JPH0418768B2 - - Google Patents
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- JPH0418768B2 JPH0418768B2 JP60080057A JP8005785A JPH0418768B2 JP H0418768 B2 JPH0418768 B2 JP H0418768B2 JP 60080057 A JP60080057 A JP 60080057A JP 8005785 A JP8005785 A JP 8005785A JP H0418768 B2 JPH0418768 B2 JP H0418768B2
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- area
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Inking, Control Or Cleaning Of Printing Machines (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、印刷パターンを撮像し、その画像
を処理して印刷パターンの切れ，欠けまたはかす
れ等の主として局部的な不良を検査する検査方法
に関する。
を処理して印刷パターンの切れ，欠けまたはかす
れ等の主として局部的な不良を検査する検査方法
に関する。
従来、画像処理技術を利用した印刷パターンの
良否検査は、専ら印刷パターン全体の面積値を求
め、この面積値が所定の許容範囲内にあるか否か
を判別することにより行なわれている。
良否検査は、専ら印刷パターン全体の面積値を求
め、この面積値が所定の許容範囲内にあるか否か
を判別することにより行なわれている。
しかしながら、このような方法では印刷パター
ンの大まかな良否検査はできても、パターンの部
分的な凹，凸による欠陥の検査または印刷文字な
どの細かいパターンの異同の検査は困難である。
これは、印刷文字等のパターンは、インクのつき
具合等によつて文字の面積値が大幅に変動するた
め、良品と不良品との判別規準を適正に定めるこ
とができないからである。
ンの大まかな良否検査はできても、パターンの部
分的な凹，凸による欠陥の検査または印刷文字な
どの細かいパターンの異同の検査は困難である。
これは、印刷文字等のパターンは、インクのつき
具合等によつて文字の面積値が大幅に変動するた
め、良品と不良品との判別規準を適正に定めるこ
とができないからである。
したがつて、この発明は印刷文字等の細かいパ
ターンであつても、また印刷太さにばらつきがあ
つてもその良否を正確に検査し得るようにするこ
とを目的とする。
ターンであつても、また印刷太さにばらつきがあ
つてもその良否を正確に検査し得るようにするこ
とを目的とする。
検査対象となる印刷パターンに沿つて互いに隣
接する所定形状のウインドウ群（チエーンウイン
ドウ）を設定するウインドウ設定手段と、設定さ
れたウインドウ毎に印刷パターン部分の占める面
積値データを抽出する面積データ抽出手段と、こ
の面積値データにもとづいて設定値との比較を含
む各種演算を行なう演算手段とを設ける。
接する所定形状のウインドウ群（チエーンウイン
ドウ）を設定するウインドウ設定手段と、設定さ
れたウインドウ毎に印刷パターン部分の占める面
積値データを抽出する面積データ抽出手段と、こ
の面積値データにもとづいて設定値との比較を含
む各種演算を行なう演算手段とを設ける。
印刷パターンをテレビカメラの如き撮像装置に
よつて撮像し、その撮像信号を濃淡レベルに応じ
て２値信号に変換した後、パターンの形状に沿つ
て少なくともその幅をカバーする所定形状のウイ
ンドウを所定数隣接して設定してウインドウ毎に
パターン面積値を求め、この面積値が所定の許容
範囲内にあるか否かによつて印刷欠け，切れ，か
すれ，突起等の主として局部的な欠陥を高精度に
検出し得るようにする。なお、隣接するウインド
ウ間でのパターン面積値の差にもとづく判定、パ
ターン面積値が所定の基準内にあるウインドウ数
にもとづく判定、または包絡ウインドウにもとづ
く判定等を適宜に併用することにより、判定内容
を充実させ、精度の向上を図るようにする。
よつて撮像し、その撮像信号を濃淡レベルに応じ
て２値信号に変換した後、パターンの形状に沿つ
て少なくともその幅をカバーする所定形状のウイ
ンドウを所定数隣接して設定してウインドウ毎に
パターン面積値を求め、この面積値が所定の許容
範囲内にあるか否かによつて印刷欠け，切れ，か
すれ，突起等の主として局部的な欠陥を高精度に
検出し得るようにする。なお、隣接するウインド
ウ間でのパターン面積値の差にもとづく判定、パ
ターン面積値が所定の基準内にあるウインドウ数
にもとづく判定、または包絡ウインドウにもとづ
く判定等を適宜に併用することにより、判定内容
を充実させ、精度の向上を図るようにする。
第１図はこの発明の実施例を説明するための参
照図、第２図はこの発明が実施される画像処理装
置の構成を示すブロツク図、第３図は欠陥検査の
具体例を説明するための参照図である。
照図、第２図はこの発明が実施される画像処理装
置の構成を示すブロツク図、第３図は欠陥検査の
具体例を説明するための参照図である。
まず、第２図について説明する。なお、同図に
おいて、１は検査対象となる印刷パターン、１１
はテレビカメラの如き撮像装置、１２はアナロ
グ／デイジタル（Ａ／Ｄ）変換部、１３はウイン
ドウ発生部、１４は画像メモリ、１５は特徴デー
タ抽出部、１６はマイクロプロセツサの如き処理
装置、１７は入／出力（Ｉ／Ｏ）インタフエイス
部、１８は操作表示部である。
おいて、１は検査対象となる印刷パターン、１１
はテレビカメラの如き撮像装置、１２はアナロ
グ／デイジタル（Ａ／Ｄ）変換部、１３はウイン
ドウ発生部、１４は画像メモリ、１５は特徴デー
タ抽出部、１６はマイクロプロセツサの如き処理
装置、１７は入／出力（Ｉ／Ｏ）インタフエイス
部、１８は操作表示部である。
テレビカメラ１１は印刷文字等のパターン１を
撮像し、電気信号（画像信号）に変換する。この
画像信号はＡ／Ｄ変換部１２に与えられ、こゝで
その濃淡レベルに応じて２値のデイジタル信号に
変換され、画像メモリ１４に記憶される。特徴抽
出部１５は画像メモリ１４から印刷パターン１の
面積データを含む各種特徴データを抽出し、処理
装置１６はこの特徴データにもとづいて、比較を
含む各種演算処理を行なう。ウインドウ発生部１
３は、処理装置１６からの指示にもとづいてウイ
ンドウの設定を行ない、画像メモリ１４から読み
出すべき特徴データを選択する。このウインドウ
は撮像画面上で観測または検査すべき領域を指定
するものであり、その発生すべき位置および形状
等は所定のメモリに予め記憶させておくか、また
は操作表示部１８によりＩ／Ｏインタフエイス部
１７を介して処理装置１６へウインドウ情報を与
えることによつて設定することができる。このウ
インドウ情報は処理装置１６において適宜に処理
された後、ウインドウ発生部１３へ与えられる。
なお、かかるウインドウの発生手法は既に公知で
あり、例えば特開昭58−189780号公報等に示され
ている。
撮像し、電気信号（画像信号）に変換する。この
画像信号はＡ／Ｄ変換部１２に与えられ、こゝで
その濃淡レベルに応じて２値のデイジタル信号に
変換され、画像メモリ１４に記憶される。特徴抽
出部１５は画像メモリ１４から印刷パターン１の
面積データを含む各種特徴データを抽出し、処理
装置１６はこの特徴データにもとづいて、比較を
含む各種演算処理を行なう。ウインドウ発生部１
３は、処理装置１６からの指示にもとづいてウイ
ンドウの設定を行ない、画像メモリ１４から読み
出すべき特徴データを選択する。このウインドウ
は撮像画面上で観測または検査すべき領域を指定
するものであり、その発生すべき位置および形状
等は所定のメモリに予め記憶させておくか、また
は操作表示部１８によりＩ／Ｏインタフエイス部
１７を介して処理装置１６へウインドウ情報を与
えることによつて設定することができる。このウ
インドウ情報は処理装置１６において適宜に処理
された後、ウインドウ発生部１３へ与えられる。
なお、かかるウインドウの発生手法は既に公知で
あり、例えば特開昭58−189780号公報等に示され
ている。
第１図には、このようにして設定されるウイン
ドウと印刷パターンとの関係が示されており、１
が印刷パターン、２1，２2……２ｎがウインドウ
である。なお、同図において、３は包絡ウインド
ウ、４はウインドウ外領域、すなわち背景であ
り、５は汚れ（ノイズ）を示している。
ドウと印刷パターンとの関係が示されており、１
が印刷パターン、２1，２2……２ｎがウインドウ
である。なお、同図において、３は包絡ウインド
ウ、４はウインドウ外領域、すなわち背景であ
り、５は汚れ（ノイズ）を示している。
すなわち、第１図は印刷パターン（こゝでは、
数字“２”）１の形状に沿つて、円形のウインド
ウを互いに隣接させてｎ個２1，２2……２ｎ設定
した例であり、これは操作表示部１８のキーボー
ドまたはライトペンによりｎ個の位置情報および
ウインドウの径を表わす径情報等を与えることに
より設定することができる。そして、このような
一連のウインドウ（チエーンウインドウ）を設定
することにより、特徴データ抽出部１５から各ウ
インドウ毎のパターン面積データを得ることがで
きるので、処理装置１６によつて各面積データを
所定の上，下限設定値と比較することにより良，
不良を判別することができる。
数字“２”）１の形状に沿つて、円形のウインド
ウを互いに隣接させてｎ個２1，２2……２ｎ設定
した例であり、これは操作表示部１８のキーボー
ドまたはライトペンによりｎ個の位置情報および
ウインドウの径を表わす径情報等を与えることに
より設定することができる。そして、このような
一連のウインドウ（チエーンウインドウ）を設定
することにより、特徴データ抽出部１５から各ウ
インドウ毎のパターン面積データを得ることがで
きるので、処理装置１６によつて各面積データを
所定の上，下限設定値と比較することにより良，
不良を判別することができる。
例えば、印刷パターンの欠け，切れまたはかす
れは面積値が所定値以下となることから、また、
突起等は逆に面積値が所定値以上となることから
それぞれ検出することができる。第３図ロは印刷
パターン１2に切れ６1，６2が生じた例であり、
同図ハは欠けまたはかすれ６3と、突起６4が生じ
ている例である。なお、同図イの文字パターン１
１はロに比べて文字の幅が狭くなつているが、正
常な場合の例であり、上，下限設定値を適宜に選
ぶことにより、文字幅に関係なく良，否検査が可
能であることを示すものである。また、上記の如
き欠け，切れ，かすれまたは突起等の部分的な欠
陥は１つのウインドウに占める面積値からだけで
なく、例えば隣接するもの同志の差を求めてこれ
を別の設定値と比較する如き方法と併用すること
によつて、検査精度を向上させることができる。
つまり、隣接するウインドウ間でその面積値の差
をとると、正常な場合はこの差が略零になるのに
対し、欠陥がある場合には有意の値となることを
利用するものである。さらに、処理装置１６によ
り、面積値が所定許容範囲内にあるウインドウの
個数を算出し、この個数を別の設定値と比較する
ことにより、着目している印刷パターンが異種の
ものであるか否かを判別することができる。逆
に、面積値が所定の条件を満たさないウインドウ
の個数からも判別が可能であることは云う迄もな
く、これは各ウインドウの面積値のかわりに背景
値を用いるのと似ている。
れは面積値が所定値以下となることから、また、
突起等は逆に面積値が所定値以上となることから
それぞれ検出することができる。第３図ロは印刷
パターン１2に切れ６1，６2が生じた例であり、
同図ハは欠けまたはかすれ６3と、突起６4が生じ
ている例である。なお、同図イの文字パターン１
１はロに比べて文字の幅が狭くなつているが、正
常な場合の例であり、上，下限設定値を適宜に選
ぶことにより、文字幅に関係なく良，否検査が可
能であることを示すものである。また、上記の如
き欠け，切れ，かすれまたは突起等の部分的な欠
陥は１つのウインドウに占める面積値からだけで
なく、例えば隣接するもの同志の差を求めてこれ
を別の設定値と比較する如き方法と併用すること
によつて、検査精度を向上させることができる。
つまり、隣接するウインドウ間でその面積値の差
をとると、正常な場合はこの差が略零になるのに
対し、欠陥がある場合には有意の値となることを
利用するものである。さらに、処理装置１６によ
り、面積値が所定許容範囲内にあるウインドウの
個数を算出し、この個数を別の設定値と比較する
ことにより、着目している印刷パターンが異種の
ものであるか否かを判別することができる。逆
に、面積値が所定の条件を満たさないウインドウ
の個数からも判別が可能であることは云う迄もな
く、これは各ウインドウの面積値のかわりに背景
値を用いるのと似ている。
また、第１図では包絡ウインドウ３を生成する
ようにしているが、これはチエーンウインドウ２
１〜２ｎの各位置データから自動的に生成される
もので、印刷パターン１を背景４から分離するた
めに設けられる。つまり、この包絡ウインドウ３
を設けることによつて、この包絡ウインドウ外に
あるものは異種のパターンとみなし、この異種パ
ターンのあるものはパターン１が別のパターンで
あるか、または汚れ５があるものとして処理する
ことができる。なお、この包絡ウインドウ３の幅
は、個々のウインドウ２1，２2……２ｎの大きさ
よりやゝ大きめになるように設定される。
ようにしているが、これはチエーンウインドウ２
１〜２ｎの各位置データから自動的に生成される
もので、印刷パターン１を背景４から分離するた
めに設けられる。つまり、この包絡ウインドウ３
を設けることによつて、この包絡ウインドウ外に
あるものは異種のパターンとみなし、この異種パ
ターンのあるものはパターン１が別のパターンで
あるか、または汚れ５があるものとして処理する
ことができる。なお、この包絡ウインドウ３の幅
は、個々のウインドウ２1，２2……２ｎの大きさ
よりやゝ大きめになるように設定される。
以上では、検査対象パターンが１つの場合につ
いて説明したが、数字や文字列のように印刷パタ
ーンが複数個ある場合には、個々のパターン毎に
上記の如きチエーンウインドウを別個に設定して
検査が行なわれる。また、上記では円形のウイン
ドウを設定するようにしたが、その形状は円形に
限らないことは云う迄もない。
いて説明したが、数字や文字列のように印刷パタ
ーンが複数個ある場合には、個々のパターン毎に
上記の如きチエーンウインドウを別個に設定して
検査が行なわれる。また、上記では円形のウイン
ドウを設定するようにしたが、その形状は円形に
限らないことは云う迄もない。
この発明によれば、複数個のウインドウ群を発
生させて個々のウインドウ毎に良否判定を行なう
ようにしたので、パターンの切れ，欠け，かすれ
または突起等の部分的な欠陥をそのパターンの太
さに関係なく検出することができ、その結果検査
精度ひいては信頼性が大幅に向上する効果がもた
らされるものである。また、個々のウインドウ毎
の判定だけでなく、ウインドウ間の判定、例えば
隣接するウインドウ間でパターン面積値の差を求
めてこれを設定値と比較する等の判定を行なうこ
とにより、検査内容をより一段と充実させて精度
の向上を図ることができる。さらに、設定基準を
満足するウインドウの個数を求めたり、上記チエ
ーンウインドウを包含する包絡ウインドウを設定
することにより、印刷パターンの異同や汚れ等の
ノイズ成分を的確に検査し得る利点がもたらされ
る。
生させて個々のウインドウ毎に良否判定を行なう
ようにしたので、パターンの切れ，欠け，かすれ
または突起等の部分的な欠陥をそのパターンの太
さに関係なく検出することができ、その結果検査
精度ひいては信頼性が大幅に向上する効果がもた
らされるものである。また、個々のウインドウ毎
の判定だけでなく、ウインドウ間の判定、例えば
隣接するウインドウ間でパターン面積値の差を求
めてこれを設定値と比較する等の判定を行なうこ
とにより、検査内容をより一段と充実させて精度
の向上を図ることができる。さらに、設定基準を
満足するウインドウの個数を求めたり、上記チエ
ーンウインドウを包含する包絡ウインドウを設定
することにより、印刷パターンの異同や汚れ等の
ノイズ成分を的確に検査し得る利点がもたらされ
る。
第１図はこの発明の実施例を説明するための参
照図、第２図はこの発明が実施される画像処理装
置を示すブロツク図、第３図は欠陥検査の具体例
を説明するための参照図である。 符号説明、１，１1，１2……印刷パターン、２
１〜２ｎ……ウインドウ、３……包絡ウインドウ、
４……ウインドウ外領域（背景）、５……汚れ、
６1〜６4…微小欠陥、１１……テレビカメラ（撮
像装置）、１２……アナログ／デイジタル（Ａ／
Ｄ変換部、１３……ウインドウ発生部、１４……
画像メモリ、１５……特徴抽出部、１６……処理
装置（マイクロプロセツサ）、１７……入／出力
（Ｉ／Ｏ）インタフエイス部、１８……操作表示
部。
照図、第２図はこの発明が実施される画像処理装
置を示すブロツク図、第３図は欠陥検査の具体例
を説明するための参照図である。 符号説明、１，１1，１2……印刷パターン、２
１〜２ｎ……ウインドウ、３……包絡ウインドウ、
４……ウインドウ外領域（背景）、５……汚れ、
６1〜６4…微小欠陥、１１……テレビカメラ（撮
像装置）、１２……アナログ／デイジタル（Ａ／
Ｄ変換部、１３……ウインドウ発生部、１４……
画像メモリ、１５……特徴抽出部、１６……処理
装置（マイクロプロセツサ）、１７……入／出力
（Ｉ／Ｏ）インタフエイス部、１８……操作表示
部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 印刷パターンを撮像し少なくとも２値化を含
む画像処理をしてその検査を行なう印刷パターン
の検査方法であつて、 予め、基準となる印刷パターンを撮像して２値
化することにより得られた画像の印刷パターン領
域に沿つて、ウインドウの位置と領域に関する情
報を入力するための手段を介し、互いに隣接する
所定形状の印刷パターン検査用ウインドウを連続
的に所定個数設定してウインドウ情報を記憶する
ための手段に記憶するとともに、該個々のウイン
ドウ毎にその印刷パターン部分の占める面積値を
求め、この面積値に基づいて比較用の所定の設定
値を設定してこれを設定値データを記憶するため
の記憶手段に記憶しておき、 次いで、被検査対象となる印刷パターンを撮像
して２値化することにより得られた被検査対象印
刷パターンに対し、前記印刷パターン検査用ウイ
ンドウを発生させて個々のウインドウ毎にその被
検査対象印刷パターン部分の占める面積値を求め
た後、該面積値と前記設定値データ記憶手段から
読み出した各ウインドウ位置に対応する設定値と
の比較を含む所定の演算を行うことにより、印刷
パターンの主として部分的な検査を可能にするこ
とを特徴とする印刷パターンの検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60080057A JPS61239105A (ja) | 1985-04-17 | 1985-04-17 | 印刷パタ−ンの検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60080057A JPS61239105A (ja) | 1985-04-17 | 1985-04-17 | 印刷パタ−ンの検査方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61239105A JPS61239105A (ja) | 1986-10-24 |
| JPH0418768B2 true JPH0418768B2 (ja) | 1992-03-27 |
Family
ID=13707603
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60080057A Granted JPS61239105A (ja) | 1985-04-17 | 1985-04-17 | 印刷パタ−ンの検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61239105A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2624322B2 (ja) * | 1989-03-08 | 1997-06-25 | 松下電器産業株式会社 | 対象物の特徴部の位置の検出方法 |
| WO2014184960A1 (ja) * | 2013-05-17 | 2014-11-20 | 富士機械製造株式会社 | 検査装置、検査方法、および、制御装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5443768A (en) * | 1977-09-13 | 1979-04-06 | Dainippon Printing Co Ltd | Device for measuring area ratio of net crossings |
| JPS5572805A (en) * | 1978-11-28 | 1980-06-02 | Fujitsu Ltd | Pattern check system |
| JPS601505A (ja) * | 1983-06-20 | 1985-01-07 | Hitachi Ltd | パタ−ン検査装置 |
-
1985
- 1985-04-17 JP JP60080057A patent/JPS61239105A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61239105A (ja) | 1986-10-24 |
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