センサ４
９からの指令信号によつて開に制御される。な
お、前記温度センサ１９は硫酸が約250℃以下の
場合はスタートスイツチを作動してもスタートの
指令信号が出力するのを抑える機能を備えてい
る。

一方、半導体開口工程部５は、DIPタイプの半
導体３７をセツトする作業台３９と、該作業台３
９の開に配置された溶解槽４１と、前記半導体３
７のパツケージ３７ａに硫酸を噴射するポンプ４
３とから成り、溶解槽４１は作業台３９を介して
前記ヒータタンク１７と連通し、作業台３９は、
本体ケース（図示していない）より露出してい
る。

溶解槽４１内の硫酸は溶解槽４１内に空気圧が
作用することで排液冷却部７側へ強制的に送り出
されるようになる。溶解槽４１には液面センサ４
５と、温度センサ４７と電極センサ４９がそれぞ
れ設けられている。液面センサ４５は溶解槽４１
内の硫酸の有無を検知する。

温度センサ４７は溶解槽４１内の硫酸の温度を
約290℃前後にニクロム線等の熱源部５１を管理
制御する機能を有し、約290℃に達したことを検
知するとポンプ４３をオンに駆動する。また、電
極センサ４９は、パツケージ３７ａが開口して内
部のチツプが露出した時に硫酸を介して流れる電
流を検知し、検知後に作動するタイマーにより一
定時間経過後ポンプ４３の駆動を停止する一方、
第３電磁弁２７を開とし、かつ、後述する第６電
磁弁５５を閉とする。なお、電極センサ４７と半
導体３７のチツプ端子は該半導体４７を保持する
ホルダー（図示していない）と電気的に接続し硫
酸を介して電気回路が形成されうようになつてい
る。

溶解槽４１には、蒸気の凝縮時に該凝縮液を溶
解槽４１へ還元するトラツプ５３が設けられてお
り、該トラツプ５３は蒸気を大気へ逃がす常時開
の第６電磁弁５５へ続いている。

排液冷却部７は前記溶解槽４１と連通する冷却
トラツプ５７と該トラツプ５７に冷却風を送風す
る冷却フアン５９とから成り、冷却フアン５９に
よつてトラツプ５７内の排液は約100℃前後まで
冷却されるようになる。排液冷却部７から延びる
排液ノズル６１は排液貯留タンク６３の受口６５
上方に臨んでいる。

排液貯留タンク９は内面がフツ素樹脂（テフロ
ン）で内面処理された合成樹脂材で形成され、ヒ
ンジ６５を支点として開閉可能な扉６７によつて
閉扉されたタンク収納部６９内に引き出し自在に
収納セツトされている。

タンク収納部６９の床板７１は、出入口側の支
持スプリング７３と先端側の蝶番７５，７５とに
よつて上下動自在に二点支持され、扉６７側への
力が作用すると蝶番７５を支点として鎖線の状態
に下降する。また、支持スプリング７３はタンク
本体６３内に排液量が溜まつてくるとその重量で
撓むようになる。これにより、タンク本体６３が
下降するようになる。

一方、タンク収納部６３の上面には重量センサ
７５が配置されている。重量センサ７５は、タン
ク本体６３内の排液が満杯になることで下降する
タンク本体６３によつてオンとなり図外の警告表
示ランプを点燈するよう機能する。

また、タンク本体６３の上面には上下に伸縮可
能な蛇腹状の可撓体７７が受口６５を取囲むよう
に弾接７９している。可撓体７７はブラケツト８
１によつて支持され受口６５の周辺部は気密状態
に保たれている。ブラケツト８１には電極センサ
８３が設けられ、該８３は、満杯になつた液面に
触れることで満杯になつたことを検知するとスタ
ートスイツチをオンとしても機能停止状態のまま
とする機能を有する。

なお、８５は受口６５からの蒸気を冷却タンク
５７へ逃がすダクト、８７は閉扉時の扉６７を拘
束する拘束装置で扉６７側に突起体８９が、ケー
ス側に前記突起体８９を挾持する挾持部９１がそ
れぞれ設けられた構造となつている。

このように構成されたオープナ装置において、
作業台３９に半導体３７をセツトしスタートスイ
ツチをオンにすると、タンク本体１１内の硫酸は
第１、第２電磁弁１３，１５の開でヒータタンク
１７内に送り込まれる。ヒータンク１７内の硫酸
は熱源部２１によつて約250℃前後に加温される。
硫酸が加熱されると、第３電極弁２７は開、第４
電磁弁２９のポートP₁はポートＰと連通し空気
圧がヒータタンク１７に作用する。これによりヒ
ータタンク１７内の熱硫酸が溶解槽４１内に送り
込まれる。

溶解槽４１内の熱硫酸は熱源部５１によつて約
290℃に高められる。そして約290℃に達したこと
を温度センサ４７が検知するとポンプ４３がオン
となり熱硫酸をパツケージ３７ａに噴射する。以
下、パツケージ４７ａが溶解してチツプが露出す
るまで噴射が続けられる。チツプが露出すると硫
酸を介して流れる電流を電極センサ４９が検知
し、検知後一定時間経過後、ポンプ４３を停止す
ると共に第３電磁弁２７を開とする。これによ
り、溶解槽４１内に空気圧が作用し冷却トラツプ
５７に送り出される。この冷却トラツプ５７にお
いて約100℃まで冷却された後、タンク本体６３
へ排出されるようになる。排液が溜まり満杯にな
ると重量センサ７５が働いて図外の警告表示ラン
プを点燈させオペレータに満杯になつたことを知
らせる。

次に、満杯になつたタンク本体６３は扉を開け
て引き出し、タンク収納部６９より取出す。取り
出した後は、空のタンク本体をタンク収納部６９
へ挿入セツトし扉６７を閉扉することで、次の作
業が可能となる。

［考案の効果］ 以上、説明したように、この考案によれば、使
用済みの排液が満杯になると、検知手段によつて
容易にわかるようになる。また、空のタンク本体
との取り換えが簡単に行なえるようになり、排液
を安全に能率よく処理できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案のオープナ装置の全体の概要
説明図、第２図は排液貯留タンクの切断側面図、
第３図はタンク収納部よりタンク本体を取出した
切断側面図である。 主要な図面符号の説明、９……排液貯留タン
ク、２７……可撓体、６１……排液ノズル、６５
……受口、６３……タンク本体、６９……タンク
収納部、７５……重量センサ（検知手段）。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 排液ノズルの下位に受口が臨む排液貯留タンク
   を備えたオープナ装置において、前記排液貯留タ
   ンクのタンク本体をタンク収納部より引き出し自
   在に収納セツトし、タンク本体の上面に上下に伸
   縮可能な可撓体を弾接させて前記受口周辺部をシ
   ールすると共に前記タンク本体内の排液量を検知
   手段によつて検知するようにしたことを特徴とす
   るオープナ装置の排液貯留タンク。