JPH04259902A - 磁気ディスク装置用コアスライダ及びその製造方法 - Google Patents
磁気ディスク装置用コアスライダ及びその製造方法Info
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- JPH04259902A JPH04259902A JP3042514A JP4251491A JPH04259902A JP H04259902 A JPH04259902 A JP H04259902A JP 3042514 A JP3042514 A JP 3042514A JP 4251491 A JP4251491 A JP 4251491A JP H04259902 A JPH04259902 A JP H04259902A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/10—Structure or manufacture of housings or shields for heads
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
- G11B5/1871—Shaping or contouring of the transducing or guiding surface
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B23/00—Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture
- G11B23/50—Reconditioning of record carriers; Cleaning of record carriers ; Carrying-off electrostatic charges
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【技術分野】本発明は、磁気ディスク装置用コアスライ
ダ及びその製造方法に係り、特に高密度記録のための狭
トラック化の要求に応え得る構造の、磁気ディスク装置
用コアスライダ並びにそのようなコアスライダを有利に
製造する方法に関するものである。
ダ及びその製造方法に係り、特に高密度記録のための狭
トラック化の要求に応え得る構造の、磁気ディスク装置
用コアスライダ並びにそのようなコアスライダを有利に
製造する方法に関するものである。
【０００２】
【背景技術】固定磁気ディスク装置に用いられる浮上型
磁気ヘッド用コアスライダのなかには、空気ベアリング
部を有するスライダ本体に記録／再生部を構成するコア
チップを一体的に組み付けてなる構造の、所謂コンポジ
ット型と称される形式のものや、バルク形状のコアを用
いた構造の、スライダ本体とコアとが一体構造とされた
、所謂モノリシック型と称される形式のものがある。
磁気ヘッド用コアスライダのなかには、空気ベアリング
部を有するスライダ本体に記録／再生部を構成するコア
チップを一体的に組み付けてなる構造の、所謂コンポジ
ット型と称される形式のものや、バルク形状のコアを用
いた構造の、スライダ本体とコアとが一体構造とされた
、所謂モノリシック型と称される形式のものがある。
【０００３】その中で、コンポジット型のコアスライダ
は、空気ベアリング部を有するスライダ本体と磁気ディ
スクに所定の情報を書込み或いはそれから読み出す記録
／再生部を構成するためのコアチップとを別々に作製し
、そしてそれらスライダ本体とコアチップとを一体的に
組み付けて、構成せしめられることとなる。例えば、図
１に示されるように、先ず、二つのフェライトブロック
２及び４を、公知の如く、それらの間にコイル巻線用溝
６や所定間隙の磁気ギャップ８が形成されるようにして
、突き合わせて、一体的に接合せしめることにより、ギ
ャップバー１０を作製し、そしてそれに摺動面研磨、底
面研磨、両側面研磨を施した後、チャンハー加工して、
面取り部（傾斜面）１２を設け、その後、そのようなギ
ャップバー１０に対して、図の破線の如き切断を行なう
ことにより、所定厚さのコアチップ１４を切り出し、更
に、このコアチップ１４に対してトラック加工を施して
、図２に示される如き、所定幅のトラック１６がコアチ
ップ１４に形成される。なお、１８は、従来と同様な、
磁気ギャップ８やアペックス部を補強乃至は保護するた
めの補強ガラスである。また、かかるトラック１６は、
機械加工によって形成されることとなるが、その基部の
磁気ギャップ８下端に至るまでの高さ：ｂが加工精度上
よりして２０〜３０μｍ以上必要であるところから、そ
の全高：ａは、一般に、４０〜５０μｍ或いはそれ以上
の高さとされることとなる。
は、空気ベアリング部を有するスライダ本体と磁気ディ
スクに所定の情報を書込み或いはそれから読み出す記録
／再生部を構成するためのコアチップとを別々に作製し
、そしてそれらスライダ本体とコアチップとを一体的に
組み付けて、構成せしめられることとなる。例えば、図
１に示されるように、先ず、二つのフェライトブロック
２及び４を、公知の如く、それらの間にコイル巻線用溝
６や所定間隙の磁気ギャップ８が形成されるようにして
、突き合わせて、一体的に接合せしめることにより、ギ
ャップバー１０を作製し、そしてそれに摺動面研磨、底
面研磨、両側面研磨を施した後、チャンハー加工して、
面取り部（傾斜面）１２を設け、その後、そのようなギ
ャップバー１０に対して、図の破線の如き切断を行なう
ことにより、所定厚さのコアチップ１４を切り出し、更
に、このコアチップ１４に対してトラック加工を施して
、図２に示される如き、所定幅のトラック１６がコアチ
ップ１４に形成される。なお、１８は、従来と同様な、
磁気ギャップ８やアペックス部を補強乃至は保護するた
めの補強ガラスである。また、かかるトラック１６は、
機械加工によって形成されることとなるが、その基部の
磁気ギャップ８下端に至るまでの高さ：ｂが加工精度上
よりして２０〜３０μｍ以上必要であるところから、そ
の全高：ａは、一般に、４０〜５０μｍ或いはそれ以上
の高さとされることとなる。
【０００４】一方、スライダ本体２０は、よく知られて
いるように、ＣａＴｉＯ３ 等の材料から構成されてお
り、図３に示される如く、そのディスク対向側（摺動側
）の面に互いに平行な所定高さの空気ベアリング部２２
，２２を有している一方、コアチップ挿入溝２４やコイ
ル巻線用の傾斜溝２６がそれぞれ設けられている。そし
て、このスライダ本体２０に対して、そのコアチップ挿
入溝２４内に、前記したコアチップ１４が挿入、配置せ
しめられ、適当なスペーサ２８にて位置決めされた状態
下において、固着剤としての棒状のガラス３０をセット
し、それを溶融せしめることによって、コアチップ１４
とコアチップ挿入溝２４との間の隙間を埋めることによ
り、コアチップ１４がスライダ本体２０に対して固定せ
しめられることとなるのである。なお、その後、かかる
スライダ本体２０に対しては、従来と同様に、リーディ
ングエッジのテーパ加工、トレーリングエッジのチャン
ハー加工、デプス研磨等が施されて、目的とする磁気デ
ィスク装置用コアスライダに仕上げられることとなる。
いるように、ＣａＴｉＯ３ 等の材料から構成されてお
り、図３に示される如く、そのディスク対向側（摺動側
）の面に互いに平行な所定高さの空気ベアリング部２２
，２２を有している一方、コアチップ挿入溝２４やコイ
ル巻線用の傾斜溝２６がそれぞれ設けられている。そし
て、このスライダ本体２０に対して、そのコアチップ挿
入溝２４内に、前記したコアチップ１４が挿入、配置せ
しめられ、適当なスペーサ２８にて位置決めされた状態
下において、固着剤としての棒状のガラス３０をセット
し、それを溶融せしめることによって、コアチップ１４
とコアチップ挿入溝２４との間の隙間を埋めることによ
り、コアチップ１４がスライダ本体２０に対して固定せ
しめられることとなるのである。なお、その後、かかる
スライダ本体２０に対しては、従来と同様に、リーディ
ングエッジのテーパ加工、トレーリングエッジのチャン
ハー加工、デプス研磨等が施されて、目的とする磁気デ
ィスク装置用コアスライダに仕上げられることとなる。
【０００５】このように、従来のコンポジット型のコア
スライダにあっては、コアチップ１４が両側面研磨され
た後、トラック加工が実施され、それによって、図２に
示される如く、コイル巻線用溝６内に深く達する高さ（
ａ）の高いトラック１６が形成されることとなり、この
ためトラック１６は、最終デプス研磨後においても、ギ
ャップデプス方向に３０〜４０μｍ或いはそれ以上の高
さ（ａ）となることとなる。しかしながら、近年におけ
る高密度記録化の要請に応えるべく、かかるコアチップ
１４の狭トラック化を図った場合において、例えばその
トラック１６の幅を１０μｍ或いはそれ以下とした場合
にあっては、そのような狭幅のトラック１６を形成する
ためのステップ加工時に、トラック１６が欠け易い問題
を惹起することとなることは勿論、そのような狭幅のト
ラック１６が、コイル巻線用溝６内に深く達する構造と
なるところから、その狭幅部分における寸法上の磁気抵
抗が大きくなる問題があり、更にそのトラック１６の両
側にモールドされるガラス（３０）によって惹起される
歪みの影響がより顕著となって、磁気抵抗の増大、ひい
てはヘッド再生出力の低下等を招くという問題を惹起し
ている。
スライダにあっては、コアチップ１４が両側面研磨され
た後、トラック加工が実施され、それによって、図２に
示される如く、コイル巻線用溝６内に深く達する高さ（
ａ）の高いトラック１６が形成されることとなり、この
ためトラック１６は、最終デプス研磨後においても、ギ
ャップデプス方向に３０〜４０μｍ或いはそれ以上の高
さ（ａ）となることとなる。しかしながら、近年におけ
る高密度記録化の要請に応えるべく、かかるコアチップ
１４の狭トラック化を図った場合において、例えばその
トラック１６の幅を１０μｍ或いはそれ以下とした場合
にあっては、そのような狭幅のトラック１６を形成する
ためのステップ加工時に、トラック１６が欠け易い問題
を惹起することとなることは勿論、そのような狭幅のト
ラック１６が、コイル巻線用溝６内に深く達する構造と
なるところから、その狭幅部分における寸法上の磁気抵
抗が大きくなる問題があり、更にそのトラック１６の両
側にモールドされるガラス（３０）によって惹起される
歪みの影響がより顕著となって、磁気抵抗の増大、ひい
てはヘッド再生出力の低下等を招くという問題を惹起し
ている。
【０００６】一方、モノリシック型のコアスライダは、
一般に、二つのコアブロック（フェライトブロック）を
それらの間にコイル巻線用溝や磁気ギャップが形成され
るようにして突き合わせ、一体的に接合せしめて、それ
らフェライトブロックにて磁気ヘッドのための閉磁路が
構成されるようにしたものから、スライダ本体や磁気ヘ
ッド用コアを与えるヨーク部を切り出すことによって、
作製されることとなるが、その中でも、例えば特開平２
−８７３１４号公報等に示されるセンターレールタイプ
（３レールタイプ）と称されるものにあっては、左右の
空気ベアリング部の間にトラックを形成し、そのトラッ
クの延長上に磁気ヘッド用コアを与えるヨーク部が一体
的に形成されており、従来から広く採用されているが、
そのような構造のものにあっては、益々強くなる高記録
密度の要求に応えるべく、例えばトラック幅を１０μｍ
或いはそれ以下とすると、トレーリングエッジのチャン
ハー部がディスクとの摺動により欠け易いという問題を
生じる。
一般に、二つのコアブロック（フェライトブロック）を
それらの間にコイル巻線用溝や磁気ギャップが形成され
るようにして突き合わせ、一体的に接合せしめて、それ
らフェライトブロックにて磁気ヘッドのための閉磁路が
構成されるようにしたものから、スライダ本体や磁気ヘ
ッド用コアを与えるヨーク部を切り出すことによって、
作製されることとなるが、その中でも、例えば特開平２
−８７３１４号公報等に示されるセンターレールタイプ
（３レールタイプ）と称されるものにあっては、左右の
空気ベアリング部の間にトラックを形成し、そのトラッ
クの延長上に磁気ヘッド用コアを与えるヨーク部が一体
的に形成されており、従来から広く採用されているが、
そのような構造のものにあっては、益々強くなる高記録
密度の要求に応えるべく、例えばトラック幅を１０μｍ
或いはそれ以下とすると、トレーリングエッジのチャン
ハー部がディスクとの摺動により欠け易いという問題を
生じる。
【０００７】また、磁気ディスクの記録有効面積を増や
す目的より、上記の如きセンターレールタイプのものか
ら、２レールタイプのモノリシック型コアスライダにシ
フトする傾向が強く、例えば特開平１−６９９４７号公
報等において、本願出願人もその一例を提案しているが
、そのような形状のものにあっては、前記したコンポジ
ット型コアスライダ用コアチップ１４と同様に、トラッ
クに相当する部分の長さがギャップデプス方向に４０〜
５０μｍ或いはそれ以上となるところから、砥石加工の
如き機械加工に際して、狭幅のトラック部に欠けが惹起
され易く、以て加工歩留り上の問題を惹起することに加
えて、またその部分の磁気抵抗が大きく、更にトラック
両側部のモールドガラスによる歪みの影響が大きく、ヘ
ッド特性、例えば再生出力の低下を招く等という問題を
惹起している。
す目的より、上記の如きセンターレールタイプのものか
ら、２レールタイプのモノリシック型コアスライダにシ
フトする傾向が強く、例えば特開平１−６９９４７号公
報等において、本願出願人もその一例を提案しているが
、そのような形状のものにあっては、前記したコンポジ
ット型コアスライダ用コアチップ１４と同様に、トラッ
クに相当する部分の長さがギャップデプス方向に４０〜
５０μｍ或いはそれ以上となるところから、砥石加工の
如き機械加工に際して、狭幅のトラック部に欠けが惹起
され易く、以て加工歩留り上の問題を惹起することに加
えて、またその部分の磁気抵抗が大きく、更にトラック
両側部のモールドガラスによる歪みの影響が大きく、ヘ
ッド特性、例えば再生出力の低下を招く等という問題を
惹起している。
【０００８】
【解決課題】ここにおいて、本発明は、かかる事情を背
景にして為されたものであって、その課題とするところ
は、先に述べた従来のコアスライダの作製に際して発生
するトラック部の欠けの問題を解消し、加工歩留り上の
問題を解決しつつ、そのようなコアスライダのヘッド特
性上の問題を解消して、狭トラック化における磁気抵抗
の増大を防止し、ヘッド再生出力等の特性向上を図るこ
とにある。
景にして為されたものであって、その課題とするところ
は、先に述べた従来のコアスライダの作製に際して発生
するトラック部の欠けの問題を解消し、加工歩留り上の
問題を解決しつつ、そのようなコアスライダのヘッド特
性上の問題を解消して、狭トラック化における磁気抵抗
の増大を防止し、ヘッド再生出力等の特性向上を図るこ
とにある。
【０００９】
【解決手段】そして、本発明は、かかる課題解決のため
に、スライダ本体のディスク摺動側の面に、互いに平行
な所定高さの空気ベアリング部を左右に設ける一方、そ
れら空気ベアリング部が延びる方向における前記スライ
ダ本体の一方の側部に、該空気ベアリング部と同様な高
さにおいて磁気ギャップを有する磁気ヘッド用コアを配
してなる磁気ディスク装置用コアスライダにおいて、前
記磁気ヘッド用コアのディスク摺動側の面に、該磁気ギ
ャップを跨ぐようにして、目的とするトラック幅よりも
大きな幅の一次トラックを与える一次トラック幅規定溝
を、該磁気ギャップのギャップデプスよりも充分な深さ
において設けると共に、該磁気ギャップを跨いで、その
近傍に、該一次トラックよりも長さが短く且つ幅の狭い
、目的とするトラック幅に一致する二次トラックを与え
る二次トラック幅規定溝を、該一次トラック幅規定溝の
深さよりは浅いが、少なくとも前記ギャップデプスより
も深い深さにおいて設けたことを特徴とする磁気ディス
ク装置用コアスライダを、その要旨とするものである。
に、スライダ本体のディスク摺動側の面に、互いに平行
な所定高さの空気ベアリング部を左右に設ける一方、そ
れら空気ベアリング部が延びる方向における前記スライ
ダ本体の一方の側部に、該空気ベアリング部と同様な高
さにおいて磁気ギャップを有する磁気ヘッド用コアを配
してなる磁気ディスク装置用コアスライダにおいて、前
記磁気ヘッド用コアのディスク摺動側の面に、該磁気ギ
ャップを跨ぐようにして、目的とするトラック幅よりも
大きな幅の一次トラックを与える一次トラック幅規定溝
を、該磁気ギャップのギャップデプスよりも充分な深さ
において設けると共に、該磁気ギャップを跨いで、その
近傍に、該一次トラックよりも長さが短く且つ幅の狭い
、目的とするトラック幅に一致する二次トラックを与え
る二次トラック幅規定溝を、該一次トラック幅規定溝の
深さよりは浅いが、少なくとも前記ギャップデプスより
も深い深さにおいて設けたことを特徴とする磁気ディス
ク装置用コアスライダを、その要旨とするものである。
【００１０】なお、このような磁気ディスク装置用コア
スライダとしては、スライダ本体と磁気ヘッド用コアと
がそれぞれ別個に作製され、該スライダ本体に対して該
磁気ヘッド用コアが適当な固着剤により固定せしめられ
てなる、所謂コンポジット型のものや、スライダ本体と
磁気ヘッド用コアとが一体に構成されてなる、所謂モノ
リシック型のものがあり、またそのようなコアスライダ
には、磁気ディスクとの摺動中に、その二次トラック幅
規定溝内に溜り易い塵が容易に排除され得るように、磁
気ギャップよりもスライダ端部側に位置する少なくとも
一次トラック部分の一部が、より好ましくはスライダ端
部に至るまで、二次トラックよりも低い高さとなるよう
に構成される。
スライダとしては、スライダ本体と磁気ヘッド用コアと
がそれぞれ別個に作製され、該スライダ本体に対して該
磁気ヘッド用コアが適当な固着剤により固定せしめられ
てなる、所謂コンポジット型のものや、スライダ本体と
磁気ヘッド用コアとが一体に構成されてなる、所謂モノ
リシック型のものがあり、またそのようなコアスライダ
には、磁気ディスクとの摺動中に、その二次トラック幅
規定溝内に溜り易い塵が容易に排除され得るように、磁
気ギャップよりもスライダ端部側に位置する少なくとも
一次トラック部分の一部が、より好ましくはスライダ端
部に至るまで、二次トラックよりも低い高さとなるよう
に構成される。
【００１１】また、本発明は、上記の如く、スライダ本
体のディスク摺動側の面に、互いに平行な所定高さの空
気ベアリング部を左右に設ける一方、それら空気ベアリ
ング部が延びる方向における前記スライダ本体の一方の
側部に、該空気ベアリング部と同様な高さにおいて磁気
ギャップを有する磁気ヘッド用コアを配してなる磁気デ
ィスク装置用コアスライダを製造する方法において、（
ａ）目的とするトラック幅よりも大きな幅の一次トラッ
クを与えるように、前記磁気ギャップを跨いで、該磁気
ギャップのギャップデプスよりも充分な深さにおいて形
成された一次トラック幅規定溝を有すると共に、該一次
トラック幅規定溝内にガラスが充填せしめられてなる、
前記磁気ヘッド用コアを構成するコアチップを準備する
工程と、（ｂ）前記空気ベアリング部が延びる方向にお
ける一方の側部にコアチップ挿入溝を設けた前記スライ
ダ本体若しくはそれを与えるスライダ本体基板を準備す
る工程と、（ｃ）該スライダ本体または該スライダ本体
基板のコアチップ挿入溝内に、前記コアチップを挿入、
配置して、ガラスにて固定せしめる工程と、（ｄ）前記
磁気ギャップを跨いで、その近傍に位置するように、前
記一次トラックよりも長さが短く且つ幅の狭い、目的と
するトラック幅に一致する二次トラックを与える二次ト
ラック幅規定溝を、エッチング操作にて、前記一次トラ
ック幅規定溝の深さよりは浅いが、少なくとも前記ギャ
ップデプスよりも深い深さにおいて形成する工程とを、
含むことを特徴とする磁気ディスク装置用コアスライダ
の製造方法をも、その要旨とするものである。
体のディスク摺動側の面に、互いに平行な所定高さの空
気ベアリング部を左右に設ける一方、それら空気ベアリ
ング部が延びる方向における前記スライダ本体の一方の
側部に、該空気ベアリング部と同様な高さにおいて磁気
ギャップを有する磁気ヘッド用コアを配してなる磁気デ
ィスク装置用コアスライダを製造する方法において、（
ａ）目的とするトラック幅よりも大きな幅の一次トラッ
クを与えるように、前記磁気ギャップを跨いで、該磁気
ギャップのギャップデプスよりも充分な深さにおいて形
成された一次トラック幅規定溝を有すると共に、該一次
トラック幅規定溝内にガラスが充填せしめられてなる、
前記磁気ヘッド用コアを構成するコアチップを準備する
工程と、（ｂ）前記空気ベアリング部が延びる方向にお
ける一方の側部にコアチップ挿入溝を設けた前記スライ
ダ本体若しくはそれを与えるスライダ本体基板を準備す
る工程と、（ｃ）該スライダ本体または該スライダ本体
基板のコアチップ挿入溝内に、前記コアチップを挿入、
配置して、ガラスにて固定せしめる工程と、（ｄ）前記
磁気ギャップを跨いで、その近傍に位置するように、前
記一次トラックよりも長さが短く且つ幅の狭い、目的と
するトラック幅に一致する二次トラックを与える二次ト
ラック幅規定溝を、エッチング操作にて、前記一次トラ
ック幅規定溝の深さよりは浅いが、少なくとも前記ギャ
ップデプスよりも深い深さにおいて形成する工程とを、
含むことを特徴とする磁気ディスク装置用コアスライダ
の製造方法をも、その要旨とするものである。
【００１２】さらに、本発明は、スライダ本体のディス
ク摺動側の面に、互いに平行な所定高さの空気ベアリン
グ部を左右に設ける一方、それら空気ベアリング部が延
びる方向における前記スライダ本体の一方の側部に、該
空気ベアリング部と同様な高さにおいて磁気ギャップを
有する磁気ヘッド用コアを配してなる磁気ディスク装置
用コアスライダを製造する方法において、（ａ）前記コ
アスライダを与える二つのブロックを、それらの間にコ
イル巻線用溝が位置するようにして突き合わせて一体的
に接合せしめ、それらブロックにて磁気ヘッドのための
閉磁路を構成すると共に、それらブロックの突き合わせ
部位に前記磁気ギャップを形成してなるギャップバーを
準備する工程と、（ｂ）該ギャップバーの空気ベアリン
グ部形成側の面に対して、目的とするトラック幅よりも
大きな幅の一次トラックを形成するように、前記磁気ギ
ャップを跨いで、該磁気ギャップのギャップデプスより
も充分な深さにおいて、一次トラック幅規定溝を形成す
ると共に、該一次トラック幅規定溝内にガラスを充填せ
しめる工程と、（ｃ）該ギャップバーの空気ベアリング
部形成側の面に対して、前記スライダ本体における少な
くとも一組の空気ベアリング部を与え得るように、互い
に平行な所定高さの空気ベアリング部の複数を形成する
工程と、（ｄ）前記磁気ギャップを跨いで、その近傍に
位置するように、前記一次トラックよりも長さが短く且
つ幅の狭い、目的とするトラック幅に一致する二次トラ
ックを与える二次トラック幅規定溝を、エッチング操作
にて、前記一次トラック幅規定溝の深さよりは浅いが、
少なくとも前記ギャップデプスよりも深い深さにおいて
形成する工程と、（ｅ）該二次トラック幅規定溝の形成
されたギャップバーより、前記互いに平行な空気ベアリ
ング部を左右に有するスライダ本体と、前記一次トラッ
ク及び二次トラックを含んで構成される前記磁気ヘッド
用コアを与えるヨーク部とからなる形状のコアスライダ
を切り出す工程とを、含むことを特徴とする磁気ディス
ク装置用コアスライダの製造方法をも、その要旨とする
ものである。
ク摺動側の面に、互いに平行な所定高さの空気ベアリン
グ部を左右に設ける一方、それら空気ベアリング部が延
びる方向における前記スライダ本体の一方の側部に、該
空気ベアリング部と同様な高さにおいて磁気ギャップを
有する磁気ヘッド用コアを配してなる磁気ディスク装置
用コアスライダを製造する方法において、（ａ）前記コ
アスライダを与える二つのブロックを、それらの間にコ
イル巻線用溝が位置するようにして突き合わせて一体的
に接合せしめ、それらブロックにて磁気ヘッドのための
閉磁路を構成すると共に、それらブロックの突き合わせ
部位に前記磁気ギャップを形成してなるギャップバーを
準備する工程と、（ｂ）該ギャップバーの空気ベアリン
グ部形成側の面に対して、目的とするトラック幅よりも
大きな幅の一次トラックを形成するように、前記磁気ギ
ャップを跨いで、該磁気ギャップのギャップデプスより
も充分な深さにおいて、一次トラック幅規定溝を形成す
ると共に、該一次トラック幅規定溝内にガラスを充填せ
しめる工程と、（ｃ）該ギャップバーの空気ベアリング
部形成側の面に対して、前記スライダ本体における少な
くとも一組の空気ベアリング部を与え得るように、互い
に平行な所定高さの空気ベアリング部の複数を形成する
工程と、（ｄ）前記磁気ギャップを跨いで、その近傍に
位置するように、前記一次トラックよりも長さが短く且
つ幅の狭い、目的とするトラック幅に一致する二次トラ
ックを与える二次トラック幅規定溝を、エッチング操作
にて、前記一次トラック幅規定溝の深さよりは浅いが、
少なくとも前記ギャップデプスよりも深い深さにおいて
形成する工程と、（ｅ）該二次トラック幅規定溝の形成
されたギャップバーより、前記互いに平行な空気ベアリ
ング部を左右に有するスライダ本体と、前記一次トラッ
ク及び二次トラックを含んで構成される前記磁気ヘッド
用コアを与えるヨーク部とからなる形状のコアスライダ
を切り出す工程とを、含むことを特徴とする磁気ディス
ク装置用コアスライダの製造方法をも、その要旨とする
ものである。
【００１３】なお、これらの磁気ディスク装置用コアス
ライダの製造方法においては、有利には、コアチップ若
しくはヨーク部の、磁気ギャップよりもスライダ端部側
に位置する少なくとも一次トラック部分の一部が、より
好ましくはスライダ端部に至るまで、エッチング操作に
より、二次トラックよりも低い高さとされる工程が、更
に追加され、これによって、ディスクとの摺動時に二次
トラック幅規定溝内に溜り易い塵の排除がより容易とな
るようにされるのである。
ライダの製造方法においては、有利には、コアチップ若
しくはヨーク部の、磁気ギャップよりもスライダ端部側
に位置する少なくとも一次トラック部分の一部が、より
好ましくはスライダ端部に至るまで、エッチング操作に
より、二次トラックよりも低い高さとされる工程が、更
に追加され、これによって、ディスクとの摺動時に二次
トラック幅規定溝内に溜り易い塵の排除がより容易とな
るようにされるのである。
【００１４】
【具体的構成・実施例】以下、図面に示す本発明の実施
例に基づいて、本発明の構成について、更に具体的に明
らかにすることとする。
例に基づいて、本発明の構成について、更に具体的に明
らかにすることとする。
【００１５】先ず、図４及び図５は、本発明に従うコン
ポジット型のコアスライダを製造する工程の一例を示し
ており、そこにおいて、図４は、そのようなコンポジッ
ト型コアスライダに用いられるコアチップの製造工程を
明らかにしている。そして、かかる図４において、ギャ
ップバー３２は、従来と同様にして作製され、例えばフ
ェライト等の公知のコア材料からなるコア・バーの二つ
３４，３６を用い、それらコア・バーの少なくとも一方
のコイル巻線用溝３８を設けて、それらを突き合わせ、
公知の方法に従って接合せしめることにより、磁気ヘッ
ド用コアを与える環状の閉磁路を形成せしめてなるもの
であり、またそれらコア・バー３４及び３６の一方の突
き合わせ部には、かかる閉磁路を横切るように、所定間
隙の磁気ギャップ４０が従来と同様にして形成されてい
る。なお、４２は、アペックス部（磁気ギャップ４０に
繋がるコイル巻線用溝３８の上部部分）を補強するため
の補強ガラス４２であって、この補強ガラスは、磁気ギ
ャップ４０の間隙内にも侵入して、かかる磁気ギャップ
４０を保護している。また、コア・バー３４，３６が、
従来と同様にガラス接合せしめられ、その接合ガラスに
６００〜６５０℃程度の軟化温度のものが用いられる場
合においては、補強ガラス４２としては、軟化温度が４
５０〜５００℃程度のガラスが用いられることとなる。
ポジット型のコアスライダを製造する工程の一例を示し
ており、そこにおいて、図４は、そのようなコンポジッ
ト型コアスライダに用いられるコアチップの製造工程を
明らかにしている。そして、かかる図４において、ギャ
ップバー３２は、従来と同様にして作製され、例えばフ
ェライト等の公知のコア材料からなるコア・バーの二つ
３４，３６を用い、それらコア・バーの少なくとも一方
のコイル巻線用溝３８を設けて、それらを突き合わせ、
公知の方法に従って接合せしめることにより、磁気ヘッ
ド用コアを与える環状の閉磁路を形成せしめてなるもの
であり、またそれらコア・バー３４及び３６の一方の突
き合わせ部には、かかる閉磁路を横切るように、所定間
隙の磁気ギャップ４０が従来と同様にして形成されてい
る。なお、４２は、アペックス部（磁気ギャップ４０に
繋がるコイル巻線用溝３８の上部部分）を補強するため
の補強ガラス４２であって、この補強ガラスは、磁気ギ
ャップ４０の間隙内にも侵入して、かかる磁気ギャップ
４０を保護している。また、コア・バー３４，３６が、
従来と同様にガラス接合せしめられ、その接合ガラスに
６００〜６５０℃程度の軟化温度のものが用いられる場
合においては、補強ガラス４２としては、軟化温度が４
５０〜５００℃程度のガラスが用いられることとなる。
【００１６】次いで、かかるギャップバー３２には、チ
ャンハー加工が施され、そしてその磁気ギャップ４０の
位置するディスク摺動側の面に、一次トラック加工及び
トラックガラスモールドが実施される。この一次トラッ
ク加工は、例えば砥石を用いて、磁気ギャップ４０を跨
ぐように、目的とするトラック幅よりも大きな（例えば
、２０〜５０μｍ程度大きな）幅の一次トラック４４を
与える一次トラック幅規定溝４６を、磁気ギャップ４０
のギャップデプス（ディスク摺動面からコイル巻線用溝
３８に至る深さ）よりも充分な深さにおいて、所定間隔
で形成することにより、実施される。そして、この形成
された一次トラック幅規定溝４６内に、従来と同様にし
て、トラック４４保護用のガラス４８が溶融充填せしめ
られるのである。なお、このガラス４８には、前記補強
ガラス４２と同じか、またはそれ以下の軟化温度のもの
が用いられ、例えば５５０〜６００℃程度の温度で埋め
込まれる。
ャンハー加工が施され、そしてその磁気ギャップ４０の
位置するディスク摺動側の面に、一次トラック加工及び
トラックガラスモールドが実施される。この一次トラッ
ク加工は、例えば砥石を用いて、磁気ギャップ４０を跨
ぐように、目的とするトラック幅よりも大きな（例えば
、２０〜５０μｍ程度大きな）幅の一次トラック４４を
与える一次トラック幅規定溝４６を、磁気ギャップ４０
のギャップデプス（ディスク摺動面からコイル巻線用溝
３８に至る深さ）よりも充分な深さにおいて、所定間隔
で形成することにより、実施される。そして、この形成
された一次トラック幅規定溝４６内に、従来と同様にし
て、トラック４４保護用のガラス４８が溶融充填せしめ
られるのである。なお、このガラス４８には、前記補強
ガラス４２と同じか、またはそれ以下の軟化温度のもの
が用いられ、例えば５５０〜６００℃程度の温度で埋め
込まれる。
【００１７】また、このようにして、トラックガラスモ
ールドが行なわれたギャップバー３２に対して、そのデ
ィスク摺動側の面の研磨や底面研磨が施され、更に必要
に応じて両側面研磨が施された後、かかるギャップバー
３２を、その一次トラック幅規定溝４６部分において、
図において破線で示されるように、一次トラック４４の
延びる方向にチップスライスすることにより、所定厚さ
のコアチップ５０が形成されるのである。
ールドが行なわれたギャップバー３２に対して、そのデ
ィスク摺動側の面の研磨や底面研磨が施され、更に必要
に応じて両側面研磨が施された後、かかるギャップバー
３２を、その一次トラック幅規定溝４６部分において、
図において破線で示されるように、一次トラック４４の
延びる方向にチップスライスすることにより、所定厚さ
のコアチップ５０が形成されるのである。
【００１８】一方、スライダ本体５２は、例えば図５に
示されるように、そのディスク摺動側の面に、互いに平
行な所定高さの空気ベアリング部５４，５４を所定幅に
おいて左右に有しており、従来と同様に、ＣａＴｉＯ３
等の非磁性材料を用いて形成されている。なお、この
スライダ本体５２の一方の空気ベアリング部５４の一方
の端部側には、コアチップ５０の厚さよりも僅かに（１
０〜１５μｍ程度）大きい幅のコアチップ挿入溝５６が
切り込まれて形成されており、またそのようなコアチッ
プ挿入溝５６を横切って、コイル巻線用溝となる傾斜溝
５８が、スライダ本体５２の一方の角部から切り込まれ
ている。
示されるように、そのディスク摺動側の面に、互いに平
行な所定高さの空気ベアリング部５４，５４を所定幅に
おいて左右に有しており、従来と同様に、ＣａＴｉＯ３
等の非磁性材料を用いて形成されている。なお、この
スライダ本体５２の一方の空気ベアリング部５４の一方
の端部側には、コアチップ５０の厚さよりも僅かに（１
０〜１５μｍ程度）大きい幅のコアチップ挿入溝５６が
切り込まれて形成されており、またそのようなコアチッ
プ挿入溝５６を横切って、コイル巻線用溝となる傾斜溝
５８が、スライダ本体５２の一方の角部から切り込まれ
ている。
【００１９】そして、このような形状のスライダ本体５
２に対して、そのコアチップ挿入溝５６内に、前記した
如き構造のコアチップ５０が挿入、配置せしめられ、そ
してスライダ本体５２の底面とコアチップ５０のそれと
を高さを合わせるようにセットせしめた後、温度を５５
０〜６００℃程度に上げることによって、トラックガラ
ス４８を軟化、溶融せしめて、コアチップ５０をスライ
ダ本体５２に固定せしめるのである。なお、必要に応じ
て、コアチップ５０のバック部とスライダ本体５２のコ
アチップ挿入溝５６との隙間に、エポキシ樹脂等の適当
な接着剤を流し込み、更に強固な固定が図られ得る。ま
た、このように、コアチップ５０が固定せしめられたス
ライダ本体５２に対しては、従来と同様なトレーリング
エッジ加工やチャンハー加工が施され、更にデプス研磨
、リーディングテーパ加工が施されることとなる。
２に対して、そのコアチップ挿入溝５６内に、前記した
如き構造のコアチップ５０が挿入、配置せしめられ、そ
してスライダ本体５２の底面とコアチップ５０のそれと
を高さを合わせるようにセットせしめた後、温度を５５
０〜６００℃程度に上げることによって、トラックガラ
ス４８を軟化、溶融せしめて、コアチップ５０をスライ
ダ本体５２に固定せしめるのである。なお、必要に応じ
て、コアチップ５０のバック部とスライダ本体５２のコ
アチップ挿入溝５６との隙間に、エポキシ樹脂等の適当
な接着剤を流し込み、更に強固な固定が図られ得る。ま
た、このように、コアチップ５０が固定せしめられたス
ライダ本体５２に対しては、従来と同様なトレーリング
エッジ加工やチャンハー加工が施され、更にデプス研磨
、リーディングテーパ加工が施されることとなる。
【００２０】次いで、このようにして得られたコアチッ
プ５０とスライダ本体５２との組付体、換言すればコア
スライダには、その一次トラック４４の磁気ギャップ４
０近傍部分に対して、二次トラック加工が、レーザ誘起
エッチングや化学エッチング等のエッチング手法によっ
て施され、これにより、かかる磁気ギャップ４０を跨い
で、その近傍に、一次トラック４４よりも長さが短く且
つ幅の狭い、目的とするトラック幅に一致する二次トラ
ック６０を与える二次トラック幅規定溝６２，６２が形
成される。この二次トラック幅規定溝６２は、一次トラ
ック幅規定溝４６の深さよりは浅いが、少なくともギャ
ップデプスよりも深く、アペックス部（コイル巻線用溝
３８）に達する深さにおいて形成されることとなる。な
お、このエッチング操作は、公知の手法によって実施さ
れ、例えばＫＯＨ等の適当なエッチング液中にてレーザ
誘起エッチングを行なう等の手法が採用され、これによ
り、図６に示される如き１０μｍ或いはそれ以下の幅の
二次トラック６０が、左右の二次トラック幅規定溝６２
，６２によって形成されるのである。
プ５０とスライダ本体５２との組付体、換言すればコア
スライダには、その一次トラック４４の磁気ギャップ４
０近傍部分に対して、二次トラック加工が、レーザ誘起
エッチングや化学エッチング等のエッチング手法によっ
て施され、これにより、かかる磁気ギャップ４０を跨い
で、その近傍に、一次トラック４４よりも長さが短く且
つ幅の狭い、目的とするトラック幅に一致する二次トラ
ック６０を与える二次トラック幅規定溝６２，６２が形
成される。この二次トラック幅規定溝６２は、一次トラ
ック幅規定溝４６の深さよりは浅いが、少なくともギャ
ップデプスよりも深く、アペックス部（コイル巻線用溝
３８）に達する深さにおいて形成されることとなる。な
お、このエッチング操作は、公知の手法によって実施さ
れ、例えばＫＯＨ等の適当なエッチング液中にてレーザ
誘起エッチングを行なう等の手法が採用され、これによ
り、図６に示される如き１０μｍ或いはそれ以下の幅の
二次トラック６０が、左右の二次トラック幅規定溝６２
，６２によって形成されるのである。
【００２１】このようにして、図６に示される如き一次
トラック４４の磁気ギャップ４０の近傍に、目的とする
トラック幅の二次トラック６０が形成された磁気ヘッド
用コア（コアチップ５０）を備えた磁気ディスク装置用
コアスライダが完成されることとなるのであるが、その
ような構造のコアスライダにあっては、近年の高密度記
録の要請に応えるべく、狭トラック化を図る場合におい
て、かかる二次トラック６０のトラック幅のみを狭トラ
ック化すれば足り、従来の如く、狭幅のトラックを長く
、また深く設ける必要がないところから、トラック加工
に際してチッピングが生じ、加工歩留りが低下する等の
問題が効果的に解消され得ると共に、磁気抵抗の増大が
有利に抑制され、またトラックサイドガラスによる歪み
の影響も効果的に回避され得て、ヘッド再生出力が低下
する等の問題が悉く解消され得ることとなったのである
。
トラック４４の磁気ギャップ４０の近傍に、目的とする
トラック幅の二次トラック６０が形成された磁気ヘッド
用コア（コアチップ５０）を備えた磁気ディスク装置用
コアスライダが完成されることとなるのであるが、その
ような構造のコアスライダにあっては、近年の高密度記
録の要請に応えるべく、狭トラック化を図る場合におい
て、かかる二次トラック６０のトラック幅のみを狭トラ
ック化すれば足り、従来の如く、狭幅のトラックを長く
、また深く設ける必要がないところから、トラック加工
に際してチッピングが生じ、加工歩留りが低下する等の
問題が効果的に解消され得ると共に、磁気抵抗の増大が
有利に抑制され、またトラックサイドガラスによる歪み
の影響も効果的に回避され得て、ヘッド再生出力が低下
する等の問題が悉く解消され得ることとなったのである
。
【００２２】なお、このような構造のコアスライダにあ
っては、二次トラック幅規定溝６２が空所となるところ
から、ディスクとの摺動時に、そのような空所内に塵が
溜り易く、このため、かかる二次トラック幅規定溝６２
が形成された後に或いはその形成に先立って、適当なエ
ッチング操作により、磁気ギャップ４０よりもスライダ
端部側（トレーリング側）に位置する少なくとも一次ト
ラック４４部分の一部が望ましくはスライダ端部に至る
まで二次トラック６０よりも低い高さとされる。例えば
、フォトリソグラフィとリン酸水溶液中の化学エッチン
グ手法を適用して、磁気ギャップ４０よりも１０μｍ以
上離れた一次トラック４４のトレーリング部６６を２μ
ｍ以上の深さでエッチングすることにより、先に形成さ
れた二次トラック幅規定溝６２に溜り易い塵を外部に有
利に排除せしめ得るのである。図７には、そのような工
程の一例が示されており、コアスライダのディスク摺動
面側の面におけるエッチングされるべき部分を除いて、
マスク６４が施され、そして所定の化学エッチング処理
を施すことにより、一次トラック４４のスライダ端部側
部分、換言すればトレーリング部６６が一段低い高さの
トラックとされ、この低いトレーリング部６６を通じて
、二次トラック幅規定溝６２内に溜まった塵が外部に排
出せしめられるようになっているのである。
っては、二次トラック幅規定溝６２が空所となるところ
から、ディスクとの摺動時に、そのような空所内に塵が
溜り易く、このため、かかる二次トラック幅規定溝６２
が形成された後に或いはその形成に先立って、適当なエ
ッチング操作により、磁気ギャップ４０よりもスライダ
端部側（トレーリング側）に位置する少なくとも一次ト
ラック４４部分の一部が望ましくはスライダ端部に至る
まで二次トラック６０よりも低い高さとされる。例えば
、フォトリソグラフィとリン酸水溶液中の化学エッチン
グ手法を適用して、磁気ギャップ４０よりも１０μｍ以
上離れた一次トラック４４のトレーリング部６６を２μ
ｍ以上の深さでエッチングすることにより、先に形成さ
れた二次トラック幅規定溝６２に溜り易い塵を外部に有
利に排除せしめ得るのである。図７には、そのような工
程の一例が示されており、コアスライダのディスク摺動
面側の面におけるエッチングされるべき部分を除いて、
マスク６４が施され、そして所定の化学エッチング処理
を施すことにより、一次トラック４４のスライダ端部側
部分、換言すればトレーリング部６６が一段低い高さの
トラックとされ、この低いトレーリング部６６を通じて
、二次トラック幅規定溝６２内に溜まった塵が外部に排
出せしめられるようになっているのである。
【００２３】また、このように、トレーリング部６６全
体を一段低い高さとする他にも、図１３に示される如く
、二次トラック幅規定溝６２より、スライダ端部にまで
至る塵逃し溝６７を、トレーリング部６６（一次トラッ
ク４４のスライダ端部側部分）の両側部分を通るように
して、即ちトレーリング部６６の一部を切り欠いた状態
において、設けるようにすることも可能である。
体を一段低い高さとする他にも、図１３に示される如く
、二次トラック幅規定溝６２より、スライダ端部にまで
至る塵逃し溝６７を、トレーリング部６６（一次トラッ
ク４４のスライダ端部側部分）の両側部分を通るように
して、即ちトレーリング部６６の一部を切り欠いた状態
において、設けるようにすることも可能である。
【００２４】さらに、このような一段低いトレーリング
部６６の形成は、先の二次トラック幅規定溝６２の形成
工程と同時に実施することが可能であり、例えば二次ト
ラック幅規定溝６２をレーザ誘起エッチングによるトラ
ック加工にて実施した場合において、それと同時に、ト
レーリング部６６を同様なレーザ誘起エッチング手法に
てエッチング処理し、図８に示される如き二次トラック
幅規定溝６２と同様な深さ（高さ）のトレーリング部６
６とすることも可能である。
部６６の形成は、先の二次トラック幅規定溝６２の形成
工程と同時に実施することが可能であり、例えば二次ト
ラック幅規定溝６２をレーザ誘起エッチングによるトラ
ック加工にて実施した場合において、それと同時に、ト
レーリング部６６を同様なレーザ誘起エッチング手法に
てエッチング処理し、図８に示される如き二次トラック
幅規定溝６２と同様な深さ（高さ）のトレーリング部６
６とすることも可能である。
【００２５】ところで、上例のコアスライダにあっては
、二次トラック幅規定溝６２は空所とされ、そこには、
ガラス等の充填材は何等充填されていないが、またそこ
に、一次トラック幅規定溝４６と同様に、ガラス等を充
填せしめても何等差支えなく、その場合にあっては、最
終デプス加工が、そのような二次トラック幅規定溝６２
への埋め込みの後に実施されることとなる。
、二次トラック幅規定溝６２は空所とされ、そこには、
ガラス等の充填材は何等充填されていないが、またそこ
に、一次トラック幅規定溝４６と同様に、ガラス等を充
填せしめても何等差支えなく、その場合にあっては、最
終デプス加工が、そのような二次トラック幅規定溝６２
への埋め込みの後に実施されることとなる。
【００２６】また、上例においては、一つのスライダ本
体５２を作製した後、このスライダ本体５２に対して、
所定のコアチップ５０をガラス等の適当な固着剤にて固
定して、目的とする磁気ディスク装置用コアスライダを
作製しているが、またよく知られているように、生産性
を高めるべく、特願平２−７４３７１号等に明らかにせ
るように、ディスク摺動側となる面に、互いに平行な所
定高さの空気ベアリング部を多数設けて、複数個のスラ
イダ本体を切り出し得るようにしたスライダ本体基板を
用い、その各コアチップ挿入溝内に、上記の如くコアチ
ップを挿入、固定せしめ、同様な二次トラック加工を施
すようにすることも可能である。その場合において、ス
ライダ本体基板から１個のスライダ本体の切り出しは、
二次トラック加工に先立って、或いはそのような二次ト
ラック加工の後に、行なわれることとなる。
体５２を作製した後、このスライダ本体５２に対して、
所定のコアチップ５０をガラス等の適当な固着剤にて固
定して、目的とする磁気ディスク装置用コアスライダを
作製しているが、またよく知られているように、生産性
を高めるべく、特願平２−７４３７１号等に明らかにせ
るように、ディスク摺動側となる面に、互いに平行な所
定高さの空気ベアリング部を多数設けて、複数個のスラ
イダ本体を切り出し得るようにしたスライダ本体基板を
用い、その各コアチップ挿入溝内に、上記の如くコアチ
ップを挿入、固定せしめ、同様な二次トラック加工を施
すようにすることも可能である。その場合において、ス
ライダ本体基板から１個のスライダ本体の切り出しは、
二次トラック加工に先立って、或いはそのような二次ト
ラック加工の後に、行なわれることとなる。
【００２７】さらに、コアチップ５０の構造にあっても
、よく知られているように、その磁気ギャップ４０の近
傍に金属磁性膜を配置してなる、所謂メタル・イン・ギ
ャップ型の磁気ヘッド用コアとして用いることも可能で
ある。
、よく知られているように、その磁気ギャップ４０の近
傍に金属磁性膜を配置してなる、所謂メタル・イン・ギ
ャップ型の磁気ヘッド用コアとして用いることも可能で
ある。
【００２８】以上、コンポジット型のコアスライダに対
して本発明を適用した例について詳しく述べてきたが、
本発明は、また、図９以降に示す如き構造のモノリシッ
ク型のコアスライダに対しても、同様に適用され得るも
のである。
して本発明を適用した例について詳しく述べてきたが、
本発明は、また、図９以降に示す如き構造のモノリシッ
ク型のコアスライダに対しても、同様に適用され得るも
のである。
【００２９】すなわち、目的とするモノリシック型のコ
アスライダを得るためには、先ず、第一及び第二のブロ
ック（コアスライダ材料）が準備される。図９では、ス
ライダ本体を与える第一のフェライトブロック７０及び
ヨーク部を与える第二のフェライトブロック７２が用い
られ、それらのうちの少なくとも１個（ここでは両方）
にコイル巻線用溝７４を設けた後、かかるコイル巻線用
溝７４がそれらの間に位置するようにして、第一及び第
二のフェライトブロック７０，７２が互いに突き合わさ
れ、従来と同様に接合せしめられて、一体的なギャップ
バー７６が形成される。なお、それらフェライトブロッ
クの接合には、一般に、５００〜６００℃程度の軟化温
度のガラスが用いられることとなる。そして、このよう
にして得られたギャップバー７６は、それら二つのフェ
ライトブロック７０，７２によって磁気ヘッド用コアの
ための閉磁路が構成されていると共に、かかる閉磁路を
横切るように、それらフェライトブロック７０，７２の
突き合わせ部位に所定間隙の磁気ギャップ７８が形成さ
れているのである。また、このギャップバー７６には、
従来と同様な補強ガラス８０が充填され、そのアペック
ス部や磁気ギャップ７８の補強乃至は保護が図られてい
る。なお、この補強ガラスとしては、通常、４００〜５
００℃の軟化温度のものが用いられることとなる。
アスライダを得るためには、先ず、第一及び第二のブロ
ック（コアスライダ材料）が準備される。図９では、ス
ライダ本体を与える第一のフェライトブロック７０及び
ヨーク部を与える第二のフェライトブロック７２が用い
られ、それらのうちの少なくとも１個（ここでは両方）
にコイル巻線用溝７４を設けた後、かかるコイル巻線用
溝７４がそれらの間に位置するようにして、第一及び第
二のフェライトブロック７０，７２が互いに突き合わさ
れ、従来と同様に接合せしめられて、一体的なギャップ
バー７６が形成される。なお、それらフェライトブロッ
クの接合には、一般に、５００〜６００℃程度の軟化温
度のガラスが用いられることとなる。そして、このよう
にして得られたギャップバー７６は、それら二つのフェ
ライトブロック７０，７２によって磁気ヘッド用コアの
ための閉磁路が構成されていると共に、かかる閉磁路を
横切るように、それらフェライトブロック７０，７２の
突き合わせ部位に所定間隙の磁気ギャップ７８が形成さ
れているのである。また、このギャップバー７６には、
従来と同様な補強ガラス８０が充填され、そのアペック
ス部や磁気ギャップ７８の補強乃至は保護が図られてい
る。なお、この補強ガラスとしては、通常、４００〜５
００℃の軟化温度のものが用いられることとなる。
【００３０】次いで、かかるギャップバー７６に対して
、その空気ベアリング部形成側、換言すればディスク摺
動側の面に、目的とするトラック幅よりも大きな（例え
ば、２０〜５０μｍ程度大きな）幅の一次トラック８２
が形成されるように、一次トラック加工が施される。 この一次トラック加工は、ここでは、特開昭６０−１５
０２１２号公報に示されるように、第二のフェライトブ
ロック７２側から第一のフェライトブロック７０側に切
り込まれた、一次トラック幅規定溝としての傾斜溝８４
の組を、図示の如く、ギャップバー７６の長手方向の所
定位置に設けることによって、行なわれることとなる。 また、この傾斜溝８４は、磁気ギャップ７８を横切るよ
うに、第一のフェライトブロック７０側に至り、且つ該
磁気ギャップ７８のギャップデプスよりも充分な深さ、
換言すればコイル巻線用溝７４に充分に達するような深
さにおいて形成される。そして、このようにして形成さ
れた一次トラック幅規定溝としての傾斜溝８４内には、
従来と同様にして、一次トラック８２を保護するための
保護ガラス８６が充填せしめられることとなるが、この
保護ガラス８６としては、一般に、上記補強ガラス８０
と同程度或いはそれ以下の軟化温度を有するものが用い
られる。
、その空気ベアリング部形成側、換言すればディスク摺
動側の面に、目的とするトラック幅よりも大きな（例え
ば、２０〜５０μｍ程度大きな）幅の一次トラック８２
が形成されるように、一次トラック加工が施される。 この一次トラック加工は、ここでは、特開昭６０−１５
０２１２号公報に示されるように、第二のフェライトブ
ロック７２側から第一のフェライトブロック７０側に切
り込まれた、一次トラック幅規定溝としての傾斜溝８４
の組を、図示の如く、ギャップバー７６の長手方向の所
定位置に設けることによって、行なわれることとなる。 また、この傾斜溝８４は、磁気ギャップ７８を横切るよ
うに、第一のフェライトブロック７０側に至り、且つ該
磁気ギャップ７８のギャップデプスよりも充分な深さ、
換言すればコイル巻線用溝７４に充分に達するような深
さにおいて形成される。そして、このようにして形成さ
れた一次トラック幅規定溝としての傾斜溝８４内には、
従来と同様にして、一次トラック８２を保護するための
保護ガラス８６が充填せしめられることとなるが、この
保護ガラス８６としては、一般に、上記補強ガラス８０
と同程度或いはそれ以下の軟化温度を有するものが用い
られる。
【００３１】また、かかる一次トラック加工及びトラッ
クガラス充填の行なわれたギャップバー７６に対しては
、従来と同様に、余分のトラックガラスを除去すると共
に、デプス研磨が施され、更にその後、リーディングラ
ンプ加工が施される。
クガラス充填の行なわれたギャップバー７６に対しては
、従来と同様に、余分のトラックガラスを除去すると共
に、デプス研磨が施され、更にその後、リーディングラ
ンプ加工が施される。
【００３２】さらに、かかるギャップバー７６の空気ベ
アリング部形成側の面には、スライダ本体における少な
くとも一組の空気ベアリング部が形成され得るように、
互いに平行な空気ベアリング部８８の複数を、所定間隔
を隔てて、所定の高さにおいて形成せしめるＡＢＳ加工
が施される。このＡＢＳ加工は公知の手法に従って実施
され、例えば図９に示される例においては、ギャップバ
ー７６の非エッチング面をレジストにてマスクした後、
Ｈ３ ＰＯ４ 水溶液を用いて化学エッチングすること
によって、所定高さの空気ベアリング部８８を形成する
手法が採用されている。なお、このような化学エッチン
グ処理によって、公知の如く、空気ベアリング部８８の
立上り部（周縁部）は傾斜面として形成されるようにな
る。 また、このような化学エッチング処理にて、空気ベアリ
ング部８８が形成されると同時に、一次トラック８２の
磁気ギャップ７８よりもスライダ端部側に位置するトレ
ーリング部９０を構成するフェライト面もエッチングさ
れ、磁気ギャップ部位の一次トラック８２よりも２０〜
４０μｍ程度高さが低くなって、後述する二次トラック
幅規定溝（９４）内に溜る塵の排除が容易となるように
されている。なお、このようなＡＢＳ加工は、図９に示
される如く、前述した一次トラック加工等の後に実施さ
れる他、それら一次トラック加工等の加工に先立って、
実施することも可能である。
アリング部形成側の面には、スライダ本体における少な
くとも一組の空気ベアリング部が形成され得るように、
互いに平行な空気ベアリング部８８の複数を、所定間隔
を隔てて、所定の高さにおいて形成せしめるＡＢＳ加工
が施される。このＡＢＳ加工は公知の手法に従って実施
され、例えば図９に示される例においては、ギャップバ
ー７６の非エッチング面をレジストにてマスクした後、
Ｈ３ ＰＯ４ 水溶液を用いて化学エッチングすること
によって、所定高さの空気ベアリング部８８を形成する
手法が採用されている。なお、このような化学エッチン
グ処理によって、公知の如く、空気ベアリング部８８の
立上り部（周縁部）は傾斜面として形成されるようにな
る。 また、このような化学エッチング処理にて、空気ベアリ
ング部８８が形成されると同時に、一次トラック８２の
磁気ギャップ７８よりもスライダ端部側に位置するトレ
ーリング部９０を構成するフェライト面もエッチングさ
れ、磁気ギャップ部位の一次トラック８２よりも２０〜
４０μｍ程度高さが低くなって、後述する二次トラック
幅規定溝（９４）内に溜る塵の排除が容易となるように
されている。なお、このようなＡＢＳ加工は、図９に示
される如く、前述した一次トラック加工等の後に実施さ
れる他、それら一次トラック加工等の加工に先立って、
実施することも可能である。
【００３３】なお、空気ベアリング部８８を上記の如き
化学エッチング操作以外の手法にても形成することが可
能であり、図１２には、それを機械加工（砥石加工）に
て行なった例が示されている。この機械加工の場合には
、それと同時に段差の付いたトレーリング部９０を形成
することが困難であるところから、空気ベアリング部８
８を形成した後に、必要に応じて、前記実施例の場合と
同様なエッチング操作にて、一段低いトレーリング部９
０が設けられることとなる。
化学エッチング操作以外の手法にても形成することが可
能であり、図１２には、それを機械加工（砥石加工）に
て行なった例が示されている。この機械加工の場合には
、それと同時に段差の付いたトレーリング部９０を形成
することが困難であるところから、空気ベアリング部８
８を形成した後に、必要に応じて、前記実施例の場合と
同様なエッチング操作にて、一段低いトレーリング部９
０が設けられることとなる。
【００３４】また、かかるギャップバー７６に対する二
次トラック加工には、前記実施例と同様なエッチング操
作が採用され、例えば図１０に示される例にあっては、
公知のレーザ誘起エッチング操作にて、磁気ギャップ７
８を跨いで、その近傍に位置するように、前記一次トラ
ック８２よりも長さが短く且つ幅の狭い、目的とするト
ラック幅に一致する二次トラック９２を与える二次トラ
ック幅規定溝９４が、一次トラック幅規定溝８４の深さ
よりは浅いが、少なくともギャップデプスよりも深い深
さにおいて形成されるのである。
次トラック加工には、前記実施例と同様なエッチング操
作が採用され、例えば図１０に示される例にあっては、
公知のレーザ誘起エッチング操作にて、磁気ギャップ７
８を跨いで、その近傍に位置するように、前記一次トラ
ック８２よりも長さが短く且つ幅の狭い、目的とするト
ラック幅に一致する二次トラック９２を与える二次トラ
ック幅規定溝９４が、一次トラック幅規定溝８４の深さ
よりは浅いが、少なくともギャップデプスよりも深い深
さにおいて形成されるのである。
【００３５】その後、このようにして一次トラック加工
、二次トラック加工、ＡＢＳ加工の施されたギャップバ
ー７６には、公知の如きトレーリングチャンハー加工が
施された後、ヨーク加工が施され、ギャップバー７６の
第二のフェライトブロック７２部分からヨーク部９６が
切り出され、更に図１１に示される破線部分からのチッ
プスライスによって、かかるギャップバー７６より、互
いに平行な空気ベアリング部８８，８８を左右に有する
スライダ本体９８と一次トラック８２や二次トラック９
２を含んで構成される磁気ヘッド用コアを与えるヨーク
部９６とからなる形態のコアスライダが、切り出される
こととなるのである。
、二次トラック加工、ＡＢＳ加工の施されたギャップバ
ー７６には、公知の如きトレーリングチャンハー加工が
施された後、ヨーク加工が施され、ギャップバー７６の
第二のフェライトブロック７２部分からヨーク部９６が
切り出され、更に図１１に示される破線部分からのチッ
プスライスによって、かかるギャップバー７６より、互
いに平行な空気ベアリング部８８，８８を左右に有する
スライダ本体９８と一次トラック８２や二次トラック９
２を含んで構成される磁気ヘッド用コアを与えるヨーク
部９６とからなる形態のコアスライダが、切り出される
こととなるのである。
【００３６】従って、このような構造のモノリシック型
コアスライダにあっても、目的とするトラック幅に一致
する二次トラック部分を短く且つ必要最小限度の深さに
おいて設けることが出来ることとなるところから、その
部分の磁気抵抗の増大を有利に回避することが出来、ま
たトラックサイドのモールドガラスによる歪みの影響も
可及的に回避することが出来ることとなり、以て再生出
力の低下等のヘッド特性上の問題を効果的に解決し得る
こととなったのであり、加えてトラックのチッピングの
回避やその加工上の容易性の改善等も有利に図り得るこ
ととなったのである。
コアスライダにあっても、目的とするトラック幅に一致
する二次トラック部分を短く且つ必要最小限度の深さに
おいて設けることが出来ることとなるところから、その
部分の磁気抵抗の増大を有利に回避することが出来、ま
たトラックサイドのモールドガラスによる歪みの影響も
可及的に回避することが出来ることとなり、以て再生出
力の低下等のヘッド特性上の問題を効果的に解決し得る
こととなったのであり、加えてトラックのチッピングの
回避やその加工上の容易性の改善等も有利に図り得るこ
ととなったのである。
【００３７】以上、本発明に従う磁気ディスク装置用コ
アスライダ及びその製造手法について、その代表的な例
に基づいて詳細に説明してきたが、本発明が、そのよう
な例示の具体例にのみ限定して解釈されるものでは決し
てなく、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて、当業
者の知識に基づいて種々なる変更、修正、改良等を加え
た形態において実施され得るものであることが、理解さ
れるべきである。
アスライダ及びその製造手法について、その代表的な例
に基づいて詳細に説明してきたが、本発明が、そのよう
な例示の具体例にのみ限定して解釈されるものでは決し
てなく、本発明の趣旨を逸脱しない限りにおいて、当業
者の知識に基づいて種々なる変更、修正、改良等を加え
た形態において実施され得るものであることが、理解さ
れるべきである。
【００３８】例えば、上記のモノリシック型コアスライ
ダの具体例においては言及しなかったが、かかるモノリ
シック型のコアスライダにあっても、前記コンポジット
型コアスライダの場合と同様に、磁気ギャップ部に金属
磁性膜を存在せしめて、高保磁力媒体に対して有効な特
性を付与した複合型磁気ヘッド用コアスライダの構造に
おいて、本発明を適用することが可能であることは、言
うまでもないところである。
ダの具体例においては言及しなかったが、かかるモノリ
シック型のコアスライダにあっても、前記コンポジット
型コアスライダの場合と同様に、磁気ギャップ部に金属
磁性膜を存在せしめて、高保磁力媒体に対して有効な特
性を付与した複合型磁気ヘッド用コアスライダの構造に
おいて、本発明を適用することが可能であることは、言
うまでもないところである。
【００３９】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に従う磁気ディスク装置用コアスライダによれば、その
ディスク摺動面から深さ方向に、コアの断面積小の部分
の長さが短くなり、以て磁気抵抗が小さくなって、再生
出力の増加等のヘッド特性が効果的に改善され得たので
あり、またそのような優れた特徴を有するコアスライダ
が、本発明手法によれば、容易に製造され得ることとな
ったのである。
に従う磁気ディスク装置用コアスライダによれば、その
ディスク摺動面から深さ方向に、コアの断面積小の部分
の長さが短くなり、以て磁気抵抗が小さくなって、再生
出力の増加等のヘッド特性が効果的に改善され得たので
あり、またそのような優れた特徴を有するコアスライダ
が、本発明手法によれば、容易に製造され得ることとな
ったのである。
【図１】従来のコアチップの製造工程の一例を示す説明
図である。
図である。
【図２】従来のコアチップの一例を示す斜視図である。
【図３】従来のコンポジット型コアスライダの製造工程
の一例を示す説明図である。
の一例を示す説明図である。
【図４】本発明に従う磁気ディスク装置用コアスライダ
に用いられるコアチップの製造工程の一例を示す説明図
である。
に用いられるコアチップの製造工程の一例を示す説明図
である。
【図５】本発明に従う磁気ディスク装置用コアスライダ
を製造する工程の一例を示す説明図である。
を製造する工程の一例を示す説明図である。
【図６】本発明に従う磁気ディスク装置用コアスライダ
の磁気ヘッド用コア部分の磁気ギャップ部位を拡大して
示す部分拡大斜視図である。
の磁気ヘッド用コア部分の磁気ギャップ部位を拡大して
示す部分拡大斜視図である。
【図７】磁気ギャップよりもスライダ端部側に位置する
一次トラック部分をエッチング処理する工程の一例を示
す説明図である。
一次トラック部分をエッチング処理する工程の一例を示
す説明図である。
【図８】磁気ギャップよりもスライダ端部側に位置する
一次トラック部分を、二次トラック加工と同時に、レー
ザ誘起エッチング手法にてエッチング処理して得られる
状態を説明するための拡大平面略図である。
一次トラック部分を、二次トラック加工と同時に、レー
ザ誘起エッチング手法にてエッチング処理して得られる
状態を説明するための拡大平面略図である。
【図９】本発明手法に従ってモノリシック型コアスライ
ダを製造する工程の一例を示す説明図である。
ダを製造する工程の一例を示す説明図である。
【図１０】図９の工程において得られた一次トラック加
工及びＡＢＳ加工の済んだギャップバーよりヨーク部を
切り出す工程を示す要部拡大平面説明図である。
工及びＡＢＳ加工の済んだギャップバーよりヨーク部を
切り出す工程を示す要部拡大平面説明図である。
【図１１】図１０においてヨーク部が切り出されたギャ
ップバーよりコアスライダを切り出す工程を示す説明図
である。
ップバーよりコアスライダを切り出す工程を示す説明図
である。
【図１２】ギャップバーに対して、機械加工により空気
ベアリング部を形成せしめた例を示すギャップバー平面
説明図である。
ベアリング部を形成せしめた例を示すギャップバー平面
説明図である。
【図１３】磁気ギャップよりもスライダ端部側に位置す
る一次トラック部分の一部をスライダ端部に達するまで
エッチング処理して得られたコアチップの磁気ギャップ
部位を拡大して示す説明図である。
る一次トラック部分の一部をスライダ端部に達するまで
エッチング処理して得られたコアチップの磁気ギャップ
部位を拡大して示す説明図である。
３２ ギャップバー ３
４，３６ コア・バー ３８，７４ コイル巻線用溝 ４０，７８
磁気ギャップ ４４，８２ 一次トラック ４６
一次トラック幅規定溝 ４８，８６ 保護ガラス ５０
コアチップ５２，９８ スライダ本体
５４，８８ 空気ベアリング部 ６０，９２ 二次トラック ６２
二次トラック幅規定溝 ７０ 第一のフェライトブロック ７２ 第二の
フェライトブロック ７６ ギャップバー ８
４ 傾斜溝９６ ヨーク部
４，３６ コア・バー ３８，７４ コイル巻線用溝 ４０，７８
磁気ギャップ ４４，８２ 一次トラック ４６
一次トラック幅規定溝 ４８，８６ 保護ガラス ５０
コアチップ５２，９８ スライダ本体
５４，８８ 空気ベアリング部 ６０，９２ 二次トラック ６２
二次トラック幅規定溝 ７０ 第一のフェライトブロック ７２ 第二の
フェライトブロック ７６ ギャップバー ８
４ 傾斜溝９６ ヨーク部
Claims (9)
- 【請求項１】 スライダ本体のディスク摺動側の面に
、互いに平行な所定高さの空気ベアリング部を左右に設
ける一方、それら空気ベアリング部が延びる方向におけ
る前記スライダ本体の一方の側部に、該空気ベアリング
部と同様な高さにおいて磁気ギャップを有する磁気ヘッ
ド用コアを配してなる磁気ディスク装置用コアスライダ
にして、前記磁気ヘッド用コアのディスク摺動側の面に
、該磁気ギャップを跨ぐようにして、目的とするトラッ
ク幅よりも大きな幅の一次トラックを与える一次トラッ
ク幅規定溝を、該磁気ギャップのギャップデプスよりも
充分な深さにおいて設けると共に、該磁気ギャップを跨
いで、その近傍に、該一次トラックよりも長さが短く且
つ幅の狭い、目的とするトラック幅に一致する二次トラ
ックを与える二次トラック幅規定溝を、該一次トラック
幅規定溝の深さよりは浅いが、少なくとも前記ギャップ
デプスよりも深い深さにおいて設けたことを特徴とする
磁気ディスク装置用コアスライダ。 - 【請求項２】 前記スライダ本体と前記磁気ヘッド用
コアとが別個に作製され、該スライダ本体に対して該磁
気ヘッド用コアが適当な固着剤により固定せしめられて
いる請求項１記載の磁気ディスク装置用コアスライダ。 - 【請求項３】 前記スライダ本体と前記磁気ヘッド用
コアとが一体に構成されている請求項１記載の磁気ディ
スク装置用コアスライダ。 - 【請求項４】 前記磁気ヘッド用コアの磁気ギャップ
を与えるギャップ対向面の少なくとも一方に、金属磁性
膜が配置されている請求項１乃至３の何れかに記載の磁
気ディスク装置用コアスライダ。 - 【請求項５】 前記磁気ギャップよりもスライダ端部
側に位置する少なくとも前記一次トラック部分の一部が
、前記二次トラックよりも低い高さとされている請求項
１乃至４の何れかに記載の磁気ディスク装置用コアスラ
イダ。 - 【請求項６】 スライダ本体のディスク摺動側の面に
、互いに平行な所定高さの空気ベアリング部を左右に設
ける一方、それら空気ベアリング部が延びる方向におけ
る前記スライダ本体の一方の側部に、該空気ベアリング
部と同様な高さにおいて磁気ギャップを有する磁気ヘッ
ド用コアを配してなる磁気ディスク装置用コアスライダ
を製造する方法にして、目的とするトラック幅よりも大
きな幅の一次トラックを与えるように、前記磁気ギャッ
プを跨いで、該磁気ギャップのギャップデプスよりも充
分な深さにおいて形成された一次トラック幅規定溝を有
すると共に、該一次トラック幅規定溝内にガラスが充填
せしめられてなる、前記磁気ヘッド用コアを構成するコ
アチップを準備する工程と、前記空気ベアリング部が延
びる方向における一方の側部にコアチップ挿入溝を設け
た前記スライダ本体若しくはそれを与えるスライダ本体
基板を準備する工程と、該スライダ本体または該スライ
ダ本体基板のコアチップ挿入溝内に、前記コアチップを
挿入、配置して、ガラスにて固定せしめる工程と、前記
磁気ギャップを跨いで、その近傍に位置するように、前
記一次トラックよりも長さが短く且つ幅の狭い、目的と
するトラック幅に一致する二次トラックを与える二次ト
ラック幅規定溝を、エッチング操作にて、前記一次トラ
ック幅規定溝の深さよりは浅いが、少なくとも前記ギャ
ップデプスよりも深い深さにおいて形成する工程とを、
含むことを特徴とする磁気ディスク装置用コアスライダ
の製造方法。 - 【請求項７】 前記コアチップの前記磁気ギャップよ
りもスライダ端部側に位置する少なくとも前記一次トラ
ック部分の一部が、エッチング操作により、前記二次ト
ラックよりも低い高さとされる工程を、更に含むことか
らなる請求項６記載の製造方法。 - 【請求項８】 スライダ本体のディスク摺動側の面に
、互いに平行な所定高さの空気ベアリング部を左右に設
ける一方、それら空気ベアリング部が延びる方向におけ
る前記スライダ本体の一方の側部に、該空気ベアリング
部と同様な高さにおいて磁気ギャップを有する磁気ヘッ
ド用コアを配してなる磁気ディスク装置用コアスライダ
を製造する方法にして、前記コアスライダを与える二つ
のブロックを、それらの間にコイル巻線用溝が位置する
ようにして突き合わせて、一体的に接合せしめ、それら
ブロックにて磁気ヘッドのための閉磁路を構成すると共
に、それらブロックの突き合わせ部位に前記磁気ギャッ
プを形成してなるギャップバーを準備する工程と、該ギ
ャップバーの空気ベアリング部形成側の面に対して、目
的とするトラック幅よりも大きな幅の一次トラックを形
成するように、前記磁気ギャップを跨いで、該磁気ギャ
ップのギャップデプスよりも充分な深さにおいて、一次
トラック幅規定溝を形成すると共に、該一次トラック幅
規定溝内にガラスを充填せしめる工程と、該ギャップバ
ーの空気ベアリング部形成側の面に対して、前記スライ
ダ本体における少なくとも一組の空気ベアリング部を与
え得るように、互いに平行な所定高さの空気ベアリング
部の複数を形成する工程と、前記磁気ギャップを跨いで
、その近傍に位置するように、前記一次トラックよりも
長さが短く且つ幅の狭い、目的とするトラック幅に一致
する二次トラックを与える二次トラック幅規定溝を、エ
ッチング操作にて、前記一次トラック幅規定溝の深さよ
りは浅いが、少なくとも前記ギャップデプスよりも深い
深さにおいて形成する工程と、該二次トラック幅規定溝
の形成されたギャップバーより、前記互いに平行な空気
ベアリング部を左右に有するスライダ本体と、前記一次
トラック及び二次トラックを含んで構成される前記磁気
ヘッド用コアを与えるヨーク部とからなる形状のコアス
ライダを切り出す工程とを、含むことを特徴とする磁気
ディスク装置用コアスライダの製造方法。 - 【請求項９】 前記ヨーク部の前記磁気ギャップより
もスライダ端部側に位置する少なくとも前記一次トラッ
ク部分の一部が、エッチング操作により、前記二次トラ
ックよりも低い高さとされる工程を、更に含むことから
なる請求項８記載の製造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3042514A JP2543629B2 (ja) | 1991-02-14 | 1991-02-14 | 磁気ディスク装置用コアスライダ及びその製造方法 |
| US07/833,428 US5675453A (en) | 1991-02-14 | 1992-02-10 | Core slider for magnetic disk, having opposed recesses defining narrow final track which determines nominal magnetic gap width |
| EP92301200A EP0499473B1 (en) | 1991-02-14 | 1992-02-13 | Core sliders for magnetic discs, core portions therefor, and methods of making them |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3042514A JP2543629B2 (ja) | 1991-02-14 | 1991-02-14 | 磁気ディスク装置用コアスライダ及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04259902A true JPH04259902A (ja) | 1992-09-16 |
| JP2543629B2 JP2543629B2 (ja) | 1996-10-16 |
Family
ID=12638183
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3042514A Expired - Lifetime JP2543629B2 (ja) | 1991-02-14 | 1991-02-14 | 磁気ディスク装置用コアスライダ及びその製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5675453A (ja) |
| EP (1) | EP0499473B1 (ja) |
| JP (1) | JP2543629B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5537732A (en) * | 1993-03-23 | 1996-07-23 | Ngk Insulators, Ltd. | Method for manufacturing a magnetic head core slider |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2543641B2 (ja) * | 1991-11-18 | 1996-10-16 | 日本碍子株式会社 | 固定磁気ディスク装置用コアスライダおよびその製造方法 |
| JPH05234014A (ja) * | 1992-02-20 | 1993-09-10 | Ngk Insulators Ltd | 磁気ヘッド用コアの製造法 |
| JPH0773425A (ja) * | 1993-08-31 | 1995-03-17 | Sony Corp | 浮上型磁気ヘッド装置の製造方法 |
| EP0743635B1 (en) | 1995-05-18 | 2001-08-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | A magnetic head, a production method thereof, and a magnetic recording/reproduction apparatus using the same |
| JP2822971B2 (ja) * | 1996-01-17 | 1998-11-11 | ティーディーケイ株式会社 | 磁気ヘッド装置用スライダの製造方法 |
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