JPH0467645A - バーンイン装置 - Google Patents

バーンイン装置

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Publication number
JPH0467645A
JPH0467645A JP18101390A JP18101390A JPH0467645A JP H0467645 A JPH0467645 A JP H0467645A JP 18101390 A JP18101390 A JP 18101390A JP 18101390 A JP18101390 A JP 18101390A JP H0467645 A JPH0467645 A JP H0467645A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
burn
board
test
result
semiconductor device
Prior art date
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Pending
Application number
JP18101390A
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English (en)
Inventor
Koji Nakayama
康治 中山
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NEC Kyushu Ltd
Original Assignee
NEC Kyushu Ltd
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Filing date
Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体装置用のバーンイン装置に関する。
〔従来の技術〕
従来、この種のバーンイン装置においては、バーンイン
のテスト結果は、バーンイン装置本体の記憶装置に記憶
され、バーンイン終了後バーンインボードより半導体装
置を取り出す装置へオンライン又はフロッピーにて伝達
される形となっていた。
〔発明が解決しようとする課題〕
上述した従来のバーンイン装置は、オンライン又はフロ
ッピーにてテスト結果を伝達しバーンインボードから半
導体装置を取り出すようになっているのでバーンインボ
ードの順序が入れ替るだけでテスト結果が完全に狂って
しまうという欠点がある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明のバーンイン装置は、テスト結果を書き込む電気
的書き込み可能な不揮発性半導体装置を内蔵し、被テス
ト用の半導体装置を搭載するバーンインボートと、前記
不揮発性半導体記憶装置へ情報を書き込む書込回路とを
有するというものである。
〔実施例〕
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は、本発明の一実施例の構成図である。
バーンインボード１は、被テスト用の半導体装置を複数
個搭載してバーンインテスト回路４から電気信号を供給
される。従来のバーンインボードとの相違点は、電気的
書き込み可能な不揮発性記憶袋Ｗ２を内蔵していること
である。この不揮発性記憶装置への書込回路５はバーン
イン装置本体に内蔵させる。
バーンインボード１はバーンインチャンバ３の中に設置
され、バーンインテスト回路４でテストが実行されその
テスト結果がバーンイン制御回路６の内部記憶装置に記
憶されている。テスト終了後、テスト結果は、バーンイ
ン制御回路６より書込回路５を通じてバーンインボード
上の不揮発性記憶装置１ｉ！２へ記憶される。
バーンインボード上の不揮発性記憶装置２は高温による
データ破壊防止の為、バーンインチャンバ外に配置しで
ある。
テスト結果としては、例えば不良（又は良）の半導体装
置の製造番号やバーンインボード上のアドレスなどを利
用すればよい。不揮発性記憶装置には、バーンインボー
ドの登録番号も記憶させることができ、テストプログラ
ムとバーンインボードとの対応を確認しバーンインボー
ドの使用ミスを防止できる。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明は、バーンインボード上に不
揮発性記憶装置を内蔵させ、バーンイン装置本体中に不
揮発性記憶装置ヘバーンイン中のテスト結果を書き込む
書込回路を装備することにより、被テスト用の半導体装
置とそのテスト結果との不一致を避けることができる効
果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例の構成図である。 １・・・バーンインボード、２・・・不揮発性記憶装置
、３・・・バーンインチャンバ、４・・・バーンインテ
スト回路、５・・・書込回路、６・・・バーンイン制御
回路。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 　テスト結果を書き込む電気的書き込み可能な不揮発性
    半導体装置を内蔵し、被テスト用の半導体装置を搭載す
    るバーンインボートと、前記不揮発性半導体記憶装置へ
    情報を書き込む書込回路とを有することを特徴とするバ
    ーンイン装置。
JP18101390A 1990-07-09 1990-07-09 バーンイン装置 Pending JPH0467645A (ja)

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JPH0467645A true JPH0467645A (ja) 1992-03-03

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100272712B1 (ko) * 1996-04-22 2000-12-01 가네꼬 히사시 간단한 검사용 배선을 갖고 짧은 시간에 검사될 수 있는 반도체 웨이퍼상의 반도체 장치
US8604022B2 (en) 2006-12-21 2013-12-10 Astrazeneca Ab N-[5-[2-(3,5-dimethoxyphenyl)ethyl]-1h-pyrazol-3-yl]-4-(3,4-dimethylpiperazin-1-yl)benzamide and salts thereof
US10420764B2 (en) 2012-12-21 2019-09-24 Astrazeneca Ab Pharmaceutical formulation of N-[5-[2-(3,5-dimethoxyphenyl)ethyl]-2H-pyrazol-3-YL]-4-[(3R,5S)-3 ,5-dimethylpiperazin-1-YL] benzamide

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