JPH04271875A - 圧電部品 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、両主面に電極を有する
圧電部品に関し、特に、該電極上に半田流れを防止する
ためのソルダレジスト材が付与されている圧電部品の改
良に関する。

【０００２】

【従来の技術】本発明を成す契機となった従来の圧電部
品を、図２及び図３を参照して説明する。図２の圧電体
ウエーハ１は、矩形板状の圧電母基板２の両主面に電極
３，４を形成し、電極３，４上に、それぞれ、ソルダレ
ジスト材５，６を付与した構造を有する。ソルダレジス
ト材５，６は、例えばソルダレジストインクを塗布する
ことにより形成されており、後述の半田流れを防止する
ために設けられているものである。

【０００３】図２の圧電体ウエーハ１を、一点鎖線Ａに
沿って切断することにより、両主面に電極が形成された
圧電振動子を得ることができる。圧電体ウエーハ１から
個々の圧電振動子を正確な寸法に得るためには、上記切
断を高精度に行わねばならない。そこで、図３に示すよ
うに、平面９上に圧電体ウエーハ１を載置し、上方から
接着テープ８を貼り付けた後に、図示しない支持台上に
接着テープ８側を下にして吸引固定した状態で圧電体ウ
エーハ１をダイシング・ソーにより切断していた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、接着テ
ープ８を圧電体ウエーハ１に貼着する場合、図３に矢印
Ｆで示す力が圧電体ウエーハ１に加えられる。ところが
、圧電体ウエーハ１では、下面側に付与されたソルダレ
ジスト材６により段差が形成されているため、該ソルダ
レジスト材６が設けられている部分に応力が集中し、ク
ラック７が発生したり、圧電体ウエーハ１の割れが生じ
たりしがちであった。

【０００５】上記のような圧電体ウエーハ１の割れを防
止するにはソルダレジスト材５，６を省略すればよいと
も考えられる。しかしながら、ソルダレジスト材５，６
を形成しておかないと、得られた圧電振動子の電極３，
４にリード端子等を半田付けする場合、両主面に形成さ
れた電極が対向している振動領域にまで半田が及び、特
性を変動させることがある。従って、ソルダレジスト材
５，６を付与した圧電部品において、上記のようなクラ
ック７や割れの生じ難い構造を備えたものが要望されて
いる。

【０００６】従って、本発明の目的は、両主面に電極が
形成されており、かつ半田流れを防止するために電極上
にソルダレジスト材が付与された圧電部品において、上
記のようなクラックや素子の割れが生じ難い構造を備え
たものを提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は、圧電基板の両
主面に電極が形成されており、かつ該両主面に形成され
た電極に端子が半田付けされることが予定されており、
前記電極上に半田流れを防止するためのソルダレジスト
材が付与されている圧電部品において、前記圧電基板の
少なくとも一方主面に前記ソルダレジスト材の高さと略
同等の高さを有する段差解消材が付与されていることを
特徴とする。

【０００８】

【作用】本発明では、ソルダレジスト材と略同等の高さ
を有する段差解消材が圧電基板の少なくとも一方主面上
に設けられている。従って、平面上に載置した場合、圧
電基板がソルダレレジスト材と、該段差解消材とで支持
されることになる。よって、平面上に圧電部品を載置し
、上方から接着テープを貼り付けた場合であっても、貼
り付けの際に加えられる力は、ソルダレジスト材が付与
されている部分だけでなく、段差解消材が設けられてい
る部分にも及ぶ。すなわち、平面上に載置された状態で
上方から力が加えられた場合の応力集中が緩和される。 そのため、ソルダレジスト材が設けられている部分近傍
におけるクラックや割れの発生が防止される。

【０００９】

【実施例の説明】以下、本発明の非限定的な実施例を説
明することにより、本発明を明らかにする。図４に示す
ように、本実施例の圧電体ウエーハ１１は、比較的大面
積の矩形板上の圧電母基板１２の両主面にマザーの電極
１３，１４を形成した構造を有する。電極１３，１４上
には、圧電体ウエーハ１２の長手方向に伸びるようにソ
ルダレジスト材１５，１６が付与されている。ソルダレ
ジスト材１５，１６は、例えばエポキシ樹脂等の材料よ
りなるソルダレジストインクを塗布することにより形成
される。

【００１０】本実施例の特徴は、ソルダレジスト材１４
，１５が、設けられている圧電体ウエーハ１１の両主面
において、さらに段差解消材１７，１８が付与されてい
ることにある。段差解消材１７，１８は、ソルダレジス
ト材１５，１６とほぼ同等の高さを有するように形成さ
れていることが必要である。上方から力が加えられた場
合に、下方に位置するソルダレジスト材１５まはた１６
近傍に応力が集中することを防止するためである。従っ
て、ソルダレジスト材１５，１６と略同等の高さを有す
る限り、段差解消材１７，１８は任意の剛性または弾性
材料で構成することができる。もっとも、ソルダレジス
ト材１５，１６と同一材料により段差解消材１７，１８
を形成すれば、ソルダレジスト材１５，１６の形成と同
時に段差解消材１７，１８を付与することができるため
好ましい。

【００１１】圧電体ウエーハ１１は、図４の一点鎖線Ｂ
に沿って切断され、それによって図１に示す圧電振動子
１９が得られる。上記切断は従来技術と同様に行われる
。すなわち、図５に示すように、圧電体ウエーハ１１を
平面９上に載置し、上方から接着テープ８を貼り付け、
それによって圧電体ウエーハ１１に接着テープ８を貼り
付ける。次に、図示しない支持台上に接着テープ８側を
下にして吸引固定した状態で、ダイシング・ソーにより
切断することにより、正確な寸法の圧電振動子を得るこ
とができる。

【００１２】ところで、図５から明らかなように、圧電
体ウエーハ１１を平面９上に載置した状態において、圧
電体ウエーハ１１は下面側のソルダレジスト材１６だけ
でなく、段差解消材１８によっても支持されている。従
って、平面９上で接着テープ８を圧電体ウエーハ１１に
貼り付ける場合に、矢印Ｆで示す力が加わったとしても
、圧電体ウエーハ１１において発生する応力は、ソルダ
レジスト材１６及び段差解消材１８が設けられている部
分に分散することになる。よって、図３に示したような
クラック７や素子割れは、本実施例では非常に起こりに
くくされている。

【００１３】上記のようにして圧電体ウエーハ１１を切
断することにより、図１に示す圧電振動子が得られる。 圧電振動子１９は、厚みすべり振動モードを利用した圧
電振動子であり、圧電基板１２ａの両主面に電極１３ａ
，１４ａを中央領域で対向するように形成した構造を有
し、各電極１３ａ，１４ａ上にソルダレジスト材１５ａ
，１６ａが付与されている。従って、圧電振動子１９に
リード端子を半田付けする場合、ソルダレジスト材１５
ａ，１６ａよりも外側の領域において半田付けを行えば
、半田が振動領域に至るのを防止することができる。 また、上述したように、段差解消材１７ａ，１８ａが設
けられているため、圧電基板１２ａにクラックが入った
り、或いは圧電基板１２ａの割れが生じたりする恐れも
非常に小さくされている。

【００１４】なお、図５に示した状態において、接着テ
ープ８を圧電体ウエーハ１１に貼り付けることにより加
えられる力に対する応力を緩和するには、図１の距離Ｌ
すなわちソルダレジスト材１６と段差解消材１８との間
の距離を小さくすればよい。もっとも、上述したように
半田流れに起因する特性の変動を防止するためにソルダ
レジスト材を設けているものであるため、ソルダレジス
ト材１６の形成位置は、両主面に形成された電極が対向
されている領域よりも外側にあることが好ましい。

【００１５】また、上記実施例では、ソルダレジスト材
１５，１６及び段差解消材１７，１８を断面が半円状の
形状となるように設けたが、ソルダレジスト材及び段差
解消材の断面形状は任意である。例えば、図６（ａ），
（ｂ）に示すように、断面形状が矩形のソルダレジスト
材２５，２６及び段差解消材２７，２８を付与してもよ
い。このようにソルダレジスト材２５，２６及び段差解
消材２７，２８の断面形状を矩形とすることにより、平
面上に載置した場合のソルダレジスト材及び段差解消材
の該平面との接触面積を増大させることができ、それに
よって接着テープによる貼り付けに際し加えられる力を
より効果的に緩和することができる。

【００１６】また、段差解消材は、ソルダレジスト材と
一体に構成されていてもよい。例えば、図７（ａ），（
ｂ）に示すように、圧電母基板１２の両主面に形成され
た電極１３，１４上に、ソルダレジストインクをかなり
広い領域に渡って塗布することにより、ソルダレジスト
材３５，３６を形成してもよい。この場合には、ソルダ
レジスト材３５，３６が、本発明の段差解消材をも兼ね
ることになる。すなわち、図７（ａ），（ｂ）に示した
ソルダレジスト材３５，３６は、図１に示したソルダレ
ジスト材１５と段差解消材１７とを、或いはソルダレジ
スト材１６と段差解消材１８とをそれぞれ幅広く形成す
ることにより両者の境界がなくなった構造に相当する。 このように、ソルダレジスト材と段差解消材とを一体と
なるように、幅広い面積に渡りソルダレジストインクを
塗布することによっても、接着テープの貼り付けに際し
て加えられる力を分散させることができ、それによって
圧電基板のクラックや割れを防止することができる。

【００１７】なお、図示の各実施例では、圧電基板の両
主面に段差解消材を設けたが、ダイシング・マシンによ
り切断する場合の表裏の方向性が定まっている場合、す
なわち一方面側を下面として平面９上に載置することが
定まっている場合には、該下面となる側の圧電基板主面
にのみ段差解消材を設ければよい。また、段差解消材あ
るいはソルダレジスト材は、それぞれ、圧電基板の一方
主面上において２本以上形成されていてもよい。

【００１８】本発明が適用される圧電部品は、図５に示
した厚みすべり振動モードを利用した圧電振動子に限ら
ない。すなわち、半田付けが予定されている電極を両主
面に有する圧電部品一般に本発明を適用することができ
る。

【００１９】

【発明の効果】本発明によれば、ソルダレジスト材が設
けられた圧電基板の少なくとも一方主面にソルダレジス
ト材と略同等の高さを有するように段差解消材が付与さ
れているため、圧電基板を平面上に載置し、上方から接
着テープを貼り付けた場合、上方から加えられる力を効
果的に分散することができる。従って、圧電基板のソル
ダレジスト材が設けられている部分近傍におけるクラッ
クや割れを確実に防止することができ、それによって信
頼性に優れた圧電部品を安定に提供することが可能とな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の圧電部品としての圧電振動
子を示す斜視図である。

【図２】従来の圧電部品を得るのに用いられる圧電体ウ
エーハを示す斜視図である。

【図３】従来の圧電部品を得る工程を説明するための断
面図である。

【図４】本発明の一実施例の圧電部品を得るのに用いら
れる圧電体ウエーハを示す斜視図である。

【図５】本発明の一実施例の圧電部品を得る工程を説明
するための断面図である。

【図６】（ａ）は圧電体ウエーハの他の例を示す平面図
、（ｂ）は（ａ）に示した圧電体ウエーハの断面図であ
る。

【図７】（ａ）は本発明のさらに他の実施例に用いられ
る圧電体ウエーハを示す平面図 、（ｂ）は（ａ）に示した圧電体ウエーハの断面図であ
る。

【符号の説明】

１１　　…　　圧電体ウエーハ １２　　…　　圧電母基板 １２ａ　　…　　圧電基板

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　圧電基板の両主面に電極が形成されて
   おり、かつ該両主面に形成された電極に端子が半田付け
   されることが予定されており、前記電極上に半田流れを
   防止するためのソルダレジスト材が付与された圧電振動
   部品において、前記ソルダレジスト材の高さと略同等の
   高さを有する段差解消材がソルダレジスト材の形成され
   ている側の圧電部品主面に付与されていることを特徴と
   する圧電部品。