JPH0420876A - 半導体デバイス測定用バーンインボード - Google Patents
半導体デバイス測定用バーンインボードInfo
- Publication number
- JPH0420876A JPH0420876A JP12618990A JP12618990A JPH0420876A JP H0420876 A JPH0420876 A JP H0420876A JP 12618990 A JP12618990 A JP 12618990A JP 12618990 A JP12618990 A JP 12618990A JP H0420876 A JPH0420876 A JP H0420876A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- board
- burn
- memory
- test
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 7
- 238000012360 testing method Methods 0.000 abstract description 18
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract description 7
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- 238000011990 functional testing Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はバーンイン中に半導体デバイスの機能試験を実
施する際に使用する半導体デバイス測定用バーンインボ
ードに関する。
施する際に使用する半導体デバイス測定用バーンインボ
ードに関する。
従来、この種のバーンインボードには、自在に読み書き
可能で大容量の記憶素子が設置されたものはなく、試験
結果は第５図の構成図に示すように、バーンイン装置６
から直接転送ケーブル２０を通じてデバイス抜去袋Ｗ１
９へ送られるが、又は、フロッピー等のメディアを介し
て伝達される形式となっていた。
可能で大容量の記憶素子が設置されたものはなく、試験
結果は第５図の構成図に示すように、バーンイン装置６
から直接転送ケーブル２０を通じてデバイス抜去袋Ｗ１
９へ送られるが、又は、フロッピー等のメディアを介し
て伝達される形式となっていた。
上述した従来のバーンインボードは、試験終了後バーン
インボードの順番が入れ替わると、デバイスとデバイス
の試験結果との相違が生じ信頼性に欠ける、又、ボード
自体の経歴がわからない、又、ボード上のデバイス用ソ
ケットに不良があったとしても、デバイスを挿入して試
験を実施してしまう、等の欠点がある。
インボードの順番が入れ替わると、デバイスとデバイス
の試験結果との相違が生じ信頼性に欠ける、又、ボード
自体の経歴がわからない、又、ボード上のデバイス用ソ
ケットに不良があったとしても、デバイスを挿入して試
験を実施してしまう、等の欠点がある。
本発明のバーンインボードは、バーンイン試験のデバイ
ス測定情報を記憶するためのメモリー素子と、メモリー
素子への書き込みと読み出しのための入出力回路とを有
している。
ス測定情報を記憶するためのメモリー素子と、メモリー
素子への書き込みと読み出しのための入出力回路とを有
している。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例のバーンインボードの構成図
である。バーンインボード１は、そのボード上にメモリ
ー２く不揮発性半導体記憶素子、ＥＰＲＯＭ）を設置し
、デバイス用ソゲット３、メモリーへの入出力端子４、
デバイス測定条件入出力端子５で構成される。
である。バーンインボード１は、そのボード上にメモリ
ー２く不揮発性半導体記憶素子、ＥＰＲＯＭ）を設置し
、デバイス用ソゲット３、メモリーへの入出力端子４、
デバイス測定条件入出力端子５で構成される。
第２図にバーンイン中の本実施例のプロ・ツク図を示す
。バーンイン装置６は、チャンバー７と、制御ユニット
、テスト実行ユニット、テスト結果記録ユニットとで構
成される。テスト結果の記録は、制御ユニットからテス
ト結果記録ユニットを通じてバーンインボード１上のメ
モリーへ、ボード上の不良デバイスのソケット番号、不
良テスト項目、不良発生時間が記録される。
。バーンイン装置６は、チャンバー７と、制御ユニット
、テスト実行ユニット、テスト結果記録ユニットとで構
成される。テスト結果の記録は、制御ユニットからテス
ト結果記録ユニットを通じてバーンインボード１上のメ
モリーへ、ボード上の不良デバイスのソケット番号、不
良テスト項目、不良発生時間が記録される。
又、バーンインボードｌがチャンバー７にセットされた
状態で、バーンインボード上のメモリー２はチャンバー
７外に配置されている。これは、バーンイン時の熱の影
響をメモリー２へ与えないためである。
状態で、バーンインボード上のメモリー２はチャンバー
７外に配置されている。これは、バーンイン時の熱の影
響をメモリー２へ与えないためである。
第３図は本実施例のメモリーの利用法を示す図であり、
メモリー内部の記憶データのレイアウト図である。ボー
ド名８は、バーンインボードのタイプ名を記憶する部分
で、デバイス挿入時のボードとデバイスとの照合に利用
する。ボード番号９は、バーンインボードタイプ毎の一
連番号を記憶する部分で、ボード管理として利用する。
メモリー内部の記憶データのレイアウト図である。ボー
ド名８は、バーンインボードのタイプ名を記憶する部分
で、デバイス挿入時のボードとデバイスとの照合に利用
する。ボード番号９は、バーンインボードタイプ毎の一
連番号を記憶する部分で、ボード管理として利用する。
バーンイン回数１０、バーンイン時間１１は、ボード単
位での総バーンイン回数及び時間を記憶する部分であり
、ボードの寿命管理に利用する。
位での総バーンイン回数及び時間を記憶する部分であり
、ボードの寿命管理に利用する。
不良ソケット番号１２は、デバイス用の不良ソケット番
号を記憶する部分で、挿入時にデバイスを挿入しない領
域を指定する。デバイス不良ソケット番号１３、不良テ
スト項目１４、不良発生時間１５は、バーンインテスト
での測定結果を記憶する部分であり、デバイス抜去時の
分類情報として利用する。
号を記憶する部分で、挿入時にデバイスを挿入しない領
域を指定する。デバイス不良ソケット番号１３、不良テ
スト項目１４、不良発生時間１５は、バーンインテスト
での測定結果を記憶する部分であり、デバイス抜去時の
分類情報として利用する。
第４図は本実施例のバーンイン終了後の試験結果をモニ
ターするための構成図である。バーンインボード１にモ
ニターボックス１６を接続し、キースイッチ１８により
確認したい情報を選択することにより、結果をセグメン
トデイスプレィ１７に表示する。これにより、バーンイ
ンボード１１の各デバイスの測定結果が容易に確認でき
る。
ターするための構成図である。バーンインボード１にモ
ニターボックス１６を接続し、キースイッチ１８により
確認したい情報を選択することにより、結果をセグメン
トデイスプレィ１７に表示する。これにより、バーンイ
ンボード１１の各デバイスの測定結果が容易に確認でき
る。
以上説明したように本発明は、バーンインボード上にＥ
ＰＲＯＭを設置することにより、デバイスと試験結果と
の対応の信頼性が向上する、又、ボード管理、ボード寿
命管理の精度が向上する、又、デバイス挿入時に挿入機
及びバーンイン装置でＥＰＲＯＭの内容を読み取ること
により、デバイスとバーンインボードとの照合によるバ
ーンインボードの誤選択防止、不良ソケットへのデバイ
スの非挿入、バーンイン試験の省略ができる、等の効果
がある。
ＰＲＯＭを設置することにより、デバイスと試験結果と
の対応の信頼性が向上する、又、ボード管理、ボード寿
命管理の精度が向上する、又、デバイス挿入時に挿入機
及びバーンイン装置でＥＰＲＯＭの内容を読み取ること
により、デバイスとバーンインボードとの照合によるバ
ーンインボードの誤選択防止、不良ソケットへのデバイ
スの非挿入、バーンイン試験の省略ができる、等の効果
がある。
第１図は本発明の一実施例のバーンインボードの構成図
、第２図はバーンイン中の本発明の一実施例のブロック
図、第３図は本発明の一実施例のメモリー利用法を示す
メモリーレイアウト図、第４図は本発明の一実施例のバ
ーンイン終了後の試験結果をモニターするための構成図
、第５図は従来のバーンイン装置の構成図である。 １・・・バーンインボード、２・・・メモリー、３・・
・デバイス用ソケット、４・・・メモリーへの入出力用
端子、５・−・デバイス条件入出力用端子、６・・・バ
ーンイン装置、７・・・チャンバー、１６・・・モニタ
ーボックス、１７・・・セグメントデイスプレィ、１８
・・・キースイッチ、１９・・・デバイス抜去装置、２
０・・・転送ケーブル。
、第２図はバーンイン中の本発明の一実施例のブロック
図、第３図は本発明の一実施例のメモリー利用法を示す
メモリーレイアウト図、第４図は本発明の一実施例のバ
ーンイン終了後の試験結果をモニターするための構成図
、第５図は従来のバーンイン装置の構成図である。 １・・・バーンインボード、２・・・メモリー、３・・
・デバイス用ソケット、４・・・メモリーへの入出力用
端子、５・−・デバイス条件入出力用端子、６・・・バ
ーンイン装置、７・・・チャンバー、１６・・・モニタ
ーボックス、１７・・・セグメントデイスプレィ、１８
・・・キースイッチ、１９・・・デバイス抜去装置、２
０・・・転送ケーブル。
Claims (1)
- 半導体デバイス測定用バーンインボードにおいて、バ
ーンインボードのチャンバーから外に出る部分に、チャ
ンバー内の半導体デバイスの測定情報を記憶するメモリ
ー素子と、メモリー素子への書き込み読み出しのための
入出力回路とを有することを特徴とする半導体デバイス
測定用バーンインボード。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12618990A JPH0420876A (ja) | 1990-05-16 | 1990-05-16 | 半導体デバイス測定用バーンインボード |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12618990A JPH0420876A (ja) | 1990-05-16 | 1990-05-16 | 半導体デバイス測定用バーンインボード |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0420876A true JPH0420876A (ja) | 1992-01-24 |
Family
ID=14928900
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12618990A Pending JPH0420876A (ja) | 1990-05-16 | 1990-05-16 | 半導体デバイス測定用バーンインボード |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0420876A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006058077A (ja) * | 2004-08-18 | 2006-03-02 | Sharp Corp | バーンイン装置およびバーンイン試験方法 |
-
1990
- 1990-05-16 JP JP12618990A patent/JPH0420876A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006058077A (ja) * | 2004-08-18 | 2006-03-02 | Sharp Corp | バーンイン装置およびバーンイン試験方法 |
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