JPH04181175A - 半導体装置の特性測定用ソケットの摩耗チェック方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体装置の特性測定に用いる測定用ソケット
端子の摩耗チェック方法に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種の半導体装置の特性測定用ソケット端子の
摩耗チェック方法は実施されておらず、摩耗の程度に関
係なく測定用ソケットの定期交換もしくは特性不良多発
時に交換する方法が主となっていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述したように、従来はソケ・・Ｉト端子の摩耗チェッ
クは行なわれていなかったので、測定用ソケットの交換
だけではソケット端子の摩耗状態が把握できず、ソケッ
ト端子の摩耗状態が著しい場合には、接触箇所の抵抗増
加により半導体装置の特性測定時に不良品の混入率が高
くなるという欠点がある。

このように従来は摩耗チェックが行なわれていなかった
のに対し、本発明は測定用ソケットの摩耗の度合を、ソ
ケット端子をショートするショードパーと定電流電源及
び判定回路とを使用することによりチェックし、ソケッ
トの交換時期を知ることができると共に半導体装置測定
時において不良品の混入率を低下させることができると
いう相違点を有する。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の半導体装置の特性測定用ソケットの摩耗チェッ
ク方法は、特性測定を行なう半導体装置が接触するソケ
ット端子の接触箇所にショートバーを接触させ、ショー
トしたソケット端子間に定電流を流してソケット端子間
の電圧を検出し、この電圧が一定範囲内にあるか否かを
判定してソケット端子の摩耗度をチェックする方法であ
る。

〔実施例〕

次に本発明について図面を参照して説明する。

第１図は本発明の一実施例を説明するブロック図である
。定電流電源１よりショートパー３によりあらかじめシ
ョートされたソケット端子６に対し電流を流し込み、ソ
ケット端子６問に発生する電圧を検出し、判定回路４に
てこの電圧が上限、下限の範囲内にあるか否かを判定す
る。判定結果が範囲内にあればＯＫ、範囲外にあればＮ
Ｇの信号を出力する。又、リレースキャナ部５は電流を
流すソケット端子６を切り換えるものである。

本実施例では、主として放熱板付あるいはスタッド付の
ディスクリート半導体装置の測定に使用する測定用ソケ
ット２について述べたが、それ以外のソケットについて
も同様な方法でチェックできることは勿論である。又、
ソケット端子６が４本の場合はショートパー３は十字型
に形成したものを用いる。又、ショートパー３のソケッ
ト端子６への接触は、実際の半導体装置の測定時と同じ
状態で接触させる。すなわち本実施例は、半導体装置が
接触するソケット端子６の接触点の摩耗度をチェックす
ることが可能である。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、特性測定用ソケットの摩
耗度合を、ソケット端子をショートするショートバーと
定電流電源及び判定回路とを用いてチェックすることに
より、半導体装置の特性測定時における不良品の混入率
を低下させることができる効果がある。更にソケット端
子の汚れをチェックできる効果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のチェック方法の一実施例を説明するブ
ロック図である。 １・・・定電流電源、２・・・測定用ソケット、３・・
・ショートバー、４・・・判定回路、５・・−リレース
キャナ部、６・・・ソケット端子。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、特性測定を行なう半導体装置が接触するソケット端
   子の接触箇所にショートバーを接触させ、ショートした
   ソケット端子間に定電流を流してソケット端子間の電圧
   を検出し、この電圧が一定範囲内にあるか否かを判定し
   てソケット端子の摩耗度をチェックすることを特徴とす
   る半導体装置の特性測定用ソケットの摩耗チェック方法
   。 ２、ショートバーを接触させたソケット端子を切り換え
   て順次ソケット端子の摩耗度をチェックする請求項１記
   載の半導体装置の特性測定用ソケットの摩耗チェック方
   法。