JPH04179264A - 樹脂封止型半導体装置 - Google Patents
樹脂封止型半導体装置Info
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- JPH04179264A JPH04179264A JP2308208A JP30820890A JPH04179264A JP H04179264 A JPH04179264 A JP H04179264A JP 2308208 A JP2308208 A JP 2308208A JP 30820890 A JP30820890 A JP 30820890A JP H04179264 A JPH04179264 A JP H04179264A
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- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体に係り、特しこ複数の半導体素子をll
l−・樹脂内に封止し小型化を図るに好適な(6j脂月
止型半専休装置6に関する。
l−・樹脂内に封止し小型化を図るに好適な(6j脂月
止型半専休装置6に関する。
従来の複数の半導体素子を乍−樹脂内に封11: した
樹脂封止型半導体装置は、上記の公開公報に開示されて
いる。
樹脂封止型半導体装置は、上記の公開公報に開示されて
いる。
先ず、特開平1−295454号公報には、2枚の半導
体素子の1!11路形成血か対向し、両刃の電極パット
同士を直接接合する例か記載されている。
体素子の1!11路形成血か対向し、両刃の電極パット
同士を直接接合する例か記載されている。
次に、特開平2−2658壮公報には、リートル−l\
の表側と裏側に半導体素子を接合し、それぞれの半導体
素子とり=1・を両方向からワイヤポンチインクする例
か記載されている。
の表側と裏側に半導体素子を接合し、それぞれの半導体
素子とり=1・を両方向からワイヤポンチインクする例
か記載されている。
更に、特開平2 1566 Q号公報には、−上記特開
平1−295454じ公報とほぼ同構成であるが両半専
体素子間に変形防止用樹脂を充填する例が記載されてい
る。
平1−295454じ公報とほぼ同構成であるが両半専
体素子間に変形防止用樹脂を充填する例が記載されてい
る。
上記従来技術のうち、特開平1 2954.54−し公
報と特開平2−15660号公報は、両生導体素子の電
(仇パノI−同士を直接接合する製造1−lll”を必
要とし、その工程における歩留まりが低いという点て問
題がある。
報と特開平2−15660号公報は、両生導体素子の電
(仇パノI−同士を直接接合する製造1−lll”を必
要とし、その工程における歩留まりが低いという点て問
題がある。
また、特開平2−2658号公報に関しては、リートフ
レーl\の片側に半導体素子を接合後、或いはワイヤボ
ンティング後に反対側を接合する為、反転する工程を必
要とし、製造工程が複雑になりかつ反対側を接合する時
裏面のワイヤか損傷する問題かある。
レーl\の片側に半導体素子を接合後、或いはワイヤボ
ンティング後に反対側を接合する為、反転する工程を必
要とし、製造工程が複雑になりかつ反対側を接合する時
裏面のワイヤか損傷する問題かある。
また、1−記の公報は何れちり一トフレーl、中に設け
られたタフと叶ばれる板材に半導体素子を搭載する構造
である為、タブの厚みたけ半導体装置の厚さが増し半導
体装置を基板に実装した時、高さj3向のスペースが減
小し高密度化の妨げとなっている。一方半導体装置の厚
さを一定にする為タブの厚みだけ樹脂の)!Iさを薄く
すると、半導体装置を1↓板にはんだ付けする時のよう
な高41N状態で樹脂が損傷して組上+4としての機能
が低1〜し、信頼性に問題が生じる。
られたタフと叶ばれる板材に半導体素子を搭載する構造
である為、タブの厚みたけ半導体装置の厚さが増し半導
体装置を基板に実装した時、高さj3向のスペースが減
小し高密度化の妨げとなっている。一方半導体装置の厚
さを一定にする為タブの厚みだけ樹脂の)!Iさを薄く
すると、半導体装置を1↓板にはんだ付けする時のよう
な高41N状態で樹脂が損傷して組上+4としての機能
が低1〜し、信頼性に問題が生じる。
−;3−
本発明の[1的は iI数の半導体素子を内蔵し7従来
と大きさが変わらない樹脂封+1−型半導体装置を提供
することにある。
と大きさが変わらない樹脂封+1−型半導体装置を提供
することにある。
上記目的は、複数の゛悸導体素子と、該半導体装fに接
続する金属製ワイヤと、該金属製ワイヤに接続するり−
1へと、前記半導体素子間に配置する絶縁部材とを樹脂
で封止しまた樹脂封止型半導体装置において、前記半導
体素子それぞれの回路形成面か同一方向を向き、卯−の
ト台となる14 J痒イ本素了のトに前記絶縁部材を介
し5て他の!F 4休素了を搭載し、前記絶縁部(A面
上に少なくとも!′iir記り一1への端部を接合し、
[)「記音半導体素子の電極バラ1〜を回路形成面上に
露出し、たことにより達成される4、 (−記目的は、複数の半導体装rと、if炉1fi導体
素了−(こ1妄続する金貨−11ワイヤと、1)亥金属
製ワイヤに接続するり−・1−と、前、紀半導体素子間
に1′(12置する絶縁部(、(どを樹脂CJ’t !
L L、た樹脂用+1−. ’f’! ゛l′導体装置
1′1において、[)1f記゛1′導体素了それぞれの
回路形成面が同一方向を向き、複数の土台となる゛14
14置子の1−に前記絶縁部材を介し7て他の半導体素
子を搭載し、前記絶縁部月面上に少なくとも前記り一[
−の端部を接合し、前記各半導体素子の電極パットを回
路形成面上に露出したことにより達成される。
続する金属製ワイヤと、該金属製ワイヤに接続するり−
1へと、前記半導体素子間に配置する絶縁部材とを樹脂
で封止しまた樹脂封止型半導体装置において、前記半導
体素子それぞれの回路形成面か同一方向を向き、卯−の
ト台となる14 J痒イ本素了のトに前記絶縁部材を介
し5て他の!F 4休素了を搭載し、前記絶縁部(A面
上に少なくとも!′iir記り一1への端部を接合し、
[)「記音半導体素子の電極バラ1〜を回路形成面上に
露出し、たことにより達成される4、 (−記目的は、複数の半導体装rと、if炉1fi導体
素了−(こ1妄続する金貨−11ワイヤと、1)亥金属
製ワイヤに接続するり−・1−と、前、紀半導体素子間
に1′(12置する絶縁部(、(どを樹脂CJ’t !
L L、た樹脂用+1−. ’f’! ゛l′導体装置
1′1において、[)1f記゛1′導体素了それぞれの
回路形成面が同一方向を向き、複数の土台となる゛14
14置子の1−に前記絶縁部材を介し7て他の半導体素
子を搭載し、前記絶縁部月面上に少なくとも前記り一[
−の端部を接合し、前記各半導体素子の電極パットを回
路形成面上に露出したことにより達成される。
上記[」的は、前記リートの半導体素子側の端部におい
て前記電極パット近傍に切欠き部を設けたことにより達
成される。
て前記電極パット近傍に切欠き部を設けたことにより達
成される。
上記目的は、前記絶縁部材表面に前記金属製ワイヤと前
記り−1〜を接続する導電パターンを設けたことにより
達成される。
記り−1〜を接続する導電パターンを設けたことにより
達成される。
−1;記目的は、前記土台となる半導体装r−[−に搭
載した複数の半導体素子を相互に導電性材料で接続した
ことにより達成される。
載した複数の半導体素子を相互に導電性材料で接続した
ことにより達成される。
1−記構成によれば、積層した複数の半導体素子の内で
土台となる半導体素子が従来のタフ、即ち半導体素子積
載板に代わる機能を果たすので、1′。
土台となる半導体素子が従来のタフ、即ち半導体素子積
載板に代わる機能を果たすので、1′。
導体装置の厚みが増力11することを防出できろ。1ま
た、各半導体素子−の回路形成面一トの電極パン1へが
同一方向を向き、全て表面に露出しているので・方向か
らのワイヤホンディングにより各半導体素子の電気的接
続を実施出来るから、リー1−フレー11を反転する工
程が不要となり製造工程の簡略化と半導体素f及びワイ
ヤの(iIi頼性が向」二する。
た、各半導体素子−の回路形成面一トの電極パン1へが
同一方向を向き、全て表面に露出しているので・方向か
らのワイヤホンディングにより各半導体素子の電気的接
続を実施出来るから、リー1−フレー11を反転する工
程が不要となり製造工程の簡略化と半導体素f及びワイ
ヤの(iIi頼性が向」二する。
更に、電極バット近傍のり一1’に設けた切欠き部は、
下側の゛1′:導体素子の電極パッド近傍の空間が拡大
しワイヤポンチインクの生産性を向J二させる。
下側の゛1′:導体素子の電極パッド近傍の空間が拡大
しワイヤポンチインクの生産性を向J二させる。
以十、本発明の実施例を、図を用いて説明する。
第1図は、本発明の第1実施例の、パッケージ製造工程
のうちワイヤホンティング直後の状態を示したものであ
る。土台となる素子1」−には絶縁フィル13などの締
蒜部材3が配置され、その七からタブの存在しないリー
トフレー114、及び素子2が搭載されている。その後
、素子1,2、及びリー1〜4丁2相互間の電気接続を
ワイヤ5により行う。この際、素子1対り−+: 4
r−、、素子2対り一1−’・IL、及び素子1対素子
2と、それぞれ接続の絹み合わせにより両者の高低差が
異るので、プログラム設定]二各組み合わせごと段階的
に電気接続がなされることが望ましい。
のうちワイヤホンティング直後の状態を示したものであ
る。土台となる素子1」−には絶縁フィル13などの締
蒜部材3が配置され、その七からタブの存在しないリー
トフレー114、及び素子2が搭載されている。その後
、素子1,2、及びリー1〜4丁2相互間の電気接続を
ワイヤ5により行う。この際、素子1対り−+: 4
r−、、素子2対り一1−’・IL、及び素子1対素子
2と、それぞれ接続の絹み合わせにより両者の高低差が
異るので、プログラム設定]二各組み合わせごと段階的
に電気接続がなされることが望ましい。
またこの例は、特に大容量メモリ等、1枚の素子で形成
した場合にパッケージ面積に対する素子面積が過大とな
る場合に効果がある。
した場合にパッケージ面積に対する素子面積が過大とな
る場合に効果がある。
第2図は、第1実施例のパンケージ成形後−幅方向断面
図である。これから明らかなように本発明によれば、リ
−+: 4 Lは素子2と同−面内(絶縁部材3表面)
に配置されているためその厚さは素子2より薄いのでパ
ッケージ全体の厚さを増すことな〈従来のパッケージに
比へ、外形の薄形化を図ることができる。
図である。これから明らかなように本発明によれば、リ
−+: 4 Lは素子2と同−面内(絶縁部材3表面)
に配置されているためその厚さは素子2より薄いのでパ
ッケージ全体の厚さを増すことな〈従来のパッケージに
比へ、外形の薄形化を図ることができる。
第3図は、第1図の素子の電極パン1く部分を上面より
拡大して見たものである。このように」−面図において
、リート4L、あるいは絶縁フィルム3などが、土台と
なる素子]中の電極バラ1−1pをIWうことのないよ
う、それらの形状や電極バット1pの配置を考慮する必
要がある。
拡大して見たものである。このように」−面図において
、リート4L、あるいは絶縁フィルム3などが、土台と
なる素子]中の電極バラ1−1pをIWうことのないよ
う、それらの形状や電極バット1pの配置を考慮する必
要がある。
第4図は、本発明の第2実施例の、パッケージ′yj、
造工程のうちワイヤボンティング直後の状態を示したも
のである。第1実施例同様、土台となる素子1」−に絶
縁部材3を配置後、リードフレーム4と共に複数の小型
素子2a〜2eを搭載しである。その後、それらをワイ
ヤ5にて電気接続したものである。このように本実施例
によれば、汎用的な小素丘が多数内蔵できるため、特に
多機能トライバといったパッケージについて効果がある
。
造工程のうちワイヤボンティング直後の状態を示したも
のである。第1実施例同様、土台となる素子1」−に絶
縁部材3を配置後、リードフレーム4と共に複数の小型
素子2a〜2eを搭載しである。その後、それらをワイ
ヤ5にて電気接続したものである。このように本実施例
によれば、汎用的な小素丘が多数内蔵できるため、特に
多機能トライバといったパッケージについて効果がある
。
第5図は、本実施例の第3実施例の、パッケージ製造工
程のうちワイヤポンティング直後の状態を示したもので
ある。搭載した素子その他は第2実施例と同様のもので
、例えば絶縁部材3表面の素子2.′1〜2cのすぎ間
にこのように導電パターン(3を設けることにより離才
lた位置にある素子対リード4L、素子対素子といった
電気接続が容易に行えるようになる。
程のうちワイヤポンティング直後の状態を示したもので
ある。搭載した素子その他は第2実施例と同様のもので
、例えば絶縁部材3表面の素子2.′1〜2cのすぎ間
にこのように導電パターン(3を設けることにより離才
lた位置にある素子対リード4L、素子対素子といった
電気接続が容易に行えるようになる。
第6図は、本発明の第4実施例のパンケージ幅方向断面
1シ1である。本発明ではこのように、土台に複数の素
子(la、lb)か存在していても良く、例えば素子寸
法が図においてW1≦W2+W、。
1シ1である。本発明ではこのように、土台に複数の素
子(la、lb)か存在していても良く、例えば素子寸
法が図においてW1≦W2+W、。
となる場合などにおいて有効で、しかもδを増減させる
ことにより、素子1a、lbの電極バット近傍必要最小
限の露出面積を確保することかできる。
ことにより、素子1a、lbの電極バット近傍必要最小
限の露出面積を確保することかできる。
第7図は、本発明の第5実施例の、パッケージ製造工程
のうちワイヤボンデインク直後の状態を示したものであ
る。このようにり−+;4r−内端部の特に、ベースと
なる素子]の電極バラF 1 p直」二部に切り欠き、
′スリッI・、ホール4丁、Kを設けることにより、同
電極バット近傍の露出面積を増加させ同電極パッドにワ
イヤ5接続を行う際、キャピラリかり−1くに接触する
のを防ぐことができる。
のうちワイヤボンデインク直後の状態を示したものであ
る。このようにり−+;4r−内端部の特に、ベースと
なる素子]の電極バラF 1 p直」二部に切り欠き、
′スリッI・、ホール4丁、Kを設けることにより、同
電極バット近傍の露出面積を増加させ同電極パッドにワ
イヤ5接続を行う際、キャピラリかり−1くに接触する
のを防ぐことができる。
以上述へたように本発明によれば、リートフレー%から
タブが排除できるため、複数の素子を従来技術よりも薄
型のパッケージに内蔵することができる。これにより例
えば大容量型メモリの場合、その素子を2枚に分割して
内蔵が可能どなり、必然的にパッケージ幅を2分の1と
することができまた本発明によれば、絶縁部材1−、の
導電パターンを中継して電気接続が行えるので、遠隔地
どうしの接続がi+J能となり、従って小素子部品の配
置に対する自由度が増大する。。
タブが排除できるため、複数の素子を従来技術よりも薄
型のパッケージに内蔵することができる。これにより例
えば大容量型メモリの場合、その素子を2枚に分割して
内蔵が可能どなり、必然的にパッケージ幅を2分の1と
することができまた本発明によれば、絶縁部材1−、の
導電パターンを中継して電気接続が行えるので、遠隔地
どうしの接続がi+J能となり、従って小素子部品の配
置に対する自由度が増大する。。
更に本発明によれば、リー1〜内端部に切り欠きを設け
ることで土台となる素子の電極パラ1く近傍の露出面積
が増加するので、ワイヤボンディング時にキャピラリが
リートと接触するなどの不都合が防+、)できる。
ることで土台となる素子の電極パラ1く近傍の露出面積
が増加するので、ワイヤボンディング時にキャピラリが
リートと接触するなどの不都合が防+、)できる。
本発明によれば、リートフレーlいからタブを排除出来
るので、その厚みだけ半導体を更に積層し半導体装置の
幅方向の寸法増加を防止し、それにより従来の半導体装
置との互換性が得られる。
るので、その厚みだけ半導体を更に積層し半導体装置の
幅方向の寸法増加を防止し、それにより従来の半導体装
置との互換性が得られる。
また、電極パットが同一方向を向き、全て回路形成面に
露出しているので・方向からのワイヤボンディングによ
り各半導体素子の電気的接続を実施出来るから、リード
フレームを反転する工程が不要となり製造上程の簡略化
と半導体素子及びワイヤの信頼性が向I−する。
露出しているので・方向からのワイヤボンディングによ
り各半導体素子の電気的接続を実施出来るから、リード
フレームを反転する工程が不要となり製造上程の簡略化
と半導体素子及びワイヤの信頼性が向I−する。
更に、電極パッド近傍のリードに設けた切欠き部は、下
側の半導体素子の電極パッド近傍の空間が拡大しワイヤ
ボンディングの能率を白子させる。
側の半導体素子の電極パッド近傍の空間が拡大しワイヤ
ボンディングの能率を白子させる。
4.1聞而の簡Qjな説明
第1図は本発明の第1一実施例に係るワイヤボンディン
グ後の半導体装置の斜視図、第2図は第1図に示した半
導体装置の成型後の縦1リテ面、第23図は第1図に示
した半導体装置の電極パラI・部分の拡大平面図、第4
図は本発明の第2実施例に係るワイヤボンデインク後の
半導体装置の斜視図、第5図は本発明の第3実施例に係
るワイヤホンティング後の半導体装置の斜視図、第6図
は本発明の第4実施例に係る半導体装置の成型後の縦断
面、第7図は本発明の第5実施例に係る電極パット部分
の拡大平面図である。
グ後の半導体装置の斜視図、第2図は第1図に示した半
導体装置の成型後の縦1リテ面、第23図は第1図に示
した半導体装置の電極パラI・部分の拡大平面図、第4
図は本発明の第2実施例に係るワイヤボンデインク後の
半導体装置の斜視図、第5図は本発明の第3実施例に係
るワイヤホンティング後の半導体装置の斜視図、第6図
は本発明の第4実施例に係る半導体装置の成型後の縦断
面、第7図は本発明の第5実施例に係る電極パット部分
の拡大平面図である。
1・・素子、1p 素子の電極パット、2 素子、3
絶縁部材、4 リーIへフレーム、4、 I−4リード
、4 T−、K 切り欠き、5 ワイヤ、6 導体パ
ターン
絶縁部材、4 リーIへフレーム、4、 I−4リード
、4 T−、K 切り欠き、5 ワイヤ、6 導体パ
ターン
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、複数の半導体素子と、該半導体素子に接続する金属
製ワイヤと、該金属製ワイヤに接続するリードと、前記
半導体素子間に配置する絶縁部材とを樹脂で封止した樹
脂封止型半導体装置において、前記半導体素子それぞれ
の回路形成面が同一方向を向き、単一の土台となる半導
体素子の上に前記絶縁部材を介して他の半導体素子を搭
載し、前記絶縁部材面上に少なくとも前記リードの端部
を接合し、前記各半導体素子の電極パッドを回路形成面
上に露出したことを特徴とする樹脂封止型半導体装置。 2、複数の半導体素子と、該半導体素子に接続する金属
製ワイヤと、該金属製ワイヤに接続するリードと、前記
半導体素子間に配置する絶縁部材とを樹脂で封止した樹
脂封止型半導体装置において、前記半導体素子それぞれ
の回路形成面が同一方向を向き、複数の土台となる半導
体素子の上に前記絶縁部材を介して他の半導体素子を搭
載し、前記絶縁部材面上に少なくとも前記リードの端部
を接合し、前記各半導体素子の電極パッドを回路形成面
上に露出したことを特徴とする樹脂封止型半導体装置。 3、前記リードの半導体素子側の端部において前記電極
パッド近傍に切欠き部を設けたことを特徴とする特許請
求の範囲第1項または第2項に記載の樹脂封止型半導体
装置。 4、前記絶縁部材表面に前記金属製ワイヤと前記リード
を接続する導電パターンを設けたことを特徴とする特許
請求の範囲第1項から第3項のうち何れか1項に記載の
樹脂封止型半導体装置。 5、前記土台となる半導体素子上に搭載した複数の半導
体素子を相互に導電性材料で接続したことを特徴とする
特許請求の範囲第1項に記載の樹脂封止型半導体装置。
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