JPH0420227U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0420227U JPH0420227U JP6142290U JP6142290U JPH0420227U JP H0420227 U JPH0420227 U JP H0420227U JP 6142290 U JP6142290 U JP 6142290U JP 6142290 U JP6142290 U JP 6142290U JP H0420227 U JPH0420227 U JP H0420227U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- wafer chuck
- motor
- developing device
- pressure nozzle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Description
第１図は、実施例の構成図、第２図は、レジス
ト膜の除去状態の説明図である。 １１……現像装置、１２……モータ、１３……
回転軸、１４……ウエハチヤツク、１５……カツ
プ、１６ａ，１６ｂ……薬液供給ノズル、１７…
…高圧ノズル、２０……ウエハ、２０ａ……周辺
部、２２……エツジリンス液。
ト膜の除去状態の説明図である。 １１……現像装置、１２……モータ、１３……
回転軸、１４……ウエハチヤツク、１５……カツ
プ、１６ａ，１６ｂ……薬液供給ノズル、１７…
…高圧ノズル、２０……ウエハ、２０ａ……周辺
部、２２……エツジリンス液。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 モータと、 前記モータの回転軸に設けたウエハチヤツクと
、 前記ウエハチヤツクの周囲に設けたカツプと、 前記ウエハチヤツクのほぼ中央上方に設けた複
数の薬液供給ノズルとにより構成した現像装置に
おいて、 前記ウエハチヤツクに支持されるウエハの上方
に高圧ノズルが設けられ、 前記高圧ノズルより噴射されるエツジリンス液
の噴射方向が前記ウエハの中央側上方より当該ウ
エハの周辺部に向けて設定されたことを特徴とす
る現像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6142290U JPH0420227U (ja) | 1990-06-11 | 1990-06-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6142290U JPH0420227U (ja) | 1990-06-11 | 1990-06-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0420227U true JPH0420227U (ja) | 1992-02-20 |
Family
ID=31589661
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6142290U Pending JPH0420227U (ja) | 1990-06-11 | 1990-06-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0420227U (ja) |
-
1990
- 1990-06-11 JP JP6142290U patent/JPH0420227U/ja active Pending
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