JPH04238687A - レーザ加工装置 - Google Patents
レーザ加工装置Info
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- JPH04238687A JPH04238687A JP3011576A JP1157691A JPH04238687A JP H04238687 A JPH04238687 A JP H04238687A JP 3011576 A JP3011576 A JP 3011576A JP 1157691 A JP1157691 A JP 1157691A JP H04238687 A JPH04238687 A JP H04238687A
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- Japan
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- laser
- laser beam
- processing
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- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 19
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、レ−ザ光を用いてＩＣ
パッケージ等の加工を行なうレーザ加工装置に関する。
パッケージ等の加工を行なうレーザ加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】この種のレーザ加工装置は、図５に示す
ように、レーザ光を発生するレーザ発振器５１と、レー
ザ光を成形するビーム成形光学系５２と、レーザ光の照
射方向を決定するガルバノメータ５３と、レーザ光を集
光するｆθレンズ５４と、レーザ光照射位置にアシスト
ガス５５を照射するアシストガスノズル５６と、アシス
トガスノズルを駆動するアシストガスノズル用駆動系５
７と、レーザ発振器５１、ガルバノメータ５３、及びア
シストガスノズル用駆動系５７を制御する制御部５８と
を有している。この様なレーザ加工装置で加工を行なう
場合。被加工品、例えばＩＣパッケージ５９に対し、レ
ーザ光の照射、照射中止、を繰り返して加工を行なう。 ここで、レーザ発振器の発振を行なったり停止させたり
すると加工面で得られるレーザ光が不安定となる。そこ
で、従来は、レーザ発振器を連続発振させたままで加工
を行なうために、図６に示すような全反射ミラー６１を
用いる。このミラー６１はモータやロータリーソレノイ
ド等の駆動装置６２に取り付けられている。そして、図
６（ａ）に示すようにレーザ光６３を遮断したり、図６
（ｂ）に示すように通過させたりするようになっている
。
ように、レーザ光を発生するレーザ発振器５１と、レー
ザ光を成形するビーム成形光学系５２と、レーザ光の照
射方向を決定するガルバノメータ５３と、レーザ光を集
光するｆθレンズ５４と、レーザ光照射位置にアシスト
ガス５５を照射するアシストガスノズル５６と、アシス
トガスノズルを駆動するアシストガスノズル用駆動系５
７と、レーザ発振器５１、ガルバノメータ５３、及びア
シストガスノズル用駆動系５７を制御する制御部５８と
を有している。この様なレーザ加工装置で加工を行なう
場合。被加工品、例えばＩＣパッケージ５９に対し、レ
ーザ光の照射、照射中止、を繰り返して加工を行なう。 ここで、レーザ発振器の発振を行なったり停止させたり
すると加工面で得られるレーザ光が不安定となる。そこ
で、従来は、レーザ発振器を連続発振させたままで加工
を行なうために、図６に示すような全反射ミラー６１を
用いる。このミラー６１はモータやロータリーソレノイ
ド等の駆動装置６２に取り付けられている。そして、図
６（ａ）に示すようにレーザ光６３を遮断したり、図６
（ｂ）に示すように通過させたりするようになっている
。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ようにモータ等の駆動装置を用いる方法では、駆動装置
の応答速度に限界があり、高速動作が出来ないという問
題点がある。本発明は高速動作の可能なレーザ加工装置
の提供を目的とする。
ようにモータ等の駆動装置を用いる方法では、駆動装置
の応答速度に限界があり、高速動作が出来ないという問
題点がある。本発明は高速動作の可能なレーザ加工装置
の提供を目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、レーザ
発振器と、該レーザ発振器からのレーザ光の照射方向を
制御するガルバノメータとを有するレーザ加工装置にお
いて、ガルバノメータによるレーザ光照射可能領域内に
レーザ光を遮断するためのレーザ光遮断手段を設け、加
工を中断するときは前記レーザ光遮断手段に前記レーザ
光を照射するようにしたことを特徴とするレーザ加工装
置が得られる。
発振器と、該レーザ発振器からのレーザ光の照射方向を
制御するガルバノメータとを有するレーザ加工装置にお
いて、ガルバノメータによるレーザ光照射可能領域内に
レーザ光を遮断するためのレーザ光遮断手段を設け、加
工を中断するときは前記レーザ光遮断手段に前記レーザ
光を照射するようにしたことを特徴とするレーザ加工装
置が得られる。
【０００５】
【実施例】以下に、図面を参照して本発明の実施例を説
明する。本発明のレーザ加工装置の全体的な構成は従来
と同様なのでその説明を省略する。図１に本発明の第１
の実施例のアシストガスノズルを示す。このアシストガ
スノズル１１は、レーザ光を通過させるレーザ光用穴１
２を有し、レーザ光用穴１２を挟んで対称な位置にレー
ザ光遮断用受板１３及び１４を有している。ここで、レ
ーザ光用受板１３及び１４はレーザ光に十分耐え得る材
質でなければならない。レーザ光は、ガルバノメータに
よってＡ、Ｂ、及びＣ方向に振ることが可能である。Ａ
方向にレーザ光を振るとレーザー光はレーザ光用穴１２
を通り被加工物の加工を行なうことができる。また、Ｂ
方向、Ｃ方向のいずれかに振ったときは加工を中断でき
る。また、レーザ光遮断用受板１３及び１４は、図２に
示すような位置に設けてもよい。本実施例によれば、光
の照射角度、即ちガルバノメータ内の鏡の角度を従来に
比べ、ほんの僅かに動かすだけで良いので高速動作が可
能となる。なお、図１、図２のアシストガスノズルにレ
ーザ光遮断用受板１３、１４を２つ設けたのは、図３（
ａ）及び（ｂ）に示すように、レーザ光遮断用受板１３
及び１４の一方が加工エリア３１よりはみだしてガルバ
ノメータによってレーザ光を振ることができなくなるか
らである。
明する。本発明のレーザ加工装置の全体的な構成は従来
と同様なのでその説明を省略する。図１に本発明の第１
の実施例のアシストガスノズルを示す。このアシストガ
スノズル１１は、レーザ光を通過させるレーザ光用穴１
２を有し、レーザ光用穴１２を挟んで対称な位置にレー
ザ光遮断用受板１３及び１４を有している。ここで、レ
ーザ光用受板１３及び１４はレーザ光に十分耐え得る材
質でなければならない。レーザ光は、ガルバノメータに
よってＡ、Ｂ、及びＣ方向に振ることが可能である。Ａ
方向にレーザ光を振るとレーザー光はレーザ光用穴１２
を通り被加工物の加工を行なうことができる。また、Ｂ
方向、Ｃ方向のいずれかに振ったときは加工を中断でき
る。また、レーザ光遮断用受板１３及び１４は、図２に
示すような位置に設けてもよい。本実施例によれば、光
の照射角度、即ちガルバノメータ内の鏡の角度を従来に
比べ、ほんの僅かに動かすだけで良いので高速動作が可
能となる。なお、図１、図２のアシストガスノズルにレ
ーザ光遮断用受板１３、１４を２つ設けたのは、図３（
ａ）及び（ｂ）に示すように、レーザ光遮断用受板１３
及び１４の一方が加工エリア３１よりはみだしてガルバ
ノメータによってレーザ光を振ることができなくなるか
らである。
【０００６】第２の実施例を図４に示す。本実施例はア
シストガスを使用しない、即ち、アシストガスノズルを
備えていないレザー加工装置に使用される。これは、被
加工物を支持する台上で、加工エリア４１の周囲でガル
バノメータによって、レーザ光を振ることができる範囲
内にレーザ光遮断用受板４２を設けたものである。
シストガスを使用しない、即ち、アシストガスノズルを
備えていないレザー加工装置に使用される。これは、被
加工物を支持する台上で、加工エリア４１の周囲でガル
バノメータによって、レーザ光を振ることができる範囲
内にレーザ光遮断用受板４２を設けたものである。
【０００７】
【発明の効果】本発明によれば、レーザ加工装置におい
て、ガルバノメータによってレーザ光を照射できる範囲
内に、レーザ光を遮断するレーザ光遮断手段を設け、加
工を中断するときにレーザ光をレーザ光遮断手段に照射
するようにしたことで、加工、加工中断、の切り替えが
高速で行なえる。
て、ガルバノメータによってレーザ光を照射できる範囲
内に、レーザ光を遮断するレーザ光遮断手段を設け、加
工を中断するときにレーザ光をレーザ光遮断手段に照射
するようにしたことで、加工、加工中断、の切り替えが
高速で行なえる。
【図１】本発明の第１の実施例のアシストガスノズルの
斜視図である。
斜視図である。
【図２】図１のアシストノズルの変形例の斜視図である
。
。
【図３】図１のアシストノズルの使用方法の説明図であ
る。
る。
【図４】本発明の第２の実施例の正面図である。
【図５】レーザ加工装置の構成図である。
【図６】従来のレーザ光遮断方法の説明図である。
１１ アシストガスノズル
１２ レーザ光用穴
１３ レーザ光遮断用受板
１４ レーザ光遮断用受板
３１ 加工エリア
４１ 加工エリア
４２ レーザ光遮断用受板
５１ レーザ発振器
５２ ビーム整形光学系
５３ ガルバノメータ
５４ ｆθレンズ
５５ アシストガス
５６ アシストガスノズル
５７ アシストガスノズル用駆動系５８
制御部 ６１ 全反射ミラー ６２ モータ ６３ レーザ光
制御部 ６１ 全反射ミラー ６２ モータ ６３ レーザ光
Claims (2)
- 【請求項１】 レーザ発振器と、該レーザ発振器から
のレーザ光の照射方向を制御するガルバノメータとを有
するレーザ加工装置において、ガルバノメータによるレ
ーザ光照射可能領域内にレーザ光を遮断するためのレー
ザ光遮断手段を設け、加工を中断するときは前記レーザ
光遮断手段に前記レーザ光を照射するようにしたことを
特徴とするレーザ加工装置。 - 【請求項２】 レーザ発振器と、該レーザ発振器から
のレーザ光の照射方向を制御するガルバノメータと、前
記レーザ光による加工を援助するアシストガスを照射す
るアシストガスノズルとを有するレーザ加工装置におい
て、前記アシストガスノズルのガルバノメータによるレ
ーザ光照射可能領域内にレーザ光を遮断するレーザ光遮
断手段を設け、加工を中断するときは前記レーザ光遮断
手段に前記レーザ光を照射するようにしたことを特徴と
するレーザ加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3011576A JP2716272B2 (ja) | 1991-01-08 | 1991-01-08 | レーザ加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3011576A JP2716272B2 (ja) | 1991-01-08 | 1991-01-08 | レーザ加工装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04238687A true JPH04238687A (ja) | 1992-08-26 |
| JP2716272B2 JP2716272B2 (ja) | 1998-02-18 |
Family
ID=11781743
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3011576A Expired - Fee Related JP2716272B2 (ja) | 1991-01-08 | 1991-01-08 | レーザ加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2716272B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013121818A1 (ja) * | 2012-02-14 | 2013-08-22 | 村田機械株式会社 | レーザ加工機 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6293359U (ja) * | 1985-11-29 | 1987-06-15 | ||
| JPH01148485A (ja) * | 1987-12-02 | 1989-06-09 | Tokyo Electron Ltd | 半導体製造装置 |
-
1991
- 1991-01-08 JP JP3011576A patent/JP2716272B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6293359U (ja) * | 1985-11-29 | 1987-06-15 | ||
| JPH01148485A (ja) * | 1987-12-02 | 1989-06-09 | Tokyo Electron Ltd | 半導体製造装置 |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013121818A1 (ja) * | 2012-02-14 | 2013-08-22 | 村田機械株式会社 | レーザ加工機 |
| CN104114316A (zh) * | 2012-02-14 | 2014-10-22 | 村田机械株式会社 | 激光加工机 |
| JPWO2013121818A1 (ja) * | 2012-02-14 | 2015-05-11 | 村田機械株式会社 | レーザ加工機 |
| US10005154B2 (en) | 2012-02-14 | 2018-06-26 | Murata Machinery, Ltd. | Laser processing machine |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2716272B2 (ja) | 1998-02-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19971007 |
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| S533 | Written request for registration of change of name |
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| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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